CN220520599U - 用于真空镀膜的加热装置及真空镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种用于真空镀膜的加热装置及真空镀膜设备，第一加热管包括第一输入管段、第一发热管段以及第一输出管段，第一输入管段设于第一发热管段的一端，第一输出管段设于第一发热管段的另一端，第一发热管段盘绕设置，第二加热管包括第二输入管段、第二发热管段以及第二输出管段，第二输入管段设于第二发热管段的一端，第二输出管段设于第二发热管段的另一端，第二发热管段盘绕设置，第一输入管段和第二输入管段均用于与电源正极电连接，第一输出管段和第二输出管段均用于与电源负极电连接，第一发热管段的轴线位于第一平面内，第二发热管段的轴线位于第二平面内，第一平面与第二平面平行且间隔设置，从而提高真空镀膜的质量和速度。

Description

用于真空镀膜的加热装置及真空镀膜设备

技术领域

本申请涉及真空镀膜技术领域，特别是涉及一种用于真空镀膜的加热装置及真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜是一种表面处理技术，通过在真空腔体内将镀膜材料以原子或分子的形式沉积在基底材料表面而形成一层薄膜的技术叫做真空镀膜，通过在基底材料表面进行真空镀膜，能够改善基底材料的表面性能，从而满足特定需求。

在真空腔体内进行镀膜时，需要通过加热器对真空腔体内进行加热以促进镀膜材料的蒸发或溅射，然而，传统技术中，加热器存在加热效率低的问题，进而影响真空镀膜的质量和速度。

发明内容

基于此，有必要针对用于真空镀膜的加热器的加热效率低从而影响真空镀膜的质量和速度的问题，提供一种用于真空镀膜的加热装置及真空镀膜设备。

其技术方案如下：

一个实施例提供了一种用于真空镀膜的加热装置，包括：

加热机构，所述加热机构包括第一加热管和第二加热管，所述第一加热管包括第一输入管段、第一发热管段以及第一输出管段，所述第一输入管段设于所述第一发热管段的一端，所述第一输出管段设于所述第一发热管段的另一端，所述第一发热管段盘绕设置，所述第二加热管包括第二输入管段、第二发热管段以及第二输出管段，所述第二输入管段设于所述第二发热管段的一端，所述第二输出管段设于所述第二发热管段的另一端，所述第二发热管段盘绕设置，所述第一输入管段和所述第二输入管段均用于与电源正极电连接，所述第一输出管段和所述第二输出管段均用于与电源负极电连接，所述第一发热管段的轴线位于第一平面内，所述第二发热管段的轴线位于第二平面内，所述第一平面与所述第二平面平行且间隔设置。

上述用于真空镀膜的加热装置，第一发热管段通过第一输入管段和第一输出管段分别与电源的正极和负极电连接，从而将电能转化为热能，第二发热管段通过第二输入管段和第二输出管段分别与电源的正极和负极电连接，从而将电能转化为热能，第一发热管段和第二发热管段均盘绕设置，不仅使其结构更加紧凑，还能够使加热效果更加均匀；通过设置第一发热管段的轴线和第二发热管段的轴线分别位于第一平面和第二平面，使加热装置在结构更加紧凑的同时实现多个热源的同时加热，从而提供更大的加热功率，加快加热过程；与传统技术相比，上述用于真空镀膜的加热装置拥有更加均匀的加热效果以及更高的加热效率，从而提高了真空镀膜的质量和速度。

下面对技术方案进行进一步说明：

在其中一个实施例中，所述第一发热管段与所述第二发热管段在第一方向上至少部分错位设置，所述第一方向与所述第一平面平行。

在其中一个实施例中，所述加热机构还包括加热板，所述加热板包括主体部，所述主体部与所述第一平面平行，所述第一发热管段和所述第二发热管段均位于所述主体部的同一侧，所述第一输入管段、所述第一输出管段、所述第二输入管段以及所述第二输出管段均穿设于所述主体部。

在其中一个实施例中，所述用于真空镀膜的加热装置还包括保持机构，所述保持机构包括第一保持架，所述第一保持架设于所述主体部，所述第一保持架开设有第一固定孔和第二固定孔，所述第一发热管段穿设于所述第一固定孔，所述第二发热管段穿设于所述第二固定孔。

