JP2013537719A - 長寿命デポジションリング - Google Patents
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
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- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/458—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for supporting substrates in the reaction chamber
- C23C16/4582—Rigid and flat substrates, e.g. plates or discs
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- C23C16/4585—Devices at or outside the perimeter of the substrate support, e.g. clamping rings, shrouds
Abstract
【選択図】図1
Description
他の実施形態において、環状デポジションリング本体を備えるプロセスキットが提供され、該本体は、内壁と、外壁と、少なくともリング本体の上面の一部を規定する傾斜上部壁と、上部壁と、下部壁と、傾斜上部壁と内壁との間のリング本体の上面に陥凹するトラフ部と、外壁の半径方向内側に配置され下部壁と平行であるランド部と、リング本体のランド部と接合するように配置されるリッジ部を有するカバーリングとを含み、カバーリングは、該カバーリングのリッジ部がリング本体のランド部と接合する場合に、リング本体の上部壁と共にラビリンスギャップを形成するように配置されるリップを備える。
Claims (15)
- 環状のデポジションリング本体を備えるプロセスキットであって、該デポジションリング本体は、
内壁と、
外壁と、
少なくともリング本体の上面の一部を規定して外壁に向って上向きに傾斜する傾斜上部壁と、
前記傾斜上部壁と前記外壁との間に配置される上部壁と、
前記上部壁から所定距離だけ離間した下部壁と、
前記傾斜上部壁と前記内壁との間の前記リング本体の上面に陥凹したトラフ部と、
を含み、
前記トラフ部の最も低い位置が、前記上部壁と前記下部壁との間の距離の少なくとも半分まで延びている、プロセスキット。 - 前記リング本体が、
前記外壁と前記上部壁との間で、前記本体中に前記下部壁に向って延びる少なくとも1つのノッチ部と、
少なくともリング本体の少なくとも上面の一部を規定して、前記内壁から半径方向外側に向かうと共に前記内壁に直交して配置される内縁と、
外壁から半径方向内側に向って配置され、下部壁に対して平行であるランド部と、
を更に備える、請求項1に記載のプロセスキット。 - 前記内壁及び前記外壁は平行であり、前記上部壁及び前記下部壁は、前記内側及び外壁に対して直交する、請求項1に記載のプロセスキット。
- 前記リング本体は、前記内壁から半径方向外側に配置され、前記内壁と平行である上部内壁を更に備える、請求項1に記載のプロセスキット。
- 前記リング本体は、前記下部壁に陥凹され、前記下部壁に平行である凹部を更に備える、請求項1に記載のプロセスキット。
- 前記リング本体の前記外壁は、該リング本体の上面に隣接するテーパー部を備える、請求項1に記載のプロセスキット。
- 前記リング本体は、前記下部壁内に該リング本体の上面に向って延びるスロットを備える、請求項1に記載のプロセスキット。
- 環状のデポジションリング本体を備えるプロセスキットであって、該デポジションリング本体は、
内壁と、
前記内壁から所定距離だけ離間した外壁と、
少なくともリング本体の上面の一部を規定して外壁に向って上向きに傾斜し、頂点が前記内壁から、該内壁と前記外壁との間の距離の少なく半分の位置まで延びる、傾斜上部壁と、
前記傾斜上部壁と前記外壁との間に配置される上部壁と、
下部壁と、
前記傾斜上部壁と前記内壁との間の前記リング本体の上面に陥凹したトラフ部と、
を含む、プロセスキット。 - 前記リング本体が、
前記外壁と前記上部壁との間で、前記本体中に前記下部壁に向って延びる少なくとも1つのノッチ部と、
少なくともリング本体の少なくとも上面の一部を規定して、前記内壁から半径方向外側に向かうと共に前記内壁に直交して配置される内縁と、
外壁から半径方向内側に向って配置され、下部壁に対して平行であるランド部と、
を更に備える、請求項8に記載のプロセスキット。 - 前記内壁及び前記外壁は平行であり、前記上部壁及び前記下部壁は、前記内側及び外壁に対して直交する、請求項8に記載のプロセスキット。
- 前記リング本体は、前記内壁から半径方向外側に配置され、前記内壁と平行である上部内壁を更に備える、請求項8に記載のプロセスキット。
- 前記リング本体は、前記下部壁に陥凹され、前記下部壁に平行である凹部を更に備える、請求項8に記載のプロセスキット。
- 前記リング本体の前記外壁は、該リング本体の上面に隣接するテーパー部を備える、請求項8に記載のプロセスキット。
- 前記リング本体は、前記下部壁内に該リング本体の上面に向って延びる、スロットを備える、請求項8に記載のプロセスキット。
- 環状のデポジションリング本体を備えるプロセスキットであって、該デポジションリング本体は、
内壁と、
前記内壁から所定距離だけ離間した外壁と、
少なくともリング本体の上面の一部を規定して外壁に向って上向きに傾斜し、頂点が前記内壁から、該内壁と前記外壁との間の第1の距離の少なく半分の位置まで延びる、傾斜上部壁と、
前記傾斜上部壁と前記外壁との間に配置される上部壁と、
下部壁と、
前記傾斜上部壁と前記内壁との間の前記リング本体の上面に陥凹し、最も低い位置が前記上部壁と前記下部壁との間の第2の距離の少なくとも半分まで延びているトラフ部と、
前記外壁の半径方向内側に配置され、前記下部壁と平行であるランド部と、
前記リング本体の前記ランド部と接合するように配置されるリッジ部を有するカバーリングと、
を含み、
前記カバーリングは、該カバーリングの前記リッジ部が前記リング本体のランド部と接合する場合に、前記リング本体の前記上部壁と共にラビリンスギャップを形成するように配置されるリップを備える、プロセスキット。
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