CN103517630A - 部件检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种部件检查装置，其通过对纵向边缘和横向边缘的焦点位置偏移进行校正，从而提高部件检查的精度。部件检查装置具有：同轴照明系统，其使用光透过性镜板，向对象物照射光；以及成像透镜，其使从同轴照明系统照射并由对象物反射后的光，在拍摄元件上成像。在对象物和拍摄元件之间配置焦点位置偏移校正用的光学板。光透过性镜板相对于与成像透镜的光轴正交的平面倾斜。光学板构成为，通过在以光轴为中心而从该光透过性镜板的倾斜位置旋转90度的位置处，相对于与成像透镜的光轴正交的平面，以与光透过性镜板相同的角度倾斜，从而使得由对象物反射后的光通过在光路上存在的光学板的距离、和通过在光路上存在的光透过性镜板的距离相等。

Description

部件检查装置

技术领域

本发明涉及一种部件检查装置。

背景技术

当前，已知一种将电子部件向基板上安装的电子部件安装装置。

电子部件安装装置利用吸附吸嘴吸附电子部件，使吸附吸嘴移动至规定的安装位置，将电子部件向基板上安装。在这里，在电子部件安装装置中搭载有部件检查装置，该部件检查装置为了在将电子部件向基板上安装前对电子部件相对于吸附吸嘴的位置偏差量进行检测，而对电子部件进行拍摄（例如，参照专利文献1）。

图18是表示部件检查装置的概略结构的说明图，（a）是正视图，（b）是侧视图。如图18所示，在部件检查装置200中具有：拍摄装置202，其从下方对由未图示的吸附吸嘴吸引的电子部件201进行拍摄；斜光照明部203（在图18（b）中省略），其从相对于电子部件201为斜下方的位置照射光；同轴照明部204，其沿与拍摄装置202的光轴正交的方向分离配置；以及光透过性镜板205，其配置在拍摄装置202的光轴上，对从同轴照明部204照射的光进行反射，向电子部件201照射。由斜光照明部203照射的光被电子部件201进行反射，经由光透过性镜板205向拍摄装置202入射。另外，由同轴照明部204照射的光被光透过性镜板205向电子部件201反射，由该电子部件201反射的光经由光透过性镜板205向拍摄装置202入射。由此，可以对被照射得较亮的电子部件201进行拍摄。

专利文献1：日本专利第3378077号公报

在这里，对透过光透过性镜板205的光路进行说明。图19从正面侧观察通过光透过性镜板205的光路的说明图，图20是从侧面侧观察通过光透过性镜板205的光路的说明图。在图中，300表示拍摄装置202的透镜，301表示拍摄装置202的拍摄元件。在图19、图20中，以点划线表示没有光透过性镜板205的情况下的光路，以实线表示有光透过性镜板205的情况下的光路。

如果如图19所示从正面侧观察，则来自电子部件201的光在没有光透过性镜板205的情况下不折射，而向透镜300入射，但在有光透过性镜板205的情况下，在通过该镜板205时折射。利用d3表示由光透过性镜板205的有无引起的光路差。另外，通过光透过性镜板205的光，通过透镜300在拍摄元件301上聚光。

另一方面，如果如图20所示从侧面侧观察，则来自电子部件201的光在没有光透过性镜板205的情况下不折射，而向透镜300入射，但在有光透过性镜板205的情况下，通过该镜板205时折射。以d1、d2表示由光透过性镜板205的有无引起的光路差。如果从侧面侧观察，则光透过性镜板205相对于光轴倾斜，因此，相对于该镜板205的入射角度不同，光路的差d1、d2也不同。并且，光路差d1、d2与上述的差d3也不同。如上述所示，由于光路差d1、d2、d3不同，所以例如如图19所示，即使在正面侧对准焦点，在侧面侧也无法在拍摄元件301上成像而造成模糊。

