JP2008518454A - イメージング装置又は露光装置、特に電子マイクロ回路を作成するための装置 - Google Patents
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Abstract
前記光学形成装置はレチクルの下流側に配置され、前記光学形成装置(4)は一連のミラー(7,8,10,11)を有し、少なくともその内の2つ(10,11)は、変形可能なミラーであって、制御ユニット(14)に接続する変形部材(12,13)を含む。
前記制御ユニット(14)はイメージアナライザー(15)に関連付けられ、第1に、イメージ品質の設定値に関連する差に基づいて、及び、第2に、イメージ歪み設定値に関連する差に基づいて、それぞれ別々に、2つの変形可能なミラーを変形する。
【選択図】図1
Description
以下に、本発明の露光装置の概略図である図面を参照して、本発明の他の特徴と有利な点、特に本発明の非制限的な実施例を説明する。
Claims (7)
- 放射(2)を行う放射源(1)と、レチクル(3)から下流側の放射を整形するために放射源と光学的プロジェクション装置(4)との間に設けられるレチクル(3)とを有するイメージング装置又は露光装置であって、
該光学的プロジェクション装置(4)は前記レチクル(3)の画像(5)を形成するための一連のミラー(7,8,10,11)を含み、前記光学的プロジェクション装置(4)の少なくとも2つのミラー(10,11)は、制御ユニット(14)に接続する変形部材(12,13)を含む変形可能なミラーであり、
前記装置は、前記制御ユニットがイメージアナライザー(15)に関連付けられ、主としてイメージ品質の設定値に関連する差に基づいて変形可能な複数のミラーの内の1つ(10)を変形させ、又、主としてイメージ歪み設定値に関連する差に基づいて別の変形可能なミラーを変形させる特徴を持つイメージング装置又は露光装置。 - 変形可能な複数のミラーの内の1つ(10)が光学的プロジェクション装置(4)の瞳(pupil)に設けられることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 光学的プロジェクション装置(4)の瞳(pupil)に配置される、変形可能なミラーの複数の変形部材(12)は主としてイメージ品質設定値に基づいて制御されることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 複数の変形可能な複数のミラーの内の1つ(11)は、光学的プロジェクション装置と画像(5)との間の中間的ミラーであることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記中間的ミラー(11)が主としてイメージ歪み設定値の関数として制御されることを特徴とする請求項4に記載の装置。
- 前記中間的変形可能なミラー(11)が画像(5)の上流側の近傍に配置されることを特徴とする請求項4に記載の装置。
- 前記変形部材(12,13)が1Hzより小さいレートで制御されることを特徴とする請求項1に記載の装置。
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