在其中一个实施例中，所述保持机构还包括第二保持架，所述第二保持架设于所述第一保持架，所述第二保持架开设有第三固定孔和第四固定孔，所述第一发热管段穿设于所述第三固定孔，所述第二发热管段穿设于所述第四固定孔，所述第一固定孔的轴线和所述第二固定孔的轴线均与第二方向平行，所述第三固定孔的轴线和所述第四固定孔的轴线均与第三方向平行，所述第二方向和所述第三方向均平行于所述第一平面，且所述第二方向垂直于所述第三方向。

在其中一个实施例中，所述第一保持架包括第一装配板，所述第一装配板设于所述主体部，所述第一装配板的一侧沿第四方向弯折以形成第一弯折部，所述第一装配板的另一侧沿所述第四方向弯折以形成第二弯折部，所述第一弯折部开设有所述第一固定孔和所述第二固定孔，所述第二弯折部开设有所述第一固定孔和所述第二固定孔；

所述第二保持架包括第二装配板，所述第二装配板设于所述第一装配板，所述第二装配板的一侧沿所述第四方向弯折以形成第三弯折部，所述第二装配板的另一侧沿所述第四方向弯折以形成第四弯折部，所述第三弯折部开设有所述第三固定孔和所述第四固定孔，所述第四弯折部开设有所述第三固定孔和所述第四固定孔，所述第四方向为所述第一装配板朝向所述主体部的方向。

在其中一个实施例中，所述第一保持架还包括连接件，所述连接件设于所述第一装配板，所述第二装配板通过所述连接件与所述第一装配板连接。

在其中一个实施例中，所述连接件包括延伸部，所述延伸部设于所述第一装配板并朝所述第二方向延伸设置，所述第二装配板与所述延伸部连接。

在其中一个实施例中，所述加热板还包括围栏，所述围栏沿所述主体部的周向设置并朝第五方向延伸，所述第五方向为所述主体部朝向所述第一发热管段的方向；

或/和，所述用于真空镀膜的加热装置还包括接线柱，所述接线柱位于所述主体部远离所述第一发热管段的一侧，所述第一输入管段、所述第二输入管段、所述第一输出管段以及所述第二输出管段均与所述接线柱电连接。

另一个实施例提供了一种真空镀膜设备，包括如上述任一实施例所述的用于真空镀膜的加热装置。

上述真空镀膜设备，采用上述任一实施例所述的用于真空镀膜的加热装置对真空腔体进行加热，第一发热管段通过第一输入管段和第一输出管段分别与电源的正极和负极电连接，从而将电能转化为热能，第二发热管段通过第二输入管段和第二输出管段分别与电源的正极和负极电连接，从而将电能转化为热能，第一发热管段和第二发热管段均盘绕设置，不仅使其结构更加紧凑，还能够使加热效果更加均匀；通过设置第一发热管段的轴线和第二发热管段的轴线分别位于第一平面和第二平面，使加热装置在结构更加紧凑的同时实现多个热源的同时加热，从而提供更大的加热功率，加快加热过程；与传统技术相比，上述用于真空镀膜的加热装置拥有更加均匀的加热效果以及更高的加热效率，从而提高了真空镀膜的质量和速度。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请一实施例中加热装置的整体示意图。

图2为本申请一实施例中加热装置的俯视图。

附图标注说明：

100、加热机构；110、第一加热管；111、第一输入管段；112、第一发热管段；113、第一输出管段；120、第二加热管；121、第二输入管段；122、第二发热管段；123、第二输出管段；130、盘绕间隙；140、主体部；141、围栏；200、接线柱；310、第一保持架；311、第一固定孔；312、第二固定孔；313、第一装配板；314、第一弯折部；315、第二弯折部；316、连接件；320、第二保持架；321、第三固定孔；322、第四固定孔；323、第二装配板；324、第三弯折部；325、第四弯折部。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，若有出现这些术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等，这些术语指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，若有出现这些术语“第一”、“第二”，这些术语仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，若有出现术语“多个”，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等，这些术语应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现第一特征在第二特征“上”或“下”等类似的描述，其含义可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，若元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。若一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。如若存在，本申请所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

