JP2013239947A - 振動デバイス、振動デバイスモジュール、電子機器及び移動体 - Google Patents
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Abstract
【課題】振動特性を向上させることが可能な振動デバイス、この振動デバイスを備えている振動デバイスモジュール、電子機器及び移動体の提供。
【解決手段】水晶振動子1は、両主面14,15に励振電極16,17がそれぞれ設けられている振動部11、振動部11の外縁に連結され、振動部11の厚みよりも厚く、平面視で振動部11の外縁を囲むように設けられている枠部12、及び枠部12に励振電極16,17からそれぞれ延出して設けられている引出電極16a,17a、を備えている水晶振動片10と、振動部11の両主面14,15を覆うように、枠部12の両主面18,19にそれぞれ固定され、引出電極16a,17aと電気的に接続されている導電性を有する一対の蓋体20,21と、蓋体20の枠部12側とは反対側の主面20aに設けられている絶縁層22と、絶縁層22を挟んで蓋体20に積層されている導電性を有するシールド板と、を備えている。
【選択図】図2
【解決手段】水晶振動子1は、両主面14,15に励振電極16,17がそれぞれ設けられている振動部11、振動部11の外縁に連結され、振動部11の厚みよりも厚く、平面視で振動部11の外縁を囲むように設けられている枠部12、及び枠部12に励振電極16,17からそれぞれ延出して設けられている引出電極16a,17a、を備えている水晶振動片10と、振動部11の両主面14,15を覆うように、枠部12の両主面18,19にそれぞれ固定され、引出電極16a,17aと電気的に接続されている導電性を有する一対の蓋体20,21と、蓋体20の枠部12側とは反対側の主面20aに設けられている絶縁層22と、絶縁層22を挟んで蓋体20に積層されている導電性を有するシールド板と、を備えている。
【選択図】図2
Description
本発明は、振動デバイス、この振動デバイスを備えている振動デバイスモジュール、電子機器及び移動体に関する。
従来、振動デバイスとして、中央部分に薄肉部を有し、薄肉部の周囲に厚肉部を有すると共に、薄肉部の表裏に対向して励振電極が形成され、かつ励振電極が引出電極により厚肉部に引き出されている圧電振動板と、厚肉部に接合され薄肉部を気密封止する蓋体と、圧電振動板の側面に接合され、引出電極と導電接合される端子部とからなる圧電振動デバイスが知られている(例えば、特許文献1参照)。
この圧電振動デバイス(以下、振動デバイスという)は、厚肉部に薄肉部を囲む周状の金属膜が形成され、金属膜と金属製の蓋体とが金属ろう材により接合されていると共に、圧電振動板の側面に引出電極が延出され、側面(引出電極)と端子部とが金属ろう材により接合されている構成となっている。この構成により、上記振動デバイスは、更なる小型化を図ることができるとされている。
しかしながら、上記振動デバイスは、圧電振動板の薄肉部を気密封止する金属製の蓋体が、圧電振動板の励振電極から引き出されている引出電極(励振電極の一部)と接続(導通)されていることから、外部からのノイズや浮遊容量(寄生容量)などに対して無防備な構成となっている(換言すれば、ノイズや浮遊容量などの影響を受けやすい構成となっている)。
上記振動デバイスは、上述した外部からのノイズや浮遊容量などの影響により、圧電振動板の振動状態が不安定となり、振動周波数(共振周波数)がばらつくことから、振動特性が劣化する虞がある。
上記振動デバイスは、上述した外部からのノイズや浮遊容量などの影響により、圧電振動板の振動状態が不安定となり、振動周波数(共振周波数)がばらつくことから、振動特性が劣化する虞がある。
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
[適用例1]本適用例にかかる振動デバイスは、励振電極が設けられている振動部と、前記振動部の外縁に連結され、平面視で前記振動部の外縁を囲むように設けられている枠部と、前記振動部の主面を覆うように、前記枠部の主面に固定され、前記励振電極と電気的に接続されている導電性を有する蓋体と、前記導電性を有する前記蓋体と絶縁された状態で前記蓋体の上に積層されている導電性を有する導電層と、を備えていることを特徴とする。
これによれば、振動デバイスは、振動部の主面を覆うように枠部の主面に固定され、引出電極と電気的に接続されている導電性を有する蓋体と、蓋体と絶縁された状態で蓋体の上に積層されている導電性を有する導電層と、を備えている。
このことから、振動デバイスは、電子機器などの外部部材への実装の際に、導電層を接地することで、導電性を有する導電層の遮蔽効果によって外部からのノイズや浮遊容量の影響を抑制することができる。
この結果、振動デバイスは、振動部の振動状態を安定化できることから、振動周波数(共振周波数)のばらつきを抑制し、振動特性を向上させることが可能となる。
このことから、振動デバイスは、電子機器などの外部部材への実装の際に、導電層を接地することで、導電性を有する導電層の遮蔽効果によって外部からのノイズや浮遊容量の影響を抑制することができる。
この結果、振動デバイスは、振動部の振動状態を安定化できることから、振動周波数(共振周波数)のばらつきを抑制し、振動特性を向上させることが可能となる。
[適用例2]上記適用例にかかる振動デバイスにおいて、前記蓋体が、前記枠部の両主面にそれぞれ固定されていることが好ましい。
これによれば、振動デバイスは、蓋体が枠部の両主面にそれぞれ固定されていることから、導電性を有する導電層の遮蔽効果によって外部からのノイズや浮遊容量の影響を更に抑制することができる。
この結果、振動デバイスは、振動部の振動状態を更に安定化できることから、振動周波数(共振周波数)のばらつきを更に抑制し、振動特性を更に向上させることが可能となる。
この結果、振動デバイスは、振動部の振動状態を更に安定化できることから、振動周波数(共振周波数)のばらつきを更に抑制し、振動特性を更に向上させることが可能となる。
[適用例3]上記適用例にかかる振動デバイスにおいて、前記導電層と前記蓋体との間に絶縁層が設けられていることが好ましい。
これによれば、振動デバイスは、導電層と蓋体との間に絶縁層が設けられていることから、導電層と蓋体との絶縁分離を確実に行うことができる。
[適用例4]上記適用例にかかる振動デバイスにおいて、前記蓋体の一部が平面視で露出していることが好ましい。
これによれば、振動デバイスは、蓋体の一部が平面視で露出していることから、蓋体と外部部材との電気的接続を容易に行うことができる。
[適用例5]上記適用例にかかる振動デバイスにおいて、前記蓋体及び前記導電層の少なくとも1つは、外部部材へ接触可能な腕部を備えていることが好ましい。
これによれば、振動デバイスは、蓋体及び導電層の少なくとも1つが、外部部材へ接触可能な腕部を備えていることから、電子機器などの外部部材への実装の際に、実装面から離れている蓋体及び導電層を、例えば、実装面まで延びている腕部を用いて実装することができる。
[適用例6]上記適用例にかかる振動デバイスにおいて、前記腕部は、平面視で前記枠部の外側に設けられ、前記枠部を挟んで反対側に固定されている前記蓋体側へ折れ曲がっていることが好ましい。
