JP2013247244A - 電子装置、破損推定方法、寿命推定方法 - Google Patents

電子装置、破損推定方法、寿命推定方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2013247244A
JP2013247244A JP2012120108A JP2012120108A JP2013247244A JP 2013247244 A JP2013247244 A JP 2013247244A JP 2012120108 A JP2012120108 A JP 2012120108A JP 2012120108 A JP2012120108 A JP 2012120108A JP 2013247244 A JP2013247244 A JP 2013247244A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
joint
unit
bonding
damage
heat dissipation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2012120108A
Other languages
English (en)
Inventor
Yosuke Hisakuni
陽介 久國
Takahiro Omori
隆広 大森
Kenji Hirohata
賢治 廣畑
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2012120108A priority Critical patent/JP2013247244A/ja
Priority to US13/722,087 priority patent/US9091610B2/en
Publication of JP2013247244A publication Critical patent/JP2013247244A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M7/00Vibration-testing of structures; Shock-testing of structures
    • G01M7/02Vibration-testing by means of a shake table
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M7/00Vibration-testing of structures; Shock-testing of structures
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2801Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]
    • G01R31/281Specific types of tests or tests for a specific type of fault, e.g. thermal mapping, shorts testing
    • G01R31/2817Environmental-, stress-, or burn-in tests
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/50Testing of electric apparatus, lines, cables or components for short-circuits, continuity, leakage current or incorrect line connections
    • G01R31/66Testing of connections, e.g. of plugs or non-disconnectable joints
    • G01R31/70Testing of connections between components and printed circuit boards
    • G01R31/71Testing of solder joints
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48135Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/48137Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1305Bipolar Junction Transistor [BJT]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1305Bipolar Junction Transistor [BJT]
    • H01L2924/13055Insulated gate bipolar transistor [IGBT]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/161Cap
    • H01L2924/1615Shape