请参阅图1至图2，本申请的一个实施例提供了一种用于真空镀膜的加热装置，其包括加热机构100，加热机构100包括第一加热管110和第二加热管120，第一加热管110包括第一输入管段111、第一发热管段112以及第一输出管段113，第一输入管段111设于第一发热管段112的一端，第一输出管段113设于第一发热管段112的另一端，第一发热管段112盘绕设置，第二加热管120包括第二输入管段121、第二发热管段122以及第二输出管段123，第二输入管段121设于第二发热管段122的一端，第二输出管段123设于第二发热管段122的另一端，第二发热管段122盘绕设置，第一输入管段111和第二输入管段121均用于与电源正极电连接，第一输出管段113和第二输出管段123均用于与电源负极电连接，第一发热管段112的轴线位于第一平面内，第二发热管段122的轴线位于第二平面内，第一平面与第二平面平行且间隔设置。

上述用于真空镀膜的加热装置，第一发热管段112通过第一输入管段111和第一输出管段113分别与电源的正极和负极电连接，从而将电能转化为热能，第二发热管段122通过第二输入管段121和第二输出管段123分别与电源的正极和负极电连接，从而将电能转化为热能，第一发热管段112和第二发热管段122均盘绕设置，不仅使其结构更加紧凑，还能够使加热效果更加均匀；通过设置第一发热管段112的轴线和第二发热管段122的轴线分别位于第一平面和第二平面，使加热装置在结构更加紧凑的同时实现多个热源的同时加热，从而提供更大的加热功率，加快加热过程；与传统技术相比，上述用于真空镀膜的加热装置拥有更加均匀的加热效果以及更高的加热效率，从而提高了真空镀膜的质量和速度。

可以理解的是，加热管的数量设置为两个以上，且上述的多个热源具体指代两个或两个以上数量的加热管段，具体到本实施例中，设置有两个热源即第一加热管段和第二加热管段，从而提供更大的加热功率。

可选地，第一加热管110和第二加热管120的材质可以选用不锈钢，也可以选用镍合金等具有良好导电性和耐高温性的材料，此处不做具体限定。

可选地，第一发热管段112和第二发热管段122的盘绕形状可以为矩形，也可以为圆形，此处不做具体限定；具体到本实施例中，第一发热管段112和第二发热管段122的盘绕形状为矩形，以便于设置多个加热装置时能够紧密排布，避免在排布时产生空隙。

请参阅图1，在一个实施例中，用于真空镀膜的加热装置还包括接线柱200，第一输入管段111、第二输入管段121、第一输出管段113以及第二输出管段123均与接线柱200电连接，具体地，第一输入管段111和第二输入管段121均通过接线柱200与电源的正极电连接，第一输出管段113和第二输出管段123均通过接线柱200与电源的负极电连接。

请参阅图1至图2，在一个实施例中，第一发热管段112与第二发热管段122在第一方向(如图2中的A方向)上至少部分错位设置，第一方向与第一平面平行。

如此设置，不仅能够增加整体加热区域的表面积，使加热效果更好，还能够分散第一发热管段112和第二发热管段122所产生的部分热量，防止过热现象的发生，从而提高第一发热管段112和第二发热管段122的使用寿命。

进一步地，第一发热管段112和第二发热管段122在盘绕时均具有盘绕间隙130，如此设置，不仅能够为第一发热管段112和第二发热管段122提供足够的热胀冷缩空间，还能够减少积灰和结垢的可能性，便于对第一发热管段112和第二发热管段122进行清理和维护；除此之外，当第一发热管段112和第二发热管段122在第一方向上至少部分错位设置时，第二发热管段122能够填充第一发热管段112的盘绕间隙130，使加热效果更好。

请参阅图1至图2，在本申请的一个优选实施例中，第一发热管段112和第二发热管段122的盘绕形状均为矩形且具有盘绕间隙130，第一方向为矩形的对角线方向，如此，第一发热管段112和第二发热管段122在第一方向上错位设置，以使第一发热管段112能够填补第二发热管段122的盘绕间隙130，使加热装置具有更加均匀地加热效果。

