JP2013537161A - 高純度ケイ素の生成のための方法 - Google Patents
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Abstract
高純度ケイ素を生成するための方法を説明する。炭素塩素化工程で、SiCl4がSiO2含有出発物質から生成され、方法の更なるステップで高純度ケイ素はSiCl4から得られる。いずれのステップでも元素状ケイ素を添加することなく、特別な効果と安価な方法が得られる。
【選択図】図1
【選択図】図1
Description
本発明は、高純度ケイ素を調製するための方法に関する。
先行技術は、高純度の元素状ケイ素を生成するための、高温で水素H2存在下でのトリクロロシランHSiCl3の分解を開示している(例えば、特許文献1または2参照)。この方法は、シーメンス法として知られている。この反応は、以下の反応方程式によって、水素の大過剰により1000〜1100℃で進行すると報告されている(例えば、非特許文献1参照)。
HSiCl3+H2→Si+3HCl
しかし、反応条件によっては(800〜900℃(例えば、非特許文献1参照))、水素の欠如下で様々な程度まで同時に進行する第2の分解反応が、四塩化ケイ素SiCl4の形成をもたらす。
4HSiCl3→Si+3SiCl4+2H2
以下に示すケイ素を調製するための第2の方法、デグサ法もまた、トリクロロシランの反応に基づいており、SiCl4を放出する。これは、第2ステップにおいて元素状ケイ素に転換するために、HSiCl3からの不均化によってモノシランSiH4を最初に生成することを含む。
4HSiCl3→SiH4+3SiCl4
SiH4→Si+2H2
SiH4→Si+2H2
HSiCl3は、以下に示す単純化した方程式に相当する、金属ケイ素とのHClの反応によって、分解反応を逆転して高純度ケイ素を調製するための工業工程において得られる(例えば、非特許文献2または特許文献3参照)。
Si+3HCl→HSiCl3+H2
反応条件および触媒の存在または使用ケイ素中の不純物によっては、四塩化ケイ素SiCl4もまた、反応の副生成物として形成される。その場合には、反応生成物は、蒸留およびさらなる精製法によって分離され、HSiCl3が高純度ケイ素の調製に適切な純度で得られる。
SiCl4が、プラズマ化学プロセスにおいてH2と最初に反応して塩素化ポリシランを生成し、次に塩素化ポリシランは、熱分解されてケイ素およびSiCl4を生成する、ケイ素を調製するための2段階の方法が開示されており(例えば、特許文献4参照)、これは以下に例示の反応方程式に相当する。
SiCl4+H2→1/x(SiCl2)x+2HCl
2/x(SiCl2)x→Si+SiCl4
2/x(SiCl2)x→Si+SiCl4
第1の反応ステップ中へのSiCl4の再循環は、以下に示す総括方程式に従って、元素状ケイ素へのSiCl4の完全な転換を最終的にもたらす。
SiCl4+2H2→Si+4HCl
同様に、HSiCl3、プラズマ化学の手段によって水素の不在下で、塩素化ポリシランに転換でき、引き続きケイ素へ熱分解できることが述べられている(例えば、特許文献4参照)。この手順は、以下の単純化した反応方程式によって説明できる。
2HSiCl3→2/x(SiCl2)x+2HCl
2/x(SiCl2)x→Si+SiCl4
2/x(SiCl2)x→Si+SiCl4
同様に、塩素化ポリシランへのプラズマ化学プロセスにおける、その他の塩素化モノシランHnSiCl4-n(n=1〜3)、その混合物または塩素化モノシランとSiCl4との混合物の転換も特許請求されている。
先行技術は、SiCl4が、水素と反応してHSiCl3を生成できることを開示している。
SiCl4+H2→HSiCl3+HCl
工業的な実施においては、しばしば、過剰の水素が使用されている。600〜1200℃でのH2/SiCl4混合物の反応と、それに続く生成ガス混合物の抑制が開示されており、HSiCl3への37%までの転換率を達成している(例えば、特許文献5参照)。プラズマ条件下でのこの反応の成果は、HSiCl3への64.5%までの転換率を達成すると記載されている(例えば、特許文献6または7参照)。場合によっては、記載された反応条件下で、より高度に水素化されたH2SiCl2も形成されている。アーク灯でガスを加熱することによって得られる水素原子とのSiCl4の反応も記載されている(例えば、特許文献8参照)。この場合、使用SiCl4の約90%まで、水素化モノシランHnSiCl4-n(n=1〜3)に転換される。
SiCl4をH2と反応させることと、放出されたHClおよびSiからHSiCl3を得ることとを組み合わせる2段階の方法が記載されている(例えば、特許文献9、10または7参照)。以下に例示の反応方程式に従って、最初にSiCl4を1100〜1300℃で元素状ケイ素と反応させてから、形成された反応生成物:SiCl2および・SiCl3をHClと反応させ得ることもまた知られている(例えば、特許文献11参照)。
SiCl4+Si→2 :SiCl2
2SiCl2+2HCl→2HSiCl3
2SiCl2+2HCl→2HSiCl3
