JP7293094B2 - 同軸光照射装置 - Google Patents
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Description
なお、図4では、煩雑を避けるため、物体光B1、B2がハーフミラー2や補正板5を通過する際の屈折を省略している。
そのため、結像位置のズレをキャンセルできる理由がわかりにくいのでその原理を、図13を参照して、定性的に説明する。
図13は、XZ平面を進む物体光B1とYZ平面を進む物体光B2とを同じ平面上に記載したものである。
ハーフミラー2を通過する際にXZ平面を進む物体光B1が屈折によってずれる距離と、YZ平面を進む物体光B2が屈折によってずれる距離とが異なり、その結果、ハーフミラー2を通過し、補正板5に入射する前においては、Z方向の同一位置において、物体光B1の光径R1よりも物体光B2の光径R2の方が小さくなる。
しかして、この実施形態によれば、補正板5が挿入してあり、この補正板5での屈折によって、両者の光径差がほぼキャンセルされ、補正板5を出た後の物体光B1の光径R1’と物体光B2の光径R2’とがほぼ等しくなる。
もっとも、同図に示すように、物体光B1の中心軸はZ軸上にある一方、物体光B2の中心軸はZ軸からややずれるが、そのずれによる影響は、後述する実証データから明らかなように微小である。
そして、図6が、補正板5を入れたときの結像位置を示すシミュレーションデータ、図7がハーフミラー2だけの場合の結像位置を示すシミュレーションデータである。ハーフミラー2だけで生じていた結像位置のずれ(図7参照)が、補正板5を入れた場合には解消されて(図6参照)、カメラのみでワークを撮像したときに近づいており、非点収差が補正されていることがわかる。
このような構造でも同様の効果を奏し得る。
W・・・ワーク
200・・・観測手段(カメラ)
2・・・ハーフミラー
3・・・光源部
5・・・補正板
Claims (5)
- 光源部と、ワークの各点からの光を観測する観測軸上に斜めに配置され、前記光源部から射出された光を反射して前記観測軸と同じ方向からワークに照射するビームスプリッタとを備えた同軸光照射装置であって、
前記ビームスプリッタに起因してワークの像の各点に生じる非点収差を補正する補正板をさらに備え、該補正板が、観測軸上に配置された、平板を一方向にのみ弧状に湾曲させた形状をなす透明なものであり、
前記観測軸方向をZ方向、Z方向と垂直な方向であってビームスプリッタが斜めに傾いた線状に見える方向をX方向、前記Z方向及びX方向と互いに垂直な方向をY方向としたとき、
前記補正板が、X方向から視たとき、弧状に湾曲してみえ、かつ、ワークとは逆側に凸となるように配置されている、又は、前記補正板が、Y方向から視たとき、弧状に湾曲してみえ、かつ、ワークに向かって凸となるように配置されていることを特徴とする同軸光照射装置。 - 前記補正板の表面である凸面とその反対側の面である凹面とが円弧状に湾曲しており、その曲率が略等しい請求項1記載の同軸光照射装置。
- 前記補正板が、ワーク観測に用いられるカメラ等の観測手段の画角範囲をカバーする大きさのものである請求項1又は2記載の同軸光照射装置。
- ワークの観測軸上に斜めに配置されたビームスプリッタを備え、該ビームスプリッタを介してワークの各点から反射される光を観測できるように構成した光学装置であって、
前記ビームスプリッタに起因してワークの像の各点に生じる非点収差を補正する補正板をさらに備え、該補正板が、観測軸上に配置された、平板を一方向にのみ弧状に湾曲させた形状をなす透明なものであり、
前記観測軸方向をZ方向、Z方向と垂直な方向であってビームスプリッタが斜めに傾いた線状に見える方向をX方向、前記Z方向及びX方向と互いに垂直な方向をY方向としたとき、
前記補正板が、X方向から視たとき、弧状に湾曲してみえ、かつ、ワークとは逆側に凸となるように配置されている、又は、前記補正板が、Y方向から視たとき、弧状に湾曲してみえ、かつ、ワークに向かって凸となるように配置されていることを特徴とする光学装置。 - 光源から光が射出される光照射ステップと、
前記光源から射出された光を、ワークの各点からの光を観測する観測軸上に斜めに配置されたビームスプリッタによって反射して、前記観測軸と同じ方向からワークに照射する反射ステップとを備える光照射方法であって、
前記ビームスプリッタに起因して生じる非点収差を、観測軸上に配置された、平板を一方向にのみ弧状に湾曲させた形状をなす透明な補正板で補正する非点収差補正ステップとを備え、
前記観測軸方向をZ方向、Z方向と垂直な方向であってビームスプリッタが斜めに傾いた線状に見える方向をX方向、前記Z方向及びX方向と互いに垂直な方向をY方向としたとき、
前記補正板が、X方向から視たとき、弧状に湾曲してみえ、かつ、ワークとは逆側に凸となるように配置されている、又は、前記補正板が、Y方向から視たとき、弧状に湾曲してみえ、かつ、ワークに向かって凸となるように配置されていることを特徴とする光照射方法。
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JP2019213378A JP7293094B2 (ja) | 2019-11-26 | 2019-11-26 | 同軸光照射装置 |
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JP2021085934A JP2021085934A (ja) | 2021-06-03 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2019213378A Active JP7293094B2 (ja) | 2019-11-26 | 2019-11-26 | 同軸光照射装置 |
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JPH11339297A (ja) * | 1998-05-27 | 1999-12-10 | Alps Electric Co Ltd | 光ピックアップ |
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2019
- 2019-11-26 JP JP2019213378A patent/JP7293094B2/ja active Active
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