JP2013520838A - Soi構造における非結合領域の幅の減少方法ならびにその方法によって製造したウエハおよびsoi構造 - Google Patents
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Abstract
Description
誘電層(厚さ145nm)を有するドナーウエハに対してドナーウエハの表面上にハンドルウエハを結合し、続いて、ドナーウエハ内で形成される劈開平面に沿って劈開することによって6つの300mmのSOI構造を製造した。36keVのエネルギーおよび1×1016イオン/cm2の投与においてHe+イオンを注入し、続いて、48keVのエネルギーおよび1×1015イオン/cm2の投与においてH2 +イオンを注入することによってドナーウエハ内に劈開平面を形成した(Quantum H Implanter(model Q843)、Applied Materials (サンタクララ、カリフォルニア))。劈開を、350℃まで加熱することによって行った(A412 Furnace、ASM(アルメレ、オランダ))。
300mmのSOI構造の4つの組を、以下に示すドナーおよびハンドルウエハの様々な組合せから製造した:
(a)従来のドナーおよび従来のハンドルウエハ(すなわち、ドナーまたはハンドルウエハのための粗い研磨と最終研磨との間の洗浄工程は無い);
(b)新規なドナーウエハ(ポリウレタン発泡体パッドによる粗い研磨に続いて、洗浄工程、次いでポリウレタン発泡体パッドによる最終研磨)および従来のハンドルウエハ;
(c)新規なドナーウエハと、知られていない方法によって作られたハンドルウエハ;ならびに
(d)新規なドナーウエハおよび新規なハンドルウエハ。
Claims (100)
- 絶縁体上シリコン構造の製造方法であって、該構造が、ハンドルウエハと、シリコン層と、ハンドルウエハとシリコン層との間の誘電層と、を含んでおり、および中心軸と、中心軸にほぼ垂直な前表面および後表面と、前表面と後表面とを結合している周囲縁と、中心軸から周囲縁まで延在している半径とを有しており、該方法が:
ドナーウエハおよびハンドルウエハの少なくとも1つの前表面上に誘電層を形成し;
ドナーウエハおよびハンドルウエハの少なくとも1つに誘電層を結合して結合ウエハを形成し、ドナーウエハおよびハンドルウエハの少なくとも1つが、−約700nm未満の厚さロールオフ量(ROA)を有し;および
シリコン層が、誘電層と結合して維持するように、ドナーウエハ内の分離平面に沿って結合ウエハを分離して、絶縁体上シリコンを形成する
ことを含む、絶縁体上シリコン構造の製造方法。 - 誘電層をドナーウエハに形成し、および誘電層をハンドルウエハと結合し、ハンドルウエハが、−約700nm未満の厚さROAを有する、請求項1に記載の方法。
- 誘電層をドナーウエハに形成し、および誘電層をハンドルウエハと結合し、ドナーウエハが、−約700nm未満の厚さROAを有する、請求項1または2に記載の方法。
- 誘電層をハンドルウエハに形成し、および誘電層をドナーウエハと結合し、ドナーウエハが、−約700nm未満の厚さROAを有する、請求項1に記載の方法。
- 誘電層をハンドルウエハに形成し、および誘電層をドナーウエハと結合し、ハンドルウエハが、−約700nm未満の厚さROAを有する、請求項1または4に記載の方法。
- ハンドルウエハが、−約700nm未満、−約600nm未満、−約500nm未満、−約400nm未満、−約300nm未満、−約250nm未満または−約10nm未満〜−約700nm未満、−約50nm〜−約600nm、−約100nm〜−約500nm、−約100nm〜−約400nmもしくは−約100nm〜−約300nmの厚さROAを有する、請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法。
- ドナーウエハが、その前表面において−約600nm未満、−約500nm未満、−約400nm未満、−約300nm未満、−約250nm未満または−約10nm〜−約700nm、−約50nm〜−約600nm、−約100nm〜−約500nm、−約100nm〜−約400nmもしくは−約100nm〜−約300nmの厚さROAを有する、請求項1〜6のいずれか1項に記載の方法。