しばしば、2つの反応ステップ、SiCl4の転換およびHClの反応が単一の反応器において実施され、特許請求されている(例えば、特許文献12、13または14参照)。HSiCl3の全収率は、触媒の添加および規定された反応条件によって影響される。
高純度ケイ素の調製のための生成方法にHClを再循環するための唯一の方法は、低純度であっても元素状ケイ素を利用せざるを得ないことが、以上に記載された先行技術から明らかになる。金属ケイ素を調製するための工業的に慣例的な方法は、2000℃を超える温度で、アーク電灯下、石英の形態のSiO2を過剰の炭素と反応させてケイ素を生成する(例えば、非特許文献3参照)。
SiO2+2C→Si+2CO
さらに、SiCl4は、HClを用いて、1200〜1400℃での炭素塩素化(carbochlorination)反応によって、SiO2含有材料から得ることができることが開示されている(例えば、特許文献15、16または17参照)。
SiO2+4HCl+2C→SiCl4+2H2+2CO
生成ガス混合物の急速な冷却は、クロロシランのその後の加水分解によるH2Oの形成を妨げる。この方法は、最終生成物を得られる前に、天然のSiO2原材料を最初にエネルギー集約的に元素状ケイ素に転換する必要がない点で、ケイ素およびHClからのHSiCl3および/またはSiCl4の調製のための上述の従来の方法に比べて有利である。しかし、反応の唯一のケイ素含有生成物はSiCl4である。HSiCl3は、反応温度が高いせいで直接調製できないことが報告されている(例えば、非特許文献4参照)。元素のハロゲン化物とハロゲン化水素との反応の間に形成される水素が、元素のハロゲン化物の析出のために利用できることが言及されている(例えば、特許文献15および16参照)。この水素が、エネルギー的利用のためだけでなく、高純度の元素の析出のための還元剤としても利用できることが報告されている(例えば、非特許文献4参照)。しかし、いずれの場合にも、方法についてこれ以上は詳述されていない。
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本発明の目的は、特に高い効率を特徴とする、より詳細には、さらなる原材料の投入および/または追加の廃棄物質の排出を必要としない、高純度ケイ素を調製するための方法を提供することにある。
この目的は、本発明に従って請求項1に記載の方法によって達成される。
方法の発展は、従属請求項から明らかである。
本発明による方法において、高純度ケイ素はSiO2含有出発物質から、最初に炭素塩素化によってSiCl4を生成し、次に、生成されたSiCl4を、高純度ケイ素を得るためのさらなるステップにおいて用いることによって調製される。本発明による方法は、元素状ケイ素が、方法ステップのいずれにおいても供給されないような様式で実施される。これは、特に効率的で、特に安価な方法を達成する。
本発明による方法において、高純度ケイ素はSiO2含有出発物質から、最初に炭素塩素化によってSiCl4を生成し、次に、生成されたSiCl4を、高純度ケイ素を得るためのさらなるステップにおいて用いることによって調製される。本発明による方法は、元素状ケイ素が、方法ステップのいずれにおいても供給されないような様式で実施される。これは、特に効率的で、特に安価な方法を達成する。
方法のさらなる実施形態において、炭素塩素化反応は、700℃〜1500℃の温度、好ましくは800℃〜1300℃の温度、より好ましくは900℃〜1100℃の温度で実施できる。
方法の発展において、方法で得られた副生成物は、方法に再循環され、再利用される。これは好ましくは、方法において得られた全ての副生成物について行われる。
より詳細には、方法において得られたHClは、炭素塩素化のために用いられる。
本発明による方法のさらなる実施形態において、方法において得られた高純度ケイ素は、半導体用途に適しており、半導体用途向けのケイ素の電子物性に悪影響を与える不純物を、10ppm未満、好ましくは1ppm未満、より好ましくは1ppb未満しか有さない。これらの不純物は、周期表の第3主族及び第5主族の元素、特にB、Al、P、As、ならびにまたCaおよびSnなどの金属およびFeなどの遷移金属である。かかる不純物は、ケイ素の伝導率およびケイ素における電荷キャリア寿命に関する電気的計測器を用いてまたは質量分析器を用いて、より詳細にはIC−PMS(誘導結合プラズマによる質量分析装置)を用いて測定できる。
原則として、本発明は、本発明による方法の実施のための4つの主要な変形形態を提示し、変形形態のそれぞれにおいて、得られたSiCl4は、さらなる方法ステップで高純度ケイ素に転換される。方法のこれらの主要な変形形態は、請求項4、8、11および15に記載されている。付随する従属請求項は、得られた副生成物、特にHClおよび水素の利用を例示している。
本発明との関連では、塩素化ポリシランは、それぞれが少なくとも1つの直接的なSi−Si結合を含有する化合物またはその化合物の混合物であり、その置換基は、塩素からまたは塩素および水素からなり、その組成は、少なくとも1:1の原子置換基:ケイ素比を含む。
HClでの炭素塩素化によるSiO2からのSiCl4の調製の間に、ガス混合物が形成され、そのガス混合物から所望のSiCl4生成物が、例えば凝縮によって分離される。残る副生成物は、H2およびCOだけでなく、SiCl4およびHClの残留物も含有し得るガス混合物である。さらなる処理ステップに必要ならば、SiCl4およびHClは、例えば水または水溶液による単純なガス洗浄によって除去できる。
