JP2014003181A - 基板搬送設備 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハWを保持して搬送するためのアーム3と、当該アーム3を昇降させるための昇降機構であるボールネジ4との間に、パーティクルを吸い込むためのガス吸い込み口53がボールネジ4側を向くように且つ当該ボールネジ4の長さ方向に沿って形成された局所排気ダクト50を配置する。また、このボールネジ4に対して局所排気ダクト50を近接配置する。
【選択図】図7
Description
基板を保持して搬送するための保持部と前記保持部を昇降させる昇降機構とを含む基板搬送機構と、
前記保持部によって基板が搬送される基板搬送領域と前記昇降機構との間に設けられ、当該昇降機構から発生するパーティクルを吸い込むためのガス吸い込み口がこの昇降機構側を向くように且つ当該昇降機構の長さ方向に沿って形成された排気ダクトと、
一端側が前記昇降機構に取り付けられると共に、他端側に前記保持部が設けられた昇降基体と、を備えたことを特徴とする。
前記排気ダクトから吸い込まれたガスが通過する循環路と、
この循環路を介して戻ってきたガスを基板搬送領域に供給して、前記基板搬送領域を介して前記排気ダクトに向かう層状の気流を形成するためのガス供給部と、を備えていても良い。
前記基板搬送領域には、基板を棚状に保持し、基板に熱処理を行う縦型の反応管内に搬入出するための基板保持具が配置され、
前記基板搬送機構は、前記基板保持具との間で基板を搬送するためのものであっても良い。
前記排気ダクトは、前記昇降機構を介して前記保持部が昇降する時における当該保持部上の基板の位置と、前記昇降機構との間に設けられていても良い。
前記排気ダクトと前記補助ダクトとは、これら排気ダクト及び補助ダクトの内部領域が互いに連通するように共通化されていても良い。
ここで、第2のガス供給部34に対向するガス回収ダクト36c、36dのうち手前側のガス回収ダクト36cにおいてガスの層流を形成するための部材(当該第2のガス供給部34、ガス回収ダクト36c、ファン42及びガス循環路41)を第1の層流形成部と呼ぶこととする。また、局所排気ダクト50を介してガスの層流を形成するための部材(当該局所排気ダクト50、第2のガス供給部34、ファン42及びガス循環路41)を第2の層流形成部と呼ぶこととすると、この例では、これら第1の層流形成部及び第2の層流形成部において、ファン42及びガス循環路41が共通化されていると言える。以上説明したアーム3、ボールネジ4及び局所排気ダクト50により基板搬送設備が構成される。
一方、基板搬送領域10a及び保持具待機領域10bでは、ガス供給部34、34によって層流が形成されていることから、例えばアーム3などにパーティクルが付着していたとしても、当該パーティクルの巻き上げが抑えられる。
1 ウエハボート
2 反応管
3 ウエハトランスファーアーム
4 ボールネジ
10 搬送領域
34 ガス供給部
35 ガス吐出口
36 ガス回収ダクト
37 ガス吸い込み口
50 局所排気ダクト
53 ガス吸い込み口
Claims (8)
- 基板を保持して搬送するための保持部と前記保持部を昇降させる昇降機構とを含む基板搬送機構と、
前記保持部によって基板が搬送される基板搬送領域と前記昇降機構との間に設けられ、当該昇降機構から発生するパーティクルを吸い込むためのガス吸い込み口がこの昇降機構側を向くように且つ当該昇降機構の長さ方向に沿って形成された排気ダクトと、
一端側が前記昇降機構に取り付けられると共に、他端側に前記保持部が設けられた昇降基体と、を備えたことを特徴とする基板搬送設備。 - 前記昇降機構は、ボールネジ機構であることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送設備。
- 前記排気ダクトから吸い込まれたガスが通過する循環路と、
この循環路を介して戻ってきたガスを基板搬送領域に供給して、前記基板搬送領域を介して前記排気ダクトに向かう層状の気流を形成するためのガス供給部と、を備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の基板搬送設備。 - 前記基板搬送領域には、基板を棚状に保持し、基板に熱処理を行う縦型の反応管内に搬入出するための基板保持具が配置され、
前記基板搬送機構は、前記基板保持具との間で基板を搬送するためのものであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の基板搬送設備。 - 前記排気ダクトは、前記昇降機構を介して前記保持部が昇降する時における当該保持部上の基板の位置と、前記昇降機構との間に設けられていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載の基板搬送設備。
- 前記昇降機構から前記保持部側を見た時における左右両側の側面のうち少なくとも一方の側面には、当該昇降機構から発生するパーティクルを吸い込むためのガス吸い込み口がこの昇降機構側を向くように且つ当該昇降機構の長さ方向に沿って形成された補助排気ダクトが配置されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一つに記載の基板搬送設備。
- 前記昇降機構から前記保持部側を見た時における左右両側面に前記ガス吸い込み口が形成されていることを特徴とする請求項6に記載の基板搬送設備。
- 前記排気ダクトと前記補助ダクトとは、これら排気ダクト及び補助ダクトの内部領域が互いに連通するように共通化されていることを特徴とする請求項6または7に記載の基板搬送設備。
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