JP2013250662A - 形状シミュレーション装置、形状シミュレーション方法、および形状シミュレーションプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態による形状シミュレーション装置は、物質の表面を複数の計算要素に分割する分割部を備える。さらに、前記装置は、各計算要素から複数の方向に直線を伸ばし、各直線が前記物質の表面にぶつかるか否かと、各直線がどの計算要素にぶつかるかとを判定する判定部を備える。さらに、前記装置は、前記判定の結果に基づいて、各計算要素に直接的に到達する反応種のフラックスである直接フラックスと、前記計算要素同士の位置関係を示す形態係数とを計算する計算部を備える。
【選択図】図6
Description
図1は、第1実施形態の形状シミュレーション方法の手順を示したフローチャート図である。本実施形態の形状シミュレーション方法は、パーソナルコンピュータやワークステーション等の情報処理装置を使用して行われる。
次に、図4を参照し、ステップS3の詳細について説明する。
次に、図6を参照し、ステップS12の詳細について説明する。
次に、以上の説明を踏まえて、第1実施形態における計算時間について説明する。
次に、第1実施形態の変形例について説明する。
図15は、図6のステップS22〜S27の手順の変形例を示したフローチャート図である。
また、本実施形態では、図6や図15のフローにおいて、各計算要素に固有のローカル座標系を使用したが、代わりに、すべての計算要素に共通のグローバル座標系を使用してもよい。
また、本実施形態では、偏角φlocalの分割数Oは極角θlocalによらず一定としたが、代わりに、偏角φlocalの分割数Oは極角θlocalに応じて変化させてもよい。すなわち、偏角φlocalの分割数Oは、極角θlocalの刻みmに依存する変数としてもよい。
最後に、第1実施形態の効果について説明する。
図21は、第2実施形態の形状シミュレーション装置の構成を示す外観図である。
11:制御部、12:表示部、13:入力部、
21:CPU、22:ROM、23:RAM、24:HDD、
25:メモリドライブ、26:メモリI/F
Claims (6)
- 物質の表面を複数の計算要素に分割する分割部と、
各計算要素から複数の方向に直線を伸ばし、各直線が前記物質の表面にぶつかるか否かと、各直線がどの計算要素にぶつかるかとを判定する判定部と、
前記判定の結果に基づいて、各計算要素に直接的に到達する反応種のフラックスである直接フラックスと、前記計算要素同士の位置関係を示す形態係数とを計算する計算部とを備え、
前記計算部は、前記直接フラックスと前記形態係数とを使用して、各計算要素に直接的または間接的に到達する反応種のフラックスである総フラックスと、前記物質の局所的な表面成長速度の少なくともいずれかを計算し、
前記計算部は、前記直接フラックスと前記形態係数を、前記直線の方向を示す極角θと偏角φについてのループ計算により計算し、
前記計算部は、前記ループ計算を前記極角θの大きい方向から前記極角θの小さい方向へと順に行い、前記極角θがθ0となる方向において任意の前記偏角φで各直線が前記物質の表面にぶつからないと判定された場合には、前記極角θがθ0よりも小さい方向についての前記ループ計算を省略する、
形状シミュレーション装置。 - 物質の表面を複数の計算要素に分割する分割部と、
各計算要素から複数の方向に直線を伸ばし、各直線が前記物質の表面にぶつかるか否かと、各直線がどの計算要素にぶつかるかとを判定する判定部と、
前記判定の結果に基づいて、各計算要素に直接的に到達する反応種のフラックスである直接フラックスと、前記計算要素同士の位置関係を示す形態係数とを計算する計算部と、
を備える形状シミュレーション装置。 - 前記計算部は、前記直接フラックスと前記形態係数とを使用して、各計算要素に直接的または間接的に到達する反応種のフラックスである総フラックスと、前記物質の局所的な表面成長速度の少なくともいずれかを計算する、
請求項2に記載の形状シミュレーション装置。 - 前記計算部は、前記直接フラックスと前記形態係数を、前記直線の方向を示す極角θと偏角φについてのループ計算により計算し、
前記計算部は、前記ループ計算を前記極角θの大きい方向から前記極角θの小さい方向へと順に行い、前記極角θがθ0となる方向において任意の前記偏角φで各直線が前記物質の表面にぶつからないと判定された場合には、前記極角θがθ0よりも小さい方向についての前記ループ計算を省略する、
請求項2または3に記載の形状シミュレーション装置。 - 物質の表面を複数の計算要素に分割し、
各計算要素から複数の方向に直線を伸ばし、各直線が前記物質の表面にぶつかるか否かと、各直線がどの計算要素にぶつかるかとを判定し、
前記判定の結果に基づいて、各計算要素に直接的に到達する反応種のフラックスである直接フラックスと、前記計算要素同士の位置関係を示す形態係数とを計算する、
ことを含む形状シミュレーション方法。 - 物質の表面を複数の計算要素に分割し、
各計算要素から複数の方向に直線を伸ばし、各直線が前記物質の表面にぶつかるか否かと、各直線がどの計算要素にぶつかるかとを判定し、
前記判定の結果に基づいて、各計算要素に直接的に到達する反応種のフラックスである直接フラックスと、前記計算要素同士の位置関係を示す形態係数とを計算する、
ことを含む形状シミュレーション方法をコンピュータに実行させる形状シミュレーションプログラム。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014135339A (ja) * | 2013-01-09 | 2014-07-24 | Toshiba Corp | 形状シミュレーション装置、形状シミュレーション方法、および形状シミュレーションプログラム |
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Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20150205890A1 (en) * | 2014-01-17 | 2015-07-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Topography simulation apparatus, topography simulation method and recording medium |
CN111666727B (zh) * | 2020-06-08 | 2024-03-26 | 华北电力大学 | 一种复杂地形计算域地表网格的生成方法及系统 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07201757A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-08-04 | Sony Corp | 薄膜の形成方法 |
JPH1064774A (ja) * | 1996-08-21 | 1998-03-06 | Nec Corp | 形状シミュレーション方法 |
JPH10242017A (ja) * | 1997-02-25 | 1998-09-11 | Hitachi Ltd | 形状解析システム |
JPH11279759A (ja) * | 1998-03-26 | 1999-10-12 | Nec Corp | スパッタ形状シミュレーション方法 |
JP2000160336A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-06-13 | Nec Corp | スパッタ形状のシミュレーション方法及びそのプログラムを記録したそのコンピュータ読み込み可能な記録媒体 |