これによれば、振動デバイスは、腕部が平面視で枠部の外側に設けられ、枠部を挟んで反対側に固定されている蓋体側へ折れ曲がっていることから、電子機器などの外部部材への実装の際に、実装面から離れている蓋体及び導電層を、例えば、実装面まで届くように折れ曲がっている腕部を用いて表面実装することができる。
[適用例7]上記適用例にかかる振動デバイスにおいて、前記振動部は、前記枠部と1箇所で連結されていることが好ましい。
これによれば、振動デバイスは、振動部が1箇所で枠部と連結されていることから、例えば、振動部が全周で枠部と連結されている場合や、振動部が複数個所で枠部と連結されている場合と比較して、周囲の温度変化などに伴い枠部に発生する応力が振動部に伝達され難くなる。
この結果、振動デバイスは、振動特性を更に向上させることが可能となる。
この結果、振動デバイスは、振動特性を更に向上させることが可能となる。
[適用例8]上記適用例にかかる振動デバイスにおいて、前記蓋体の材料は、金属であることが好ましい。
これによれば、振動デバイスは、蓋体の材料が金属であることから、例えば、蓋体に複数個取りが可能な大版状の金属板を用いることで、他の材料(例えば、樹脂にメッキなどにより導電処理を施した材料)を用いた場合よりも、低コスト化を図ることが可能となる。
[適用例9]上記適用例にかかる振動デバイスにおいて、前記導電層の材料は、金属であることが好ましい。
これによれば、振動デバイスは、導電層の材料が金属であることから、例えば、導電層に複数個取りが可能な大版状の金属板を用いることで、他の材料(例えば、樹脂にメッキなどにより導電処理を施した材料)を用いた場合よりも、低コスト化を図ることが可能となる。
[適用例10]本適用例にかかる振動デバイスモジュールは、上記適用例のいずれかに記載の振動デバイスと、前記振動部を駆動する駆動回路が設けられている半導体装置と、を備え、前記導電層はアース端子に電気的に接続されていることを特徴とする。
これによれば、本構成の振動デバイスモジュールは、上記適用例のいずれかに記載の振動デバイスと、振動部を駆動する駆動回路が設けられている半導体装置と、を備え、導電層がアース端子に電気的に接続されていることから、上記適用例のいずれかに記載の効果が反映された振動デバイスモジュールを提供することができる。
[適用例11]上記適用例にかかる振動デバイスモジュールにおいて、前記振動デバイスは、前記半導体装置に搭載されていることが好ましい。
これによれば、振動デバイスモジュールは、振動デバイスが半導体装置に搭載されていることから、半導体装置と振動デバイスとを並べて配置する場合よりも、平面サイズを小型化することができる。
[適用例12]本適用例にかかる電子機器は、上記適用例のいずれかに記載の振動デバイスを備え、前記導電層は接地されていることを特徴とする。
これによれば、本構成の電子機器は、上記適用例のいずれかに記載の振動デバイスを備え、振動デバイスの導電層が接地されていることから、上記適用例のいずれかに記載の効果が反映された振動デバイスモジュールを提供することができる。
[適用例13]本適用例にかかる移動体は、上記適用例のいずれかに記載の振動デバイスを備え、前記導電層は接地されていることを特徴とする。
これによれば、本構成の移動体は、上記適用例のいずれかに記載の振動デバイスを備え、振動デバイスの導電層が接地されていることから、上記適用例のいずれかに記載の効果が反映された移動体を提供することができる。
以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。
(第1実施形態)
最初に、振動デバイスの一例としての水晶振動子について説明する。
図1は、第1実施形態の水晶振動子の外観を示す模式斜視図である。図2は、図1の水晶振動子の概略構成を示す模式平断面図である。図2(a)は、図1の紙面上方から見た模式平面図であり、図2(b)は、図2(a)のA−A線での模式断面図である。なお、図2(a)を含む以下の模式平面図では、説明の便宜上、一部部品を省略してある。また、分かり易くするために、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。
最初に、振動デバイスの一例としての水晶振動子について説明する。
図1は、第1実施形態の水晶振動子の外観を示す模式斜視図である。図2は、図1の水晶振動子の概略構成を示す模式平断面図である。図2(a)は、図1の紙面上方から見た模式平面図であり、図2(b)は、図2(a)のA−A線での模式断面図である。なお、図2(a)を含む以下の模式平面図では、説明の便宜上、一部部品を省略してある。また、分かり易くするために、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。
図1、図2に示すように、水晶振動子1は、振動部としての水晶振動片10と、水晶振動片10を両側から覆う一対の導電性を有する蓋体20,21と、蓋体20に設けられている絶縁層22と、絶縁層22を挟んで蓋体20に積層されている導電性を有する導電層としてのシールド板30と、を備え、略直方体形状に構成されている。
水晶振動片10は、例えば、水晶の原石などから所定の角度で切り出されたATカット型であって、平面形状が略矩形状に形成され、厚みすべり振動が励振(励起)される振動部11と、振動部11の外縁に連結され、振動部11の厚みよりも厚く、平面視で振動部11の外縁を囲むように設けられている枠部12と、を備えている。
図2(b)に示すように、振動部11は、厚み方向において、枠部12の略中心部分に位置するように設けられている。
このように、本実施形態の水晶振動片10は、内側の振動部11が薄く、外側の枠部12が厚いことから、いわゆる逆メサ型の水晶振動片とも呼ばれている。
図2(b)に示すように、振動部11は、厚み方向において、枠部12の略中心部分に位置するように設けられている。
このように、本実施形態の水晶振動片10は、内側の振動部11が薄く、外側の枠部12が厚いことから、いわゆる逆メサ型の水晶振動片とも呼ばれている。
振動部11は、紙面左辺側の外縁に設けられた1個所の連結部13によって枠部12と連結されている。連結部13以外の振動部11と枠部12との間には、隙間が設けられている。振動部11の両主面14,15(水晶の原石などから所定の角度で切り出された面に沿った面)には、両主面14,15を殆ど覆うように、略矩形状の励振電極16,17が設けられている。
枠部12の両主面18,19(振動部11の両主面14,15に沿った面)には、励振電極16,17から連結部13を経由してそれぞれ延出した引出電極16a,17aが、周状(枠状)に設けられている。
励振電極16,17及び引出電極16a,17aは、蒸着、スパッタリングなどの技術を用いて、例えば、Crを下地層とし、その上にAuが積層された構成の金属被膜となっている。水晶振動片10は、フォトリソグラフィー及びエッチングなどの細密加工技術を用いて精度よく形成されている。
枠部12の両主面18,19(振動部11の両主面14,15に沿った面)には、励振電極16,17から連結部13を経由してそれぞれ延出した引出電極16a,17aが、周状(枠状)に設けられている。