另外，如图21所示，在对电子部件201的位置进行调整，以在正面侧对准焦点的情况下，电子部件201的端子201a的纵向边缘在拍摄元件301上合焦，但横向边缘不合焦而模糊。另一方面，在对电子部件201的位置进行调整，以在侧面侧对准焦点的情况下，电子部件201的端子201b的横向边缘在拍摄元件301上合焦，但纵向边缘不合焦而模糊。

如上述所示，实际状况是，如果纵向边缘和横向边缘之间的合焦位置不同，则对于部件检查的精度存在极限。

发明内容

本发明的课题是，通过对纵向边缘和横向边缘之间的焦点位置偏移进行校正，从而提高部件检查的精度。

技术方案1记载的发明所涉及的部件检查装置的特征在于，具有：

同轴照明系统，其使用光透过性镜板，向对象物照射光；以及

成像透镜，其使从所述同轴照明系统照射并由所述对象物反射后的光，在拍摄元件上成像，

在所述对象物和所述拍摄元件之间，配置有焦点位置偏移校正用的光学板，

所述光透过性镜板相对于与所述成像透镜的光轴正交的平面倾斜，

所述光学板构成为，通过在以所述光轴为中心而从该光透过性镜板的倾斜位置旋转90度的位置处，相对于与所述成像透镜的所述光轴正交的所述平面，以与所述光透过性镜板相同的角度倾斜，从而使得由所述对象物反射后的光通过在光路上存在的所述光学板的距离、和通过在所述光路上存在的所述光透过性镜板的距离相等。

发明的效果

根据本发明，可以对纵向边缘和横向边缘之间的焦点位置偏移进行校正，可以提高部件检查的精度。

附图说明

图1是具有本实施方式所涉及的部件检查装置的部件安装装置的斜视图。

图2是表示与部件安装装置的控制部相关的结构的框图。

图3是表示部件检查流程的流程图。

图4是表示部件的拍摄方法的说明图。

图5是表示由各像素的拍摄距离数据生成的图像的说明图。

图6是表示部件检查装置的概略结构的斜视图，（a）是正视图，（b）是侧视图。

图7是从正面侧观察通过光透过性镜板以及光学板的光路的说明图。

图8是从侧面侧观察通过光透过性镜板以及光学板的光路的说明图。

图9是表示部件检查装置的变形例的示意图。

图10是表示部件检查装置的变形例的示意图。

图11是表示部件检查装置的变形例的示意图。

图12是表示部件检查装置的变形例的示意图。

图13是表示部件检查装置的变形例的示意图。

图14是表示部件检查装置的变形例的示意图。

图15是表示部件检查装置的变形例的示意图。

图16是表示部件检查装置的变形例的示意图。

图17是表示部件检查装置的变形例的示意图。

图18是表示现有的部件检查装置的概略结构的说明图，（a）是正视图，（b）是侧视图。

图19是从正面侧观察图18的部件检查装置中的通过光透过性镜板的光路的说明图。

图20是从侧面侧观察图18的部件检查装置中的通过光透过性镜板的光路的说明图。

图21是表示由纵向边缘以及横向边缘的焦点位置偏移引起的模糊的说明图。

符号的说明

9 部件识别照相机

50 照明部

51 斜光照明部

52 同轴照明部（同轴照明系统）

53 光透过性镜板（同轴照明系统）

54 光学板

59 辅助用光学板

91 拍摄元件

92 成像透镜

100 部件安装装置

110 部件检查装置

P 电子部件

S 平面

具体实施方式

对本发明所涉及的部件检查装置的实施方式进行说明。此外，由于部件检查装置是部件安装装置的一部分，所以与部件安装装置一起进行说明。

＜部件安装装置的结构＞

如图1所示，部件安装装置100是将从部件供给装置供给的电子部件（部件）向基板（安装对象物）上安装的装置。

部件安装装置100具有作为基座的基座部1。在基座部1的上表面设置有基板输送路径2，其在相对于上表面中央部的略微后方沿X方向延伸，而输送基板B。在基座部1的前方设置有部件供给部3，其用于将电子部件P向基板B上安装。在部件供给部3中储存有向基板B上安装的电子部件P。