请参阅图1至图2，在一个实施例中，加热机构100还包括加热板，加热板包括主体部140，主体部140与第一平面平行，第一发热管段112和第二发热管段122均位于主体部140的同一侧，第一输入管段111、第一输出管段113、第二输入管段121以及第二输出管段123均穿设于主体部140。

如此设置，第一发热管段112和第二发热管段122在发热时能够对加热板的主体部140产生热辐射，以使主体部140产生热量并对待加热区域进行加热，从而均匀地分布热能，避免局部过热的现象发生。

可选地，加热板的材质可以选用陶瓷，也可以选用石英玻璃等能够产生红外辐射的材质，此处不做具体限定。

进一步地，加热板的主体部140的形状与第一发热管段112和第二发热管段122的盘绕形状相匹配，使加热板的主体部140能够快速升温；具体到本实施例中，主体部140的形状为矩形。

请参阅图1至图2，在一个实施例中，主体部140开设有第一通孔和第二通孔，第一输入管段111和第二输入管段121穿设于第一通孔，第一输出管段113和第二输出管段123穿设于第二通孔。

请参阅图1至图2，在一个实施例中，用于真空镀膜的加热装置还包括保持机构，保持机构包括第一保持架310，第一保持架310设于主体部140，第一保持架310开设有第一固定孔311和第二固定孔312，第一发热管段112穿设于第一固定孔311，第二发热管段122穿设于第二固定孔312。

第一保持架310设于加热板并开设有第一固定孔311和第二固定孔312，第一发热管段112穿设于第一固定孔311，第二发热管段122穿设于第二固定孔312，以对第一发热管段112和第二发热管段122进行固定，防止第一发热管段112和第二发热管段122产生晃动或位移，提高加热装置的使用寿命，减少潜在的安全风险。

进一步地，由于第一发热管段112的轴线位于第一平面内，第二发热管段122的轴线位于第二平面内，因此，为了使第一固定孔311的开设位置以及第二固定孔312的开设位置分别与第一发热管段112和第二发热管段122对应，第一固定孔311的轴线和第二固定孔312的轴线也分别在第一平面和第二平面内。

可选地，第一固定孔311的数量可以设置为一个，也可以设置为多个，第二固定孔312的数量可以设置为一个，也可以设置为多个，此处不做具体限定。

作为优选地，第一固定孔311的数量与第一发热管段112的盘绕圈数相对应，第二固定孔312的数量与第二发热管段122的盘绕圈数相对应，以对第一发热管段112和第二发热管段122产生更好的固定效果，防止其发生晃动或位移。

可选地，第一固定孔311和第二固定孔312的形状可以为圆孔，也可以为半圆孔等，只要能够对第一发热管段112和第二发热管段122进行固定即可，此处不做具体限定。

请参阅图1至图2，在一个实施例中，保持机构还包括第二保持架320，第二保持架320设于第一保持架310，第二保持架320开设有第三固定孔321和第四固定孔322，第一发热管段112穿设于第三固定孔321，第二发热管段122穿设于第四固定孔322，第一固定孔311的轴线和第二固定孔312的轴线均与第二方向(如图2中的B方向)平行，第三固定孔321的轴线和第四固定孔322的轴线均与第三方向(如图2中的C方向)平行，第二方向和第三方向均平行于第一平面，且第二方向垂直于第三方向。

通过在第二保持架320上开设第三固定孔321和第四固定孔322，第一发热管段112穿设于第三固定孔321，第二发热管段122穿设于第四固定孔322，以对第一发热管段112和第二发热管段122进行固定，通过设置第一固定孔311的轴线和第二固定孔312的轴线与第二方向平行，第三固定孔321的轴线和第四固定孔322的轴线与第三方向平行，第二方向垂直于第三方向，以对第一发热管段112和第二发热管段122提供不同方向的固定，进一步加强固定效果，防止第一发热管段112和第二发热管段122产生晃动或位移。