励振電極16,17及び引出電極16a,17aは、蒸着、スパッタリングなどの技術を用いて、例えば、Crを下地層とし、その上にAuが積層された構成の金属被膜となっている。水晶振動片10は、フォトリソグラフィー及びエッチングなどの細密加工技術を用いて精度よく形成されている。
一対の蓋体20,21は、コバール(Fe、Ni、Coを含む合金)、42アロイ(Fe、Niを含む合金)などの金属板を用いて、平面形状が略矩形状に形成されている。
一対の蓋体20,21は、水晶振動片10の振動部11を覆うようにして、枠部12の両主面18,19(引出電極16a,17a)に気密に固定されている。詳述すれば、蓋体20は、枠部12の主面18(引出電極16a)に気密に固定され、蓋体21は、枠部12の主面19(引出電極17a)に気密に固定されている。
なお、この固定には、一対の蓋体20,21の枠部12側の主面にAuなどの金属被膜を設けた上で、Au/Sn合金などを用いた共晶接合(液相拡散接合)法などを用いることができる。これにより、一対の蓋体20,21は、引出電極16a,17aと電気的に接続されていることとなる。詳述すれば、蓋体20は、引出電極16aと気密に接合(固定)されていると共に電気的に接続され、蓋体21は、引出電極17aと気密に接合されていると共に電気的に接続されている。
一対の蓋体20,21は、水晶振動片10の振動部11を覆うようにして、枠部12の両主面18,19(引出電極16a,17a)に気密に固定されている。詳述すれば、蓋体20は、枠部12の主面18(引出電極16a)に気密に固定され、蓋体21は、枠部12の主面19(引出電極17a)に気密に固定されている。
なお、この固定には、一対の蓋体20,21の枠部12側の主面にAuなどの金属被膜を設けた上で、Au/Sn合金などを用いた共晶接合(液相拡散接合)法などを用いることができる。これにより、一対の蓋体20,21は、引出電極16a,17aと電気的に接続されていることとなる。詳述すれば、蓋体20は、引出電極16aと気密に接合(固定)されていると共に電気的に接続され、蓋体21は、引出電極17aと気密に接合されていると共に電気的に接続されている。
蓋体20の枠部12側とは反対側の主面20aには、絶縁層22が設けられている。絶縁層22には、シリコーン系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂などの絶縁性を有する樹脂が用いられている。絶縁層22は、印刷、コーティングまたはフィルム貼付などの方法で形成されている。
シールド板30は、絶縁層22を挟んで蓋体20に積層されている。シールド板30には、蓋体20と同様に、コバール、42アロイなどの金属板が用いられている。シールド板30は、絶縁層22自体を接着剤として用いる接合方法や、別途接着剤などの接合部材を用いる接合方法などにより、絶縁層22に接合(固定)されている。
なお、シールド板30の材料としては、熱応力などを抑制する観点から、蓋体20と同材料か、蓋体20と線膨張係数(熱膨張率)が同等または近似する材料を用いることが好ましい。
シールド板30は、絶縁層22を挟んで蓋体20に積層されている。シールド板30には、蓋体20と同様に、コバール、42アロイなどの金属板が用いられている。シールド板30は、絶縁層22自体を接着剤として用いる接合方法や、別途接着剤などの接合部材を用いる接合方法などにより、絶縁層22に接合(固定)されている。
なお、シールド板30の材料としては、熱応力などを抑制する観点から、蓋体20と同材料か、蓋体20と線膨張係数(熱膨張率)が同等または近似する材料を用いることが好ましい。
図1に示すように、シールド板30は、両短辺の略中心部に半円状の切り欠き31,32が設けられている。これに伴い、水晶振動子1は、絶縁層22にも同様の切り欠きが設けられていることとなる。
蓋体20の主面20aにおける上記切り欠き31により露出した部分には、電子機器などの外部部材に実装する際に用いられる略矩形状の電極パッド23が設けられている。
一方、シールド板30の主面30a(蓋体20側とは反対側の面)には、電極パッド23と同様に、外部部材に実装する際に用いられる略矩形状の電極パッド24が設けられている。電極パッド23,24は、Auなどの金属被膜で構成されている。
なお、電極パッド23,24は、水晶振動子1を外部部材へ実装する際に、例えば、ワイヤーボンディング法を用いた場合のワイヤーボンディングの固定強度を向上させる観点から、平面視で水晶振動片10の枠部12と重なる位置に設けられていることが好ましい。
蓋体20の主面20aにおける上記切り欠き31により露出した部分には、電子機器などの外部部材に実装する際に用いられる略矩形状の電極パッド23が設けられている。
一方、シールド板30の主面30a(蓋体20側とは反対側の面)には、電極パッド23と同様に、外部部材に実装する際に用いられる略矩形状の電極パッド24が設けられている。電極パッド23,24は、Auなどの金属被膜で構成されている。
なお、電極パッド23,24は、水晶振動子1を外部部材へ実装する際に、例えば、ワイヤーボンディング法を用いた場合のワイヤーボンディングの固定強度を向上させる観点から、平面視で水晶振動片10の枠部12と重なる位置に設けられていることが好ましい。
水晶振動子1は、水晶振動片10の枠部12と一対の蓋体20,21とにより囲まれ、気密に封止された内部空間が、減圧された真空状態(真空度の高い状態)または窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが充填された状態となっている。
図2(b)に示すように、水晶振動子1は、例えば、電子機器などの外部部材の実装面40に実装される。詳述すると、水晶振動子1は、引出電極17aと電気的に接続されている蓋体21が、実装面40の実装端子41に、図示しないハンダ、導電性接着剤などの導電性の接合部材で接続され、引出電極16aと電気的に接続されている蓋体20が、実装面40の実装端子42に接続され、シールド板30が実装面40の実装端子43に接続される。
蓋体20は、ワイヤーボンディング法を用いて電極パッド23が金属ワイヤー44により実装端子42と電気的に接続され、シールド板30は、同様にワイヤーボンディング法を用いて電極パッド24が金属ワイヤー45により実装端子43と電気的に接続される。なお、実装端子43は、アース(接地)端子である。
蓋体20は、ワイヤーボンディング法を用いて電極パッド23が金属ワイヤー44により実装端子42と電気的に接続され、シールド板30は、同様にワイヤーボンディング法を用いて電極パッド24が金属ワイヤー45により実装端子43と電気的に接続される。なお、実装端子43は、アース(接地)端子である。
水晶振動子1は、実装端子41に一方の駆動信号が供給され、実装端子42に他方の駆動信号が供給されることにより、一対の蓋体20,21、引出電極16a,17aを経由して励振電極16,17に駆動信号が到達し、水晶振動片10の振動部11が厚みすべり振動を励振されて所定の周波数で共振(発振)し、一対の蓋体20,21から共振信号(発振信号)が出力される。
このとき、水晶振動子1は、シールド板30がアース端子である実装端子43と電気的に接続されていることから、外部からのノイズや浮遊容量による振動部11の振動に及ぼす影響を、シールド板30の遮蔽効果によって抑制することができる。