在基座部1的上表面设置有：X输送部5（输送部），其沿X方向延伸，以沿X方向自由往复移动的方式对搭载头部4进行引导；以及Y输送部6（输送部），其沿Y方向延伸，以沿Y方向自由往复移动的方式对搭载头部4进行引导。

X输送部5设置在Y输送部6上，以在Y输送部6上沿Y方向自由移动。在X输送部5上设置搭载头部4，以使其沿X方向自由移动。即，可以利用X输送部5和Y输送部6，使搭载头部4沿XY方向移动，将电子部件P移动至基板B的安装位置。

在搭载头部4上设置有：吸附吸嘴7（保持部），其通过吸附而保持电子部件P，并输送至基板B的安装位置；以及基板识别照相机8，其从基板B的上方对基板B进行拍摄，对基板B的存在进行识别。在这里，由于吸附吸嘴7设置在搭载头部4上，所以可以通过各输送部5、6的驱动，将电子部件P移动至基板B的安装位置。

吸附吸嘴7与使该吸附吸嘴7沿图1的Z方向移动的移动部（省略图示）连结。移动部是使用气缸、滚珠丝杠等的机构。

在基座部1的上表面设置有与部件供给部3相邻的部件识别照相机9（拍摄部）。

部件识别照相机9是从下方对吸附保持在吸附吸嘴7上的电子部件P和吸附吸嘴7一起进行拍摄的照相机。部件识别照相机9在基座部1的上表面上，以可以对正上方进行拍摄的姿态固定。即，部件识别照相机9的光学系统的光轴与Z轴一致。

因此，根据吸附吸嘴7的可移动方向和部件识别照相机9的配置之间的关系，吸附吸嘴7可以通过移动部在沿部件识别照相机9的光学系统的光轴方向的方向上进行上下移动。由此，保持在吸附吸嘴7上的电子部件P可以相对于部件识别照相机9接近/远离，部件识别照相机9可以改变直至电子部件P的距离而拍摄电子部件P。

在基座部1上，设置有对在基座部1上设置的各部分进行覆盖的罩11，在该罩11的一部分上，设置有用于进行部件安装装置100的操作的操作面板12。操作面板12可以输入来自用户的指示，并且，可以显示向用户通知的信息。

在基座部1内设置有对部件安装装置100的各驱动部的驱动进行控制的控制部13。

控制部13对由部件识别照相机9拍摄的拍摄图像进行运算处理，对电子部件P相对于吸附吸嘴7的中心的位置偏移进行检查。即，控制部13对电子部件P是否在吸附吸嘴7上以正确的状态保持进行检查。其原因在于，吸附吸嘴7在基板B的安装位置的正上方输送电子部件P，因此，如果电子部件P没有保持在吸附吸嘴7的正确的位置上，则无法向基板B的安装位置上安装电子部件P。

控制部13通过对电子部件P的特征点的位置、例如电极的位置进行运算，从而对电子部件P是否正常进行检查。其原因在于，如果电子部件P的电极缺损或弯曲，则无法向基板B的安装位置安装电子部件P。另外，在电子部件P的状态为不良的情况下，在拍摄图像中，检测到电极等的位置有较大不同，因此，可以使用与在检查电子部件P相对于吸附吸嘴7的位置偏移时使用的拍摄图像相同的拍摄图像，进行电子部件P的检查。

如图2所示，控制部13具有：CPU13a，其进行各运算处理；RAM13b，其成为CPU13a的作业空间；ROM13c，其存储通过CPU13a运行的运算程序等；以及EEPROM13d，其存储可改写的数据等。

在EEPROM13d中，为了确定是否满足用于将电子部件P向基板B上安装的规定基准而存储有：相距电子部件P的规定部位（例如，电极）的假想直线或者假想平面的距离的容许值，其中，该电子部件P的规定部位是根据拍摄各像素数据时的从部件识别照相机9至电子部件P的规定部位为止的距离数据求出的。因此，EEPROM13d作为存储单元起作用。