请参阅图1至图2，在一个实施例中，第一保持架310包括第一装配板313，第一装配板313设于主体部140，第一装配板313的一侧沿第四方向(如图1中的D方向)弯折以形成第一弯折部314，第一装配板313的另一侧沿第四方向弯折以形成第二弯折部315，第一弯折部314开设有第一固定孔311和第二固定孔312，第二弯折部315开设有第一固定孔311和第二固定孔312；第四方向为第一装配板313朝向主体部140的方向。

通过在第一装配板313的两侧沿第四方向弯折形成第一弯折部314和第二弯折部315，并设置第一弯折部314和第二弯折部315均开设有第一固定孔311和第二固定孔312，以进一步加强对第一发热管段112和第二发热管段122的固定效果。

此外，在上述实施例的基础上，第二保持架320包括第二装配板323，第二装配板323设于第一装配板313，第二装配板323的一侧沿第四方向弯折以形成第三弯折部324，第二装配板323的另一侧沿第四方向弯折以形成第四弯折部325，第三弯折部324开设有第三固定孔321和第四固定孔322，第四弯折部325开设有第三固定孔321和第四固定孔322，第四方向为第一装配板313朝向主体部140的方向。

通过在第二装配板323的两侧沿第四方向弯折形成第三弯折部324和第四弯折部325，并设置第三弯折部324和第四弯折部325均开设有第三固定孔321和第四固定孔322，以进一步加强对第一发热管段112和第二发热管段122的固定效果。

进一步地，第一装配板313的延伸方向垂直于第二装配板323的延伸方向，以对第一发热管段112和第二发热管段122进行不同方向的固定，加强对第一发热管段112和第二发热管段122的固定效果。

请参阅图1至图2，在一个实施例中，第一保持架310还包括连接件316，连接件316设于第一装配板313，第二装配板323通过连接件316与第一装配板313连接。

第二装配板323通过连接件316与第一装配板313连接，以确保第一装配板313和第二装配板323的连接可靠性，增强加热装置的整体结构牢固性。

进一步地，请参阅图1至图2，连接件316包括延伸部，延伸部设于第一装配板313并朝第二方向延伸设置，第二装配板323与延伸部连接。

通过在第一装配板313上设置沿第二方向延伸的延伸部，使第二装配板323通过延伸部与第一装配板313连接，以确保第一装配板313和第二装配板323的连接可靠性，同时增强加热装置的整体结构牢固性。

具体地，延伸部开设有第一螺孔，第二装配版开设有第二螺孔，螺栓与第一螺孔和第二螺孔螺接配合，以完成延伸部与第二装配板323的连接。

请参阅图1，在一个实施例中，加热板还包括围栏141，围栏141沿主体部140的周向设置并朝第五方向延伸，第五方向为主体部140朝向第一发热管段112的方向。

通过在加热板的周向设置朝第五方向延伸的围栏141，不仅能够增强加热板的热辐射效果，还能够防止其他物体与围栏141内的第一发热管段112和第二发热管段122发生碰撞并对其造成损伤。

本申请的另一个实施例提供了一种真空镀膜设备，包括如上述任一实施例的用于真空镀膜的加热装置。

上述真空镀膜设备，采用上述任一实施例所述的用于真空镀膜的加热装置对真空腔体进行加热，第一发热管段112通过第一输入管段111和第一输出管段113分别与电源的正极和负极电连接，从而将电能转化为热能，第二发热管段122通过第二输入管段121和第二输出管段123分别与电源的正极和负极电连接，从而将电能转化为热能，第一发热管段112和第二发热管段122均盘绕设置，不仅使其结构更加紧凑，还能够使加热效果更加均匀；通过设置第一发热管段112的轴线和第二发热管段122的轴线分别位于第一平面和第二平面，使加热装置在结构更加紧凑的同时实现多个热源的同时加热，从而提供更大的加热功率，加快加热过程；与传统技术相比，上述用于真空镀膜的加热装置拥有更加均匀的加热效果以及更高的加热效率，从而提高了真空镀膜的质量和速度。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种用于真空镀膜的加热装置，其特征在于，包括：