このとき、水晶振動子1は、シールド板30がアース端子である実装端子43と電気的に接続されていることから、外部からのノイズや浮遊容量による振動部11の振動に及ぼす影響を、シールド板30の遮蔽効果によって抑制することができる。
図3は、複数個取りされている状態の水晶振動子を示す模式平断面図である。図3(a)は、模式平面図であり、図3(b)は、図3(a)のB−B線での断面図である。
図3に示すように、水晶振動子1は、個別に製造する以外に、枠部12同士を繋げることで、水晶ウエハーに複数個取りされた水晶振動片10に、蓋体20,21及びシールド板30が複数個取り可能な大版状の金属板(絶縁層22を含む)を固定後、個片に分割することで、複数個を一括して製造することも可能である。
図3に示すように、水晶振動子1は、個別に製造する以外に、枠部12同士を繋げることで、水晶ウエハーに複数個取りされた水晶振動片10に、蓋体20,21及びシールド板30が複数個取り可能な大版状の金属板(絶縁層22を含む)を固定後、個片に分割することで、複数個を一括して製造することも可能である。
複数個取りされている水晶振動子1は、ダイシングや、レーザービーム、電子ビームなどの照射により、図3に2点鎖線で示す分割線50で切断されることによって、個片に分割される。この際、シールド板30の半円形状の切り欠き31,32は、円形状の貫通孔33が、その中心を通る分割線50で2分割されることにより形成される。
なお、複数個取りされている水晶振動子1は、切断時の衝撃、歪みなどの影響を抑制するために、水晶振動片10の枠部12同士の繋ぎ目に予め両主面18,19側から凹部を設けて、繋ぎ目を薄く形成しておいてもよい。
なお、複数個取りされている水晶振動子1は、切断時の衝撃、歪みなどの影響を抑制するために、水晶振動片10の枠部12同士の繋ぎ目に予め両主面18,19側から凹部を設けて、繋ぎ目を薄く形成しておいてもよい。
上述したように、第1実施形態の水晶振動子1は、水晶振動片10の振動部11を覆うように枠部12の両主面18,19に固定され、引出電極16a,17aと電気的に接続されている一対の蓋体20,21と、蓋体20の枠部12側とは反対側の主面20aに、絶縁層22を挟んで積層されている導電性を有するシールド板30とを備えている。
このことから、水晶振動子1は、電子機器などの外部部材への実装の際に、シールド板30を接地することで、導電性を有するシールド板30の遮蔽効果によって、外部からのノイズや浮遊容量による振動部11の振動への影響を抑制することができる。
この結果、水晶振動子1は、振動部11の振動状態を安定化できることから、水晶振動片10の振動周波数(共振周波数)のばらつきを抑制し、振動特性を向上させることが可能となる。
このことから、水晶振動子1は、電子機器などの外部部材への実装の際に、シールド板30を接地することで、導電性を有するシールド板30の遮蔽効果によって、外部からのノイズや浮遊容量による振動部11の振動への影響を抑制することができる。
この結果、水晶振動子1は、振動部11の振動状態を安定化できることから、水晶振動片10の振動周波数(共振周波数)のばらつきを抑制し、振動特性を向上させることが可能となる。
また、水晶振動子1は、振動部11が1個所の連結部13で枠部12と連結されていることから、例えば、振動部11が全周で枠部12と連結されている場合や、振動部11が複数個所で枠部12と連結されている場合と比較して、周囲の温度変化などに伴い枠部12に発生する応力(熱応力)が、振動部11に伝達され難くなる。
この結果、水晶振動子1は、振動特性を更に向上させることが可能となる。
この結果、水晶振動子1は、振動特性を更に向上させることが可能となる。
また、水晶振動子1は、一対の蓋体20,21及びシールド板30の材料が金属であることから、一対の蓋体20,21及びシールド板30に、複数個取りが可能な大版状の金属板を用いることで、複数個取りされた水晶振動片10と組み合わせることにより、一括して複数個の水晶振動子1を製造することが可能となる。
これにより、水晶振動子1は、一対の蓋体20,21及びシールド板30に、例えば、個別に成型した樹脂の表面に、メッキなどにより導電処理を施して導電性を有するようにした材料などを用いた場合よりも、低コスト化を図ることが可能となる。
これにより、水晶振動子1は、一対の蓋体20,21及びシールド板30に、例えば、個別に成型した樹脂の表面に、メッキなどにより導電処理を施して導電性を有するようにした材料などを用いた場合よりも、低コスト化を図ることが可能となる。
また、水晶振動子1は、シールド板30と蓋体20との間に絶縁層22が設けられていることから、シールド板30と蓋体20との絶縁分離を確実に行うことができる。
また、水晶振動子1は、シールド板30の切り欠き31により蓋体20の一部が平面視で露出していることから、蓋体20の露出部分に電極パッド23を設けることで、蓋体20と外部部材との電気的接続を容易に行うことができる。
なお、シールド板30を個別に製造する場合には、長手方向の寸法を蓋体20よりも小さくした矩形状でもよいことから、切り欠き31,32は、なくてもよい。
また、水晶振動子1は、シールド板30の切り欠き31により蓋体20の一部が平面視で露出していることから、蓋体20の露出部分に電極パッド23を設けることで、蓋体20と外部部材との電気的接続を容易に行うことができる。
なお、シールド板30を個別に製造する場合には、長手方向の寸法を蓋体20よりも小さくした矩形状でもよいことから、切り欠き31,32は、なくてもよい。
(第2実施形態)
次に、第2実施形態の振動デバイスの一例としての水晶振動子について説明する。
図4は、第2実施形態の水晶振動子の外観を示す模式斜視図である。図5は、図4の水晶振動子の概略構成を示す模式平断面図である。図5(a)は、図4の紙面下方から見た模式平面図であり、図5(b)は、図4(a)のA−A線での模式断面図であり、図5(c)は、図5(b)のC部の模式拡大図である。
なお、第1実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第1実施形態と異なる部分を中心に説明する。
次に、第2実施形態の振動デバイスの一例としての水晶振動子について説明する。
図4は、第2実施形態の水晶振動子の外観を示す模式斜視図である。図5は、図4の水晶振動子の概略構成を示す模式平断面図である。図5(a)は、図4の紙面下方から見た模式平面図であり、図5(b)は、図4(a)のA−A線での模式断面図であり、図5(c)は、図5(b)のC部の模式拡大図である。
なお、第1実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第1実施形態と異なる部分を中心に説明する。
図4、図5に示すように、第2実施形態の水晶振動子2は、第1実施形態の水晶振動子1の構成に、導電性を有する導電層としてのシールド板34と、絶縁層25とが加えられている。
水晶振動子2は、蓋体21の枠部12側とは反対側の主面21aに、絶縁層25を挟んでシールド板34が積層されている。なお、シールド板34、絶縁層25の材料、固定方法などは、それぞれシールド板30、絶縁層22と同様である。