在ROM13c中存储有拍摄控制程序，其通过被CPU13a执行而实现下述功能，即，在每次通过移动部使吸附吸嘴7沿Z方向移动规定距离时，使部件识别照相机9对电子部件P和吸附吸嘴7一起进行拍摄。通过由CPU13a执行拍摄控制程序，从而部件识别照相机9可以拍摄至电子部件P为止的距离不同的多个图像。

因此，通过由CPU13a执行拍摄控制程序，从而控制部13作为拍摄控制单元起作用。

在ROM13c中存储有像素数据确定程序，其通过被CPU13a执行而实现下述功能，即，从由部件识别照相机9拍摄的多个拍摄图像中，确定同一位置的像素中的焦点合焦的像素数据。

因此，通过由CPU13a执行像素数据确定程序，从而控制部13作为像素数据确定单元起作用。

在ROM13c中存储有距离数据确定程序，其通过被CPU13a执行而实现下述功能，即，针对每个像素数据，确定对通过执行像素数据确定程序而确定的各像素数据进行拍摄时的部件识别照相机9和电子部件P的距离。

因此，通过由CPU13a执行距离数据确定程序，从而控制部13作为距离数据确定单元起作用。

在ROM13c中存储有判定程序，其实现下述功能，即，判定相距根据距离数据求出的电子部件P的规定部位（例如，电极）的假想直线或者假想平面的距离是否超过存储在EEPROM13d中的容许值。

因此，通过由CPU13a执行判定程序，从而控制部13作为判定单元起作用。

在ROM13c中存储有输送控制程序，其实现下述功能，即，在通过执行判定程序而判断为，在相距根据距离数据求出的电子部件P的规定部位（例如，电极）的假想直线或者假想平面的距离中，至少一个超过存储在EEPROM13d中的容许值的情况下，使X输送部5以及Y输送部6驱动，不将电子部件P向基板B的安装位置输送而排出。

因此，通过由CPU13a执行输送控制程序，从而控制部13作为输送控制单元起作用。

在控制部13上，电气连接X输送部5、Y输送部6、基板识别照相机8、部件识别照相机9、操作面板12，控制部13主要进行与各部分的驱动相关的控制。

部件安装装置100具有上述的各结构要素，其中，通过设置吸附吸嘴7、部件识别照相机9、移动部（省略图示）、控制部13而构成部件检查装置110。

＜电子部件的位置偏移检查、不良检查的处理＞

通过部件安装装置100，对电子部件P相对于吸附吸嘴7的位置偏移的检查、以及电子部件P的不良检查（例示出电极凸出检查）进行说明。

如图3所示，首先由用户从操作面板12进行下述设定，即，进行电极检查的电子部件P的设定、由部件识别照相机9拍摄的拍摄距离（高度）的范围的设定、图像的拍摄间隔的设定等（步骤S1）。

在这里，所谓拍摄距离的范围设定，是指对多个图像进行拍摄的拍摄距离的范围，该范围是以部件识别照相机9与电子部件P的电极合焦的位置为中心，在电子部件P沿Z方向接近部件识别照相机9的方向和远离的方向上取相同距离而形成的范围。

具体地说，如图4所示，从部件识别照相机9与电子部件P的电极合焦的位置（合焦位置）沿Z方向设定＋0.5mm（上限值）、－0.5mm（下限值）。因此，部件识别照相机9可以在Z方向上1mm的范围内对图像进行拍摄。

另外，拍摄间隔是在如上述所示设定的1mm的拍摄范围中，部件识别照相机9进行拍摄的距离的间隔。

具体地说，将距离间隔设定为0.05mm。由此，部件识别照相机9在设定的拍摄范围中可以拍摄21张图像。

如果结束各设定，由用户从操作面板12输入开始安装的指示，则控制部13对各部分的驱动进行控制，开始将电子部件P向基板B上安装（步骤S2）。

如果开始电子部件P的安装，则控制部13使X输送部5以及Y输送部6驱动，使吸附吸嘴7向部件供给部3移动。然后，控制部13使移动部驱动，使吸附吸嘴7下降，吸附、保持电子部件P（步骤S3）。

