JP2013504050A5 - - Google Patents

Claims (16)

1. 基板の特徴を試験するための装置であって、
   アクチュエータと、
   基板を支持する表面を有する支持ネストと、
   前記アクチュエータに連結された１つ以上の移動可能なアームによって支持された複数の試験プローブと
   を備え、
   前記支持ネストは、複数の試験孔と、吸引装置に接続された複数の吸引孔とを備え、前記複数の試験孔と前記複数の吸引孔は前記支持ネストの表面を貫通して形成され、
   前記試験プローブのそれぞれは、前記アクチュエータが前記１つ以上の移動可能なアームを前記支持ネストに対して移動させるとき、前記試験プローブが前記複数の試験孔のうちの１つの少なくとも一部を通過できるように位置決めされる、装置。
2. 前記支持ネストが配置される表面を有する支持体を更に備え、前記支持体は、複数の貫通孔を備え、前記複数の貫通孔のそれぞれは試験孔と位置合わせされる、請求項１に記載の装置。
3. 前記複数の試験プローブが、前記基板の表面上に形成された複数の所定の試験領域に接触することができるようにパターン状に位置合わせされる、請求項１に記載の装置。
4. 前記アクチュエータが、前記移動可能なアームを移動させるように構成された移動可能なピストンに連結される、請求項１に記載の装置。
5. 前記移動可能なアームが、前記複数の試験プローブを支持するように構成された複数の横木を備える、請求項１に記載の装置。
6. 前記支持ネストが更に、前記複数の吸引孔に接続された吸引配管を備え、前記吸引配管は前記吸引装置に連結される、請求項１に記載の装置。
7. 複数の吸引孔が、それぞれ少なくとも１つの試験孔の周りに位置決めされる、請求項１に記載の装置。
8. 少なくとも１つの試験孔の周りに位置決めされた前記複数の吸引孔が、四角形、円形、およびその組み合わせからなる群から選択されるパターンで配置される、請求項７に記載の装置。
9. 前記基板の第１の表面に保持作用を作用させる、前記吸引孔に連結された吸引装置を更に備える、請求項１に記載の装置。
10. 前記支持ネストが非導電性材料を含む、請求項１に記載の装置。
11. 基板の表面の電気特性を測定する方法であって、
    複数の試験孔と複数の吸引孔が形成されている支持ネストの表面上に前記基板を配置することと、
    前記吸引孔内に気圧より低い圧力を発生することによって、前記支持ネストの表面上に前記基板を保持することと、
    前記複数の試験プローブが前記基板の第１の表面上に形成された複数の所定の試験領域と接触するまで、前記複数の試験プローブのそれぞれを試験孔を通って移動させることと
    を含む方法。
12. 前記複数の試験プローブのそれぞれがアクチュエータに連結された１つ以上の横木に支持され、各試験プローブを移動させることが前記アクチュエータを用いて前記１つ以上の横木を移動させることを含む、請求項１１に記載の方法。
13. 前記支持ネストが更に複数の吸引アセンブリを備え、各吸引アセンブリは、前記試験孔と、少なくとも１つの試験孔の周りに配置された複数の吸引孔のうちの少なくとも１つを備える、請求項１１に記載に方法。
14. 各吸引アセンブリ内の、少なくとも１つの試験孔の周りに配置された吸引孔の数が、５、６、７、８、９、および１０からなる群から選択される、請求項１３に記載の方法。
15. 前記複数の試験プローブのそれぞれを移動させることが、アクチュエータの使用によって前記基板の第１の表面に押圧動作を加えることを更に含む、請求項１１に記載の方法。
16. 前記複数の試験プローブを用いて、前記基板の第１の表面上の前記複数の所定の試験領域の電気的値を測定することを更に含む、請求項１５に記載の方法。