水晶振動子2は、蓋体21の枠部12側とは反対側の主面21aに、絶縁層25を挟んでシールド板34が積層されている。なお、シールド板34、絶縁層25の材料、固定方法などは、それぞれシールド板30、絶縁層22と同様である。
シールド板34の一方の短辺側には、絶縁層25を含んで略矩形状に切り取られた切り欠き35が形成され、蓋体21の主面21aの一部が露出されている。この主面21aの露出部分には、外部部材への実装の際に用いられる突起電極26が設けられている。
突起電極26は、蓋体21の主面21aから、枠部12側とは反対側(外部側)に向かって突出した形状であって、弾性を有する樹脂製の樹脂突起27と、樹脂突起27の表面を覆う導電性被膜28と、を備えている。
突起電極26は、蓋体21の短辺に沿って延在し、図5(b)、図5(c)に示すように、延在方向と直交する方向の断面形状が、略半円状となっている。なお、突起電極26は、シールド板34よりも外部側に突出するように設けられている。
突起電極26の導電性被膜28は、樹脂突起27を覆うと共に蓋体21の主面21aまで延在し、平面形状が略矩形に形成されている。
突起電極26は、蓋体21の短辺に沿って延在し、図5(b)、図5(c)に示すように、延在方向と直交する方向の断面形状が、略半円状となっている。なお、突起電極26は、シールド板34よりも外部側に突出するように設けられている。
突起電極26の導電性被膜28は、樹脂突起27を覆うと共に蓋体21の主面21aまで延在し、平面形状が略矩形に形成されている。
樹脂突起27は、ポリイミドなどの弾性樹脂材料を蓋体21の主面21aにコーティングし、フォトリソグラフィーなどのパターニング処理を行うことによって形成される。
なお、樹脂突起27の材料としては、ポリイミド樹脂以外に、シリコーン変性ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン変性エポキシ樹脂、アクリル樹脂、フェノール樹脂、シリコーン樹脂、変性ポリイミド樹脂、ベンゾシクロブテン、ポリベンゾオキサゾールなどの樹脂を用いてもよい。
なお、樹脂突起27の材料としては、ポリイミド樹脂以外に、シリコーン変性ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン変性エポキシ樹脂、アクリル樹脂、フェノール樹脂、シリコーン樹脂、変性ポリイミド樹脂、ベンゾシクロブテン、ポリベンゾオキサゾールなどの樹脂を用いてもよい。
樹脂突起27の表面に形成された導電性被膜28は、Au、TiW、Cu、Ni、Pd、Al、Cr、Ti、W、NiV、鉛フリーハンダなどの導電性金属を、蒸着、スパッタリングなどによって成膜し、適宜のパターニング処理を適用することによって形成される。また、導電性被膜28は、Cu、Ni、Alなどで構成された下地の被膜の表面を更にAuメッキなどで被覆し、導電性能を高めることも可能である。
これらにより、突起電極26は、蓋体21と電気的に接続されていることとなる。なお、突起電極26は、水晶振動子2を外部部材へ実装する際に、蓋体21の変形を回避する観点から、平面視で水晶振動片10の枠部12と重なる位置に設けられていることが好ましい。
これらにより、突起電極26は、蓋体21と電気的に接続されていることとなる。なお、突起電極26は、水晶振動子2を外部部材へ実装する際に、蓋体21の変形を回避する観点から、平面視で水晶振動片10の枠部12と重なる位置に設けられていることが好ましい。
図5(b)、図5(c)に示すように、水晶振動子2は、例えば、電子機器などの外部部材の実装面40に実装される。
詳述すると、水晶振動子2は、シールド板34が実装面40の実装端子46に、図示しないハンダ、導電性接着剤などの導電性の接合部材で接続される。このとき、引出電極17aと電気的に接続されている蓋体21の主面21aに設けられている突起電極26が、実装面40の実装端子41に押圧された状態で電気的に接続される。この際、突起電極26は、樹脂突起27の弾性により、図5(c)に2点鎖線で示すような形状に変形する。
そして、水晶振動子2は、引出電極16aと電気的に接続されている蓋体20が、金属ワイヤー44によって実装面40の実装端子42に接続され、シールド板30が金属ワイヤー45によって実装面40の実装端子43に接続される。なお、実装端子46は、アース(接地)端子である。
詳述すると、水晶振動子2は、シールド板34が実装面40の実装端子46に、図示しないハンダ、導電性接着剤などの導電性の接合部材で接続される。このとき、引出電極17aと電気的に接続されている蓋体21の主面21aに設けられている突起電極26が、実装面40の実装端子41に押圧された状態で電気的に接続される。この際、突起電極26は、樹脂突起27の弾性により、図5(c)に2点鎖線で示すような形状に変形する。
そして、水晶振動子2は、引出電極16aと電気的に接続されている蓋体20が、金属ワイヤー44によって実装面40の実装端子42に接続され、シールド板30が金属ワイヤー45によって実装面40の実装端子43に接続される。なお、実装端子46は、アース(接地)端子である。
水晶振動子2は、実装端子41に一方の駆動信号が供給され、実装端子42に他方の駆動信号が供給されることにより、一対の蓋体20,21、引出電極16a,17aを経由して励振電極16,17に駆動信号が到達し、水晶振動片10の振動部11が厚みすべり振動を励振されて所定の周波数で共振(発振)し、一対の蓋体20,21から共振信号(発振信号)が出力される。
このとき、水晶振動子2は、シールド板30がアース端子である実装端子43と電気的に接続されると共に、シールド板34がアース端子である実装端子46と電気的に接続されていることから、外部からのノイズや浮遊容量による振動部11の振動に及ぼす影響を、シールド板30,34の遮蔽効果によって更に抑制することができる。
このとき、水晶振動子2は、シールド板30がアース端子である実装端子43と電気的に接続されると共に、シールド板34がアース端子である実装端子46と電気的に接続されていることから、外部からのノイズや浮遊容量による振動部11の振動に及ぼす影響を、シールド板30,34の遮蔽効果によって更に抑制することができる。
上述したように、第2実施形態の水晶振動子2は、シールド板30に加えてシールド板34を備えていることから、外部からのノイズや浮遊容量による振動部11の振動に及ぼす影響を、第1実施形態の水晶振動子1よりも、更に抑制することができる。
この結果、水晶振動子2は、振動部11の振動状態を更に安定化できることから、水晶振動片10の振動周波数(共振周波数)のばらつきを更に抑制し、振動特性を更に向上させることが可能となる。
この結果、水晶振動子2は、振動部11の振動状態を更に安定化できることから、水晶振動片10の振動周波数(共振周波数)のばらつきを更に抑制し、振動特性を更に向上させることが可能となる。
なお、突起電極26は、蓋体21に代えて、外部部材の実装面40に設けられている構成としてもよい。これによれば、水晶振動子2は、外部部材の実装面40に設けられた突起電極26(実装端子41に相当)が蓋体21の主面21aに押圧されることにより、上記と同様の効果を得ることができる。
