JP2014005172A - 貫通孔形成方法及び貫通孔付きガラス基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガラス基板1の上面1a及び下面1bにクロム膜2,3を形成する第1工程と、上面に形成されたクロム膜をパターニングしてクロムマスク2aとする第2工程と、クロムマスク側を上とし、クロムマスク越しにガラス基板をその上面側からウェットエッチングして、ガラス基板上面から下面に向かって先細りのテーパ状の周壁部10aを有する貫通孔10を形成する第3工程と、を含む。
【選択図】図1
Description
Claims (3)
- ガラス基板にその厚さ方向に貫通する貫通孔を形成する貫通孔形成方法において、
ガラス基板の一方の面及び他方の面に金属膜を形成する第1工程と、
前記一方の面に形成された金属膜をパターニングして金属マスクとする第2工程と、
前記金属マスク側を上とし、前記金属マスク越しに前記ガラス基板をその上面側からウェットエッチングして、ガラス基板上面から下面に向かって先細りのテーパ状の周壁部を有する貫通孔を形成する第3工程と、を含むことを特徴とする貫通孔形成方法。 - ガラス基板下側の金属膜を保護する保護部材を設けることを特徴とする請求項1記載のガラス基板への貫通孔形成方法。
- ガラス基板にその厚さ方向に貫通する少なくとも1個の貫通孔が形成された貫通孔付きガラス基板において、
前記貫通孔は、前記ガラス基板の一方の面から他方の面に向かって先細りのテーパ状の周壁部を有し、この周壁部をなす線が変曲点を持つことなく前記他方の面に達していることを特徴とする貫通孔付きガラス基板。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP (1) | JP6007002B2 (ja) |
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