- ドナーウエハおよびハンドルウエハの両方が、構造の周囲縁と半径の98%との間の環状縁部分を有しており、厚さROAを:
厚さプロファイル上の第1分別点と第2分別点との間の参照線を形成し;および
参照線と、ウエハ厚さプロファイルの縁部分における第3分別点との間の距離を測定すること
によって求める、請求項1〜7のいずれか1項に記載の方法。 - 第1分別点と構造の中心軸との間の距離が、構造の半径の約82.7%である、請求項8に記載の方法。
- 第2分別点と構造の中心軸との間の距離が、構造の半径の約93.3%である、請求項8または9に記載の方法。
- 第3分別点と構造の中心軸との間の距離が、構造の半径の約99.3%である、請求項8〜10のいずれか1項に記載の方法。
- 参照線を一次直線として適合する、請求項8〜11のいずれか1項に記載の方法。
- 参照線を三次多項式として適合する、請求項8〜11のいずれか1項に記載の方法。
- 厚さROAが、平均厚さROAである、請求項1〜13のいずれか1項に記載の方法。
- 平均厚さROAが、8つのウエハ半径で測られた8つの厚さROA測定値の平均である、請求項14に記載の方法。
- ドナーウエハとハンドルウエハの少なくとも1つが、−約1100nm/mm2未満、−約800nm/mm2未満、−約600nm/mm2未満、−約400nm/mm2未満、−約1110nm/mm2〜−約100nm/mm2または−約800nm/mm2〜−約200nm/mm2の前表面zddを有する、請求項1〜15のいずれか1項に記載の方法。
- ハンドルウエハが、その前表面において約6nmよりも大きい寸法の約3以下の明視野欠陥を有し、またはその前表面において約6nmよりも大きい寸法の約2以下、約1以下またはゼロの明視野欠陥を有する、請求項1〜16のいずれか1項に記載の方法。
- ハンドルウエハが、その前表面において約4.8nmよりも大きい寸法の約6未満の明視野欠陥を有し、またはその前表面において約4.8nmよりも大きい寸法の約4未満、約2未満またはゼロの明視野欠陥を有する、請求項1〜17のいずれか1項に記載の方法。
- ドナーウエハが、その前表面において約6nmよりも大きい寸法の約3以下の明視野欠陥を有し、またはその前表面において約6nmよりも大きい寸法の約2以下、約1以下またはゼロの明視野欠陥を有する、請求項1〜18のいずれか1項に記載の方法。
- ドナーウエハが、その前表面において約4.8nmよりも大きい寸法の約6未満の明視野欠陥を有し、またはその前表面において約4.8nmよりも大きい寸法の約4未満、約2未満またはゼロの明視野欠陥を有する、請求項1〜19のいずれか1項に記載の方法。
- シリコン層が、構造の中心軸から構造の半径の約98.9%の位置までまたは少なくとも約99.2%、少なくとも約99.4%、少なくとも約99.6%の位置までまたは構造の半径の約98.9%〜約99.9%、約99.2%〜約99.9%または約99.5%〜約99.9%の位置まで延在している、請求項1〜20のいずれか1項に記載の方法。
- ハンドルウエハが、前表面および後表面を有しており、ハンドルウエハを:
ハンドルウエハの前表面を研磨することを含む第1研磨工程を行って;
第1研磨工程後に、ハンドルウエハの前表面を洗浄することを含む洗浄工程を行って;および
洗浄工程後に、ハンドルウエハの前表面を研磨することを含む第2研磨工程を行うこと
によって製造する、請求項1〜21のいずれか1項に記載の方法。 - 第1研磨工程中に前表面を研磨するのと同時にハンドルウエハの後表面を研磨する、請求項22に記載の方法。
- 第1研磨工程が、ハンドルウエハの前表面の表面粗さを、約1μm×約1μm〜約100μm×約100μmのAFMスキャン寸法により測定して約3オングストローム未満、約2.5オングストローム未満または約2オングストローム未満まで減少する、請求項22または23に記載の方法。
- 第2研磨工程が、ハンドルウエハの前表面の表面粗さを、約10μm×約10μm〜約100μm×約100μmのAFMスキャン寸法により測定して約2.0オングストローム未満、約1.5オングストローム未満または約1.2オングストローム未満まで減少する、請求項22〜24のいずれか1項に記載の方法。