なお、シールド板34の他方の短辺側に設けられている切り欠き36は、第1実施形態の水晶振動子1と同様に、水晶振動子2を複数個取りする上で、隣接する水晶振動子2同士の切り欠き35と切り欠き36とにより、1つの略矩形状の貫通孔を形成するために設けられている。
したがって、シールド板34を個別に製造する場合には、長手方向の寸法を蓋体21よりも小さくした矩形状でもよいことから、切り欠き35,36は、なくてもよい。
なお、水晶振動子2の振動特性に支障がなければ、シールド板30(電極パッド24を含む)は、なくてもよい。
したがって、シールド板34を個別に製造する場合には、長手方向の寸法を蓋体21よりも小さくした矩形状でもよいことから、切り欠き35,36は、なくてもよい。
なお、水晶振動子2の振動特性に支障がなければ、シールド板30(電極パッド24を含む)は、なくてもよい。
(第3実施形態)
次に、第3実施形態の振動デバイスの一例としての水晶振動子について説明する。
図6は、第3実施形態の水晶振動子の外観を示す模式斜視図である。なお、第3実施形態の水晶振動子3の内部構成は、第1実施形態及び第2実施形態と同様である。
次に、第3実施形態の振動デバイスの一例としての水晶振動子について説明する。
図6は、第3実施形態の水晶振動子の外観を示す模式斜視図である。なお、第3実施形態の水晶振動子3の内部構成は、第1実施形態及び第2実施形態と同様である。
図6に示すように、第3実施形態の水晶振動子3は、蓋体20及びシールド板30に、外部部材へ接触可能な腕部29,37を備えている。
蓋体20の腕部29は、平面視で水晶振動片10の枠部12の外側に設けられ、枠部12の長辺に沿って延びている。そして、腕部29は、枠部12を挟んで蓋体20の反対側に固定されている蓋体21側へ折り曲げられている。なお、腕部29の先端部29aは、蓋体21よりも紙面下方へ突出するように形成されている。
蓋体20の腕部29は、平面視で水晶振動片10の枠部12の外側に設けられ、枠部12の長辺に沿って延びている。そして、腕部29は、枠部12を挟んで蓋体20の反対側に固定されている蓋体21側へ折り曲げられている。なお、腕部29の先端部29aは、蓋体21よりも紙面下方へ突出するように形成されている。
同様に、シールド板30の腕部37は、平面視で水晶振動片10の枠部12の外側に設けられ、枠部12の長辺に沿って延びている。そして、腕部37は、枠部12を挟んで蓋体20の反対側に固定されている蓋体21側へ折り曲げられている。なお、腕部37の先端部37aは、蓋体21よりも紙面下方へ突出するように形成されている。
シールド板30の腕部37は、水晶振動片10を挟んで蓋体20の腕部29の反対側に設けられている。
シールド板30の腕部37は、水晶振動片10を挟んで蓋体20の腕部29の反対側に設けられている。
水晶振動子3は、例えば、電子機器などの外部部材の実装面40に実装される。
詳述すると、水晶振動子3は、蓋体21が実装面40の実装端子41に、図示しないハンダ、導電性接着剤などの導電性の接合部材で電気的に接続される。この際、引出電極16aと電気的に接続されている蓋体20の腕部29が、実装面40の実装端子42に接触することで電気的に接続され、シールド板30の腕部37が実装面40の実装端子43に接触することで電気的に接続される。
このとき、蓋体20の腕部29及びシールド板30の腕部37は、弾性により先端部29a,37aに押圧力(実装端子42,43へ押し付ける力)が加わっていることから、先端部29a,37aをハンダ、導電性接着剤などの導電性の接合部材で実装端子42,43へ接合しなくても、電気的な接続が可能となる。
詳述すると、水晶振動子3は、蓋体21が実装面40の実装端子41に、図示しないハンダ、導電性接着剤などの導電性の接合部材で電気的に接続される。この際、引出電極16aと電気的に接続されている蓋体20の腕部29が、実装面40の実装端子42に接触することで電気的に接続され、シールド板30の腕部37が実装面40の実装端子43に接触することで電気的に接続される。
このとき、蓋体20の腕部29及びシールド板30の腕部37は、弾性により先端部29a,37aに押圧力(実装端子42,43へ押し付ける力)が加わっていることから、先端部29a,37aをハンダ、導電性接着剤などの導電性の接合部材で実装端子42,43へ接合しなくても、電気的な接続が可能となる。
この結果、水晶振動子3は、外部部材への実装が容易となる。加えて、水晶振動子3は、第1実施形態及び第2実施形態と比較して、ワイヤーボンディングによる実装が不要となり、腕部29,37を用いた表面実装が可能なことから、外部部材への実装の生産性を向上させることができる。
なお、水晶振動子3に第2実施形態の構成を組み合わせてもよい。例えば、水晶振動子3は、蓋体21側に突起電極26、絶縁層25、シールド板34を備えていてもよい。
なお、水晶振動子3に第2実施形態の構成を組み合わせてもよい。例えば、水晶振動子3は、蓋体21側に突起電極26、絶縁層25、シールド板34を備えていてもよい。
(第4実施形態)
次に、第4実施形態の振動デバイスモジュールの一例としての水晶発振器について説明する。
図7は、第4実施形態の水晶発振器の要部を示す模式斜視図である。
次に、第4実施形態の振動デバイスモジュールの一例としての水晶発振器について説明する。
図7は、第4実施形態の水晶発振器の要部を示す模式斜視図である。
図7に示すように、第4実施形態の水晶発振器5は、上記各実施形態のいずれかに記載の水晶振動子(ここでは1とする)と、水晶振動子1を駆動する駆動回路(発振回路)が設けられている半導体装置としてのICチップ60と、を備えている。
水晶発振器5は、水晶振動子1がICチップ60に搭載され、水晶振動子1の蓋体20が、金属ワイヤー44によってICチップ60の接続パッド61に電気的に接続され、蓋体21が図示しないハンダ、導電性接着剤などの導電性の接合部材によってICチップ60の接続パッド62に電気的に接続されている。そして、水晶発振器5は、シールド板30が金属ワイヤー45によってICチップ60のアース端子(GND端子)としての接続パッド63に電気的に接続されている。
水晶発振器5は、水晶振動子1がICチップ60に搭載され、水晶振動子1の蓋体20が、金属ワイヤー44によってICチップ60の接続パッド61に電気的に接続され、蓋体21が図示しないハンダ、導電性接着剤などの導電性の接合部材によってICチップ60の接続パッド62に電気的に接続されている。そして、水晶発振器5は、シールド板30が金属ワイヤー45によってICチップ60のアース端子(GND端子)としての接続パッド63に電気的に接続されている。
水晶発振器5は、ICチップ60の複数の接続パッド64が、金属ワイヤー47により複数のリードフレーム(リード端子)70に電気的に接続されている。なお、複数の接続パッド64のうちの1つは、アース端子であり、リードフレーム70を介して接地される。水晶発振器5は、リードフレーム70における外部部材への接続部(実装部)である先端部分を残して、トランスファーモールドなどにより、全体が図示しないモールド材により覆われている。
