JP2014017388A5 - - Google Patents
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Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012154354A JP5998688B2 (ja) | 2012-07-10 | 2012-07-10 | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器、移動体 |
| US13/936,570 US9252350B2 (en) | 2012-07-10 | 2013-07-08 | Oscillation piece, oscillator, electronic device, electronic apparatus, and mobile object |
| CN201310288176.7A CN103546115B (zh) | 2012-07-10 | 2013-07-10 | 振动片、振子、电子装置、电子设备、移动体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012154354A JP5998688B2 (ja) | 2012-07-10 | 2012-07-10 | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器、移動体 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014017388A JP2014017388A (ja) | 2014-01-30 |
| JP2014017388A5 true JP2014017388A5 (enExample) | 2015-08-13 |
| JP5998688B2 JP5998688B2 (ja) | 2016-09-28 |
Family
ID=49913409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012154354A Expired - Fee Related JP5998688B2 (ja) | 2012-07-10 | 2012-07-10 | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器、移動体 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9252350B2 (enExample) |
| JP (1) | JP5998688B2 (enExample) |
| CN (1) | CN103546115B (enExample) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017005925A (ja) * | 2015-06-12 | 2017-01-05 | セイコーエプソン株式会社 | モーター用圧電駆動装置、モーター、ロボット、およびポンプ |
| CN106253742B (zh) | 2015-06-12 | 2019-07-12 | 精工爱普生株式会社 | 马达用压电驱动装置、马达、机器人以及泵 |
| JP2017017916A (ja) | 2015-07-03 | 2017-01-19 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、ロボット及び圧電駆動装置の駆動方法 |
| EP3422147A1 (en) | 2017-06-28 | 2019-01-02 | Koninklijke Philips N.V. | Display apparatus for computer-mediated reality |
Family Cites Families (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57155824A (en) * | 1981-03-23 | 1982-09-27 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Quartz oscillator |
| WO1984003998A1 (en) * | 1983-04-01 | 1984-10-11 | Nise Errol Peter Eer | Doubling resonating beam force transducer with reduced longitudinal pumping |
| JPH0239887B2 (ja) | 1983-08-12 | 1990-09-07 | Toyo Communication Equip | Soonsagataatsudenkutsukyokushindoshinodenkyokukozo |
| JPH01501166A (ja) | 1986-07-01 | 1989-04-20 | セカ・ゲーエムベーハー | 振動型重量測定装置 |
| JPH07109970B2 (ja) | 1987-07-24 | 1995-11-22 | 東洋通信機株式会社 | 双音叉型圧電振動子の構造 |
| FR2640045B1 (fr) * | 1988-12-02 | 1991-03-08 | Sagem | Transducteur force-frequence a poutres vibrantes et accelerometre pendulaire en comportant application |
| JP4329492B2 (ja) * | 2003-10-28 | 2009-09-09 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片と圧電デバイスおよびこれらの製造方法、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
| JP5076657B2 (ja) | 2007-06-11 | 2012-11-21 | セイコーエプソン株式会社 | 応力感応型センサ用の双音叉型振動素子及び加速度検知ユニット |
| JP4990047B2 (ja) * | 2007-07-02 | 2012-08-01 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片及び圧電デバイス |
| JP5347397B2 (ja) | 2008-09-16 | 2013-11-20 | セイコーエプソン株式会社 | 双音叉型振動片 |
| JP2011059097A (ja) | 2009-08-10 | 2011-03-24 | Seiko Epson Corp | 双音叉型振動片、振動型センサー素子および振動型センサー |
| JP2011102772A (ja) * | 2009-11-11 | 2011-05-26 | Seiko Epson Corp | 圧力センサー |
| JP5633319B2 (ja) * | 2010-03-17 | 2014-12-03 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、センサー素子、センサーおよび電子機器 |
| JP2012044578A (ja) * | 2010-08-23 | 2012-03-01 | Seiko Epson Corp | 振動片、周波数調整方法、振動子、振動デバイス、および電子機器 |
| JP5581931B2 (ja) * | 2010-09-17 | 2014-09-03 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動片の製造方法、振動子、振動デバイスおよび電子機器 |
| JP5824202B2 (ja) * | 2010-09-29 | 2015-11-25 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイスおよび電子機器 |
| JP5534448B2 (ja) * | 2010-09-29 | 2014-07-02 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計 |
| JP5652155B2 (ja) * | 2010-11-24 | 2015-01-14 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、センサーユニット、電子機器、振動片の製造方法、および、センサーユニットの製造方法 |
| WO2012081457A1 (ja) * | 2010-12-15 | 2012-06-21 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ |
-
2012
- 2012-07-10 JP JP2012154354A patent/JP5998688B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-07-08 US US13/936,570 patent/US9252350B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2013-07-10 CN CN201310288176.7A patent/CN103546115B/zh not_active Expired - Fee Related
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