- 第1研磨工程が、ウエハをポリウレタン発泡体パッドにより研磨することを含む、請求項22〜25のいずれか1項に記載の方法。
- 第1研磨工程が、コロイダルシリカスラリーをウエハと接触させることを含む、請求項22〜26のいずれか1項に記載の方法。
- 第2研磨工程が、ウエハをポリウレタン発泡体パッドにより研磨することを含む、請求項22〜27のいずれか1項に記載の方法。
- 第2研磨工程が、コロイダルシリカスラリーをウエハと接触させることを含む、請求項22〜28のいずれか1項に記載の方法。
- 洗浄工程が、ウエハを洗い流すことを含む、請求項22〜29のいずれか1項に記載の方法。
- 洗浄工程が、ウエハを水酸化アンモニウム溶液および過酸素水素溶液に接触させることを含む、請求項22〜30のいずれか1項に記載の方法。
- ドナーウエハが、前表面および後表面を有しており、ドナーウエハを:
ドナーウエハの前表面を研磨することを含む第1研磨工程を行って;
第1研磨工程後に、ドナーウエハの前表面を洗浄することを含む洗浄工程を行って;および
洗浄工程後に、ドナーウエハの前表面を研磨することを含む第2研磨工程を行うこと
によって製造する、請求項1〜31のいずれか1項に記載の方法。 - 第1研磨工程中に前表面を研磨するのと同時にドナーウエハの後表面を研磨する、請求項32に記載の方法。
- 第1研磨工程が、ドナーウエハの前表面の表面粗さを、約1μm×約1μm〜約100μm×約100μmのAFMスキャン寸法により測定して約3オングストローム未満、約2.5オングストローム未満または約2オングストローム未満まで減少する、請求項32または33に記載の方法。
- 第2研磨工程が、ドナーウエハの前表面の表面粗さを、約10μm×約10μm〜約100μm×約100μmのAFMスキャン寸法により測定して約2.0オングストローム未満、約1.5オングストローム未満または約1.2オングストローム未満まで減少する、請求項32〜34のいずれか1項に記載の方法。
- 第1研磨工程が、ウエハをポリウレタン発泡体パッドにより研磨することを含む、請求項32〜35のいずれか1項に記載の方法。
- 第1研磨工程が、コロイダルシリカスラリーをウエハと接触させることを含む、請求項32〜36のいずれか1項に記載の方法。
- 第2研磨工程が、ウエハをポリウレタン発泡体パッドにより研磨することを含む、請求項32〜37のいずれか1項に記載の方法。
- 第2研磨工程が、コロイダルシリカスラリーをウエハと接触させることを含む、請求項32〜38のいずれか1項に記載の方法。
- 洗浄工程が、ウエハを洗い流すことを含む、請求項32〜39のいずれか1項に記載の方法。
- 洗浄工程が、ウエハを水酸化アンモニウム溶液および過酸素水素溶液に接触させることを含む、請求項32〜40のいずれか1項に記載の方法。
- 結合絶縁体上シリコン構造であって、該構造が、ハンドルウエハと、ドナーウエハと、ハンドルウエハとドナーウエハとの間の誘電層と、を含み、該誘電層が、ハンドルウエハと部分的に結合されており、該構造が、中心軸と、周囲縁と、中心軸から周囲縁まで延在している半径とを有しており、誘電層とハンドルウエハとの間の結合が、結合絶縁体上シリコン構造の中心軸から、結合絶縁体上シリコン構造の半径の少なくとも約98.9%の位置まで延在している、結合絶縁体上シリコン構造。
- 誘電層とハンドルウエハとの間の結合が、結合絶縁体上シリコン構造の中心軸から、結合絶縁体上シリコン構造の半径の少なくとも約99.2%、少なくとも約99.4%、少なくとも約99.6%または結合絶縁体上シリコン構造の半径の約98.9%〜約99.9%、約99.2%〜約99.9%もしくは約99.5%〜約99.9%の位置まで延在している、請求項42に記載の結合絶縁体上シリコン構造。
- ハンドルウエハが、−約700nm未満、−約600nm未満、−約500nm未満、−約400nm未満、−約300nm未満、−約250nm未満または−約10nm〜−約700nm、−約50nm〜−約600nm、−約100nm〜−約500nm、−約100nm〜−約400nmもしくは−約100nm〜−約300nmの厚さROAを有する、請求項42または43に記載の結合絶縁体上シリコン構造。