H2およびCOを含有するガス混合物は、2つの方法でさらに処理できる。第1に、適切な分離方法、例えば、圧力スイング吸着法または膜分離法によって、水素を除去することが可能である。第2に、ガス混合物は、水蒸気による酸化炭素転換に供することができ、さらなる水素が以下の反応式に従って得られる。
CO+H2O→CO2+H2
酸化炭素転換は、発熱過程であるので、炭素塩素化より低い温度で実施できる。酸化炭素転換は、Co3O4などの触媒、Fe/CrもしくはCr/Mo触媒、またはCu/Zn触媒を用いて、例えば、200℃〜500℃、好ましくは300℃〜450℃で実施できる。
次に、第2ステップにおいて水素を除去できる。さらに、第1の場合において結果として生じる、水素を使い果たしたガス混合物もまた酸化炭素転換に供することができ、水素の第2の除去を達成できる。
このようにして得られた水素は、炭素塩素化ステップにおいて得られたSiCl4のさらなる処理のための第1の方法の変形形態において利用できる。第1の実施形態において、この水素の少なくとも一部分は、HClの脱離を伴うSiCl4の水素化のために用いられて、塩素化モノシランHnSiCl4-n(n=1〜3)が生成され、これらは続いて、必要ならばさらなるH2を用いて、シーメンス法の様式での分解によりケイ素およびHClに転換される。追加のH2が分解反応の間に放出される場合、これは、SiCl4の水素化のために再び用いられる。両方の方法ステップにおいて、形成されたHClは、生成ガス混合物から分離され、SiO2からのSiCl4の調製のために再利用される。個々の反応ステップは、以下の通り単純化した形式で表すことができる。
SiO2+4HCl+2C→SiCl4+2H2+2CO
SiCl4+nH2→HnSiCl4-n+nHCl(n=1〜3)
HnSiCl4-nxH2→Si+4−nHCl+yH2
(n=2,3の場合x=0、n=1の場合x=1、n=1,2の場合y=0、n=3の場合y=1)
SiCl4+nH2→HnSiCl4-n+nHCl(n=1〜3)
HnSiCl4-nxH2→Si+4−nHCl+yH2
(n=2,3の場合x=0、n=1の場合x=1、n=1,2の場合y=0、n=3の場合y=1)
ケイ素を生成するための塩素化モノシランの反応の副生成物として発生し得るSiCl4は同様に、H2と再び反応させて塩素化モノシランを生成することによって、生成方法中へ再循環できる。
方法の第2の実施形態において、水素は、HClの脱離を伴うSiCl4の水素化のために用いられて、塩素化モノシランHnSiCl4-n(n=1〜3)を生成し、これらは続いて、不均化によってSiH4に、続いてデグサ法においてケイ素およびH2に転換される。本発明のさらなる実施形態において、不均化は、触媒、例えば、独国特許出願公開2162537号明細書において言及されている、二級および三級アミンまたは四級アンモニウム塩の見込まれる存在下、0℃〜400℃、好ましくは0℃〜150℃の温度で実施できる。形成された水素は、炭素塩素化からのさらなる水素と一緒に用いられ、得られたSiCl4から不均化および炭素塩素化の間に塩素化モノシランが再び得られる。形成されたHClは、再び用いられてSiO2の炭素塩素化によりSiCl4が得られる。個々の反応ステップは、以下の単純化した反応方程式(n=1〜3の場合)に相当する。
nSiO2+4nHCl+2nC→nSiCl4+2nH2+2nCO
4SiCl4+4nH2→4HnSiCl4-n+4nHCl
4HnSiCl4-n→nSiH4+4−nSiCl4
nSiH4→nSi+2nH2
4SiCl4+4nH2→4HnSiCl4-n+4nHCl
4HnSiCl4-n→nSiH4+4−nSiCl4
nSiH4→nSi+2nH2
方法の第3の実施形態において、水素を用いて、プラズマ化学プロセスにおいてSiCl4から塩素化ポリシランを得る。これは同様に、HClも生成する。塩素化ポリシランは、熱分解によってケイ素およびSiCl4へ転換され、SiCl4は回収され、再び、プラズマ化学反応に供される。ここにおける手順は、PCT出願の国際公開第2006/125425号において記載されている通りであり得る。HClは、プラズマ化学プロセスのステップからの生成ガス混合物から分離され、SiO2の炭素塩素化によるSiCl4の調製のために再利用される。個々の反応ステップは、以下に例示の単純化した反応方程式に相当する。
SiO2+4HCl+2C→SiCl4+2H2+2CO
2SiCl4+2H2→2/x(SiCl2)x+4HCl
2/x(SiCl2)x→Si+SiCl4
2SiCl4+2H2→2/x(SiCl2)x+4HCl
2/x(SiCl2)x→Si+SiCl4
