JP2014007218A - 露光装置、露光システム、それらを用いたデバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】露光装置1は、照明光学系5からの光10を原版2に形成されたパターンに照射し、投影光学系4を介してパターンの像11を基板3上に露光する。この露光装置1は、基板3を保持し移動する基板ステージ7と、基板ステージ7に載置された基板3の表面の高さを計測して、基板3の表面形状を取得する計測部8と、基板3上に形成された最上層より下の層の表面の高さを計測部8を用いて計測して得られた表面形状データを用いて基板ステージ7のフォーカス方向位置を補正して基板3の最上層の露光処理の制御を行い、露光処理の制御と並行して計測部8に基板3の最上層の表面の高さを計測させる制御部9とを備える。
【選択図】図1
Description
まず、本発明の一実施形態に係る露光装置について説明する。図1は、本実施形態に係る露光装置1の構成を示す概略図である。この露光装置1は、一例として液晶表示装置の製造に用いられ、ステップ・アンド・スキャン方式にてマスク(原版)2に形成されているパターン(例えば回路パターン)をガラスプレート3上(基板上)に転写露光する走査型投影露光装置とする。なお、図1では、投影光学系4の光軸に平行にZ軸を取り、該Z軸に垂直な平面内で露光時のマスク2およびガラスプレート3の走査方向にY軸を取り、該Y軸に直交する非走査方向にX軸を取っている。露光装置1は、照明光学系5と、マスクステージ6と、投影光学系4と、基板ステージ7と、基板形状計測部8と、制御部9とを備える。照明光学系5は、例えばHgランプなどの光源を有し、マスク2に対してスリット状に成形された照明光10を照射する。マスクステージ6は、マスク2を保持しつつ可動であり、走査露光時には基板ステージ7の移動と同期し、相対的に移動する。投影光学系4は、基板ステージ7に保持されたガラスプレート3の表面上に、マスク2からの露光光(パターン像)11を投影、結像する。この投影光学系4は、不図示であるが、例えば、平面鏡、凹面鏡および凸面鏡などで構成されるオフナー光学系である。
次に、本発明の一実施形態のデバイス(半導体デバイス、液晶表示デバイス等)の製造方法について説明する。半導体デバイスは、ウエハに集積回路を作る前工程と、前工程で作られたウエハ上の集積回路チップを製品として完成させる後工程を経ることにより製造される。前工程は、前述の露光装置を使用して感光剤が塗布されたウエハを露光する工程と、ウエハを現像する工程を含む。後工程は、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)と、パッケージング工程(封入)を含む。液晶表示デバイスは、透明電極を形成する工程を経ることにより製造される。透明電極を形成する工程は、透明導電膜が蒸着されたガラス基板に感光剤を塗布する工程と、前述の露光装置を使用して感光剤が塗布されたガラス基板を露光する工程と、ガラス基板を現像する工程を含む。本実施形態のデバイス製造方法によれば、従来よりも高品位のデバイスを製造することができる。
2 マスク
3 ガラスプレート
4 投影光学系
5 照明光学系
7 基板ステージ
8 基板形状計測部
9 制御部
Claims (7)
- 照明光学系からの光を原版に形成されたパターンに照射し、投影光学系を介して前記パターンの像を基板上に露光する露光装置であって、
前記基板を保持し移動する基板ステージと、
前記基板ステージに載置された前記基板の表面の高さを計測して、前記基板の表面形状を取得する計測部と、
前記基板上に形成された最上層より下の層の表面の高さを前記計測部を用いて計測して得られた表面形状データを用いて前記基板ステージのフォーカス方向位置を補正して前記基板の最上層の露光処理の制御を行い、前記露光処理の制御と並行して前記計測部に前記基板の最上層の表面の高さを計測させる制御部と、
を備えることを特徴とする露光装置。 - 前記制御部は、前記基板を識別するための基板識別情報と、前記基板上に前記パターンがすでに何層目までの層として転写されているかを示す処理レイヤー情報とを、前記露光装置への前記基板の割り当てを外部から統括し制御するシステム制御部から取得し、前記基板識別情報および前記処理レイヤー情報に、前記計測部が先の露光処理にて計測した計測値を関連付けることで、任意の層での表面形状データを取得することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記制御部は、前記システム制御部からの前記基板識別情報および前記処理レイヤー情報の取得と、前記計測部からの前記計測値の取得とを実行し、前記表面形状データを管理する管理部と、
前記管理部で管理された前記表面形状データを記憶する記憶部と、
を含むことを特徴とする請求項2に記載の露光装置。 - 前記制御部は、前記露光処理に際し、参照すべき前記表面形状データが予め存在しない場合には、前記フォーカス方向位置の補正を実施させないことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記制御部は、前記最上層より1つ下の層の表面の高さを前記計測部を用いて計測して得られた表面形状データを用いて前記露光処理の制御を行うことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の露光装置。
- 少なくとも1つの露光装置と、該露光装置に対する基板の割り当てを統括し制御するシステム制御部とを含む露光システムであって、
前記露光装置は、請求項3に記載の露光装置であり、
前記システム制御部は、前記管理部と前記記憶部とを含む、
ことを特徴とする露光システム。 - 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
その露光した基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2015005666A (ja) * | 2013-06-21 | 2015-01-08 | キヤノン株式会社 | 露光装置、情報管理装置、露光システムおよびデバイス製造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2001338860A (ja) * | 2000-05-26 | 2001-12-07 | Nikon Corp | 露光方法及びデバイス製造方法 |
JP2004022655A (ja) * | 2002-06-13 | 2004-01-22 | Canon Inc | 半導体露光装置及びその制御方法、並びに半導体デバイスの製造方法 |
JP2010258085A (ja) * | 2009-04-22 | 2010-11-11 | Canon Inc | 面位置検出方法 |
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2012
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