- ドナーウエハが、−約700nm未満、−約600nm未満、−約500nm未満、−約400nm未満、−約300nm未満、−約250nm未満または−約10nm〜−約700nm、−約50nm〜−約600nm、−約100nm〜−約500nm、−約100nm〜−約400nmもしくは−約100nm〜−約300nmの厚さROAを有する、請求項42〜44のいずれか1項に記載の結合絶縁体上シリコン構造。
- ドナーウエハとハンドルウエハの少なくとも1つが、−約1100nm/mm2未満、−約800nm/mm2未満、−約600nm/mm2未満、−約400nm/mm2未満、−約1110nm/mm2〜−約100nm/mm2または−約800nm/mm2〜−約200nm/mm2の前表面zddを有する、請求項42〜45のいずれか1項に記載の結合絶縁体上シリコン構造。
- 誘電層とハンドルウエハが、界面を形成しており、ハンドルウエハが、界面において約6nmよりも大きい寸法の約3以下の明視野欠陥を有し、または界面において約6nmよりも大きい寸法の約2以下、約1以下またはゼロの明視野欠陥を有する、請求項42〜46のいずれか1項に記載の結合絶縁体上シリコン構造。
- 誘電層とハンドルウエハが、界面を形成しており、ハンドルウエハが、界面において約4.8nmよりも大きい寸法の約6未満の明視野欠陥を有し、または界面において約4.8nmよりも大きい寸法の約4未満、約2未満またはゼロの明視野欠陥を有する、請求項42〜47のいずれか1項に記載の結合絶縁体上シリコン構造。
- 誘電層とドナーウエハが、界面を形成しており、ドナーウエハが、界面において約6nmよりも大きい寸法の約3以下の明視野欠陥を有し、または界面において約6nmよりも大きい寸法の約2以下、約1以下またはゼロの明視野欠陥を有する、請求項42〜48のいずれか1項に記載の結合絶縁体上シリコン構造。
- 誘電層とドナーウエハが、界面を形成しており、ドナーウエハが、界面において約4.8nmよりも大きい寸法の約6未満の明視野欠陥を有し、または界面において約4.8nmよりも大きい寸法の約4未満、約2未満またはゼロの明視野欠陥を有する、請求項42〜49のいずれか1項に記載の結合絶縁体上シリコン構造。
- 結合絶縁体上シリコン構造であって、該構造が、ハンドルウエハと、ドナーウエハと、ハンドルウエハとドナーウエハとの間の誘電層と、を含んでおり、該誘電層が、ドナーウエハと部分的に結合されており、結合絶縁体上シリコン構造が、中心軸と、周囲縁と、中心軸から周囲縁まで延在している半径とを有しており、誘電層とドナーウエハとの間の結合が、結合絶縁体上シリコン構造の中心軸から、結合絶縁体上シリコン構造の半径の少なくとも約98.9%〜約99.9%の位置まで延在している、結合絶縁体上シリコン構造。
- 誘電層とドナーウエハとの間の結合が、結合絶縁体上シリコン構造の中心軸から、ドナーウエハの半径の少なくとも約99.2%、少なくとも約99.4%、少なくとも約99.6%または結合絶縁体上シリコン構造の半径の約99.2%〜約99.9%もしくは約99.5%〜約99.9%の位置まで延在している、請求項51に記載の結合絶縁体上シリコン構造。
- ハンドルウエハが、−約700nm未満、−約600nm未満、−約500nm未満、−約400nm未満、−約300nm未満、−約250nm未満または−約10nm〜−約700nm、−約50nm〜−約600nm、−約100nm〜−約500nm、−約100nm〜−約400nmもしくは−約100nm〜−約300nmの厚さROAを有する、請求項51または52に記載の結合絶縁体上シリコン構造。
- ドナーウエハが、−約700nm未満、−約600nm未満、−約500nm未満、−約400nm未満、−約300nm未満、−約250nm未満または−約10nm〜−約700nm、−約50nm〜−約600nm、−約100nm〜−約500nm、−約100nm〜−約400nmまたは−約100nm〜−約300nmの厚さROAを有する、請求項51〜53のいずれか1項に記載の結合絶縁体上シリコン構造。
