JP2013251743A - 弾性表面波デバイスとその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】容器本体1と蓋体10を共にガラス材料の板体で構成した。容器本体1にはSAW素子チップ6を収容して当該SAW素子チップに有する素子電極7との配線を行うための本体電極9を設けた内壁段差2を有する凹底部と、この凹底部を密封封止する蓋体10を固定する開口端面3とからなる二段の凹部を形成してなる。容器本体1の開口端面3と蓋体10とは、フリットガラスと好適とする接合剤を用いて固着する。
【選択図】図1
Description
前記容器本体はガラス材料で形成されており、前記SAW素子チップを収容して当該SAW素子チップに有する素子電極との配線を行うための本体電極を設けた内壁段差を有する凹底部を形成した二段の凹部を有し、
前記二段の凹部の開口端面の厚みと前記内壁段差部分の厚みの差が前記SAW素子チップの表面に有する櫛型電極の動作に必要とするキャビティを構成してなり、
前記本体電極は、少なくとも前記内壁段差から前記開口端面の外縁に亘って形成され、
前記蓋体は前記容器本体と同様のガラス材料で形成されて、前記容器本体の前記開口端面にある前記本体電極と対応する一対の辺に当該本体電極を臨む切り欠きを有し、
前記蓋体の前記容器本体と密封封止される面と反対面に外部端子を有し、前記切り欠きの内壁に前記外部端子と前記本体電極を接続するための接続電極を形成してなり、
前記容器本体の前記開口端面に有する前記本体電極と前記蓋体の前記切り欠きの内壁に有する接続電極とが対向してガラス系封着剤あるいは熱硬化性樹脂で密封封止され、前記SAW素子チップのキャビティを確保すると共に、当該SAW素子チップの前記素子電極と前記外部端子を電気的に接続したことを特徴とする。
1A・・・耐熱ガラス板
1B・・・外底面
2・・・内壁段差
3・・・開口端面
4・・・チップスペース
5・・・固着剤
6・・・SAW素子チップ
6A・・・キャビティ
7・・・素子電極
8・・・ボンディングワイヤー
9・・・本体電極
10・・・蓋体
10A・・・ガラス板(耐熱ガラス板)
11・・・ホトレジスト
12・・・切り欠き
12A・・・貫通孔
13・・・外部端子
13A・・・電極膜
14・・・接続電極
15・・・シールド電極。
Claims (8)
- SAW素子チップを内底面に固定して収容する容器本体と、前記容器本体と接合して前記SAW素子チップを密封封止する蓋体とからなるSAWデバイスであって、
前記容器本体はガラス材料で形成されており、前記SAW素子チップを収容して当該SAW素子チップに有する複数の素子電極との配線を行うための複数の本体電極を設けた内壁段差を有する凹底部を形成した二段の凹部を有し、
前記二段の凹部の開口端面の厚みと前記内壁段差部分の厚みの差が前記SAW素子チップの表面に有する櫛型電極の動作に必要とするキャビティを構成してなり、
前記本体電極は、少なくとも前記内壁段差から前記開口端面の外縁に亘って形成され、
前記蓋体は前記容器本体と同様のガラス材料で形成されて、前記容器本体の前記開口端面にある前記本体電極と対応する一対の辺に当該本体電極を臨む切り欠きを有し、
前記蓋体の前記容器本体と密封封止される面と反対面に外部端子を有し、前記切り欠きの内壁に前記外部端子と前記本体電極を接続するための接続電極を形成してなり、
前記容器本体の前記開口端面に有する前記本体電極と前記蓋体の前記切り欠きの内壁に有する接続電極とが対向して封着剤で密封封止され、前記SAW素子チップのキャビティを確保すると共に、当該SAW素子チップの前記素子電極と前記外部端子を電気的に接続したことを特徴とするSAWデバイス。 - 請求項1において、
前記本体電極の前記SAW素子チップを固着する前記内底面を覆って複数の電極膜を有し、前記電極膜の一部または全部は前記本体電極と電気的に接続していることを特徴とするSAWデバイス。 - 請求項1において、
前記本体電極の前記SAW素子チップを固着する前記内底面を覆って単一の電極膜を有し、前記電極膜は前記本体電極の一つと電気的に接続していることを特徴とするSAWデバイス。 - 請求項1において、
前記容器本体と前記蓋体とを接合する前記封着剤はフリットガラスであることを特徴とするSAWデバイス。 - 請求項1において、
前記容器本体と前記蓋体とを密封封止する前記封着剤は熱硬化性樹脂であることを特徴とするSAWデバイス。 - SAW素子チップを内底面に固定して収容する容器本体と、前記容器本体と接合して前記SAW素子チップを密封封止する蓋体とからなるSAWデバイスの製造方法であって、
耐熱ガラス板の一方の面と他方の面にホトレジストを塗布し、前記一方の面に塗布したホトレジストにマスク露光とガラスを可溶とするエッチング液に浸漬するウエットエッチングからなるホトリソグラフィー法の加工プロセスを2回施して内壁段差を有する開口端面を有して前記SAW素子チップを収容して固着するチップスペースである二段の凹部を形成するチップスペース形成工程と、
前記チップスペースを形成する二段の凹部の内面に電極膜を成膜し、ホトレジストの塗布とマスク露光、現像、電極膜を可溶とするエッチング液を用いたウエットエッチング加工で複数の本体電極を形成する本体電極形成工程と、
前記チップスペースの内底面に固着剤でSAW素子チップを固定し、当該SAW素子チップの素子電極と前記内壁段差2に形成された本体電極とをボンディングワイヤーで接続するボンディングワイヤー配線工程と、
を含む容器本体製作工程と、
耐熱ガラス板の一方の面と他方の面にホトレジストを塗布し、一方の面を後述する貫通孔のパターンを有する露光マスクで露光し、現像して、貫通孔の部分のホトレジストのみを除去し、前記貫通孔の部分のホトレジストが除去された耐熱ガラス板をエッチング溶液に所定の時間浸漬し、一方の面側が径大で他方の面側が径小な断面が漏斗状の貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、
貫通孔を形成した耐熱ガラス板の一方の面の中央部分と隣接する電極同士の間にホトレジストを選択的に塗布し、前記ホトレジストを塗布した耐熱ガラス板の一方の面と前記貫通孔の内壁を含めた全面に電極膜を成膜する電極膜成膜工程と、
レジスト剥離液を用いて、前記耐熱ガラス板の電極膜を成膜した一方の面のホトレジストをその上にある金属膜と共に剥離し除去して外部電極を形成する外部端子形成工程と、
を含む蓋体製作工程と、
前記容器本体製作工程で製作した容器本体ガラス板と、前記蓋体製作工程で製作した蓋体ガラス板を重ね合わせ、固着剤で固着した後、個々のデバイスに分離するデバイス分離工程とを有することを特徴とするSAWデバイスの製造方法。 - 請求項6において、
前記容器本体ガラス板と前記蓋体ガラス板とを固着する固着剤に、フリットガラスを用いることを特徴とするSAWデバイスの製造方法。 - 請求項6において、
前記容器本体ガラス板と前記蓋体ガラス板とを固着する固着剤に、エポキシ樹脂を用いることを特徴とするSAWデバイスの製造方法。
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