JP2014003113A - 部品検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 縦エッジと横エッジとの焦点位置ズレを補正することで、部品検査の精度を高める。
【解決手段】 部品検査装置は、光透過性ミラープレートを用いて対象物に光を照射する同軸照明系と、同軸照明系から照射され前記対象物によって反射した光を撮像素子上に結像する結像レンズとを備えている。対象物と撮像素子との間には、焦点位置ズレ補正用の光学プレートが配置されている。光透過性ミラープレートは、結像レンズの光軸に直交する平面に対して傾斜している。光学プレートは、光軸を中心にして当該光透過性ミラープレートの傾斜位置から90度回転した位置で、結像レンズの光軸に直交する平面に対して光透過性ミラープレートと同角度で傾斜することで、対象物によって反射した光の光路上に存在する光学プレートを通過する距離と、前記光路上に存在する光透過性ミラープレートを通過する距離とが同等となるような構成としている。
【選択図】 図6
【解決手段】 部品検査装置は、光透過性ミラープレートを用いて対象物に光を照射する同軸照明系と、同軸照明系から照射され前記対象物によって反射した光を撮像素子上に結像する結像レンズとを備えている。対象物と撮像素子との間には、焦点位置ズレ補正用の光学プレートが配置されている。光透過性ミラープレートは、結像レンズの光軸に直交する平面に対して傾斜している。光学プレートは、光軸を中心にして当該光透過性ミラープレートの傾斜位置から90度回転した位置で、結像レンズの光軸に直交する平面に対して光透過性ミラープレートと同角度で傾斜することで、対象物によって反射した光の光路上に存在する光学プレートを通過する距離と、前記光路上に存在する光透過性ミラープレートを通過する距離とが同等となるような構成としている。
【選択図】 図6
Description
本発明は、部品検査装置に関する。
従来、電子部品を基板に実装する電子部品実装装置が知られている。
電子部品実装装置は、電子部品を吸着ノズルで吸着し、吸着ノズルを所定の実装位置まで移動させて電子部品を基板に取り付ける。ここで、電子部品実装装置には、電子部品を基板に実装する前に、吸着ノズルに対する電子部品の位置ズレ量を検出するため、電子部品を撮像する部品検査装置が搭載されている(例えば、特許文献1参照。)。
図18は、部品検査装置の概略構成を示す説明図であり、(a)は正面図、(b)は側面図である。図18に示すように、部品検査装置200には、図示しない吸着ノズルで吸引された電子部品201を下方から撮影する撮影装置202と、電子部品201に対して斜め下方の位置から光を照明する斜光照明部203(図18(b)では省略)と、撮影装置202の光軸に対して直交する方向に離れて配置された同軸照明部204と、撮影装置202の光軸上に配置されて同軸照明部204から照射された光を反射して電子部品201に照射する光透過性ミラープレート205とを備えている。撮影装置202には、斜光照明部203により照射された光が電子部品201によって反射され、光透過性ミラープレート205を介して入射する。さらに、撮影装置202には、同軸照明部204により照射された光が光透過性ミラープレート205によって電子部品201に向けて反射し、当該電子部品201を反射した光が光透過性ミラープレート205を介して入射する。これにより、明るく照らされた電子部品201を撮影できるようになっている。
電子部品実装装置は、電子部品を吸着ノズルで吸着し、吸着ノズルを所定の実装位置まで移動させて電子部品を基板に取り付ける。ここで、電子部品実装装置には、電子部品を基板に実装する前に、吸着ノズルに対する電子部品の位置ズレ量を検出するため、電子部品を撮像する部品検査装置が搭載されている(例えば、特許文献1参照。)。
図18は、部品検査装置の概略構成を示す説明図であり、(a)は正面図、(b)は側面図である。図18に示すように、部品検査装置200には、図示しない吸着ノズルで吸引された電子部品201を下方から撮影する撮影装置202と、電子部品201に対して斜め下方の位置から光を照明する斜光照明部203(図18(b)では省略)と、撮影装置202の光軸に対して直交する方向に離れて配置された同軸照明部204と、撮影装置202の光軸上に配置されて同軸照明部204から照射された光を反射して電子部品201に照射する光透過性ミラープレート205とを備えている。撮影装置202には、斜光照明部203により照射された光が電子部品201によって反射され、光透過性ミラープレート205を介して入射する。さらに、撮影装置202には、同軸照明部204により照射された光が光透過性ミラープレート205によって電子部品201に向けて反射し、当該電子部品201を反射した光が光透過性ミラープレート205を介して入射する。これにより、明るく照らされた電子部品201を撮影できるようになっている。
ここで、光透過性ミラープレート205を透過する光路について説明する。図19は光透過性ミラープレート205を通過する光路を正面側から見た説明図であり、図20は光透過性ミラープレート205を通過する光路を側面側から見た説明図である。図中、300は撮影装置202のレンズを示し、301は撮影装置202の撮像素子を示している。図19,図20では、光透過性ミラープレート205がない場合の光路を一点鎖線で示し、光透過性ミラープレート205がある場合の光路を実線で示している。
図19に示すように正面側から見ると、電子部品201からの光は光透過性ミラープレート205がない場合には屈折することなくレンズ300に入射するが、光透過性ミラープレート205がある場合には当該プレート205を通過する際に屈折する。光透過性ミラープレート205の有無による光路の差をd3で示す。そして、光透過性ミラープレート205を通過した光は、レンズ300を通過して撮像素子301上に集光されることになる。
図19に示すように正面側から見ると、電子部品201からの光は光透過性ミラープレート205がない場合には屈折することなくレンズ300に入射するが、光透過性ミラープレート205がある場合には当該プレート205を通過する際に屈折する。光透過性ミラープレート205の有無による光路の差をd3で示す。そして、光透過性ミラープレート205を通過した光は、レンズ300を通過して撮像素子301上に集光されることになる。