方法の第4の実施形態において、水素が、HClの脱離を伴うSiCl4の水素化のために用いられて、塩素化モノシランHnSiCl4-n(n=1〜3)を生成し、これらは続いて、プラズマ化学プロセスにおいて塩素化ポリシランへ転換され、次に、塩素化ポリシランは元素状ケイ素およびSiCl4へ熱分解される。塩素化モノシランのさらなる処理の間に放出される水素は同様に、SiCl4の水素化のために再利用される。熱分解からのSiCl4は、塩素化モノシランの調製のために再利用される。プラズマのプロセスの間および塩素化モノシランの生成の間に放出されるHClは、SiO2の炭素塩素化によるSiCl4の調製のために再利用される。個々の反応ステップは、HSiCl3の例として、単純化した以下の反応方程式に相当する。
SiO2+4HCl+2C→SiCl4+2H2+2CO
2SiCl4+2H2→2HSiCl3+2HCl
2HSiCl3→2/x(SiCl2)x+2HCl
2/x(SiCl2)x→Si+SiCl4
2SiCl4+2H2→2HSiCl3+2HCl
2HSiCl3→2/x(SiCl2)x+2HCl
2/x(SiCl2)x→Si+SiCl4
塩素化ポリシランのプラズマ化学的調製において、水素含有の塩素化ポリシランを形成することもまた可能である。熱分解の間に、これらは、SiCl4とHClおよび/またはH2とを放出する。このようにして形成されたHClは、SiO2の炭素塩素化によるSiCl4の調製のために再利用できる。このようにして形成された水素は、プラズマ化学プロセスのステップに再循環でき、または、第4の実施形態の場合は、塩素化モノシランの調製においてもまた利用できる。
塩素化ポリシランの熱分解もまた、塩素化モノシランHnSiCl4-n(n=1〜3)を放出し得る。これらは、塩素化ポリシランのプラズマ化学的調製において再利用できる。塩素化モノシランは、適切な方法によってSiCl4から分離でき、第4の実施形態による方法におけるプラズマ化学反応において用いることもできるし、あるいはSiCl4との混合物中での水素化ステップに投入することもできる。
本発明の前記実施形態における塩素化モノシランHnSiCl4-n(n=1〜3)の調製の間に、様々な程度の水素化によって化合物の混合物を形成することもまた可能である。第1に、これらは、適切な様式で、例えば、蒸留によって分離でき、さらなる転換は、対応する分離方法ステップにおいて達成できる。第2に、塩素化モノシランの混合物は、その成分にさらに分離することなく、さらに処理できる。
プラズマ化学プロセスのステップを有する2つの実施形態は、SiCl4と塩素化モノシランとの混合物を用いて塩素化ポリシランの生成すること、およびそれに応じてより少量のH2を用いてプラズマ化学反応を行うことによって、互いに組み合わせることができる。かかる混合物は、例えば、SiCl4の水素化中における四塩化物の完全な転換を目的としないこと、または塩素化ポリシランの熱分解の間に、SiCl4と塩素化モノシランとの混合物を形成することによって、得ることができる。例えば、熱分解から得られたSiCl4のみ、あるいは炭素塩素化反応から生ずるSiCl4のみを水素化に供して、塩素化モノシランを生成することも同様に可能である。
前記2つの方法もまた、塩素化モノシランからプラズマ化学的手段によって最初に塩素化ポリシランを生成することによって、組み合わせることができるが、一方、熱分解において形成されるSiCl4は、塩素化ポリシランのプラズマ化学的調製の場合、水素との別の反応に供される。
全ての実施形態は、以下の実験方程式に相当する。
SiO2+2C→Si+2CO
全ての追加の補助物質(HCl、H2)および中間体(SiCl4、HnSiCl4-n、SiH4、塩素化ポリシラン)は循環プロセス内で流通され、したがって、さらなる原材料の投入も追加の廃棄材料の排出も基本的に必要ない。4つの実施形態は、図1〜6に概略的に示される。本発明によれば、補助物、中間体または反応副生成物の転換のために、元素状ケイ素は用いられない。
方法の工業規模での実施においては、SiO2および炭素原料の汚染によって、および中間体の単離のための分離および精製ステップの間に起こる、HClおよびH2の損失を補填することのみが必要である。
HClによるSiO2の炭素塩素化によって得られたSiCl4は、材料を、高純度ケイ素の調製への利用に不適切なものとする不純物を含有し得る。しかし、汚染されているSiCl4は、先行技術の方法によって十分に精製し、さらに処理して高純度ケイ素を生成することができる。
中間体として塩素化モノシランHnSiCl4-n(n=1〜3)を含む本発明による方法の実施形態の場合は、不十分な純度を有するSiCl4を最初に水素化して塩素化モノシランを生成し、次いで、塩素化モノシランまたは塩素化モノシランとSiCl4との混合物を適切な方法によって精製することもまた可能である。
あらゆる場合において、生成方法へのH2の完全な再循環のために、炭素塩素化ステップにおいて直接得られるガスの量を除いて、水素のさらなる必要性はない。しかし、特に、COおよび水素の分離は、工業的実施においてはH2の損失に関連する可能性があり、したがって酸化炭素転換によるH2の追加的生成は、これらの損失に置き換わることができる。
さらに、H2とのクロロシランSiCl4またはHSiCl3の反応は、過剰の水素の存在下でしばしば実施される。対応する生成物および副生成物の除去の後に、この過剰な水素は生成方法に再循環できる。この回収ステップの間にも、損失が起こりうる可能性があり、これらは、酸化炭素転換から生じる水素によって、少なくとも部分的に相殺し得る。
1.炭素塩素化