- ドナーウエハとハンドルウエハの少なくとも1つが、 −約1100nm/mm2未満、−約800nm/mm2未満、−約600nm/mm2未満、−約400nm/mm2未満、−約1110nm/mm2〜−約100nm/mm2または−約800nm/mm2〜−約200nm/mm2の前表面zddを有する、請求項51〜54のいずれか1項に記載の結合絶縁体上シリコン構造。
- 誘電層とハンドルウエハが、界面を形成しており、ハンドルウエハが、界面において約6nmよりも大きい寸法の約3以下の明視野欠陥を有し、または界面において約6nmよりも大きい寸法の約2以下、約1以下またはゼロの明視野欠陥を有する、請求項51〜55のいずれか1項に記載の結合絶縁体上シリコン構造。
- 誘電層とハンドルウエハが、界面を形成しており、ハンドルウエハが、界面において約4.8nmよりも大きい寸法の約6未満の明視野欠陥を有し、または界面において約4.8nmよりも大きい寸法の約4未満、約2未満またはゼロの明視野欠陥を有する、請求項51〜56のいずれか1項に記載の結合絶縁体上シリコン構造。
- 誘電層とドナーウエハが、界面を形成しており、ドナーウエハが、界面において約6nmよりも大きい寸法の約3以下の明視野欠陥を有し、または界面において約6nmよりも大きい寸法の約2以下、約1以下またはゼロの明視野欠陥を有する、請求項51〜57のいずれか1項に記載の結合絶縁体上シリコン構造。
- 誘電層とドナーウエハが、界面を形成しており、ドナーウエハが、界面において約4.8nmよりも大きい寸法の約6未満の明視野欠陥を有し、または界面において約4.8nmよりも大きい寸法の約4未満、約2未満またはゼロの明視野欠陥を有する、請求項51〜58のいずれか1項に記載の結合絶縁体上シリコン構造。
- 絶縁体上シリコン構造であって、該構造が、ハンドルウエハと、シリコン層と、ハンドルウエハとシリコン層との間の誘電層と、誘電層とハンドルウエハとの間の界面とを含んでおり、ハンドルウエハが、中心軸と、周囲縁と、中心軸から周囲縁まで延在している半径とを有しており、シリコン層が、ハンドルウエハの中心軸から、ハンドルウエハの半径の少なくとも約98.9%の位置まで延在しており、ハンドルウエハが、界面において約6nmよりも大きい寸法の約3以下の明視野欠陥を有する、絶縁体上シリコン構造。
- シリコン層が、ハンドルウエハの中心軸からハンドルウエハの半径の少なくとも約99.2%の位置までまたは少なくとも約99.4%、少なくとも約99.6%またはハンドルウエハの半径の約98.9%〜約99.9%、約99.2%〜約99.9%もしくは約99.5%〜約99.9%の位置まで延在している、請求項60のいずれか1項に記載の絶縁体上シリコン構造。
- 誘電層が、ハンドルウエハの中心軸から、ハンドルウエハの半径の少なくとも約98.9%、少なくとも約99.2%、少なくとも約99.4%、少なくとも約99.6%またはハンドルウエハの半径の約98.9%〜約99.9%、約99.2%〜約99.9%もしくは約99.5%〜約99.9%の位置まで延在している、請求項60または61に記載の絶縁体上シリコン構造。
- ハンドルウエハが、界面において約6nmよりも大きい寸法の約2以下の明視野欠陥を有し、または界面において約6nmよりも大きい寸法の約1以下またはゼロの明視野欠陥を有する、請求項60〜62のいずれか1項に記載の絶縁体上シリコン構造。
- ハンドルウエハが、界面において約4.8nmよりも大きい寸法の約6未満の明視野欠陥を有し、または界面において約4.8nmよりも大きい寸法の約4以下、約2以下またはゼロの明視野欠陥を有する、請求項60〜63のいずれか1項に記載の絶縁体上シリコン構造。
- 誘電層とシリコン層が、界面を形成しており、シリコン層が、界面において約6nmよりも大きい寸法の約3以下の明視野欠陥を有し、または界面において約6nmよりも大きい寸法の約2以下、約1以下またはゼロの明視野欠陥を有する、請求項60〜64のいずれか1項に記載の絶縁体上シリコン構造。
- 誘電層とシリコン層が、界面を形成しており、シリコン層が、界面において約4.8nmよりも大きい寸法の約6未満の明視野欠陥を有し、または界面において約4.8nmよりも大きい寸法の約4未満、約2未満またはゼロの明視野欠陥を有する、請求項60〜65のいずれか1項に記載の絶縁体上シリコン構造。
