JP2014002884A - 集積ガス供給装置用の平面発熱板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平面発熱板50は、カーボン・ナノ・チューブを、パルプ繊維と混合してペーパー状に漉いて得られる導電性ペーパー51と、導電性ペーパー51の端部に設けられ、導電性ペーパー51に電力を供給するための電極53と、導電性ペーパー51の両面をラミネートする耐熱性絶縁フィルム52とからなる。カーボン・ナノ・チューブの使用により、平面発熱板50の温度特性、発熱効率、耐久性が改善される。
【選択図】図5A
Description
一般に、ガス送入口1より導入される半導体製造用特殊ガスは、集積ガス供給装置(IGS:Integrated Gas Supply System)のガス流路2を介して流量制御され、半導体製造装置(図示せず)に送り込まれる。集積ガス供給装置は、集積ブロック保温ヒーター7により加熱される集積ブロック(架台)3上に、平面発熱板4を介して載置された、圧力調整機、フィルター、圧力センサー、流量計等を含む各種のガス流量制御機器5から構成される。約1MPaの高圧及び高温で、ガス送入口1より導入されたガスは、各種のガス流量制御機器5およびその対応の集積ブロック3に設けられたガス流路2を流れて、ガス吐出口6から、ガス流として半導体製造装置に送り込まれる。
ガス流量制御機器5は、平面発熱板4を介して集積ブロック3上に、取り付け用フランジ20により固定されている。ガス流28は、ガス導入部21から導入され、ガス流路2を介してガス吐出部22から流出する。たとえば、ガス流量制御機器5が圧力測定装置であれば、ガス流路2には、圧力センサー23が設けられている。
平面発熱板4は、SUS等の金属箔を金属抵抗線31として線状に細くエッチング等で加工し、さらに金属抵抗線の両端を電極32として加工した導電部(発熱部)と、導電部をポリイミドのような耐熱樹脂フィルムで両面を圧接して成型加工した絶縁保護膜33とから構成される。平面発熱板4は、ガス導入用およびガス吐出用の2つのガス供給口(ガスケット)34を有し、さらにその四隅に取り付け用フランジ20の形状に合わせて、固定用のビスのための開口35を有している。
しかしながら、従来の平面発熱板4によれば、導電部として金属抵抗線31を用いているために、単位長さ当たりの抵抗値が低く、必要な発熱を得るためには相当な電力が必要である。さらに、細い金属抵抗線31を用いているために、曲げ応力に弱く、特に、曲線部は抵抗値が高く、そこに電流が集合し発熱温度が局所的に高くなる傾向があり、断線しやすいという欠点がある。従来の平面発熱板4において、金属抵抗線の断線は、修復が不可能であり、ガス流量制御機器5の構造上、平面発熱板4の交換は極めて困難である。
カーボン・ナノ・チューブは、通常、グラファイトの一枚面を巻いた筒状の形状をしており、直径数ナノメートル、長さ数ミクロンの炭素材料として知られている。この材料は、長さと直径の比が1000以上あるため、理想的な一次元物質として考えられ、また、導電性金属材料よりも一桁以上多い電流密度を与えることができる。
発熱効率が優れ、低消費電力である。
温度制御が簡単でかつ安全である。
従来の金属抵抗線による平面発熱板のような断線現象がない。
図4は、カーボン・ナノ・チューブを、パルプ繊維と混合してペーパー状に漉いて得られる導電性ペーパーを、絶縁フィルムで挟んで平面発熱板41をラミネートし、発熱体の両端に電極42を設けた平面発熱板の原理図である。平面発熱板41に、電源Eによって電圧を印加すると、導電性ペーパーの全面にわたって発熱効果が得られる。この場合、電極42間に、無数の電気力線43が存在していると考えられることから、従来の平面発熱板で生じるような、導線の断線という概念が存在しない。