    • H01L2924/16152Cap comprising a cavity for hosting the device, e.g. U-shaped cap

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

【課題】半田接合の信頼性を向上させることが可能な電子装置、破損推定方法、寿命推定方法を提供する。
【解決手段】実施形態の電子装置は、放熱基板と、前記放熱基板上に設けられる第1接合部と、前記放熱基板上に前記第1接合部と間隔を空けて設けられる第2接合部と、角部を含む領域が前記第1接合部に当接する絶縁基板と、前記絶縁基板上の前記第2接合部よりも第1接合部の近傍に設けられ、前記絶縁基板に加わる振動の加速度を測定する第1センサと、前記第1センサが測定した前記加速度を用いて、前記加速度の応答スペクトルを算出する第1算出部と、前記第1算出部が算出した前記応答スペクトルの最大ピークの周波数と基準周波数を比較して、前記第1接合部の接合不良の進展状態を判定する判定部と、前記判定部が判定した前記進展状態に基づいて、前記第2接合部の破損を推定する推定部とを備える。
【選択図】図2

Description

本発明の実施形態は、電子装置、破損推定方法、寿命推定方法に関する。
車載機器や産業用機器等の大電流のスイッチングを必要とする電子装置に用いられるパワーモジュールでは、表面に回路が形成されている絶縁基板と、ヒートシンクに接触させて取り付けられる放熱基板とは半田接合されている。電子装置内の熱は、この半田接合のための半田層を介して絶縁基板から放熱基板へ伝わり、さらにヒートシンクに対して放熱される。
しかしながら、電子装置の使用に伴い電子装置に対して加わる振動等の外力や、電子装置内の素子の発熱による熱負荷の影響によって半田層には亀裂やクラック等の不良が発生する。このような半田層に発生する不良により、電子装置の放熱性能が低減してしまう問題がある。そこで、電子装置の放熱性能や安全性を確保するために、絶縁基板と放熱基板の半田接合の信頼性を向上させることが望まれている。
特開2011−109145号公報
半田接合の信頼性を向上させることが可能な電子装置、破損推定方法、寿命推定方法を提供する。
実施形態の電子装置は、放熱基板と、前記放熱基板上に設けられる第1接合部と、前記放熱基板上に前記第1接合部と間隔を空けて設けられ、前記第1接合部よりも接合面積の大きい第2接合部と、前記第1接合部および前記第2接合部上に設けられ、角部を含む領域が前記第1接合部に当接する絶縁基板と、前記絶縁基板上の前記第2接合部よりも第1接合部の近傍に設けられ、前記絶縁基板に加わる振動の加速度を測定する第1センサと、前記第1センサが測定した前記加速度を用いて、前記加速度の応答スペクトルを算出する第1算出部と、前記第1算出部が算出した前記応答スペクトルの最大ピークの周波数と基準周波数を比較して、前記第1接合部の接合不良の進展状態を判定する判定部と、前記判定部が判定した前記進展状態に基づいて、前記第2接合部の破損を推定する推定部とを備える。
実施形態の破損推定方法は、放熱基板と、前記放熱基板上に設けられる第1接合部と、前記放熱基板上に前記第1接合部と間隔を空けて設けられ、前記第1接合部よりも接合面積の大きい第2接合部と、前記第1接合部および前記第2接合部上に設けられ、角部を含む領域が前記第1接合部に当接する絶縁基板と、前記絶縁基板上の前記第2接合部よりも第1接合部の近傍に設けられ、前記絶縁基板に加わる振動の加速度を測定する第1センサとを備える電子装置における破損推定方法であって、算出部が、前記第1センサが測定した前記加速度を用いて、前記加速度の応答スペクトルを算出するステップと、判定部が、前記算出部が算出した前記応答スペクトルの最大ピークの周波数と基準周波数を比較して、前記第1接合部の接合不良の進展状態を判定するステップと、推定部が、前記判定部が判定した前記進展状態に基づいて、前記第2接合部の破損を推定するステップとを有する。
実施形態の寿命推定方法は、放熱基板と、前記放熱基板上に設けられる第1接合部と、前記放熱基板上に前記第1接合部と間隔を空けて設けられ、前記第1接合部よりも接合面積の大きい第2接合部と、前記第1接合部および前記第2接合部上に設けられ、角部を含む領域が前記第1接合部に当接する絶縁基板と、前記絶縁基板上の前記第2接合部よりも第1接合部の近傍に設けられ、前記絶縁基板に加わる振動の加速度を測定する第1センサと、前記第1接合部および前記第2接合部に作用する負荷の時間履歴を測定する第2センサとを備える電子装置における寿命推定方法であって、第1算出部が、前記第1センサが測定した前記加速度を用いて、前記加速度の応答スペクトルを算出するステップと、判定部が、前記第1算出部が算出した前記応答スペクトルの最大ピークの周波数と基準周波数を比較して、前記第1接合部の接合不良の進展状態を判定するステップと、第2算出部が、前記第2センサが測定する前記負荷の時間履歴を用いて、前記第2接合部の第1損傷度および前記第1接合部の第2損傷度を算出するステップと、第3算出部が、前記判定部が前記第1接合部を破断と判定した時点で前記第2算出部が算出する前記第2損傷度と、予め定められる前記第1接合部が破損する時点での損傷度とを比較して、前記第2損傷度の誤差を算出するステップと、修正部が、前記第3算出部が算出する前記誤差を用いて、前記第2算出部が算出する前記第1損傷度を修正するステップと、推定部が、前記修正部が修正する前記第1損傷度と、予め定められる前記第2接合部が破損する時点での損傷度とを比較して、前記第2接合部が破損するまでの寿命を推定するステップとを有する。