然后，控制部13使X输送部5以及Y输送部6驱动，使吸附吸嘴7向部件识别照相机9的正上方移动（步骤S4）。

然后，控制部13使移动部驱动，使保持有电子部件P的吸附吸嘴7沿Z方向上下移动，使电子部件P移动至部件识别照相机9与电子部件P的电极合焦的位置（合焦位置）。控制部13在电极上合焦后，使移动部驱动，使电子部件P上升至步骤S1中设定的拍摄范围的最高位置（拍摄距离的上限值（相距合焦位置＋0.5mm的位置））。在上升后，控制部13使部件识别照相机9对电子部件P进行拍摄。

然后，控制部13使移动部驱动，每次以步骤S1中设定的拍摄间隔（距离0.05mm）下降并停止，在停止后，利用部件识别照相机9对电子部件P进行拍摄。在此之后，控制部13使移动部驱动，在使电子部件P以每次0.05mm的方式下降至拍摄范围的最低位置（拍摄距离的下限值（相距合焦位置－0.5mm的位置））的同时，利用部件识别照相机9对电子部件P进行拍摄（步骤S5）。如上述所示，如果以每次0.05mm的方式对Z方向上1mm的拍摄范围进行拍摄，则可以取得拍摄距离不同的合计21张拍摄图像。控制部13在对所有拍摄图像进行拍摄后，将该图像数据存储在EEPROM13d中（步骤S5）。

然后，控制部13根据存储在EEPROM13d中的21张图像，针对同一位置的像素进行21次比较，提取各像素中最合焦的像素数据，生成在所有像素处合焦的全焦点图像（步骤S6、S7）。

在这里，作为仅提取合焦的像素数据的提取方法，通过下述方式实现，即，针对所拍摄的所有图像，例如实施公知的7×7的差分过滤，选择在所有图像的同一像素位置处求出的过滤结果示出最高值的位置的图像数据和位置。

然后，控制部13在生成全焦点图像以及拍摄距离的位置图像后（步骤S8：是），控制部13使用所生成的全焦点图像，对电子部件P的电极位置进行检测（步骤S9）。该检测通过与周围进行像素数据的比较而实现，如果利用电极和什么都不存在的背景的像素数据存在较大差异这一点，则可以容易地进行。

然后，控制部13根据检测到的电极位置，对电子部件P的中心位置进行计算，对X轴方向以及Y轴方向上的相对于吸附吸嘴7的位置偏移进行计算（步骤S10）。由此，可以获知电子部件P以哪个方向、何种倾斜程度而被吸附在吸附吸嘴7上。

然后，控制部13生成对所提取的像素数据进行拍摄时的拍摄距离（相距部件识别照相机9的高度）的位置图像（步骤S11）。

在这里，拍摄距离的位置图像如图5所示，是使在取得针对各像素采用的像素数据时的拍摄距离（高度）与各像素位置相对应而生成的数据。在这里，在任意拍摄图像中均没有合焦的像素数据的情况下，作为电子部件P不存在，将数据设为“0”。另外，在对电极进行检查时，例如在引线部件的情况下，存在用于指定对从引线的前端至哪个位置为止的距离进行测定的参数，参照该位置数据，对拍摄距离（高度位置）进行检测。

然后，控制部13在对电子部件P的各电极的拍摄距离进行计算后，例如利用日本特开2003－130619号公报所示的方法，对各边相距各引线端子的假想直线的距离、或者相距各引线端子的假想平面的距离进行计算（步骤S12）。

然后，控制部13判定在步骤S12中计算出的距离是否处于容许值内（步骤S13）。即，基于计算出的相距最小二乘直线、或者最小二乘平面的距离，对作为电极的引线的凸出量进行检测，判定所检测到的引线的凸出量是否超过在EEPROM13d中存储的引线的凸出量的容许值（步骤S13）。