US6192330B1 (en) * | 1997-09-14 | 2001-02-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method and apparatus for string model simulation of a physical semiconductor process including use of specific depth angles and segment list with removal of redundant segments |
JP2002305191A (ja) * | 1993-09-21 | 2002-10-18 | Mitsubishi Electric Corp | 形状シミュレーション方法 |
JP2004266098A (ja) * | 2003-02-28 | 2004-09-24 | Toshiba Corp | シミュレーション方法、シミュレーションプログラム、シミュレーション装置および表面反応装置 |
US20050278060A1 (en) * | 2004-05-25 | 2005-12-15 | Fujitsu Limited | Topology simulation system, topology simulation method, and computer product |
US20080163142A1 (en) * | 2006-12-29 | 2008-07-03 | Cadence Design Systems, Inc. | Method, system, and computer program product for determining three-dimensional feature characteristics in electronic designs |
JP2009049110A (ja) * | 2007-08-16 | 2009-03-05 | Toshiba Corp | シミュレーション方法およびシミュレーションプログラム |
JP2011044656A (ja) * | 2009-08-24 | 2011-03-03 | Sony Corp | 形状シミュレーション装置、形状シミュレーションプログラム、半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4763934B2 (ja) * | 2001-09-06 | 2011-08-31 | 株式会社日本総合研究所 | 三次元メッシュ生成方法、回転機の磁界解析方法、三次元メッシュ生成装置、回転機の磁界解析装置、コンピュータプログラム、及び記録媒体 |
JP5036450B2 (ja) * | 2007-08-16 | 2012-09-26 | 株式会社東芝 | シミュレーション方法およびシミュレーションプログラム |
-
2012
- 2012-05-30 JP JP2012123500A patent/JP5918630B2/ja active Active
-
2013
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Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002305191A (ja) * | 1993-09-21 | 2002-10-18 | Mitsubishi Electric Corp | 形状シミュレーション方法 |
JPH07201757A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-08-04 | Sony Corp | 薄膜の形成方法 |
JPH1064774A (ja) * | 1996-08-21 | 1998-03-06 | Nec Corp | 形状シミュレーション方法 |
JPH10242017A (ja) * | 1997-02-25 | 1998-09-11 | Hitachi Ltd | 形状解析システム |
US6192330B1 (en) * | 1997-09-14 | 2001-02-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method and apparatus for string model simulation of a physical semiconductor process including use of specific depth angles and segment list with removal of redundant segments |
JPH11279759A (ja) * | 1998-03-26 | 1999-10-12 | Nec Corp | スパッタ形状シミュレーション方法 |
JP2000160336A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-06-13 | Nec Corp | スパッタ形状のシミュレーション方法及びそのプログラムを記録したそのコンピュータ読み込み可能な記録媒体 |
JP2004266098A (ja) * | 2003-02-28 | 2004-09-24 | Toshiba Corp | シミュレーション方法、シミュレーションプログラム、シミュレーション装置および表面反応装置 |
US20050278060A1 (en) * | 2004-05-25 | 2005-12-15 | Fujitsu Limited | Topology simulation system, topology simulation method, and computer product |
US20080163142A1 (en) * | 2006-12-29 | 2008-07-03 | Cadence Design Systems, Inc. | Method, system, and computer program product for determining three-dimensional feature characteristics in electronic designs |
JP2009049110A (ja) * | 2007-08-16 | 2009-03-05 | Toshiba Corp | シミュレーション方法およびシミュレーションプログラム |
JP2011044656A (ja) * | 2009-08-24 | 2011-03-03 | Sony Corp | 形状シミュレーション装置、形状シミュレーションプログラム、半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014135339A (ja) * | 2013-01-09 | 2014-07-24 | Toshiba Corp | 形状シミュレーション装置、形状シミュレーション方法、および形状シミュレーションプログラム |
US9201998B1 (en) | 2014-06-13 | 2015-12-01 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Topography simulation apparatus, topography simulation method and recording medium |
KR20160019033A (ko) * | 2014-06-13 | 2016-02-18 | 가부시끼가이샤 도시바 | 형상 시뮬레이션 장치, 형상 시뮬레이션 방법 및 기록 매체 |
KR101627044B1 (ko) * | 2014-06-13 | 2016-06-03 | 가부시끼가이샤 도시바 | 형상 시뮬레이션 장치, 형상 시뮬레이션 방법 및 기록 매체 |
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