一方、図20に示すように側面側から見ると、電子部品201からの光は光透過性ミラープレート205がない場合には屈折することなくレンズ300に入射するが、光透過性ミラープレート205がある場合には当該プレート205を通過する際に屈折する。光透過性ミラープレート205の有無による光路の差をd1,d2で示す。側面側から見ると光透過性ミラープレート205は光軸に対して傾いているために、当該プレート205に対する入射角度が異なり、光路の差d1,d2も異なることとなる。さらに、光路の差d1,d2は、前述の差d3とも異なることとなる。このように、光路の差d1,d2,d3が異なっているために、例えば図19に示すように、正面側で焦点を合わせたとしても、側面側では撮像素子301上で結像せず、ぼやけてしまうことになる。
そして、図21に示すように、正面側で焦点が合うように電子部品201の位置を調整した場合、電子部品201の端子201aの縦エッジは撮像素子301上で合焦するものの、横エッジは合焦せずにぼやけてしまう。他方、側面側で焦点が合うように電子部品201の位置を調整した場合、電子部品201の端子201bの横エッジは撮像素子301上で合焦するものの、縦エッジは合焦せずにぼやけてしまう。
このように、縦エッジと横エッジとの合焦位置が異なってしまうと、部品検査の精度に限界があるのが実状である。
このように、縦エッジと横エッジとの合焦位置が異なってしまうと、部品検査の精度に限界があるのが実状である。
本発明の課題は、縦エッジと横エッジとの焦点位置ズレを補正することで、部品検査の精度を高めることである。
請求項1記載の発明に係る部品検査装置は、
光透過性ミラープレートを用いて対象物に光を照射する同軸照明系と、
前記同軸照明系から照射され前記対象物によって反射した光を撮像素子上に結像する結像レンズとを備え、
前記対象物と前記撮像素子との間には、焦点位置ズレ補正用の光学プレートが配置されていて、
前記光透過性ミラープレートは、前記結像レンズの光軸に直交する平面に対して傾斜していて、
前記光学プレートは、前記光軸を中心にして当該光透過性ミラープレートの傾斜位置から90度回転した位置で、前記結像レンズの光軸に直交する平面に対して前記光透過性ミラープレートと同角度で傾斜することで、前記対象物によって反射した光の光路上に存在する前記光学プレートを通過する距離と、前記光路上に存在する光透過性ミラープレートを通過する距離とが同等となるような構成としていることを特徴としている。
光透過性ミラープレートを用いて対象物に光を照射する同軸照明系と、
前記同軸照明系から照射され前記対象物によって反射した光を撮像素子上に結像する結像レンズとを備え、
前記対象物と前記撮像素子との間には、焦点位置ズレ補正用の光学プレートが配置されていて、
前記光透過性ミラープレートは、前記結像レンズの光軸に直交する平面に対して傾斜していて、
前記光学プレートは、前記光軸を中心にして当該光透過性ミラープレートの傾斜位置から90度回転した位置で、前記結像レンズの光軸に直交する平面に対して前記光透過性ミラープレートと同角度で傾斜することで、前記対象物によって反射した光の光路上に存在する前記光学プレートを通過する距離と、前記光路上に存在する光透過性ミラープレートを通過する距離とが同等となるような構成としていることを特徴としている。
本発明によれば、縦エッジと横エッジとの焦点位置ズレを補正することができ、部品検査の精度を高めることができる。
本発明に係る部品検査装置の実施形態について説明する。なお、部品検査装置は、部品実装装置の一部であるため、部品実装装置と併せて説明する。
<部品実装装置の構成>
図1に示すように、部品実装装置100は、部品供給装置から供給される電子部品(部品)を基板(実装対象物)に実装する装置である。
部品実装装置100は、土台となる台部1を備えている。台部1の上面には、上面中央部から少し後方でX方向に延在し、基板Bを搬送する基板搬送路2が設けられている。台部1の前方には電子部品Pを基板Bに実装するための部品供給部3が設けられている。部品供給部3には、基板Bに実装される電子部品Pが格納されている。
<部品実装装置の構成>
図1に示すように、部品実装装置100は、部品供給装置から供給される電子部品(部品)を基板(実装対象物)に実装する装置である。
部品実装装置100は、土台となる台部1を備えている。台部1の上面には、上面中央部から少し後方でX方向に延在し、基板Bを搬送する基板搬送路2が設けられている。台部1の前方には電子部品Pを基板Bに実装するための部品供給部3が設けられている。部品供給部3には、基板Bに実装される電子部品Pが格納されている。
台部1の上面には、X方向に延在し、ヘッド部4をX方向に往復移動自在に案内するX搬送部5(搬送部)と、Y方向に延在し、ヘッド部4をY方向に往復移動自在に案内するY搬送部6(搬送部)とが設けられている。
X搬送部5は、Y搬送部6上をY方向に沿って移動自在となるようにY搬送部6に設けられている。X搬送部5には、X方向に沿って移動自在となるようにヘッド部4が設けられている。すなわち、X搬送部5とY搬送部6により、ヘッド部4をXY方向に移動させて電子部品Pを基板Bの実装位置まで移動させることができる。
X搬送部5は、Y搬送部6上をY方向に沿って移動自在となるようにY搬送部6に設けられている。X搬送部5には、X方向に沿って移動自在となるようにヘッド部4が設けられている。すなわち、X搬送部5とY搬送部6により、ヘッド部4をXY方向に移動させて電子部品Pを基板Bの実装位置まで移動させることができる。
ヘッド部4には、電子部品Pを吸着により保持して基板Bの実装位置まで搬送する吸着
ノズル7(保持部)と、基板Bの上方から基板Bを撮像して基板Bの存在を認識する基板認識カメラ8とが設けられている。ここで、吸着ノズル7は、ヘッド部4に設けられているので、各搬送部5,6の駆動により、電子部品Pは、基板Bの実装位置まで移動可能となっている。
吸着ノズル7は、当該吸着ノズル7を図1のZ方向に沿って移動させる移動部(図示略)に連結されている。移動部は、エアシリンダ、ボールねじ等を用いた機構である。
台部1の上面には、部品供給部3に隣接する部品認識カメラ9(撮像部)が設けられている。
部品認識カメラ9は、吸着ノズル7に吸着保持された電子部品Pを下方から吸着ノズル7と共に撮像するカメラである。部品認識カメラ9は、台部1の上面に直上を撮像できるような姿勢で固定されている。すなわち、部品認識カメラ9の光学系の光軸がZ軸に一致している。