第一の実施形態に係る電子装置の構成図。 第一の実施形態に係る電子装置のパワーモジュールの概略図。 第一の実施形態に係る電子装置の演算処理装置のシステム構成図。 第一の実施形態に係る応答スペクトルの概略図。 変形例に係るパワーモジュールの概略図。 第二の実施形態に係る電子装置の構成図。 第二の実施形態に係る電子装置の演算処理装置のシステム構成図。 第二の実施形態に係る寿命推定方法のフローチャート。 第二の実施形態に係るひずみ振幅の情報の一例を示す図。
以下、発明を実施するための実施形態について説明する。
(第一の実施形態)
図1は、第一の実施形態に係る電子装置1の構成図である。本実施形態の電子装置1は、例えば車載用の電子制御ユニット(ECU:Electronic Control Unit)である。
図1の電子装置1は、電流のスイッチング機能を有するパワーモジュール100、CPUやMPU等の演算処理装置200、不揮発性メモリやHDD等の記憶装置300を備える。また、必要に応じてパワーモジュール100が故障または故障直前の状態であることを音等により外部、例えばユーザに知らせるアラームやディスプレイ、電気信号等の出力装置400を備える。なお、図1に示すように、後述するパワーモジュール100のセンサ110、演算処理装置200、記憶装置300、出力装置400は信号線により電気的に接続されている。
図2は、パワーモジュール100の概略図である。
図2のパワーモジュール100は、放熱基板10、絶縁基板20、第1接合部30、第2接合部40、センサ110、第1素子50、第2素子60、ワイヤ70、筺体80、シリコーンゲル90を備える。
放熱基板10は、例えば銅(熱伝導率k≒400W/(mK))等の金属材料により形成される熱伝導性に優れる平板である。放熱基板10は、締結固定のための開口を有しており、ボルト等の締結部材120によりヒートシンク130に固定される。放熱基板10は、ヒートシンク130に対して熱を伝えることで、パワーモジュール100から熱を逃がす。以下、放熱基板10のヒートシンク130に対向させる面とは反対の面を表面(第1面)とする。
絶縁基板20は、例えばセラミック等の材料により形成される絶縁性の基板である。絶縁基板20の表面には、銅やタングステン等の導電性材料で配線パターンが形成されている。絶縁基板20は、裏面を放熱基板10の表面に向けて、後述の第1接合部30および第2接合部40上に設けられる。絶縁基板20は、矩形状の基板であり四隅に角部を有している。ここで、角部とは、異なる方向に伸びる絶縁基板20の側面同士が交わる部分である。絶縁基板20の裏面は、角部を含み後述の第1接合部30上の領域(第1領域)と、後述の第2接合部40上の領域(第2領域)とを含む。すなわち、第1領域は第1接合部30を介して放熱基板10の第1面と接合され、第2領域は第2接合部40を介して放熱基板10の第1面と接合される。また、絶縁基板20の裏面とは絶縁基板20を基準として反対の面である表面は、第1領域と反対の領域(第3領域)と、第2領域と反対の領域(第4領域)とを含む。なお、第1領域(第3領域)の面積および形状と第2領域(第4領域)の面積および形状については、例えば電子装置1の規定の放熱性能を満たすことが可能な範囲内で任意に定めることができる。絶縁基板20は、パワーモジュール100の電気的な接続や、パワーモジュール100と外部との電気的な接続を確保する。
第1接合部30は、放熱基板10の第1面と絶縁基板20の裏面の第1領域とを接合する膜状の部材である。第2接合部40は、放熱基板10または絶縁基板20の面方向に第1接合部30と離間して、放熱基板10の第1面と絶縁基板20の裏面の第2領域とを接合する膜状の部材である。第2接合部40の接合面積は第1接合部30の接合面積よりも大きい。なお、ここでの接合面積とは、第1接合部30と放熱基板10の第1面または絶縁基板20の表面との接合面の面積、第2接合部40と放熱基板10の第1面または絶縁基板20の表面との接合面の面積のことである。本実施形態では、第1接合部30および第2接合部40の材質としては、錫および鉛の合金を含む半田を用いることができる。なお、第1接合部30および第2接合部40は、例えばリフロー方式により形成することができる。
なお、例えば酸化防止のために放熱基板10の第1面や絶縁基板20の裏面を金メッキ等の塗布材により処理する場合や、例えば電気的な接続のために電極パッド等を放熱基板10の第1面や絶縁基板20の裏面に設ける場合には、塗布材や電極パッド等の異なる部材を含めて第1接合部30、第2接合部40とすることができる。
センサ110は、絶縁基板20(すなわち、第1接合部30)に対して定常的に作用する振動(衝撃等の外乱を含む)による加速度の時間履歴を測定する。センサ110が測定する加速度の時間履歴は記憶装置300に格納される。センサ110としては、例えば圧電型、静電容量型の加速度センサやMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)型の加速度センサ等を用いることができる。センサ110は、絶縁基板20の表面の第2接合部40より第1接合部30の近傍、さらに好ましくはいずれかの第3領域に載置される。