- ハンドルウエハが、−約700nm未満、−約600nm未満、−約500nm未満、−約400nm未満、−約300nm未満、−約250nm未満または−約10nm〜−約700nm、−約50nm〜−約600nm、−約100nm〜−約500nm、−約100nm〜−約400nmもしくは−約100nm〜−約300nmの厚さROAを有する、請求項60〜66のいずれか1項に記載の絶縁体上シリコン構造。
- ハンドルウエハが、 −約1100nm/mm2未満、−約800nm/mm2未満、−約600nm/mm2未満、−約400nm/mm2未満、−約1110nm/mm2〜−約100nm/mm2または−約800nm/mm2〜−約200nm/mm2の前表面zddを有する、請求項60〜67のいずれか1項に記載の絶縁体上シリコン構造。
- ウエハの研磨方法であって、該方法が:
ウエハをポリウレタン発泡体パッドにより研磨することを含む第1研磨工程を行って;
第1研磨工程後に、ハンドルウエハの前表面を洗浄することを含む洗浄工程を行って;および
洗浄工程後に、ウエハをポリウレタン発泡体パッドにより研磨することを含む第2研磨工程を行うこと
を含む、ウエハの研磨方法。 - 第1研磨工程中に前表面を研磨するのと同時にウエハの後表面を研磨する、請求項69に記載の方法。
- 第1研磨工程が、ウエハの表面粗さを、約1μm×約1μm〜約100μm×約100μmのAFMスキャン寸法により測定して約3オングストローム未満、約2.5オングストローム未満または約2オングストローム未満まで減少する、請求項69または70に記載の方法。
- 第2研磨工程が、ウエハの表面粗さを、約10μm×約10μm〜約100μm×約100μmのAFMスキャン寸法により測定して約2.0オングストローム未満、約1.5オングストローム未満または約1.2オングストローム未満まで減少する、請求項69〜71のいずれか1項に記載の方法。
- 第1研磨工程が、コロイダルシリカスラリーをウエハと接触させることを含む、請求項69〜72のいずれか1項に記載の方法。
- 第2研磨工程が、コロイダルシリカスラリーをウエハと接触させることを含む、請求項69〜73のいずれか1項に記載の方法。
- 洗浄工程が、ウエハを洗い流すことを含む、請求項69〜74のいずれか1項に記載の方法。
- 洗浄工程が、ウエハを水酸化アンモニウム溶液および過酸素水素溶液と接触させることを含む、請求項69〜75のいずれか1項に記載の方法。
- 第2研磨工程後に、ウエハが、−約700nm未満、−約600nm未満、−約500nm未満、−約400nm未満、−約300nm未満、−約250nm未満または−約10nm〜−約700nm、−約50nm〜−約600nm、−約100nm〜−約500nm、−約100nm〜−約400nmもしくは−約100nm〜−約300nmの厚さROAを有する、請求項69または76のいずれか1項に記載の方法。
- 第2研磨工程後に、ウエハが、−約1100nm/mm2未満、−約800nm/mm2未満、−約600nm/mm2未満、−約400nm/mm2未満、−約1110nm/mm2〜−約100nm/mm2または−約800nm/mm2〜−約200nm/mm2の前表面zddを有する、請求項69〜77のいずれか1項に記載の方法。
- ウエハが、界面において約6nmよりも大きい寸法の約3以下の明視野欠陥を有する前表面または約6nmよりも大きい寸法の約2以下、約1以下またはゼロの明視野欠陥を有する前表面を有する、請求項69〜78のいずれか1項に記載の方法。
- ウエハが、ハンドルウエハ、ドナーウエハまたはバルクシリコンウエハである、請求項69〜79のいずれか1項に記載の方法。
- 中心軸と、中心軸に対してほぼ垂直である前表面および後表面と、前および後表面を結合している周囲縁と、中心軸から周囲縁まで延在している半径と、を有する半導体ウエハであって、−約700nm未満の厚さロールオフ量(ROA)を有し、およびウエハの前表面において約6nmよりも大きい寸法の約3以下の明視野欠陥を有する、半導体ウエハ。