従って、吸着ノズル7の移動可能な方向と、部品認識カメラ9の配置との関係から、吸着ノズル7は、移動部によって部品認識カメラ9の光学系の光軸方向に沿った方向に上下動することができる。これにより、吸着ノズル7に保持された電子部品Pは、部品認識カメラ9に対して接離することができ、部品認識カメラ9は、電子部品Pまでの距離を変えて電子部品Pを撮像することができる。
台部1には、台部1上に設けられた各部を覆うカバー11が設けられており、このカバー11の一部には、部品実装装置100の操作を行うための操作パネル12が設けられている。操作パネル12は、ユーザからの指示を入力することができると共に、ユーザに報知する情報を表示することができる。
ノズル7(保持部)と、基板Bの上方から基板Bを撮像して基板Bの存在を認識する基板認識カメラ8とが設けられている。ここで、吸着ノズル7は、ヘッド部4に設けられているので、各搬送部5,6の駆動により、電子部品Pは、基板Bの実装位置まで移動可能となっている。
吸着ノズル7は、当該吸着ノズル7を図1のZ方向に沿って移動させる移動部(図示略)に連結されている。移動部は、エアシリンダ、ボールねじ等を用いた機構である。
台部1の上面には、部品供給部3に隣接する部品認識カメラ9(撮像部)が設けられている。
部品認識カメラ9は、吸着ノズル7に吸着保持された電子部品Pを下方から吸着ノズル7と共に撮像するカメラである。部品認識カメラ9は、台部1の上面に直上を撮像できるような姿勢で固定されている。すなわち、部品認識カメラ9の光学系の光軸がZ軸に一致している。
従って、吸着ノズル7の移動可能な方向と、部品認識カメラ9の配置との関係から、吸着ノズル7は、移動部によって部品認識カメラ9の光学系の光軸方向に沿った方向に上下動することができる。これにより、吸着ノズル7に保持された電子部品Pは、部品認識カメラ9に対して接離することができ、部品認識カメラ9は、電子部品Pまでの距離を変えて電子部品Pを撮像することができる。
台部1には、台部1上に設けられた各部を覆うカバー11が設けられており、このカバー11の一部には、部品実装装置100の操作を行うための操作パネル12が設けられている。操作パネル12は、ユーザからの指示を入力することができると共に、ユーザに報知する情報を表示することができる。
台部1内には、部品実装装置100の各駆動部の駆動を制御する制御部13が設けられている。
制御部13は、部品認識カメラ9が撮像した撮像画像を演算処理し、吸着ノズル7の中心からの電子部品Pの位置ズレを検査する。すなわち、制御部13は、電子部品Pが吸着ノズル7に正しい状態で保持されているか否かを検査する。これは、吸着ノズル7は、基板Bの実装位置の直上に電子部品Pを搬送するため、電子部品Pが吸着ノズル7の正しい位置で保持されていなければ基板Bの実装位置に電子部品Pを実装することができないからである。
制御部13は、電子部品Pの特徴点の位置、例えば、電極の位置を演算することで、電子部品Pが正常であるか否かを検査する。これは、電子部品Pの電極が欠損していたり、曲がっていたりすると、基板Bの実装位置に電子部品Pを実装することができないからである。そして、電子部品Pの状態が不良である場合には、撮像画像において電極等が検出される位置が大きく異なってしまうため、吸着ノズル7に対する電子部品Pの位置ズレを検査する際に用いる撮像画像と同じ撮像画像を用いて電子部品Pの検査をすることができる。
制御部13は、部品認識カメラ9が撮像した撮像画像を演算処理し、吸着ノズル7の中心からの電子部品Pの位置ズレを検査する。すなわち、制御部13は、電子部品Pが吸着ノズル7に正しい状態で保持されているか否かを検査する。これは、吸着ノズル7は、基板Bの実装位置の直上に電子部品Pを搬送するため、電子部品Pが吸着ノズル7の正しい位置で保持されていなければ基板Bの実装位置に電子部品Pを実装することができないからである。
制御部13は、電子部品Pの特徴点の位置、例えば、電極の位置を演算することで、電子部品Pが正常であるか否かを検査する。これは、電子部品Pの電極が欠損していたり、曲がっていたりすると、基板Bの実装位置に電子部品Pを実装することができないからである。そして、電子部品Pの状態が不良である場合には、撮像画像において電極等が検出される位置が大きく異なってしまうため、吸着ノズル7に対する電子部品Pの位置ズレを検査する際に用いる撮像画像と同じ撮像画像を用いて電子部品Pの検査をすることができる。
図2に示すように、制御部13は、各演算処理を行うCPU13aと、CPU13aの作業スペースとなるRAM13bと、CPU13aによる演算プログラム等が記憶されたROM13cと、書き換え可能なデータ等を記憶するEEPROM13dとを備えている。
EEPROM13dには、電子部品Pが基板Bに実装するための所定の基準を満たすか否かを決定づけるため、各画素データを撮像したときの部品認識カメラ9と電子部品Pの所定部位までの距離データから求められる電子部品Pの所定部位(例えば、電極)の仮想直線又は仮想平面からの距離の許容値が記憶されている。従って、EEPROM13dは、記憶手段として機能する。
ROM13cには、CPU13aに実行されることで、移動部により吸着ノズル7がZ
方向に所定距離移動する毎に、部品認識カメラ9に電子部品Pを吸着ノズル7と共に撮像させる機能を実現する撮像制御プログラムが記憶されている。CPU13aによる撮像制御プログラムの実行により、部品認識カメラ9は、電子部品Pまでの距離が異なる複数の画像を撮像することができる。
従って、CPU13aが撮像制御プログラムを実行することで、制御部13は撮像制御手段として機能する。
方向に所定距離移動する毎に、部品認識カメラ9に電子部品Pを吸着ノズル7と共に撮像させる機能を実現する撮像制御プログラムが記憶されている。CPU13aによる撮像制御プログラムの実行により、部品認識カメラ9は、電子部品Pまでの距離が異なる複数の画像を撮像することができる。
従って、CPU13aが撮像制御プログラムを実行することで、制御部13は撮像制御手段として機能する。
ROM13cには、CPU13aに実行されることで、部品認識カメラ9により撮像された複数の撮像画像の中から同一位置の画素における焦点の合った画素データを決定する機能を実現する画素データ決定プログラムが記憶されている。