細かく分割された石英4gを、活性化炭粉末4g、小麦粉2gおよび少量の水と混合して、ペースト状および粒状(粒径およそ1〜3mm)に転換する。材料を完全に乾燥させて(80℃)、石英ウールプラグの間の直径2.5cmの石英ガラス管中へ導入し、1050℃までで完全にか焼する(管状炉)。HClガス約20ml/sを、1.5hの時間にわたって1050℃でこのベッドに通す。形成された蒸気を、−50℃で冷トラップ中に凝縮する。解凍後、約1.2g=理論値(HClに基づく理論的収量)の38%のSiCl4を無色の液体として単離し、29Si NMR分光測定法によって特性解析する。
細かく分割された石英4gを、活性化炭粉末4g、小麦粉2gおよび少量の水と混合して、ペースト状および粒状(粒径およそ1〜3mm)に転換する。材料を完全に乾燥させて(80℃)、石英ウールプラグの間の直径2.5cmの石英ガラス管中へ導入し、1050℃までで完全にか焼する(管状炉)。HClガス約20ml/sを、1.5hの時間にわたって1050℃でこのベッドに通す。形成された蒸気を、−50℃で冷トラップ中に凝縮する。解凍後、約1.2g=理論値(HClに基づく理論的収量)の38%のSiCl4を無色の液体として単離し、29Si NMR分光測定法によって特性解析する。
2.塩素化ポリシランの生成のためのプラズマ反応
H2300sccmおよびSiCl4 600sccm(1:2)の混合物を、1.5〜1.6hPaの範囲内で方法圧力を一定に維持しながら石英ガラス反応器中へ導入する。次に、ガス混合物を、高周波放電を用いてプラズマ状態へ転換し、塩素化ポリシランの沈殿が反応器の冷却された(20℃)石英ガラス壁上に形成される。導入された電力は400Wである。4時間後、オレンジ色がかった黄色の生成物を少量のSiCl4に溶解することによって反応器から除去する。減圧下でのSiCl4の除去の後で、塩素化ポリシラン187.7gが、オレンジ色がかった黄色の粘着性物質の形態で残る。
H2300sccmおよびSiCl4 600sccm(1:2)の混合物を、1.5〜1.6hPaの範囲内で方法圧力を一定に維持しながら石英ガラス反応器中へ導入する。次に、ガス混合物を、高周波放電を用いてプラズマ状態へ転換し、塩素化ポリシランの沈殿が反応器の冷却された(20℃)石英ガラス壁上に形成される。導入された電力は400Wである。4時間後、オレンジ色がかった黄色の生成物を少量のSiCl4に溶解することによって反応器から除去する。減圧下でのSiCl4の除去の後で、塩素化ポリシラン187.7gが、オレンジ色がかった黄色の粘着性物質の形態で残る。
平均モル質量は、凝固点降下法によって測定され、約1400g/molであり、塩素化ポリシラン(SiCl2)nまたはSinCl2n+2について、(SiCl2)nについては約n=14またはSinCl2n+2については約n=13の平均鎖長に相当する。
温浸後、生成物混合物中のSi対Clの比は、MOHRによる塩化物滴定によって測定されて、Si:Cl=1:1.8である(実験(分析)式SiCl1.8に相当する)。
水素含有量は、図7に示された1H NMRスペクトルから推測できる通り、1質量%よりはるかに少ない(0.0008%)(また1atom%より少ない)。この目的のために、溶媒についてδ=7.15ppmおよび生成物についてδ=3.75ppmの積分値が比較される。
ここにおけるC6D6溶媒の含有量は、およそ27質量%であり、その重水素化率は、99%である。
およそ10.9ppm、3.3ppm、−1.3ppmおよび−4.8ppmでの典型的な29Si NMRシフトは、図8に示されるスペクトルから明らかである。(1)および(2)の場合、これらのシグナルは、SiCl3末端基(一級ケイ素原子)のためのシグナルに典型的なシフト範囲内で起こり、(2)は、例えば、直鎖の領域中の中間要素として起こる通り、SiCl2基(二級ケイ素原子)のためのシグナルに典型的なシフト範囲内である。
短鎖分枝化合物、例えば、デカクロロイソテトラシラン(とりわけ、δ=−32ppm)、ドデカクロロネオペンタシラン(とりわけ、δ=−80ppm)((3)の場合、これらのシグナルは、Si−Cl基(三級ケイ素原子)のためのシグナルに典型的なシフト範囲内であり、(4)は、もっぱらケイ素置換基のみを有するケイ素基(四級ケイ素原子)のためのシグナルに典型的なシフト範囲内にある)の低含有量は、以下のスペクトルに基づいて明白である。29Si NMRスペクトルの積分値は、短鎖成分中で言及された(Si−Cl基(三級ケイ素原子)およびもっぱらケイ素置換基のみを有するケイ素基(四級ケイ素原子))枝分かれ部位を形成するケイ素原子の含有量が、生成物混合物全体に基づいて、0.3質量%であり、したがって1質量%より少ないことを示す。
低分子量のシクロシランは、混合物中で検出不可能であった。これらは、29Si NMRスペクトルにおいて、δ=5.8ppm(Si4Cl8)、δ=−1.7ppm(Si5Cl10)、δ=−2.5ppm(Si6Cl12)のシャープなシグナルを示すはずであるが、スペクトルがこの範囲内に多数のシグナルを有するから、これらは、スペクトルにおいて確実に同定できない。
およそ−20ppmでのピークは、SiCl4溶媒から生ずる。
3.Siへのハロゲン化ポリシランの分解