なお、水晶振動子1を搭載するICチップ60の搭載面には、接続パッド61,62,63,64領域を除いて図示しない絶縁層が設けられている。これにより、ICチップ60の図示しない配線パターンと蓋体21との短絡が回避されている。
なお、水晶振動子1を搭載するICチップ60の搭載面には、接続パッド61,62,63,64領域を除いて図示しない絶縁層が設けられている。これにより、ICチップ60の図示しない配線パターンと蓋体21との短絡が回避されている。
水晶発振器5は、外部からの入力によりICチップ60の駆動回路から駆動信号(発振信号)が接続パッド61,62を介して水晶振動子1へ出力されることによって、水晶振動子1の水晶振動片10が厚みすべり振動を励振されて所定の周波数で共振(発振)する。そして、水晶発振器5は、水晶振動子1の水晶振動片10からの共振信号(発振信号)が、ICチップ60を経てリードフレーム70から外部へ出力される。
このとき、水晶発振器5は、シールド板30がアース端子としての接続パッド63と電気的に接続されていることから、外部からのノイズや浮遊容量による水晶振動片10の振動に及ぼす影響を、シールド板30の遮蔽効果によって抑制することができる。
このとき、水晶発振器5は、シールド板30がアース端子としての接続パッド63と電気的に接続されていることから、外部からのノイズや浮遊容量による水晶振動片10の振動に及ぼす影響を、シールド板30の遮蔽効果によって抑制することができる。
上述したように、水晶発振器5は、水晶振動子1と、水晶振動子1を駆動する駆動回路(発振回路)が設けられているICチップ60と、を備え、シールド板30がアース端子としての接続パッド63に電気的に接続されていることから、第1実施形態に記載の効果が反映された(例えば、振動特性が向上した)水晶発振器を提供することができる。
また、水晶発振器5は、水晶振動子1がICチップ60に搭載されていることから、例えば、ICチップ60と水晶振動子1とを並べて配置する場合よりも、平面サイズを小型化することができる。
なお、水晶発振器5は、水晶振動子1に代えて、水晶振動子2または水晶振動子3を用いても、上記と同様の効果及び各実施形態特有の効果が反映された水晶発振器を提供することができる。
また、水晶発振器5は、水晶振動子1がICチップ60に搭載されていることから、例えば、ICチップ60と水晶振動子1とを並べて配置する場合よりも、平面サイズを小型化することができる。
なお、水晶発振器5は、水晶振動子1に代えて、水晶振動子2または水晶振動子3を用いても、上記と同様の効果及び各実施形態特有の効果が反映された水晶発振器を提供することができる。
(変形例)
次に、第4実施形態の水晶発振器の変形例について説明する。
図8は、第4実施形態の変形例の水晶発振器の要部を示す模式斜視図である。
次に、第4実施形態の水晶発振器の変形例について説明する。
図8は、第4実施形態の変形例の水晶発振器の要部を示す模式斜視図である。
図8に示すように、第4実施形態の水晶発振器6は、水晶振動子1(ここでは、便宜的に、電極パッド24をICチップ60側へ移動してある)とICチップ60とが、平面視で重ならないように並べて配置されている。
水晶発振器6は、水晶振動子1の蓋体21が、リードフレーム71に搭載されて、図示しないハンダ、導電性接着剤などの導電性の接合部材によってリードフレーム71と電気的に接続され、リードフレーム71とICチップ60の接続パッド62とが金属ワイヤー48により電気的に接続されている。
これにより、水晶振動子1の蓋体21は、ICチップ60の接続パッド62と電気的に接続されていることとなる。なお、水晶発振器6は、第4実施形態の水晶発振器5と同様に、水晶振動子1の蓋体20及びシールド板30が、金属ワイヤー44,45によって、それぞれICチップ60の接続パッド61,63と電気的に接続されている。
水晶発振器6は、水晶振動子1の蓋体21が、リードフレーム71に搭載されて、図示しないハンダ、導電性接着剤などの導電性の接合部材によってリードフレーム71と電気的に接続され、リードフレーム71とICチップ60の接続パッド62とが金属ワイヤー48により電気的に接続されている。
これにより、水晶振動子1の蓋体21は、ICチップ60の接続パッド62と電気的に接続されていることとなる。なお、水晶発振器6は、第4実施形態の水晶発振器5と同様に、水晶振動子1の蓋体20及びシールド板30が、金属ワイヤー44,45によって、それぞれICチップ60の接続パッド61,63と電気的に接続されている。
これによれば、変形例の水晶発振器6は、水晶振動子1とICチップ60とが、平面視で重ならないように並べて配置されていることから、第4実施形態の水晶発振器5よりも薄型化を図ることができる。また、水晶発振器6は、ICチップ60上の絶縁層も不要となることから、生産性を向上させることができる。
なお、水晶発振器6は、水晶振動子1に代えて、水晶振動子2または水晶振動子3を用いても、上記と同様の効果及び各実施形態特有の効果が反映された水晶発振器を提供することができる。
なお、水晶発振器6は、水晶振動子1に代えて、水晶振動子2または水晶振動子3を用いても、上記と同様の効果及び各実施形態特有の効果が反映された水晶発振器を提供することができる。
(第5実施形態)
次に、上述した水晶振動子を備えている電子機器として、携帯電話を一例に挙げて説明する。
図9は、第5実施形態の携帯電話を示す模式斜視図である。
携帯電話700は、上記各実施形態の水晶振動子(1〜3のいずれか)を備えている携帯電話である。
図9に示す携帯電話700は、上述した水晶振動子(1〜3のいずれか)を、例えば、基準クロック発振源などのタイミングデバイスとして用い、更に液晶表示装置701、複数の操作ボタン702、受話口703、及び送話口704を備えて構成されている。携帯電話700は、図示しないが水晶振動子(1〜3のいずれか)のシールド板(30,34)が接地されている(アース端子に接続されている)構成となっている。
なお、携帯電話700の形態は、図示のタイプに限定されるものではなく、いわゆるスマートフォンタイプでもよい。
これによれば、携帯電話700は、水晶振動子(1〜3のいずれか)を備えていることから、上記各実施形態で説明した効果が反映され、優れた性能を発揮することができる。
次に、上述した水晶振動子を備えている電子機器として、携帯電話を一例に挙げて説明する。
図9は、第5実施形態の携帯電話を示す模式斜視図である。
携帯電話700は、上記各実施形態の水晶振動子(1〜3のいずれか)を備えている携帯電話である。
図9に示す携帯電話700は、上述した水晶振動子(1〜3のいずれか)を、例えば、基準クロック発振源などのタイミングデバイスとして用い、更に液晶表示装置701、複数の操作ボタン702、受話口703、及び送話口704を備えて構成されている。携帯電話700は、図示しないが水晶振動子(1〜3のいずれか)のシールド板(30,34)が接地されている(アース端子に接続されている)構成となっている。
なお、携帯電話700の形態は、図示のタイプに限定されるものではなく、いわゆるスマートフォンタイプでもよい。
これによれば、携帯電話700は、水晶振動子(1〜3のいずれか)を備えていることから、上記各実施形態で説明した効果が反映され、優れた性能を発揮することができる。