従って、CPU13aが画素データ決定プログラムを実行することで、制御部13は画素データ決定手段として機能する。
従って、CPU13aが画素データ決定プログラムを実行することで、制御部13は画素データ決定手段として機能する。
ROM13cには、CPU13aに実行されることで、画素データ決定プログラムの実行により決定された各画素データを撮像したときの部品認識カメラ9と電子部品Pの距離を画素データ毎に決定する機能を実現する距離データ決定プログラムが記憶されている。
従って、CPU13aが距離データ決定プログラムを実行することで、制御部13は距離データ決定手段として機能する。
従って、CPU13aが距離データ決定プログラムを実行することで、制御部13は距離データ決定手段として機能する。
ROM13cには、距離データから求められる電子部品Pの所定部位(例えば、電極)の仮想直線又は仮想平面からの距離がEEPROM13dに記憶された許容値を超えているか否かを判定する機能を実現する判定プログラムが記憶されている。
従って、CPU13aが判定プログラムを実行することで、制御部13は判定手段として機能する。
従って、CPU13aが判定プログラムを実行することで、制御部13は判定手段として機能する。
ROM13cには、距離データから求められる電子部品Pの所定部位(例えば、電極)の仮想直線又は仮想平面からの距離のうち、少なくとも一つがEEPROM13dに記憶された許容値を超えていると判定プログラムの実行により判断された場合に、X搬送部5及びY搬送部6を駆動させて、電子部品Pを基板Bの実装位置に搬送せずに排出させる機能を実現する搬送制御プログラムが記憶されている。
従って、CPU13aが搬送制御プログラムを実行することで、制御部13は搬送制御手段として機能する。
従って、CPU13aが搬送制御プログラムを実行することで、制御部13は搬送制御手段として機能する。
制御部13には、X搬送部5、Y搬送部6、基板認識カメラ8、部品認識カメラ9、操作パネル12が電気的に接続されており、制御部13は、主に各部の駆動に関する制御を行う。
部品実装装置100は、上記の各構成要素を備えており、そのうち、吸着ノズル7、部品認識カメラ9、移動部(図示略)、制御部13を備えることで部品検査装置110が構成されている。
部品実装装置100は、上記の各構成要素を備えており、そのうち、吸着ノズル7、部品認識カメラ9、移動部(図示略)、制御部13を備えることで部品検査装置110が構成されている。
<電子部品の位置ズレ検査、不良検査の処理>
部品実装装置100により、吸着ノズル7に対する電子部品Pの位置ズレの検査、及び電子部品Pの不良検査(電極浮き検査について例示する)について説明する。
図3に示すように、最初に、ユーザにより、電極の検査を行う電子部品Pの設定、部品認識カメラ9で撮像する撮像距離(高さ)の範囲の設定、画像の撮像間隔の設定等を操作パネル12から行う(ステップS1)。
ここで、撮像距離の範囲設定とは、複数の画像を撮像する撮像距離の範囲をいい、その範囲は、部品認識カメラ9が電子部品Pの電極に合焦する位置を中心として電子部品PがZ方向に沿って部品認識カメラ9に接近する方向と離間する方向に同じ距離だけとったものである。
具体的には、図4に示すように、部品認識カメラ9が電子部品Pの電極に焦点が合う位置(合焦位置)からZ方向に沿って+0.5mm(上限値)、−0.5mm(下限値)を設定する。従って、部品認識カメラ9は、Z方向に1mmの範囲内で画像を撮像することができる。
そして、撮像間隔は、このように設定された1mmの撮像範囲の中で部品認識カメラ9が撮像を行う距離の間隔である。
具体的には、距離間隔を0.05mmと設定する。これにより、部品認識カメラ9は、設定した撮像範囲の中で、21枚の画像を撮像することができる。
部品実装装置100により、吸着ノズル7に対する電子部品Pの位置ズレの検査、及び電子部品Pの不良検査(電極浮き検査について例示する)について説明する。
図3に示すように、最初に、ユーザにより、電極の検査を行う電子部品Pの設定、部品認識カメラ9で撮像する撮像距離(高さ)の範囲の設定、画像の撮像間隔の設定等を操作パネル12から行う(ステップS1)。
ここで、撮像距離の範囲設定とは、複数の画像を撮像する撮像距離の範囲をいい、その範囲は、部品認識カメラ9が電子部品Pの電極に合焦する位置を中心として電子部品PがZ方向に沿って部品認識カメラ9に接近する方向と離間する方向に同じ距離だけとったものである。
具体的には、図4に示すように、部品認識カメラ9が電子部品Pの電極に焦点が合う位置(合焦位置)からZ方向に沿って+0.5mm(上限値)、−0.5mm(下限値)を設定する。従って、部品認識カメラ9は、Z方向に1mmの範囲内で画像を撮像することができる。
そして、撮像間隔は、このように設定された1mmの撮像範囲の中で部品認識カメラ9が撮像を行う距離の間隔である。
具体的には、距離間隔を0.05mmと設定する。これにより、部品認識カメラ9は、設定した撮像範囲の中で、21枚の画像を撮像することができる。
各設定が終了し、ユーザが操作パネル12から実装開始の旨を入力すると、制御部13は各部の駆動を制御して、電子部品Pの基板Bへの実装を開始する(ステップS2)。
電子部品Pの実装が開始されると、制御部13は、X搬送部5及びY搬送部6を駆動させ、吸着ノズル7を部品供給部3に移動させる。そして、制御部13は、移動部を駆動させて吸着ノズル7を下降させて電子部品Pを吸着、保持させる(ステップS3)。
次いで、制御部13は、X搬送部5及びY搬送部6を駆動させ、吸着ノズル7を部品認識カメラ9の直上に移動させる(ステップS4)。
電子部品Pの実装が開始されると、制御部13は、X搬送部5及びY搬送部6を駆動させ、吸着ノズル7を部品供給部3に移動させる。そして、制御部13は、移動部を駆動させて吸着ノズル7を下降させて電子部品Pを吸着、保持させる(ステップS3)。
次いで、制御部13は、X搬送部5及びY搬送部6を駆動させ、吸着ノズル7を部品認識カメラ9の直上に移動させる(ステップS4)。
次いで、制御部13は、移動部を駆動させて、電子部品Pを保持している吸着ノズル7をZ方向に沿って上下動させ、部品認識カメラ9が電子部品Pの電極に焦点が合う位置(合焦位置)まで電子部品Pを移動させる。制御部13は、電極に焦点を合わせた後、移動部を駆動させてステップS1で設定した撮像範囲の最も高い位置(撮像距離の上限値(合焦位置から+0.5mmの位置))まで電子部品Pを上昇させる。上昇後、制御部13は、部品認識カメラ9に電子部品Pを撮像させる。
