JP2013247339A - 電子部品モジュールの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子部品モジュール100は、基板1上の電子部品2及びモールド樹脂3を覆うように導電性シールド51が形成されたものである。導電性シールド51は、Cu等の第1のフィラー及びSn−Bi等の第2のフィラーを含み、接地用配線11に接続されている。また、第2のフィラーは、250℃以下の温度で溶融し、且つ、第1のフィラーと溶融結合するものであり、第1のフィラー及び第2のフィラーの少なくとも何れか一方は、還元剤によって腐食される金属を含む。さらに、導電性シールド51を形成する際には、大気に比して酸素濃度を減少させた雰囲気下でモールド樹脂上に塗布された導電性ペーストを加熱する。
【選択図】図3
Description
平均粒径6μmのCuコートAgを金属フィラーとして含む導電性ペースト(タツタ電線社製AE1244)を用い、図3に示す本発明による電子部品モジュール100と同様の構成を有する電子部品モジュールを作製した。
第1のフィラーとして平均粒径5μmのAgコートCu扁平粉を用い、第2のフィラーとして平均粒径5μmのSn−Bi球状粉を用い、ブチルカルビトールアセテートを用いたこと以外は、実施例1と同様にして本発明による電子部品モジュールを作製した。導電性ペーストにおける第1のフィラー及び第2のフィラーの合計含有割合は、90質量%であった。
図4及び図5は、それぞれ比較例1及び実施例1で得た電子部品モジュールにおける導電性シールドの断面を拡大して示す電子顕微鏡写真である。なお、これらの図4及び図5に示す写真に記載されているスケールの1目盛りは2μmである。図4に示す結果より、比較例1の電子部品モジュールの導電性シールドにおいては、個々の金属フィラー(写真において、比較的明るい灰色の個々の円状領域)が単に物理的に接触している状態が確認された。
比較例1実施例1で調製した導電性ペーストを用い、それぞれ、比較例2及び実施例2の電子部品モジュールとしてのパワーマネジメントモジュールを作製した。モジュール個品の外形寸法は、11mm×11mmとした。作製手順は、先述した実施形態で述べたのと同様に、基板(集合基板)上に電子部品を実装し、それをモールド樹脂で覆った後、XY方向にスリットをダイシングで形成し、真空印刷にて、モールド樹脂の天面、並びに、モールド樹脂及び基板の側面に、導電性ペーストを塗布し、それを加熱硬化させてから、個品化した。
比較例2及び実施例2で得たパワーマネジメントモジュールに対し、1〜1000MHzの周波数領域において近傍磁界評価を実施した。また、導電性シールドを有しないこと以外は、比較例2及び実施例2と同様に作製したパワーマネジメントモジュール(ブランク)、及び、導電性ペーストから形成した導電性シールドに代えて金属ケースシールドを有するパワーマネジメントモジュール(参照例)についても、同様の近傍磁界評価を実施した。図6は、比較例2、実施例2、ブランク、及び、参照例のパワーマネジメントモジュールに対する近傍磁界評価の測定結果を示すグラフである。
平均粒径6μmのAgコートCuを金属フィラーとして含む導電性ペースト(タツタ電線社製AE3030)を用い、図3に示す本発明による電子部品モジュール100と同様の構成を有する電子部品モジュールを作製した。
第1のフィラーとして平均粒径5μmのAgコートCu扁平粉を用い、第2のフィラーとして平均粒径5μmのSn−Bi球状粉を用い、エポキシ樹脂(液状ビスフェノールF型エポキシ樹脂及びイミダゾール系の硬化剤)及びブチルカルビトールアセテート及びカルボン酸を含む還元剤を用いて調整した。この導電性ペーストを、メタルマスク印刷を用いて基板1及びモールド樹脂3上に印刷した後、それを、150℃で20分及び180℃で60分の条件で加熱硬化させた。このとき、導電性ペーストの加熱硬化時の雰囲気中の酸素濃度を500ppm以下に制御して加熱硬化を行い、導電性シールド51の硬化被膜を形成し、図3に示す電子部品モジュール100と同様の構成を有する電子部品モジュールを作製した。
