JP2013543274A - マイクロリソグラフィ露光装置の投影対物系 - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図1
Description
本出願は、両方共に2010年11月5日出願のドイツ特許出願DE 10 2010 043 10 498.1及びUS 61/410,521に対する優先権を請求するものである。これらの出願の内容は、引用によってここに組み込まれる。
a)点光源を結像する時に部分ビーム経路によって生成される波面(時に「系波面」とも呼ぶ)の収差を測定する段階。点光源は、物体平面OP内の様々な場所、好ましくは、いわゆるスキャナスロットの領域に配置することができる。これらの収差を測定するのに適する配列及び方法は、例えば、US 2008/0144043 A1又はUS 7 333 216 B2から公知である。
b)部分ビーム経路により、特にスキャナスロットの領域内に生成される像の歪曲を測定する段階。当業技術では、歪曲測定に適するのに適する配列及び方法は、同じく例えばUS 7 019 824 B2から公知である。
c)少なくとも2つの部分ビーム経路によって像平面IP又はウェーハ平面、特にスキャナスロットSの領域内に生成される像の重ね合わせを測定する段階。
ここで、D(SA)は、当該平面内の光学面M上の部分開口直径を表し、D(CR)は、最大主光線間隔(光学的使用視野の全ての視野点からの又は全ての視野点にわたって定義される)を表している。従って、視野ミラーには、P(M)=0が適用され(部分開口直径は0)、瞳ミラーには、P(M)=1が適用される(主光線間隔は0)。上述のミラー820は、掩蔽シャッター配列と同様に、好ましくは、パラメータP(M)が少なくとも0.8、特に少なくとも0.9である投影対物系の平面に配置される。
170 測定配列
IP 像平面
OA 光軸
OP 物体平面
R マスク(レチクル)
Claims (24)
- 投影露光装置の作動中に照明される物体平面を像平面に結像するためのEUVに向けて設計されたマイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物系であって、
投影対物系が、複数の別々のミラーセグメント(161〜163;261〜266,281〜284;311,312;411,412;510〜540)を含む少なくとも1つのミラーセグメント配列(160,260,280,310,410,500)を有し、
互いに異なり、かつ物体平面(OP)の像平面(IP)内への結像をそれぞれもたらす部分ビーム経路は、同じミラーセグメント配列の前記ミラーセグメントに関連付けられ、該部分ビーム経路は、該像平面(IP)内で重ね合わされ、該像平面(IP)内の同じ点において重ね合わされる少なくとも2つの部分ビームは、同じミラーセグメント配列の異なるミラーセグメントによって反射されたものである、
ことを特徴とする投影対物系。 - 前記少なくとも1つのミラーセグメント配列(160,260,280,310,410,500)は、前記像平面側で前記ビーム経路に関して最後のものである投影対物系の反射配列であることを特徴とする請求項1に記載の投影対物系。
- 前記少なくとも1つのミラーセグメント配列(160,260,280,310,410,500)は、最大の大きさの合計光学的有効面を有する投影対物系の反射配列であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の投影対物系。
- 前記少なくとも1つのミラーセグメント配列(160,260,280,310,410,500)は、少なくとも3つのミラーセグメント(161,162,163;261〜266,281〜284;411,412;510〜540)、特に、少なくとも4つのミラーセグメント(261〜266,281〜284;510〜540)を有することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の投影対物系。
- 前記同じミラーセグメント配列(160,260,280,410,500)の前記ミラーセグメント(161〜163;261〜266,281〜284;311,312;411,412;510〜540)は、それぞれ、隣接するミラーセグメントの間に任意的に存在する移行領域によってのみ中断される連続反射面を互いに形成することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の投影対物系。
- 各々が少なくとも2つの別々のミラーセグメント(261〜266,281〜284)を有する少なくとも2つのミラーセグメント配列(260,280)が設けられ、互いに異なり、前記物体平面(OP)の前記像平面(IP)内への結像をそれぞれもたらす、かつ該像平面(IP)内で重ね合わされるビーム経路は、前記同じミラーセグメント配列(260,280)の前記ミラーセグメント(161〜266,281〜284)に関連付けられることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の投影対物系。
- 一方のミラーセグメント配列(260)の前記ミラーセグメント(261〜266)のうちのそれぞれ1つが、他方のミラーセグメント配列(280)の前記ミラーセグメント(281〜284)のうちの1つに同じ部分ビーム経路との対毎の関係で関連付けられることを特徴とする請求項6に記載の投影対物系。
- 前記少なくとも1つのミラーセグメント配列(310,410)の照明を該ミラーセグメント配列の異なるミラーセグメント(311,312,411,412)に選択的に制限することができるように設計されたシャッター配列(315,316,317,415)が更に設けられることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の投影対物系。
- 前記ミラーセグメント配列の少なくとも2つのミラーセグメントが、互いに対して移動可能であることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の投影対物系。