在步骤S13中，控制部13在判定为相距假想直线的距离或者相距假想平面的距离不在容许值内的情况下（步骤S13：是），即，控制部13判断为所检测到的引线的凸出量超过容许值的情况下（步骤S13：是），控制部13使X输送部5以及Y输送部6驱动，不将保持在吸附吸嘴7上的电子部件P向基板B上安装，而废弃至外部的规定场所（步骤S14）。

另一方面，控制部13在判定为相距假想直线的距离或者相距假想平面的距离在容许值内的情况下（步骤S13：否），即，控制部13判断为所检测到的引线的凸出量没有超过容许值的情况下（步骤S13：否），控制部13将保持在吸附吸嘴7上的电子部件P向基板B上安装（步骤S15）。

然后，控制部13对将电子部件P向基板B上安装的安装工序是否结束进行判断（步骤S16），控制部13如果判断为结束（步骤S16：是），则由此结束本处理，如果判断为没有结束（步骤S16：否），则控制部13返回步骤S2的处理。

＜部件检查装置＞

下面，对部件检查装置110进行详细说明。

如上述所示，部件检查装置110具有：吸附吸嘴7、部件识别照相机9、移动部（省略图示）、控制部13，并且具有照明部50，该照明部50如图4所示向作为检查对象物的电子部件P照射光。在这里，在部件识别照相机9中具有：拍摄元件91（参照图7），其配置在部件识别照相机9的内部；以及成像透镜92，其使从照明部50照射并由电子部件P反射的光，在拍摄元件91上成像。作为成像透镜92，例如可以举出远心类透镜。

在照明部50中设置有：斜光照明部51，其从斜下方的位置向电子部件P照射光；同轴照明部52，其沿与部件识别照相机9的光轴正交的方向分离配置；光透过性镜板53，其配置在部件识别照相机9的光轴上，对从同轴照明部52照射的光进行反射，并向电子部件P照射；以及焦点位置偏移校正用的光学板54，其配置在光透过性镜板53以及成像透镜92之间。

作为斜光照明部51以及同轴照明部52的光源，可以举出LED光源、卤素光源、远心类光源等。

同轴照明部52以及光透过性镜板53形成本发明所涉及的同轴照明系统。同轴照明部52以及光透过性镜板53由框体55支撑。在该框体55的上表面以及下表面形成作为光的路径的开口551、552。

图6是表示部件检查装置110的概略结构的斜视图，（a）是正视图，（b）是侧视图。此外，在图6（b）中省略了斜光照明部51的图示。光透过性镜板53例如由玻璃板形成，如图6所示，相对于与成像透镜92的光轴正交的平面S以角度α倾斜。

光学板54与光透过性镜板53相同地，由玻璃板形成，其厚度也形成为与光透过性镜板53相同的厚度。光学板54在以部件识别照相机9的光轴为中心从该光透过性镜板53的倾斜位置旋转90度后的位置处，相对于与该光轴正交的平面S，以与光透过性镜板相同的角度α倾斜。

由此，由电子部件P反射后的光通过在光路上存在的光学板54的距离、和通过在光路上存在的光透过性镜板53的距离相等。

图7是从正面侧观察通过光透过性镜板53以及光学板54的光路的说明图，图8是从侧面侧观察通过光透过性镜板53以及光学板54的光路的说明图。在图7、图8中，以点划线表示不通过光透过性镜板53以及光学板54的情况下的光路，以实线表示通过光透过性镜板53以及光学板54的情况下的光路。