比較例3及び実施例3で得た電子部品モジュールにおける導電性シールドの断面を、試験評価1と同様に、電子顕微鏡により拡大観察した。その結果、比較例3の電子部品モジュールの導電性シールドにおいては、上述した比較例1と同様に、個々の金属フィラー(写真において、比較的明るい灰色の個々の円状領域)が単に物理的に接触している状態が確認された。一方、実施例3の電子部品モジュールの導電性シールドにおいては、上述した実施例1と同様に、第1にフィラー及び第2のフィラーの個々の粒子を明瞭に弁別することはできず、第1のフィラーに複数の第2のフィラーの粒子が溶融結合によって金属間化合物(IMC)を形成(言わばネックグロース)し、一体に接合されたもの同士が、溶融結合によって更に接合されて連結している状態が確認された。
導電性ペーストに、還元剤としてのグルタル酸を、第1のフィラー及び第2のフィラーで還元剤によって腐食される金属が含まれるフィラーの合計量に対してそれぞれ1.5、2.2、3.0、5.0、及び8.5質量%の含有割合で添加し、且つ、導電性ペーストの加熱硬化時の雰囲気中の酸素濃度をそれぞれ210000(酸素濃度制御なし)、63000、28000、15000、7000、5000、3000、1500、500ppmに制御したこと以外は、実施例3と同様にして実施例4の複数の電子部品モジュールを作製した。
実施例4で得た種々の電子部品モジュールにおける導電性シールドの断面を、試験評価1と同様にして、電子顕微鏡により拡大観察した。その結果を表1に示す。表中、「◎」は、第1のフィラー(Cu粉末)と第2のフィラー(Sn−Bi粉末)が溶融接合しており、当初添加したSn−Bi粉末が1断面中に確認できなかったことを示す。また、「○」は、殆どの第1のフィラー(Cu粉末)と第2のフィラー(Sn−Bi粉末)が溶融接合しており、当初添加したSn−Bi粉末が1断面中に1〜2個程度確認できたことを示す。さらに、「△」は、一部に第1のフィラー(Cu粉末)と第2のフィラー(Sn−Bi粉末)が溶融接合している状態が認められ、且つ、当初添加したSn−Bi粉末の形状も有意に確認できたことを示す。またさらに、「×」は、還元剤を添加しなかったものとの優位な差異が確認できなかったことを示す。
実施例4で得た種々の電子部品モジュールにおける導電性シールドの体積抵抗値を、4探針法(JIS K 7194における1点測定)により測定した。得られた結果を表2に示す。表中、「◎」は、体積抵抗値が1.0×10-4Ω・cm以下であったことを示し、「○」は、体積抵抗値が1.0×10-3を超え且つ1.0×10-4Ω・cm未満であったことを示し、「△」は、体積抵抗値が1.0×10-2を超え且つ1.0×10-3Ω・cm未満であったことを示し、「×」は、体積抵抗値が10-2Ω・cmよりも高かったことを示す。
Claims (6)
- 基板を準備する工程と、
前記基板の表面に電子部品を実装する工程と、
前記基板の表面及び前記電子部品を覆うようにモールド樹脂を設ける工程と、
前記モールド樹脂を覆うように、且つ、前記基板に設けられた接地用配線に接続するように、導電性シールドを設ける工程と、
を有し、
前記導電性シールドは、互いに異なる第1のフィラー及び第2のフィラー、硬化前の熱硬化性樹脂、並びに、カルボン酸を含む還元剤を含む導電性ペーストを、大気に比して酸素濃度を減少させた雰囲気下で加熱することにより形成され、且つ、前記基板に設けられた接地用配線に接続され、
前記第2のフィラーは、250℃以下の温度で溶融し、且つ、前記第1のフィラーと溶融結合するものであり、
前記第1のフィラー及び前記第2のフィラーの少なくとも何れか一方は、前記還元剤によって腐食される金属を含むものである、
電子部品モジュールの製造方法。 - 前記大気に比して酸素濃度を減少させた雰囲気における当該酸素濃度を63000ppm以下にする、
請求項1記載の電子部品モジュールの製造方法。 - 前記還元剤は、前記第1のフィラー及び第2のフィラーの少なくとも何れか一方のうち、前記還元剤によって腐食される金属を含むフィラーの合計量に対して5質量%以下の割合で、前記導電性ペーストに含まれる、
請求項1又は2記載の電子部品モジュールの製造方法。 - 前記第1のフィラーは、Cuを含む、
請求項1〜3の何れか1項記載の電子部品モジュールの製造方法。 - 前記第2のフィラーは、主としてSn、Ag、Cu、Bi、In、Zn、及びSbのうちの少なくも1種の金属を含む、
請求項1〜4の何れか1項記載の電子部品モジュールの製造方法。 - 前記第1のフィラー及び前記第2のフィラーは、前記導電性シールドに対して50〜95質量%の割合で含まれる、
請求項1〜5の何れか1項記載の電子部品モジュールの製造方法。
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