加热机构，所述加热机构包括第一加热管和第二加热管，所述第一加热管包括第一输入管段、第一发热管段以及第一输出管段，所述第一输入管段设于所述第一发热管段的一端，所述第一输出管段设于所述第一发热管段的另一端，所述第一发热管段盘绕设置，所述第二加热管包括第二输入管段、第二发热管段以及第二输出管段，所述第二输入管段设于所述第二发热管段的一端，所述第二输出管段设于所述第二发热管段的另一端，所述第二发热管段盘绕设置，所述第一输入管段和所述第二输入管段均用于与电源正极电连接，所述第一输出管段和所述第二输出管段均用于与电源负极电连接，所述第一发热管段的轴线位于第一平面内，所述第二发热管段的轴线位于第二平面内，所述第一平面与所述第二平面平行且间隔设置。

2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的加热装置，其特征在于，所述第一发热管段与所述第二发热管段在第一方向上至少部分错位设置，所述第一方向与所述第一平面平行。

3.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的加热装置，其特征在于，所述加热机构还包括加热板，所述加热板包括主体部，所述主体部与所述第一平面平行，所述第一发热管段和所述第二发热管段均位于所述主体部的同一侧，所述第一输入管段、所述第一输出管段、所述第二输入管段以及所述第二输出管段均穿设于所述主体部。

4.根据权利要求3所述的用于真空镀膜的加热装置，其特征在于，所述用于真空镀膜的加热装置还包括保持机构，所述保持机构包括第一保持架，所述第一保持架设于所述主体部，所述第一保持架开设有第一固定孔和第二固定孔，所述第一发热管段穿设于所述第一固定孔，所述第二发热管段穿设于所述第二固定孔。

5.根据权利要求4所述的用于真空镀膜的加热装置，其特征在于，所述保持机构还包括第二保持架，所述第二保持架设于所述第一保持架，所述第二保持架开设有第三固定孔和第四固定孔，所述第一发热管段穿设于所述第三固定孔，所述第二发热管段穿设于所述第四固定孔，所述第一固定孔的轴线和所述第二固定孔的轴线均与第二方向平行，所述第三固定孔的轴线和所述第四固定孔的轴线均与第三方向平行，所述第二方向和所述第三方向均平行于所述第一平面，且所述第二方向垂直于所述第三方向。

6.根据权利要求5所述的用于真空镀膜的加热装置，其特征在于，所述第一保持架包括第一装配板，所述第一装配板设于所述主体部，所述第一装配板的一侧沿第四方向弯折以形成第一弯折部，所述第一装配板的另一侧沿所述第四方向弯折以形成第二弯折部，所述第一弯折部开设有所述第一固定孔和所述第二固定孔，所述第二弯折部开设有所述第一固定孔和所述第二固定孔；

所述第二保持架包括第二装配板，所述第二装配板设于所述第一装配板，所述第二装配板的一侧沿所述第四方向弯折以形成第三弯折部，所述第二装配板的另一侧沿所述第四方向弯折以形成第四弯折部，所述第三弯折部开设有所述第三固定孔和所述第四固定孔，所述第四弯折部开设有所述第三固定孔和所述第四固定孔，所述第四方向为所述第一装配板朝向所述主体部的方向。

7.根据权利要求6所述的用于真空镀膜的加热装置，其特征在于，所述第一保持架还包括连接件，所述连接件设于所述第一装配板，所述第二装配板通过所述连接件与所述第一装配板连接。

8.根据权利要求7所述的用于真空镀膜的加热装置，其特征在于，所述连接件包括延伸部，所述延伸部设于所述第一装配板并朝所述第二方向延伸设置，所述第二装配板与所述延伸部连接。

9.根据权利要求3-8任一项所述的用于真空镀膜的加热装置，其特征在于，所述加热板还包括围栏，所述围栏沿所述主体部的周向设置并朝第五方向延伸，所述第五方向为所述主体部朝向所述第一发热管段的方向；

或/和，所述用于真空镀膜的加热装置还包括接线柱，所述接线柱位于所述主体部远离所述第一发热管段的一侧，所述第一输入管段、所述第二输入管段、所述第一输出管段以及所述第二输出管段均与所述接线柱电连接。

10.一种真空镀膜设备，其特征在于，所述真空镀膜设备包括如权利要求1-9任一项所述的用于真空镀膜的加热装置。