如果如图7所示从正面侧观察，则在来自电子部件P的光通过光透过性镜板53以及光学板54时，相对于不通过它们的情况，右侧的光路以差d3、d2折射，左侧的光路以差d3、d1折射。另一方面，如果如图8所示从侧面侧观察，则在来自电子部件P的光通过光透过性镜板53以及光学板54时，相对于不通过它们的情况，右侧的光路以差d2、d3折射，左侧的光路以差d1、d3折射。即，无论是在从正面侧观察的情况下，还是在从侧面侧观察的情况下，均以相同的差使光路折射，因此，直至拍摄元件91为止的距离相等。因此，即使对电子部件P的位置进行调整，以使焦点在纵向边缘或者横向边缘合焦，对于另一侧的边缘焦点也合焦。

如上述所示，根据本实施方式的部件检查装置110，以由电子部件P反射的光通过在光路上存在的光学板54的距离、和通过在该光路上存在的光透过性镜板53的距离相等的方式，构成光学板54以及光透过性镜板53，因此，可以对纵向边缘和横向边缘的焦点位置偏移进行校正，可以提高部件检查的精度。

此外，本发明并不限于上述实施方式，可以适当变更。

例如，在上述实施方式中，将光学板54配置在光透过性镜板53和部件识别照相机9之间，但如图9及图10所示，即使在电子部件P和光透过性镜板53之间配置光学板54，由电子部件P反射的光通过在光路上存在的光学板54的距离、和通过在该光路上存在的光透过性镜板53的距离相等，因此，可以对纵向边缘和横向边缘的焦点位置偏移进行校正。

此外，在图9中，示出了将光学板54配置在斜光照明部51和电子部件P之间的情况，在图10中，示出了将光学板54配置在斜光照明部51和光透过性镜板53之间的情况。

另外，即使光学板54和光透过性镜板53由同一材料形成，在厚度不同的情况下，也可以通过将辅助用光学板59配置在光轴上而间接地使厚度固定。例如，在图9中光透过性镜板53比光学板54更薄的情况下，如图11所示，将辅助用光学板59与光透过性镜板53平行地配置。另外，在图10中光透过性镜板53比光学板54更薄的情况下，如图12所示，将辅助用光学板59与光透过性镜板53平行地配置。辅助用光学板59由与光透过性镜板53相同的材料形成，辅助用光学板59和光透过性镜板53的厚度合计为，与光学板54的厚度相同。另一方面，在光学板54比光透过性镜板53更薄的情况下，必须将辅助用光学板59与光学板54平行地配置，使辅助用光学板59和光学板54的厚度合计为，与光透过性镜板53的厚度相同。

另外，在上述实施方式中，例示出了光学板54由具有光透过性的玻璃形成的情况，并进行了说明，但也可以使光学板54为镜板。如图13所示，优选由镜板构成的光学板54相对于与光轴垂直的平面S以45度的角度倾斜。在此情况下，必须使光透过性镜板53也相对于平面S以45度的角度倾斜。由于利用该光学板54使光路弯曲90度，所以在其延长线上配置部件识别照相机9。此外，作为镜板的光学板的反射面54a，成为不与部件识别照相机9相对的一侧的面。

另外，在利用由镜板构成的光学板54使光路反射的情况下，在进入该光学板54时和离开时，光路在光学板54内通过2次。因此，通过将由镜板构成的光学板54的厚度设为光透过性镜板53的一半，从而可以对纵向边缘和横向边缘的焦点位置偏移进行校正。

此外，除了作为光学板54使用镜板单体以外，还举出下述方法，即，在该方法中，如图14所示使用2片基材与光透过性镜板53相同且厚度为1/2的光透过性板58。具体地说，在2片光透过性板58中，在一个光透过性板58的一个面上设置反射膜581，以隔着该反射膜581的方式将2片光透过性板58重合而一体化。将该一体化后的光透过性板58配置在图13所示的光学板54的位置处。在这里，在图14中，t表示光透过性镜板53的厚度。

另外，对于图13所示的结构，在需要辅助用光学板59的情况下，如图15所示，平行于相对于与使光路变更的镜板（光学板54）平行的面而以光轴为中心旋转90度的面，配置辅助用光学板59，从而可以对纵向边缘和横向边缘的焦点位置偏移进行校正。