- ウエハが、ウエハの前表面において約6nmよりも大きい寸法の約2以下の明視野欠陥を有し、ウエハの前表面において約6nmよりも大きい寸法の約1以下またはゼロの明視野欠陥を有する、請求項81に記載の半導体ウエハ。
- ウエハが、ウエハの前表面において約4.8nmよりも大きい寸法の約6未満の明視野欠陥または約4.8nmよりも大きい寸法の約4未満、約2未満またはゼロの明視野欠陥を有する、請求項81または82に記載の半導体ウエハ。
- ウエハが、−約600nm未満、−約500nm未満、−約400nm未満、−約300nm未満、−約250nm未満または−約10nm〜−約700nm、−約50nm〜−約600nm、−約100nm〜−約500nm、−約100nm〜−約400nmもしくは−約100nm〜−約300nmの厚さROAを有する、請求項81または83のいずれか1項に記載の半導体ウエハ。
- ウエハが、ウエハの周囲縁と半径の98%との間の環状縁部分を有しており、厚さROAを:
厚さプロファイル上の第1分別点と第2分別点との間の参照線を形成し;および
参照線と、ウエハ厚さプロファイルの縁部分における第3分別点との間の距離を測定すること
によって求める、請求項81〜84のいずれか1項に記載の半導体ウエハ。 - 第1分別点と構造の中心軸との間の距離が、構造の半径の約82.7%である、請求項85に記載の半導体ウエハ。
- 第2分別点と構造の中心軸との間の距離が、構造の半径の約93.3%である、請求項85または86に記載の半導体ウエハ。
- 第3分別点と構造の中心軸との間の距離が、構造の半径の約99.3%である、請求項85〜87のいずれか1項に記載の半導体ウエハ。
- 参照線を一次直線として適合する、請求項85〜88のいずれか1項に記載の半導体ウエハ。
- 参照線を三次多項式として適合する、請求項85〜88のいずれか1項に記載の半導体ウエハ。
- 厚さROAが、平均厚さROAである、請求項81〜90のいずれか1項に記載の半導体ウエハ。
- 平均厚さROAが、8つのウエハ半径で測られた8つの厚さROA測定値の平均である、請求項91に記載の半導体ウエハ。
- ウエハが、−約1100nm/mm2未満、−約800nm/mm2未満、−約600nm/mm2未満、−約400nm/mm2未満、−約1110nm/mm2〜−約100nm/mm2または−約800nm/mm2〜−約200nm/mm2の前表面zddを有する、請求項81〜92のいずれか1項に記載の半導体ウエハ。
- ウエハが、ハンドルウエハである、請求項81〜93のいずれか1項に記載の半導体ウエハ。
- ウエハが、ドナーウエハである、請求項81〜93のいずれか1項に記載の半導体ウエハ。
- 半導体ウエハが、単結晶シリコンから成る、請求項81〜95のいずれか1項に記載の半導体ウエハ。
- 半導体ウエハが、ウエハの群のうちの1つのウエハであり、各々のウエハが、中心軸と、中心軸に対してほぼ垂直である前表面および後表面と、前および後表面を結合している周囲縁と、中心軸から周囲縁まで延在している半径と、を有し、−約700nm未満の厚さロールオフ量(ROA)を有し、およびウエハの前表面において約6nmよりも大きい寸法の約3以下の明視野欠陥を有する、請求項81〜96のいずれか1項に記載の半導体ウエハ。
- 各々のウエハが、ウエハの前表面において約6nmよりも大きい寸法の約2以下の明視野欠陥、ウエハの前表面において6nmよりも大きい寸法の約1以下またはゼロの明視野欠陥を有する、請求項97に記載の半導体ウエハ。
- 各々のウエハが、ウエハの前表面において約4.8nmよりも大きい寸法の約6以下の明視野欠陥または約4.8nmよりも大きい寸法の約4未満、約2未満またはゼロの明視野欠陥を有する、請求項97または98に記載の半導体ウエハ。
- 各々のウエハが、−約600nm未満、−約500nm未満、−約400nm未満、−約300nm未満、−約250nm未満または−約10nm〜−約700nm、−約50nm〜−約600nm、−約100nm〜−約500nm、−約100nm〜−約400nmもしくは−約100nm〜−約300nmの厚さROAを有する、請求項97〜99のいずれか1項に記載の半導体ウエハ。
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