JP2014013800A - 静電チャックおよび静電チャックモジュール - Google Patents
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Abstract
基材に蓄積された残留電荷を確実に除去することのできる静電チャックを提供する。
【解決手段】
本発明の静電チャックCは、基材1の一面側に発熱部材4が配置され、基材1の他面側に電極2が配置されている。さらに、基材1の表面の一箇所または複数の箇所を除いて、発熱部材4と電極2と基材1を覆うように絶縁層5が設けられていて、電気的に接地されている導電性部材7が絶縁層5で覆われていない基材1の表面に固定されている。
【選択図】 図1
Description
静電チャックモジュールには、発熱部材4で発生された熱の利用効率を向上させる為の熱遮蔽シールド8が取り付けられているが、この熱遮蔽シールド8は必要に応じて支持台13に取り付けられるように構成しておけばいい。
2・・・電極
3・・・ウェハ
4・・・発熱部材
5・・・絶縁層
6・・・露出部
7・・・導電性部材
C・・・静電チャック
Claims (5)
- 導電性の基材の一面側に発熱部材が配置され、前記基材の他面側に静電吸着用の電極が配置された静電チャックであって、
前記基材の表面の一箇所または複数の箇所を除いて、前記発熱部材、前記電極および前記基材を覆う絶縁層と、
前記絶縁層で覆われていない前記基材の表面に少なくとも一部が固定されているとともに、他の部分が電気的に接地されている導電性部材と、を備えた静電チャック。 - 請求項1記載の静電チャックを備えた静電チャックモジュールであって、
電気的に接地され、前記絶縁層の下面を支持する支持台と、
前記静電チャックを前記電極が配置された側の面から視た時に、少なくとも前記絶縁層で覆われていない前記基材の表面と前記基材の前記発熱部材側の面を覆う前記絶縁層とを貫通する貫通孔と、
前記貫通孔に挿入されて、一端が前記基材の表面に固定されていて、他端が前記支持台に電気的に接続された導電性部材と、を備えた静電チャックモジュール。 - 前記導電性部材は、一端に前記貫通孔よりも大きい頭部を備えたボルトであって、
前記頭部が前記基材と電気的に接続されている請求項2記載の静電チャックモジュール。 - 前記頭部と前記基材の間には、ワッシャが配置されている請求項3記載の静電チャックモジュール。
- 前記ワッシャはカーボン製である請求項4記載の静電チャックモジュール。
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