另外，例如如图16所示，在利用基材内不通过光的例如表面反射型反射镜57变更光路的情况下，也可以构成为，在该表面反射型反射镜57和部件识别照相机9之间，平行于与表面反射型反射镜57平行的面或者以光轴为中心旋转180度的面，而设置光透过性的光学板54。

另外，如图17所示，在利用基材内不通过光的例如表面反射型反射镜57变更光路的情况下、且平行于与光透过性镜板53平行的面或者以光轴为中心旋转180度的面而配置表面反射型反射镜57的情况下，也可以构成为，平行于相对于与表面反射型反射镜57平行的面而以光轴为中心旋转90度的面，配置光透过性的光学板54。

此外，在上述实施方式中，例示出了几个光学板54的配置例，但如果可以以能够校正焦点位置偏移的角度配置，则可以在光路上的任意位置配置光学板54。例如，也可以配置在拍摄元件91和成像透镜92之间。

另外，在作为光学板54的材料，没有与光透过性镜板53相同的材料的情况下，也可以使用折射率接近的材料代替。在此情况下，可以减轻纵向边缘和横向边缘的焦点位置偏移。

另外，在无法使光学板54形成为与光透过性镜板53相同的厚度的情况下，只要形成为与其接近的厚度，就可以减轻纵向边缘和横向边缘的焦点位置偏移。

另外，即使光透过性镜板53和光学板54为不同的材料，也可以对厚度进行调整，以使焦点位置偏移成为容许值以内。

另外，即使光透过性镜板53和光学板54为不同的厚度，也可以采用具有使焦点位置偏移成为容许值以内的折射率的材料。

另外，也可以使用多片光学板54，整体形成与光透过性镜板53相同的厚度。在此情况下，只要使焦点位置偏移成为容许值以内即可，也可以对材料不同的部件彼此进行组合。

另外，除了上述的玻璃以外，作为光学板54，也可以使用1/4λ、1/2λ等的波长板、偏光板、光学滤波器等。

另外，在由于成像透镜92而存在纵向边缘、横向边缘的焦点位置偏移的情况下，也可以仅发生焦点位置偏移的部分使用光透过性板。例如，只要是透镜中心部的焦点位置偏移较少且随着朝向周边部而偏移变大的透镜即可，也可以使用在中央部开设有孔的外设型的光透过性板。

另外，在由于成像透镜92而存在纵向边缘、横向边缘的焦点位置偏移的情况下，也可以使用调整为考虑了透镜的焦点位置偏移的厚度的光学板54。例如，只要是透镜中心部的焦点位置偏移较少且随着朝向周边部而偏移变大的透镜即可，也可以将光学板54的厚度设为，中心部较薄且随着朝向周边部变厚。

另外，也可以使用在与光学板54相同形状的透明容器中封入液体或者凝胶状的材料而形成的物体，代替光学板54。例如也可以是液体透镜等。

另外，在上述实施方式中说明了：光学板54的厚度形成为与光透过性镜板53相同或者1/2的厚度，但换言之，可以说是只要通过光透过性镜板53的光的距离与通过光学板54的距离相等即可，也可以通过距离进行管理。

Claims (1)

1.一种部件检查装置，其特征在于，具有：

同轴照明系统，其使用光透过性镜板，向对象物照射光；以及

成像透镜，其使从所述同轴照明系统照射并由所述对象物反射后的光，在拍摄元件上成像，

在所述对象物和所述拍摄元件之间，配置有焦点位置偏移校正用的光学板，

所述光透过性镜板相对于与所述成像透镜的光轴正交的平面倾斜，

所述光学板构成为，通过在以所述光轴为中心而从该光透过性镜板的倾斜位置旋转90度的位置处，相对于与所述成像透镜的所述光轴正交的所述平面，以与所述光透过性镜板相同的角度倾斜，从而使得由所述对象物反射后的光通过在光路上存在的所述光学板的距离、和通过在所述光路上存在的所述光透过性镜板的距离相等。

Images