油性の粘着性生成物を、減圧下800℃まで管炉において加熱する。これは、灰色がかった黒色の残留物(2.2g)を形成し、粉末X線回析測定法によって結晶状Siとして確認された。
油性の粘着性生成物を、減圧下800℃まで管炉において加熱する。これは、灰色がかった黒色の残留物(2.2g)を形成し、粉末X線回析測定法によって結晶状Siとして確認された。
4.ハロゲン化モノシランHSiCl3およびSiへの過程の間に形成されるSiCl4の転換
Si(粒径0.2〜0.4mm)0.5gを、石英ボート(長さおよそ4cmのベッド)上で層にし、直径2.5cmの石英管においてアルゴン下で乾燥させる。0℃でSiCl4蒸気によって飽和した水素20l/hを16分間このベッド上を通し、一方、ベッドは、マイクロ波電力(300W、2.54GHz)の導入によって鮮黄色に輝くまで加熱する。実験が終了した後、ベッドの重量計測をし、37mg(5.5%)の質量での増加がSiの析出によって観察される。蒸気は、−50℃で冷トラップ中に凝縮され、無色の液体が単離され、29Si NMR分光測定法によって特性解析される(図9参照)。反応の間に、SiCl4およそ3%が、HSiCl3へ転換されることが、ここにおいて見出される。
Si(粒径0.2〜0.4mm)0.5gを、石英ボート(長さおよそ4cmのベッド)上で層にし、直径2.5cmの石英管においてアルゴン下で乾燥させる。0℃でSiCl4蒸気によって飽和した水素20l/hを16分間このベッド上を通し、一方、ベッドは、マイクロ波電力(300W、2.54GHz)の導入によって鮮黄色に輝くまで加熱する。実験が終了した後、ベッドの重量計測をし、37mg(5.5%)の質量での増加がSiの析出によって観察される。蒸気は、−50℃で冷トラップ中に凝縮され、無色の液体が単離され、29Si NMR分光測定法によって特性解析される(図9参照)。反応の間に、SiCl4およそ3%が、HSiCl3へ転換されることが、ここにおいて見出される。
Claims (21)
- 高純度ケイ素を調製するための方法であって、
SiO2含有出発物質から炭素塩素化によってSiCl4が調製され、さらなるステップにおいて前記SiCl4から前記高純度ケイ素が得られ、前記方法ステップのいずれにおいても元素状ケイ素が供給されないことを特徴とする方法。 - 前記方法において得られた副生成物が、前記方法に再循環され、再利用されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記方法において得られたHClが、炭素塩素化のために用いられることを特徴とする、請求項1または2に記載の方法。
- 前記高純度ケイ素は、得られた前記SiCl4の水素化による塩素化モノシラン(HnSiCl4-n(n=1〜3))の生成、およびこれらのモノシランの分解によって調製されることを特徴とする、前記請求項のいずれかに記載の方法。
- 前記塩素化モノシランの分解によって得られた前記HClは、炭素塩素化のために用いられることを特徴とする、請求項4に記載の方法。
- 前記炭素塩素化反応および/または前記塩素化モノシランの分解の間に得られた水素が、前記SiCl4の水素化のために用いられ、前記塩素化モノシランを生成することを特徴とする、請求項4または5に記載の方法。
- 塩素化モノシラン(HnSiCl4-n(n=1〜3))が分解されて高純度ケイ素を生成する間に副生成物として形成されたSiCl4が、水素との反応による塩素化モノシラン(HnSiCl4-n(n=1〜3))の調製のために用いられることを特徴とする、請求項4から6のいずれかに記載の方法。
- 得られた前記SiCl4が塩素化モノシラン(HnSiCl4-n(n=1〜3))へと水素化され、前記塩素化モノシランは不均化によってSiH4およびSiCl4に転換され、得られた前記SiH4は高純度の元素状ケイ素およびH2に分解されることを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載の方法。
- 前記炭素塩素化反応の間に得られた水素が、高純度の元素状Siを生成するためのSiH4の前記分解からのさらなる水素と一緒にSiCl4の水素化に用いられ、HClの脱離を伴って塩素化モノシランを生成することを特徴とする、請求項8に記載の方法。
- 塩素化モノシランの前記不均化反応において形成された前記SiCl4は、水素との反応によって塩素化モノシランを得るために用いられることを特徴とする、請求項8または9に記載の方法。
- 得られた前記SiCl4がプラズマ化学プロセスにおいて用いられ、HClの脱離を伴って塩素化ポリシランが得られ、および前記塩素化ポリシランの熱分解によって高純度ケイ素が調製されることを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載の方法。
- 得られた前記HClは、炭素塩素化のために用いられることを特徴とする、請求項11に記載の方法。
- 前記炭素塩素化反応の間に得られた前記水素は、前記プラズマ化学プロセスにおいて用いられることを特徴とする、請求項11または12に記載の方法。
- 前記塩素化ポリシランの前記熱分解の間に得られたSiCl4は、前記プラズマ化学プロセスのステップに再循環されることを特徴とする、請求項11から13のいずれかに記載の方法。