次いで、制御部13は、移動部を駆動させて、ステップS1で設定した撮像間隔(距離0.05mm)ずつ下降させて停止させ、停止後に部品認識カメラ9で電子部品Pを撮像させる。以降、制御部13は、移動部を駆動させて、撮像範囲の最も低い位置(撮像距離の下限値(合焦位置から−0.5mmの位置))まで0.05mmずつ電子部品Pを下降させながら、部品認識カメラ9により電子部品Pを撮像させる(ステップS5)。このように、Z方向に1mmの撮像範囲を0.05mm毎に撮像していくと、撮像距離の異なる合計21枚の撮像画像を取得することができる。制御部13は、全ての撮像画像を撮像した後、その画像データをEEPROM13dに記憶させる(ステップS5)。
次いで、制御部13は、EEPROM13dに記憶された21枚の画像から、同一位置の画素を21個分比較し、各画素において最も焦点の合った画素データを抽出し、全ての画素で焦点の合う全焦点画像を作成する(ステップS6,S7)。
ここで、焦点の合った画素データのみの抽出方法としては撮像された全ての画像に対して、例えば、公知の7×7の差分フィルターを実施し、全ての画像の同一画素位置で求められたフィルター結果が最も高い値を示す位置の画像データと位置を選択する事によるなどにより実現される。
ここで、焦点の合った画素データのみの抽出方法としては撮像された全ての画像に対して、例えば、公知の7×7の差分フィルターを実施し、全ての画像の同一画素位置で求められたフィルター結果が最も高い値を示す位置の画像データと位置を選択する事によるなどにより実現される。
次いで、制御部13は、全焦点画像及び撮像距離の位置画像の作成後(ステップS8:YES)、制御部13は、作成した全焦点画像を用い、電子部品Pの電極位置を検出する(ステップS9)。これは、周囲との画素データとの比較により、電極と何も存在しない背景との画素データが大きく異なることを利用すれば、容易に行うことができる。
次いで、制御部13は、検出した電極の位置から、電子部品Pの中心位置を算出し、吸着ノズル7に対するX軸方向及びY軸方向の位置ズレを算出する(ステップS10)。これにより、電子部品Pが吸着ノズル7に対してどの方向にどの程度傾いて吸着されているかを知ることができる。
次いで、制御部13は、検出した電極の位置から、電子部品Pの中心位置を算出し、吸着ノズル7に対するX軸方向及びY軸方向の位置ズレを算出する(ステップS10)。これにより、電子部品Pが吸着ノズル7に対してどの方向にどの程度傾いて吸着されているかを知ることができる。
次いで、制御部13は、抽出された画素データを撮像したときの撮像距離(部品認識カメラ9からの高さ)の位置画像を作成する(ステップS11)。
ここで、撮像距離の位置画像は、図5に示すように、各画素毎に採用された画素データを取得したときの撮像距離(高さ)を各画素位置に対応させて作成したデータである。ここで、どの撮像画像においても、焦点の合った画素データがない場合には、電子部品Pが存在しないとして、データは「0」とする。また、電極を検査する際、例えば、リード部品の場合、リードの先端からどの位置までの距離を測定するのかを指定するパラメータが存在し、この位置データを参照して撮像距離(高さ位置)を検出する事になる。
次いで、制御部13は、電子部品Pの各電極の撮像距離を算出後、例えば、特開2003−130619号公報に示されるような手法で、各辺の各リード端子の仮想直線からの距離、あるいは各リード端子の仮想平面からの距離を算出する(ステップS12)。
次いで、制御部13は、ステップS12で算出した距離が許容値内にあるかどうかを判定する(ステップS13)。すなわち、算出した最小二乗直線、あるいは最小二乗平面からの距離に基づき、電極となるリードの浮き量を検出し、検出されたリードの浮き量が、EEPROM13dに記憶されているリードの浮き量の許容値を超えているか否かを判定する(ステップS13)。
ここで、撮像距離の位置画像は、図5に示すように、各画素毎に採用された画素データを取得したときの撮像距離(高さ)を各画素位置に対応させて作成したデータである。ここで、どの撮像画像においても、焦点の合った画素データがない場合には、電子部品Pが存在しないとして、データは「0」とする。また、電極を検査する際、例えば、リード部品の場合、リードの先端からどの位置までの距離を測定するのかを指定するパラメータが存在し、この位置データを参照して撮像距離(高さ位置)を検出する事になる。
次いで、制御部13は、電子部品Pの各電極の撮像距離を算出後、例えば、特開2003−130619号公報に示されるような手法で、各辺の各リード端子の仮想直線からの距離、あるいは各リード端子の仮想平面からの距離を算出する(ステップS12)。
次いで、制御部13は、ステップS12で算出した距離が許容値内にあるかどうかを判定する(ステップS13)。すなわち、算出した最小二乗直線、あるいは最小二乗平面からの距離に基づき、電極となるリードの浮き量を検出し、検出されたリードの浮き量が、EEPROM13dに記憶されているリードの浮き量の許容値を超えているか否かを判定する(ステップS13)。
ステップS13において、制御部13は、仮想直線からの距離あるいは仮想平面からの距離が許容値内にないと判定した場合(ステップS13:YES)、すなわち、制御部13が検出されたリードの浮き量が許容値を超えていると判断した場合(ステップS13:YES)、制御部13は、X搬送部5及びY搬送部6を駆動させて、吸着ノズル7に保持されている電子部品Pを基板Bに実装せずに外部の所定場所に廃棄させる(ステップS14)。
一方、制御部13は、仮想直線からの距離あるいは仮想平面からの距離が許容値内であると判定した場合(ステップS13:NO)、すなわち、制御部13が検出されたリードの浮き量が許容値を超えていないと判断した場合(ステップS13:NO)、制御部13は、吸着ノズル7に保持されている電子部品Pを基板Bに実装させる(ステップS15)。
次いで、制御部13は、電子部品Pの基板Bへの実装工程が終了したか否かを判断し(ステップS16)、制御部13は、終了したと判断すれば(ステップS16:YES)、これをもって本処理を終了させ、終了していないと判断すれば(ステップS16:NO)、制御部13はステップS2の処理に戻る。