本発明の平面発熱板50は、前述のように、カーボン・ナノ・チューブを、パルプ繊維と混合してペーパー状に漉いて製造した導電性ペーパー51を絶縁フィルム52で挟んで加工され、導電性ペーパー51の端部に電極53が設けられている。平面発熱板50は、ガス導入用およびガス吐出用の2つのガス供給口(ガスケット)54を有し、さらにその四隅に取り付け用フランジの形状に合わせて、固定用のビスのための開口55を有している。
先ず、平面発熱板の製造の第1のステップとして、図6に示されるように、未加工の導電性ペーパーを、取り付け用フランジ(図示せず)の形状、ガス供給口54、および固定用のビスのための切欠60に合わせて、平面発熱板のための導電性ペーパー51を成型加工する。
ガス導入用およびガス吐出用の2つのガス供給口54は、ガス漏れを防ぐために金属ガスケットを装着可能な機構になっていることが好ましい。
図10は、本発明の平面発熱板を量産するための製造工程の一実施例を示している。
具体的に、本発明のカーボン・ナノ・チューブを使用した平面発熱板と、従来の金属抵抗線を使用した平面発熱板とを、共に厚さ0.1mm、1辺25.5mmの矩形の平面発熱板として構成し、単位面積当たりの消費電力と、発熱温度を比較した。その結果を、以下に示す。
抵抗値: 65Ω
発熱温度80℃になる電圧および電流: 7.6V, 0.1A
消費電力:0.76W
従来の金属抵抗線を使用した平面発熱板
抵抗値: 21Ω
発熱温度80℃になる電圧および電流: 5.1V, 0.2A
消費電力:1.20W
この結果、単位面積当たりの平面発熱量は、本発明の平面発熱板によれば、約30%の省エネルギー効果が認められる。
2:ガス流路
3:集積ブロック(架台)
4:平面発熱板
5:ガス流量制御機器
6:ガス吐出口
7:集積ブロック保温ヒーター
20:取り付け用フランジ
21:ガス導入部
22:ガス吐出部
23:圧力センサー
24:堆積物
28:ガス流
50:平面発熱板
51:導電性ペーパー
52:絶縁フィルム
53:電極
54:ガス供給口(ガスケット)
55:開口
Claims (5)
- カーボン・ナノ・チューブを、パルプ繊維と混合してペーパー状に漉いて得られる導電性ペーパー(51)と、
前記導電性ペーパーの端部に設けられ、該導電性ペーパーに電力を供給するための電極(53)と
前記導電性ペーパーの両面をラミネートする耐熱性絶縁フィルムと、
からなることを特徴とする平面発熱板。 - 前記電極は、前記導電性ペーパーの周囲およびその端部に嵌合された銅箔電極(71)と、前記銅箔電極への給電のための銅箔給電電極(72)からなることを特徴とする請求項1に記載の平面発熱板。
- 前記銅箔電極と銅箔給電電極とは、前記銅箔電極の片面に対して、銅箔(74)を挟み込み、前記銅箔の上から、前記銅箔給電電極を、導電接着剤および高温プレスによる電極固定用のパンチング(75)によって固定されることを特徴とする請求項2に記載の平面発熱板。
- 前記耐熱性絶縁フィルムは、高温溶解性のポリアミド樹脂をポリイミドフィルムに塗布して形成される絶縁性の耐熱樹脂フィルム(80)であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の平面発熱板。
- カーボン・ナノ・チューブを、パルプ繊維と混合してペーパー状に漉いて得られる導電性ペーパー(51)を平面発熱板の形状に合わせて成型加工するステップと、
成型加工された前記導電性ペーパーの周囲およびその端部に、電極形状に加工された銅箔電極(71)、および前記銅箔電極への給電のための銅箔給電電極(72)を貼着するステップと、
成型加工された前記導電性ペーパーの両面を、高温溶解性のポリアミド樹脂をポリイミドフィルムに塗布して形成される絶縁性の耐熱樹脂フィルム(80)でラミネートするステップと、
ラミネートされた前記導電性ペーパーを、所望の形状に打ち抜くステップと、
からなる平面発熱板の製造方法。
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