上述した水晶振動子などの振動デバイスは、上記携帯電話700に限らず、電子ブック、パーソナルコンピューター、テレビ、デジタルスチールカメラ、ビデオカメラ、ビデオレコーダー、ナビゲーション装置、ページャー、電子手帳、電卓、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルを備えた機器などのタイミングデバイスとして好適に用いることができ、いずれの場合にも上記各実施形態で説明した効果が反映された電子機器を提供することができる。
(第6実施形態)
次に、上述した水晶振動子を備えている移動体として、自動車を一例に挙げて説明する。
図10は、第6実施形態の自動車を示す模式斜視図である。
自動車800は、上記各実施形態の水晶振動子(1〜3のいずれか)を、搭載されている各種電子制御式装置(例えば、電子制御式燃料噴射装置、電子制御式ABS装置、電子制御式一定速度走行装置など)の基準クロックを発生するタイミングデバイスとして用いている。自動車800は、図示しないが水晶振動子(1〜3のいずれか)のシールド板(30,34)が接地されている(アース端子に接続されている)構成となっている。
これによれば、自動車800は、水晶振動子(1〜3のいずれか)を備えていることから、上記各実施形態で説明した効果が反映され、優れた性能を発揮することができる。
次に、上述した水晶振動子を備えている移動体として、自動車を一例に挙げて説明する。
図10は、第6実施形態の自動車を示す模式斜視図である。
自動車800は、上記各実施形態の水晶振動子(1〜3のいずれか)を、搭載されている各種電子制御式装置(例えば、電子制御式燃料噴射装置、電子制御式ABS装置、電子制御式一定速度走行装置など)の基準クロックを発生するタイミングデバイスとして用いている。自動車800は、図示しないが水晶振動子(1〜3のいずれか)のシールド板(30,34)が接地されている(アース端子に接続されている)構成となっている。
これによれば、自動車800は、水晶振動子(1〜3のいずれか)を備えていることから、上記各実施形態で説明した効果が反映され、優れた性能を発揮することができる。
上述した水晶振動子などの振動デバイスは、上記自動車800に限らず、自走式ロボット、自走式搬送機器、列車、船舶、飛行機、人工衛星などを含む移動体のタイミングデバイスとして好適に用いることができ、いずれの場合にも上記各実施形態で説明した効果が反映された移動体を提供することができる。
なお、振動部(振動片)の材料としては、水晶に限定されるものではなく、LiTaO3(タンタル酸リチウム)、Li2B4O7(四ホウ酸リチウム)、LiNbO3(ニオブ酸リチウム)、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)、ZnO(酸化亜鉛)、AlN(窒化アルミニウム)などの圧電体、またはSi(シリコン)などの半導体でもよい。
また、厚みすべり振動の駆動方法は、圧電体の圧電効果によるものの他に、クーロン力による静電駆動であってもよい。
また、厚みすべり振動の駆動方法は、圧電体の圧電効果によるものの他に、クーロン力による静電駆動であってもよい。
1,2,3…振動デバイスとしての水晶振動子、5,6…振動デバイスモジュールとしての水晶発振器、10…振動部としての水晶振動片、11…振動部、12…枠部、13…連結部、14,15…振動部の主面、16,17…励振電極、16a,17a…引出電極、18,19…枠部の主面、20,21…蓋体、20a…主面、21a…主面、22…絶縁層、23,24…電極パッド、25…絶縁層、26…突起電極、27…樹脂突起、28…導電性被膜、29…腕部、29a…先端部、30…導電層としてのシールド板、30a…主面、31,32…切り欠き、33…貫通孔、34…導電層としてのシールド板、35,36…切り欠き、37…腕部、37a…先端部、40…実装面、41,42,43,46…実装端子、44,45,47,48…金属ワイヤー、50…分割線、60…半導体装置としてのICチップ、61,62,64…接続パッド、63…アース端子としての接続パッド、70,71…リードフレーム、700…電子機器としての携帯電話、701…液晶表示装置、702…操作ボタン、703…受話口、704…送話口、800…移動体としての自動車。
Claims (13)
- 励振電極が設けられている振動部と、
前記振動部の外縁に連結され、平面視で前記振動部の外縁を囲むように設けられている枠部と、
前記振動部の主面を覆うように、前記枠部の主面に固定され、前記励振電極と電気的に接続されている導電性を有する蓋体と、
前記導電性を有する前記蓋体と絶縁された状態で前記蓋体の上に積層されている導電性を有する導電層と、
を備えていることを特徴とする振動デバイス。 - 請求項1において、
前記蓋体が、前記枠部の両主面にそれぞれ固定されていることを特徴とする振動デバイス。 - 請求項1または2において、
前記導電層と前記蓋体との間に絶縁層が設けられていることを特徴とする振動デバイス。 - 請求項1ないし3のいずれか一項において、
前記蓋体の一部が平面視で露出していることを特徴とする振動デバイス。 - 請求項1ないし3のいずれか一項において、
前記蓋体及び前記導電層の少なくとも1つは、外部部材へ接触可能な腕部を備えていることを特徴とする振動デバイス。 - 請求項5において、
前記腕部は、
平面視で前記枠部の外側に設けられ、
前記枠部を挟んで反対側に固定されている前記蓋体側へ折れ曲がっていることを特徴とする振動デバイス。 - 請求項1ないし6のいずれか一項において、
前記振動部は、前記枠部と1箇所で連結されていることを特徴とする振動デバイス。 - 請求項1ないし7のいずれか一項において、
前記蓋体の材料は、金属であることを特徴とする振動デバイス。 - 請求項1ないし8のいずれか一項において、
前記導電層の材料は、金属であることを特徴とする振動デバイス。 - 請求項1ないし9のいずれか一項に記載の振動デバイスと、
前記振動部を駆動する駆動回路が設けられている半導体装置と、
を備え、
前記導電層はアース端子に電気的に接続されていることを特徴とする振動デバイスモジュール。 - 請求項10において、
前記振動デバイスは、前記半導体装置に搭載されていることを特徴とする振動デバイスモジュール。 - 請求項1ないし9のいずれか一項に記載の振動デバイスを備え、
前記導電層は接地されていることを特徴とする電子機器。 - 請求項1ないし9のいずれか一項に記載の振動デバイスを備え、
前記導電層は接地されていることを特徴とする移動体。
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JP2012112213A JP2013239947A (ja) | 2012-05-16 | 2012-05-16 | 振動デバイス、振動デバイスモジュール、電子機器及び移動体 |
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-
2012
- 2012-05-16 JP JP2012112213A patent/JP2013239947A/ja active Pending
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