一方、制御部13は、仮想直線からの距離あるいは仮想平面からの距離が許容値内であると判定した場合(ステップS13:NO)、すなわち、制御部13が検出されたリードの浮き量が許容値を超えていないと判断した場合(ステップS13:NO)、制御部13は、吸着ノズル7に保持されている電子部品Pを基板Bに実装させる(ステップS15)。
次いで、制御部13は、電子部品Pの基板Bへの実装工程が終了したか否かを判断し(ステップS16)、制御部13は、終了したと判断すれば(ステップS16:YES)、これをもって本処理を終了させ、終了していないと判断すれば(ステップS16:NO)、制御部13はステップS2の処理に戻る。
<部品検査装置>
次に、部品検査装置110について詳細に説明する。
上述したように、部品検査装置110は、吸着ノズル7、部品認識カメラ9、移動部(図示略)、制御部13を備えるとともに、図4に示す通り検査の対象物である電子部品Pに対して光を照射する照明部50を備えている。ここで部品認識カメラ9には、その内部に配置された撮像素子91(図7参照)と、照明部50から照射され電子部品Pによって反射した光を撮像素子91上に結像する結像レンズ92とを備えている。結像レンズ92としては、例えばテレセントリック系レンズが挙げられる。
次に、部品検査装置110について詳細に説明する。
上述したように、部品検査装置110は、吸着ノズル7、部品認識カメラ9、移動部(図示略)、制御部13を備えるとともに、図4に示す通り検査の対象物である電子部品Pに対して光を照射する照明部50を備えている。ここで部品認識カメラ9には、その内部に配置された撮像素子91(図7参照)と、照明部50から照射され電子部品Pによって反射した光を撮像素子91上に結像する結像レンズ92とを備えている。結像レンズ92としては、例えばテレセントリック系レンズが挙げられる。
照明部50には、電子部品Pに対して斜め下方の位置から光を照明する斜光照明部51と、部品認識カメラ9の光軸に対して直交する方向に離れて配置された同軸照明部52と、部品認識カメラ9の光軸上に配置されて同軸照明部52から照射された光を反射して電子部品Pに照射する光透過性ミラープレート53と、光透過性ミラープレート53及び結像レンズ92の間に配置された焦点位置ズレ補正用の光学プレート54とが設けられている。
斜光照明部51及び同軸照明部52の光源としては、LED光源やハロゲン光源、テレセントリック系光源などが挙げられる。
同軸照明部52及び光透過性ミラープレート53が本発明に係る同軸照明系をなしている。同軸照明部52及び光透過性ミラープレート53は、筐体55により支持されている。この筐体55の上面及び下面には、光の経路となる開口551,552が形成されている。
斜光照明部51及び同軸照明部52の光源としては、LED光源やハロゲン光源、テレセントリック系光源などが挙げられる。
同軸照明部52及び光透過性ミラープレート53が本発明に係る同軸照明系をなしている。同軸照明部52及び光透過性ミラープレート53は、筐体55により支持されている。この筐体55の上面及び下面には、光の経路となる開口551,552が形成されている。
図6は、部品検査装置110の概略構成を示す斜視図であり、(a)は正面図、(b)は側面図である。なお、図6(b)においては斜光照明部51は図示を省略している。光透過性ミラープレート53は、例えばガラス板から形成されており、図6に示すように結像レンズ92の光軸に直交する平面Sに対して角度αで傾斜している。
光学プレート54は、光透過性ミラープレート53と同様にガラス板から形成されており、その厚みも光透過性ミラープレート53と同じ厚さに形成されている。光学プレート54は、部品認識カメラ9の光軸を中心にして当該光透過性ミラープレート53の傾斜位置から90度回転した位置で、当該光軸に直交する平面Sに対して光透過性ミラープレートと同角度αで傾斜している。
これにより、電子部品Pによって反射した光の光路上に存在する光学プレート54を通過する距離と、光路上に存在する光透過性ミラープレート53を通過する距離とが同等となる。
これにより、電子部品Pによって反射した光の光路上に存在する光学プレート54を通過する距離と、光路上に存在する光透過性ミラープレート53を通過する距離とが同等となる。
図7は光透過性ミラープレート53及び光学プレート54を通過する光路を正面側から見た説明図であり、図8は光透過性ミラープレート53及び光学プレート54を通過する光路を側面側から見た説明図である。図7、図8では、光透過性ミラープレート53及び光学プレート54を通過しなかった場合の光路を一点鎖線で示し、光透過性ミラープレート53及び光学プレート54を通過した場合の光路を実線で示している。
図7に示すように正面側から見ると、電子部品Pからの光は光透過性ミラープレート53及び光学プレート54を通過する際、これらを通過しない場合に対して右側の光路が差d3,d2だけ屈折し、左側の光路が差d3,d1だけ屈折する。一方、図7に示すように側面側から見ると、電子部品Pからの光は光透過性ミラープレート53及び光学プレート54を通過する際、これらを通過しない場合に対して右側の光路が差d3,d2だけ屈折し、左側の光路が差d3,d1だけ屈折する。つまり、正面側から見た場合においても、側面側から見た場合においてもいずれも同じ差だけ光路が屈折するため、撮像素子91までの距離は同等となる。したがって、縦エッジ若しくは横エッジに焦点が合うように電子部品Pの位置を調整したとしても、他方のエッジに対しても焦点が合うことになる。
図7に示すように正面側から見ると、電子部品Pからの光は光透過性ミラープレート53及び光学プレート54を通過する際、これらを通過しない場合に対して右側の光路が差d3,d2だけ屈折し、左側の光路が差d3,d1だけ屈折する。一方、図7に示すように側面側から見ると、電子部品Pからの光は光透過性ミラープレート53及び光学プレート54を通過する際、これらを通過しない場合に対して右側の光路が差d3,d2だけ屈折し、左側の光路が差d3,d1だけ屈折する。つまり、正面側から見た場合においても、側面側から見た場合においてもいずれも同じ差だけ光路が屈折するため、撮像素子91までの距離は同等となる。したがって、縦エッジ若しくは横エッジに焦点が合うように電子部品Pの位置を調整したとしても、他方のエッジに対しても焦点が合うことになる。