- 得られた前記SiCl4が塩素化モノシラン(HnSiCl4-n(n=1〜3))へと水素化され、得られた前記塩素化モノシランは、プラズマ化学プロセスにおいて用いられてHClの脱離を伴って塩素化ポリシランを生成し、前記塩素化ポリシランから熱分解によって高純度ケイ素が調製されることを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載の方法。
- 前記炭素塩素化反応の間に得られた前記水素は、HClの脱離を伴う前記SiCl4の水素化のために用いられることを特徴とする、請求項15に記載の方法。
- 元素状Siへの塩素化ポリシランの前記熱分解の間に得られたSiCl4は、水素との反応によって塩素化モノシランを得るために用いられることを特徴とする、請求項15または16に記載の方法。
- 塩素化ポリシランの前記熱分解の間に放出された、HClおよび/またはH2および/または塩素化モノシランが、塩素化ポリシランを調製するための前記方法に再循環されることを特徴とする、請求項11から17のいずれかに記載の方法。
- プラズマ化学プロセスにおいて、SiCl4と塩素化モノシラン(HnSiCl4-n(n=1〜3))との混合物を用いて、HClの脱離を伴って塩素化ポリシランが得られることを特徴とする、請求項11から18のいずれかに記載の方法。
- HClでのSiO2の炭素塩素化によるSiCl4の前記生成の間に得られたCOは、水蒸気による酸化炭素転換によってCO2および水素へ転換されることを特徴とする、請求項3から19のいずれかに記載の方法。
- 酸化炭素転換によって得られた水素は、前記方法の実施の間にH2の損失を補填するために用いられることを特徴とする、請求項20に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102010044755.2 | 2010-09-08 | ||
DE102010044755A DE102010044755A1 (de) | 2010-09-08 | 2010-09-08 | Verfahren zur Herstellung von Silicium hoher Reinheit |
PCT/EP2011/065577 WO2012032129A1 (de) | 2010-09-08 | 2011-09-08 | Verfahren zur herstellung von silicium hoher reinheit |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013537161A true JP2013537161A (ja) | 2013-09-30 |
Family
ID=44653301
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013527610A Withdrawn JP2013537161A (ja) | 2010-09-08 | 2011-09-08 | 高純度ケイ素の生成のための方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20130243683A1 (ja) |
EP (1) | EP2614034A1 (ja) |
JP (1) | JP2013537161A (ja) |
DE (1) | DE102010044755A1 (ja) |
WO (1) | WO2012032129A1 (ja) |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL246576A (ja) | 1954-05-18 | 1900-01-01 | ||
NL211056A (ja) | 1955-11-02 | |||
DE1105398B (de) | 1960-03-10 | 1961-04-27 | Wacker Chemie Gmbh | Verfahren zur kontinuierlichen Herstellung von Siliciumchloroform und/oder Siliciumtetrachlorid |
DE1129145B (de) | 1960-07-07 | 1962-05-10 | Knapsack Ag | Verfahren zur Herstellung von hochreinem Silicium |
DE3024319C2 (de) | 1980-06-27 | 1983-07-21 | Wacker-Chemitronic Gesellschaft für Elektronik-Grundstoffe mbH, 8263 Burghausen | Kontinuierliches Verfahren zur Herstellung von Trichlorsilan |
JPS57156319A (en) | 1981-03-19 | 1982-09-27 | Osaka Titanium Seizo Kk | Production of trichlorosilane |