第1素子50は、絶縁基板20の表面の第4領域に載置される、例えばIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)等のパワー素子である。第1素子50は、半田接合等により絶縁基板20に接合されている。第1素子50の表面には、複数の電極が形成されている。
第2素子60は、絶縁基板20の表面の第4領域に載置される、例えば整流作用を有するダイオードである。第2素子60は、半田接合等により絶縁基板20に接合されている。第2素子60の表面には、複数の電極が形成されている。
なお、第2素子60は、ダイオードに限られず、第1素子50と電気的に接続される様々な素子を対象とすることができる。
ワイヤ70は、第1素子50の電極と第2素子60の電極とを電気的に接続する導電性の部材である。ワイヤ70の材質としては、例えばアルミニウム等を用いることができる。ワイヤ70は、各電極に対して、例えば超音波接合等により接合される。
筐体80は、パワーモジュール100のケースであり、材質としては例えば樹脂材料を用いる。この筐体80内には、絶縁基板20、第1素子50、第2素子60、ワイヤ70が収納されている。
シリコーンゲル90は、筐体80内に充填され、少なくともワイヤ70を被覆している。シリコーンゲル90は、隣接するワイヤ70同士の接触によるショートや、湿気等の環境変動による劣化、特性変動を防ぐ。
なお、ここではシリコーンゲルを例に説明をしているが、少なくとも絶縁性の性質を有し、かつ振動によるワイヤ70の移動を防止するための機械的強度、例えばヤング率1kPa〜1MPaのゲル状の部材であればよい。
(不良発生モードの説明)
このようなパワーモジュール100では、電子装置1の動作時に第1素子50または第2素子60が発熱することで、パワーモジュール100の各構成部材に対して熱が与えられる。パワーモジュール100の各構成部材はそれぞれ熱膨張係数が異なるために、例えば第1接合部30または第2接合部40と放熱基板10の接合界面、第1接合部30または第2接合部40と絶縁基板20の接合界面にはせん断力が作用する。せん断力は、絶縁基板20の中心部に比べて、より膨張量が大きい周辺部ほど大きくなる。さらに詳細には、周辺部の中でも絶縁基板20の中心からの距離が最も遠い角部において、より大きなせん断力となる。
また、電子装置1に対して振動や衝撃等の外乱が作用すると、放熱基板10には締結部材120を支持点としてたわみが生じる。このとき、自由端となる放熱基板10または絶縁基板20の周辺部(特に角部)では、放熱基板10と絶縁基板20を引き離す方向に力が加わることになる。
したがって、パワーモジュール100においては、放熱基板10の第1面と絶縁基板20の中央部に位置する第3面とを接合する第2接合部40に比べて、放熱基板10の第1面と絶縁基板20の角部を含む第2面とを接合する第1接合部30のほうが、より大きな荷重を受けることになる。そのため、亀裂(クラック)の発生、第1接合部30、第2接合部40の放熱基板10または絶縁基板20からの剥がれ等の不良はまず第1接合部30に現れる。そして、第1接合部30の全体に不良が進展していき、最終的には電子装置1を動作させる際の安全性に影響が出る程に不良が進展した状態である破損となる。その後、第2接合部40にも同様の不良が発生する。なお、ここでの不良とは、第1接合部30と放熱基板10または絶縁基板20との結合不良、第2接合部40と放熱基板10または絶縁基板20との結合不良のことである。
放熱基板10と絶縁基板20を接合する第1接合部30および第2接合部40は、第1素子50や第2素子60等からの熱をヒートシンク130に逃がす際に、電子装置1の放熱性能を担保する重要な役割を担う。したがって、第1接合部30および第2接合部40における不良の発生は、電子装置1の放熱性能を保つためにも好ましくない。
そこで、本実施形態では、センサ110を絶縁基板20の表面の第3領域に載置することで、第1接合部30の不良により生じた構造変化の影響を加速度の検出により早期に、また効果的に検出することができる。
図3は、演算処理装置200のシステム構成図である。
演算処理装置200は、第1算出部(応答スペクトル算出部)210、判定部220、推定部230をモジュールとして有する。
応答スペクトル算出部210は、センサ110が検出して記憶装置300に格納した加速度の時間履歴を用いて、例えば予め定める所定の周期Tsごとに(加速度)応答スペクトルを算出する。なお、具体的には応答スペクトル算出部210は、センサ110が測定する加速度の時間履歴に対して、例えば高速フーリエ変換処理を行うことで応答スペクトルを得る。また、必要に応じて、応答スペクトル算出部210は、例えば予め設定される所定の周波数幅について、周波数軸上で移動平均を算出することにより、応答スペクトルを平滑化する。このように応答スペクトル算出部210が算出する応答スペクトルは、記憶装置300に格納することができる。