以上のように、本実施形態の部品検査装置110によれば、電子部品Pによって反射した光の光路上に存在する光学プレート54を通過する距離と、当該光路上に存在する光透過性ミラープレート53を通過する距離とが同等となるように、光学プレート54及び光透過性ミラープレート53が構成されているので、縦エッジと横エッジの焦点位置ズレを補正することができ、部品検査の精度を高めることができる。
なお、本発明は上記実施形態に限らず適宜変更可能である。
例えば、上記実施形態では、光学プレート54を光透過性ミラープレート53と部品認識カメラ9との間に配置したが、図9及び図10に示すように、電子部品Pと光透過性ミラープレート53との間に光学プレート54を配置したとしても、電子部品Pによって反射した光の光路上に存在する光学プレート54を通過する距離と、当該光路上に存在する光透過性ミラープレート53を通過する距離とが同等となるので、縦エッジと横エッジの焦点位置ズレを補正することが可能である。
なお、図9においては光学プレート54が斜光照明部51と電子部品Pとの間に配置された場合を示しており、図10においては光学プレート54が斜光照明部51と光透過性ミラープレート53との間に配置された場合を示している。
例えば、上記実施形態では、光学プレート54を光透過性ミラープレート53と部品認識カメラ9との間に配置したが、図9及び図10に示すように、電子部品Pと光透過性ミラープレート53との間に光学プレート54を配置したとしても、電子部品Pによって反射した光の光路上に存在する光学プレート54を通過する距離と、当該光路上に存在する光透過性ミラープレート53を通過する距離とが同等となるので、縦エッジと横エッジの焦点位置ズレを補正することが可能である。
なお、図9においては光学プレート54が斜光照明部51と電子部品Pとの間に配置された場合を示しており、図10においては光学プレート54が斜光照明部51と光透過性ミラープレート53との間に配置された場合を示している。
また、光学プレート54と光透過性ミラープレート53とが同一素材で形成されていたとしても、厚みが異なる場合においては補助用光学プレート59を光軸上に配置することで間接的に厚みを一定とすることも可能である。例えば、図9において光透過性ミラープレート53の方が光学プレート54よりも薄い場合には、図11に示すように補助用光学プレート59を光透過性ミラープレート53に平行に配置する。また、図10において光透過性ミラープレート53の方が光学プレート54よりも薄い場合には、図12に示すように補助用光学プレート59を光透過性ミラープレート53に平行に配置する。補助用光学プレート59は光透過性ミラープレート53と同じ素材から形成されていて、補助用光学プレート59と光透過性ミラープレート53との厚みの合計が、光学プレート54の厚みと同じとなっている。他方、光学プレート54の方が光透過性ミラープレート53よりも薄い場合には、補助用光学プレート59を光学プレート54に対して平行に配置し、補助用光学プレート59と光学プレート54との厚みの合計を、光透過性ミラープレート53の厚みと同じにする必要がある。
また、上記実施形態では、光学プレート54が光透過性を有するガラスで形成されている場合を例示して説明したが、光学プレート54をミラープレートとすることも可能である。図13に示すように、ミラープレートからなる光学プレート54は、光軸に垂直な平面Sに対して45度の角度で傾斜させておくことが好ましい。こうした場合、光透過性ミラープレート53も平面Sに対して45度の角度で傾斜させる必要がある。この光学プレート54によって光路が90度曲げられるので、その延長線上に部品認識カメラ9を配置する。なお、ミラープレートである光学プレートの反射面54aは、部品認識カメラ9に対向しない側の面とする。
そして、ミラープレートからなる光学プレート54で光路を反射させる場合には、当該プレート54へ進入する際と、脱出する際とで光学プレート54内を二度光路が通過することになる。このため、ミラープレートからなる光学プレート54の厚みは、光透過性ミラープレート53の半分にすることで、縦エッジと横エッジの焦点位置ズレを補正することが可能となる。
そして、ミラープレートからなる光学プレート54で光路を反射させる場合には、当該プレート54へ進入する際と、脱出する際とで光学プレート54内を二度光路が通過することになる。このため、ミラープレートからなる光学プレート54の厚みは、光透過性ミラープレート53の半分にすることで、縦エッジと横エッジの焦点位置ズレを補正することが可能となる。
なお、光学プレート54としてミラープレート単体を用いる以外にも、図14に示すように光透過性ミラープレート53と同じ基材であり、なおかつ厚みが1/2の光透過性プレート58を2枚用いる手法も挙げられる。具体的には、2枚の光透過性プレート58のうち、一方の光透過性プレート58の片面に反射膜581を設け、この反射膜581を挟むように2枚の光透過性プレート58を重ね合わせ一体化する。この一体化された光透過性プレート58を、図13に示す光学プレート54の位置に配置する。ここで、図14中、tは光透過性ミラープレート53の厚みを示している。
また、図13に示す構成に対して、補助用光学プレート59が必要な場合には、図15に示すように光路変更させたミラープレート(光学プレート54)と平行な面に対して光軸を中心に90度回転させた面と平行に補助用光学プレート59を配置することで、縦エッジと横エッジの焦点位置ズレを補正することが可能となる。
また、例えば図16に示すように、基材内を光が通過しない例えば表面反射型ミラー57によって光路を変更する場合には、その表面反射型ミラー57と部品認識カメラ9との間に、表面反射型ミラー57に平行な面または光軸を中心として180度回転した面に平行に光透過性の光学プレート54を配置する構成でもよい。
さらに、図17に示すように、基材内を光が通過しない例えば表面反射型ミラー57によって光路を変更する場合であって、なおかつ表面反射型ミラー57が光透過性ミラープレート53と平行な面または光軸を中心に180度回転した面に平行に配置されている場合には、表面反射型ミラー57と平行な面に対して光軸を中心に90度回転させた面に平行に光透過性の光学プレート54を配置する構成でもよい。