FR2530638A1 (fr) | 1982-07-26 | 1984-01-27 | Rhone Poulenc Spec Chim | Procede de preparation d'un melange a base de trichlorosilane utilisable pour la preparation de silicium de haute purete |
DE3310828A1 (de) * | 1983-03-24 | 1984-09-27 | Bayer Ag, 5090 Leverkusen | Verfahren zur herstellung von silicium |
US4542004A (en) | 1984-03-28 | 1985-09-17 | Solavolt International | Process for the hydrogenation of silicon tetrachloride |
JPS62256713A (ja) | 1986-04-30 | 1987-11-09 | Mitsubishi Metal Corp | トリクロルシランの製造方法 |
JPH02172811A (ja) | 1988-12-26 | 1990-07-04 | Mitsubishi Kakoki Kaisha Ltd | トリクロロシランの製造方法 |
DE4041644A1 (de) | 1990-12-22 | 1992-06-25 | Nuenchritz Chemie Gmbh | Verfahren zur reduktiven umwandlung von siliciumtetrachlorid in trichlorsilan |
DE10057522B4 (de) * | 2000-11-21 | 2009-04-16 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Silanen |
DE102005024107A1 (de) | 2005-05-25 | 2006-11-30 | Wacker Chemie Ag | Verfahren zur Herstellung von Elementhalogeniden |
DE102005024104A1 (de) | 2005-05-25 | 2006-11-30 | Wacker Chemie Ag | Verfahren zur Herstellung von Elementhalogeniden |
DE102005024041A1 (de) | 2005-05-25 | 2006-11-30 | City Solar Ag | Verfahren zur Herstellung von Silicium aus Halogensilanen |
DE102007009709A1 (de) | 2007-02-28 | 2008-09-04 | Rev Renewable Energy Ventures Ag | Solarthermische Prozesschemie insbesondere zur Herstellung von SiCI4 |
DE102008017304A1 (de) * | 2008-03-31 | 2009-10-01 | Schmid Silicon Technology Gmbh | Verfahren und Anlage zur Herstellung von Reinstsilizium |
DE102008041974A1 (de) | 2008-09-10 | 2010-03-11 | Evonik Degussa Gmbh | Vorrichtung, deren Verwendung und ein Verfahren zur energieautarken Hydrierung von Chlorsilanen |
-
2010
- 2010-09-08 DE DE102010044755A patent/DE102010044755A1/de not_active Withdrawn
-
2011
- 2011-09-08 WO PCT/EP2011/065577 patent/WO2012032129A1/de active Application Filing
- 2011-09-08 EP EP11757827.8A patent/EP2614034A1/de not_active Withdrawn
- 2011-09-08 US US13/821,531 patent/US20130243683A1/en not_active Abandoned
- 2011-09-08 JP JP2013527610A patent/JP2013537161A/ja not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102010044755A1 (de) | 2012-03-08 |
WO2012032129A1 (de) | 2012-03-15 |
US20130243683A1 (en) | 2013-09-19 |
EP2614034A1 (de) | 2013-07-17 |
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