- 投影露光装置の作動中に照明される物体平面を像平面に結像するためのEUVに向けて設計されたマイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物系であって、
投影対物系が、複数のミラーを含み、
前記複数のミラーのうちで最大の大きさを有するミラーが、複数の別々のミラーセグメント(161〜163;261〜266,281〜284;311,312;411,412;510〜540)を含むミラーセグメント配列(160,260,280,310,410,500)として形成される、
ことを特徴とする投影対物系。 - 掩蔽シャッター配列が更に設けられ、前記ミラーセグメント配列のミラーセグメントの間に残る少なくとも1つのミラーセグメント中間空間が、該掩蔽シャッター配列の遮光部に少なくとも部分的に配置されることを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の投影対物系。
- 投影露光装置の作動において照明される物体平面を像平面に結像するためのEUVに向けて設計されたマイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物系であって、
複数の別々のミラーセグメント(161〜163;261〜266,281〜284;311,312;411,412;510〜540;610〜650)を含む少なくとも1つのミラーセグメント配列(160,260,280,310,410,500,600)と、
前記ミラーセグメント配列のミラーセグメントの間に残る少なくとも1つのミラーセグメント中間空間が、掩蔽シャッター配列(710,720,910,920,930,940)の遮光部に少なくとも部分的に配置される掩蔽シャッター配列(710,720,910,920,930,940)と、
を含むことを特徴とする投影対物系。 - 前記ミラーセグメント配列のミラーセグメントの間に残る前記少なくとも1つのミラーセグメント中間空間は、回転対称、特に、環状幾何学形状のものであることを特徴とする請求項11又は請求項12に記載の投影対物系。
- 前記掩蔽シャッター配列は、回転対称、特に、環状幾何学形状のものであることを特徴とする請求項11から請求項13のいずれか1項に記載の投影対物系。
- 前記掩蔽シャッター配列(710,720,910,920,930,940)は、nがゼロよりも大きい自然数である場合に、光学系軸線に関してn重対称性、特に、4重対称性のものであることを特徴とする請求項11から請求項15のいずれか1項に記載の投影対物系。
- 投影露光装置の作動において照明される物体平面(OP)を像平面(IP)に結像するためのEUVに向けて設計されたマイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物系を製造する方法であって、
投影対物系が、複数のミラーを有し、
前記ミラーのうちの少なくとも1つが、複数の別々のミラーセグメント(161〜163;261〜266,281〜284;311,312;411,412;510〜540)から構成される、
ことを特徴とする方法。 - 前記像平面(IP)内の同じ点において重ね合わされる少なくとも2つの部分ビームが、前記複数の別々のミラーセグメント(161〜163;261〜266,281〜284;311,312;411,412;510〜540)の異なるミラーセグメントによって反射されたものであることを特徴とする請求項17に記載の方法。
- 複数の別々のミラーセグメントで構成された前記ミラーは、前記像平面側でビーム経路に関して最後のものであることを特徴とする請求項17又は請求項18に記載の方法。
- 複数の別々のミラーセグメントで構成された前記ミラーは、最大の大きさの合計光学的有効面を有するミラーであることを特徴とする請求項17から請求項19のいずれか1項に記載の方法。
- 前記ミラーセグメントのうちの少なくとも2つが、光学的に途切れることなく互いに結合されることを特徴とする請求項17から請求項20のいずれか1項に記載の方法。
- 前記ミラーセグメントのうちの少なくとも2つが、互いに対して有限の間隔で固定されることを特徴とする請求項17から請求項21のいずれか1項に記載の方法。
- マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物系を光学的に調節する方法であって、
投影対物系が、調節作動中にリソグラフィ工程のためにそれらの作動位置に向けられた複数のミラーを有し、
前記投影対物系は、複数の別々のミラーセグメント(161,162,163;261〜266,281〜284;311,312;411,412;510〜540)を含む少なくとも1つのミラーセグメント配列(160,260,280,310,410,500)を有し、
調節が、それぞれの調節段階において物体平面(OP)の像平面(IP)内への結像に寄与する前記ミラーセグメントに関して互いに異なる少なくとも2つの調節段階においてなされる、
ことを特徴とする方法。 - マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物系を光学的に調節するための配列であって、
投影対物系が、調節作動中にリソグラフィ工程のためにそれらの作動位置に向けられる複数のミラーを有し、
前記投影対物系は、複数の別々のミラーセグメント(161,162,163;261〜266,281〜284;311,312;411,412;510〜540)を含む少なくとも1つのミラーセグメント配列(160,260,280,310,410,500)を有し、
配列が、前記ミラーセグメント配列(160,260,280,310,410,500)の照明を前記ミラーセグメント(161,162,163;261〜266,281〜284;311,312;411,412;510〜540)のうちの1つ又はそれよりも多くに選択的に制限することができる少なくとも1つの可変シャッター配列(315,316,317,415)を有する、
ことを特徴とする配列。
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