さらに、図17に示すように、基材内を光が通過しない例えば表面反射型ミラー57によって光路を変更する場合であって、なおかつ表面反射型ミラー57が光透過性ミラープレート53と平行な面または光軸を中心に180度回転した面に平行に配置されている場合には、表面反射型ミラー57と平行な面に対して光軸を中心に90度回転させた面に平行に光透過性の光学プレート54を配置する構成でもよい。
なお、上記実施形態では、光学プレート54の配置例をいくつか例示したが、焦点位置ズレを補正できる角度に配置可能であるのなら、光学プレート54を光路上のどこに配置しても構わない。例えば、撮像素子91と結像レンズ92との間に配置してもよい。
また、光学プレート54の素材として、光透過性ミラープレート53と同じ素材のものがない場合は、屈折率が近い素材を代用することも可能である。この場合、縦エッジと横エッジの焦点位置ズレを軽減することができる。
また、光学プレート54を光透過性ミラープレート53と同じ厚みにできない場合は、それに近い厚みすれば、縦エッジと横エッジの焦点位置ズレを軽減することができる。
また、光学プレート54の素材として、光透過性ミラープレート53と同じ素材のものがない場合は、屈折率が近い素材を代用することも可能である。この場合、縦エッジと横エッジの焦点位置ズレを軽減することができる。
また、光学プレート54を光透過性ミラープレート53と同じ厚みにできない場合は、それに近い厚みすれば、縦エッジと横エッジの焦点位置ズレを軽減することができる。
また、光透過性ミラープレート53と光学プレート54とが異なる素材でも、焦点位置ズレの許容値以内になるように厚みを調整しても良い。
また、光透過性ミラープレート53と光学プレート54とが異なる厚みでも、焦点位置ズレの許容値以内になるような屈折率を持つ素材にしても良い。
さらに、光学プレート54を複数枚用いて、全体で光透過性ミラープレート53と同じ厚さにすることも可能である。この場合、焦点位置ズレの許容値以内になれば素材が違うもの同士を組み合わせても良い。
また、光透過性ミラープレート53と光学プレート54とが異なる厚みでも、焦点位置ズレの許容値以内になるような屈折率を持つ素材にしても良い。
さらに、光学プレート54を複数枚用いて、全体で光透過性ミラープレート53と同じ厚さにすることも可能である。この場合、焦点位置ズレの許容値以内になれば素材が違うもの同士を組み合わせても良い。
また、上記したガラス以外にも光学プレート54としては、1/4λ、1/2λ等の波長板や、偏光板、光学フィルター等を用いることも可能である。
また、結像レンズ92による縦エッジ、横エッジの焦点位置ズレがある場合は、焦点位置ズレが発生する部分のみ光透過性プレートを使用しても良い。例えば、レンズ中心部は、焦点位置ズレが少なく周辺部に行くにしたがってズレが大きくなるレンズであれば、中央部に穴が開いているペリフェラルタイプの光透過性プレートを使用しても良い。
また、結像レンズ92による縦エッジ、横エッジの焦点位置ズレがある場合は、レンズの焦点位置ズレも考慮した厚みに調整した光学プレート54を使用しても良い。例えば、レンズ中心部は、焦点位置ズレが少なく周辺部に行くにしたがってズレが大きくなるレンズであれば、光学プレート54の厚みを中心部は薄く、周辺部に行くに従い厚くしても良い。
また、結像レンズ92による縦エッジ、横エッジの焦点位置ズレがある場合は、焦点位置ズレが発生する部分のみ光透過性プレートを使用しても良い。例えば、レンズ中心部は、焦点位置ズレが少なく周辺部に行くにしたがってズレが大きくなるレンズであれば、中央部に穴が開いているペリフェラルタイプの光透過性プレートを使用しても良い。
また、結像レンズ92による縦エッジ、横エッジの焦点位置ズレがある場合は、レンズの焦点位置ズレも考慮した厚みに調整した光学プレート54を使用しても良い。例えば、レンズ中心部は、焦点位置ズレが少なく周辺部に行くにしたがってズレが大きくなるレンズであれば、光学プレート54の厚みを中心部は薄く、周辺部に行くに従い厚くしても良い。
また、光学プレート54と同形状の透明な入れ物に液体またはゲル状のものを封入した物体を光学プレート54の代用としても良い。例えば液体レンズなどでも良い。
そして、上記実施形態の中で光学プレート54の厚みは、光透過性ミラープレート53と同等または1/2の厚みにすると説明してきたが、言い換えると光透過性ミラープレート53を通過する光の距離が光学プレート54を通過する距離が同等であれば良いと言い換えることができ、距離で管理しても良い。
そして、上記実施形態の中で光学プレート54の厚みは、光透過性ミラープレート53と同等または1/2の厚みにすると説明してきたが、言い換えると光透過性ミラープレート53を通過する光の距離が光学プレート54を通過する距離が同等であれば良いと言い換えることができ、距離で管理しても良い。
9 部品認識カメラ
50 照明部
51 斜光照明部
52 同軸照明部(同軸照明系)
53 光透過性ミラープレート(同軸照明系)
54 光学プレート
59 補助用光学プレート
91 撮像素子
92 結像レンズ
100 部品実装装置
110 部品検査装置
P 電子部品
S 平面
50 照明部
51 斜光照明部
52 同軸照明部(同軸照明系)
53 光透過性ミラープレート(同軸照明系)
54 光学プレート
59 補助用光学プレート
91 撮像素子
92 結像レンズ
100 部品実装装置
110 部品検査装置
P 電子部品
S 平面
Claims (1)
- 光透過性ミラープレートを用いて対象物に光を照射する同軸照明系と、
前記同軸照明系から照射され前記対象物によって反射した光を撮像素子上に結像する結像レンズとを備え、
前記対象物と前記撮像素子との間には、焦点位置ズレ補正用の光学プレートが配置されていて、
前記光透過性ミラープレートは、前記結像レンズの光軸に直交する平面に対して傾斜していて、
前記光学プレートは、前記光軸を中心にして当該光透過性ミラープレートの傾斜位置から90度回転した位置で、前記結像レンズの光軸に直交する平面に対して前記光透過性ミラープレートと同角度で傾斜することで、前記対象物によって反射した光の光路上に存在する前記光学プレートを通過する距離と、前記光路上に存在する光透過性ミラープレートを通過する距離とが同等となるような構成としていることを特徴とする部品検査装置。
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