図4は、応答スペクトル算出部210が算出する応答スペクトルの概略図である。ここで、図4に示すように、応答スペクトルの最大ピークをfp、応答スペクトルが最大ピークをとるときの周波数(最大ピーク周波数)をhpとする。
第1接合部30に亀裂等の不良が生じると、第1接合部30の剛性は低下する。このとき、第1接合部30の剛性の低下に伴い、絶縁基板20および第1接合部30の共振周波数も低下することになる。したがって、図4に示すように、第1接合部30において不良の進展が進むに従い、応答スペクトルのピーク周波数hpは徐々に低周波数側へ移動していく。
判定部220は、応答スペクトル算出部210が算出する応答スペクトルに基づいて、第1接合部30の不良の進展状態を判定する。ここで、第1接合部30の不良の進展状態としては、電子装置1として予め定める所定の性能(放熱性能)が得られないほど不良が進展した破損直前の状態を判定するものであってもよいし、電子装置1を動作する際に安全を保てる不良の進展状態の範囲を予め規定し、破損の状態であることを判定するものであってもよい。
具体的には、判定部220は、記憶装置300から周期Tsごとに応答スペクトルを得て、応答スペクトルのピーク周波数hpを検出する。そして、例えば周期Tsごとにピーク周波数hpの変化量を算出する等により、応答スペクトルのピーク周波数hpの変化を逐次観測する。判定部220は、例えば予め設定することのできる周波数の閾値(第1基準周波数)hs1と応答スペクトルのピーク周波数hpと比較することで、ピーク周波数hpが閾値hs1以下の値となる場合に、第1接合部30を破損直前と判定する。また、ピーク周波数hpが閾値hs1よりも小さい閾値(第2基準周波数)hs2以下の値となる場合に、第1接合部30を破損と判定する。
推定部230は、判定部220の判定結果に基づいて、第2接合部40の破損を推定する。具体的には、判定部220が第1接合部30を破損と判定した際に、第2接合部40に対しても不良が進展した状態と見なすことで、第2接合部40の接合状態を破損と推定する。すなわち、本実施形態では、推定部230が第2接合部40を破損と推定した時点を電子装置1の故障とする。
出力装置400は、推定部230の推定結果をユーザに対して例えばアラーム等により通知する。これにより、電子装置1が故障して完全に動作を停止する前にユーザに対して注意を喚起すことができ、修理等の対応を促すことができる。
本実施形態の電子装置1によれば、一般的な半田ボール接合の場合と異なり、本実施形態では面で接合する半田層としての第1接合部30、第2接合部40を対象とするため、不良の進展に伴う応答スペクトルがシフトしていく様子を時間履歴として捉えることができ、上記のように不良の進展の各フェーズで閾値を設定することで、ユーザはより確実に第1接合部30、さらには第2接合部40の不良の進展を把握することができる。以上により、放熱基板10と絶縁基板20との半田接合の信頼性を向上させることが可能となる。
(変形例)
図5は、変形例に係るパワーモジュール100の概略図である。
図5のパワーモジュール100は、第2接合部40上の厚さに比べて第1接合部30上の厚さが薄い絶縁基板20を備える。なお、その他の構成については、図2のパワーモジュール100と同様として、ここでの詳細な説明は省略する。
本変形例のように、第1接合部30上において絶縁基板20の厚さを薄くすることで、絶縁基板20の剛性が低下するため、センサ110が測定する加速度応答の振幅が第一の実施形態と比較して大きくなり、結果的に応答スペクトルのピークfpが大きくなる。
なお、ここでの厚さとしては、絶縁基板20の表面と裏面の距離の平均値を用いることができる。この平均値は、例えば絶縁基板20の面内の複数点で、表面と裏面の距離を測定することにより算出することができる。
これにより、亀裂が発生または進展した際の応答スペクトルの変化が顕著に現れることで、応答スペクトルのピークのシフトによる亀裂の進展を判断しやすくなる。すなわち、判定部220が第1接合部30の不良の進展状態を破損または破損直前と判定する際の精度を向上させることができる。
(第二の実施形態)
図6は、第二の実施形態に係る電子装置2の構成図である。また、図7は、演算処理装置500のシステム構成図である。図7の演算処理装置500は、第2算出部(損傷度算出部)240、修正部(損傷度修正部)250、推定部260を備える点で、図3の演算処理装置200とは異なる。なお、第一の実施形態に係る電子装置1と同様の構成については、同一の符号を付すことで詳細な説明を省略する。
本実施形態では、記憶装置300には、予め電子装置2について数値構造解析や試験を行うことで、第1接合部30に対して加わる負荷と第1接合部30に生じる不良との関係、第2接合部40に対して加わる負荷と第2接合部40に生じる不良との関係をそれぞれ格納している。なお、ここでの負荷とは、第1接合部30、第2接合部の内部応力変化に影響を与える加速度や温度等である。また、負荷と不良の関係としては、例えば次のように定義される損傷度に関する関係式を用いることができる。
第1接合部30、第2接合部40に対して繰返し負荷が1サイクル加わった際の損傷度は、同一の繰返し負荷を与えたときの寿命サイクル数の逆数で表される。したがって、負荷が繰返し加わった場合の損傷度は、各サイクルで生じる損傷度を累積したものである。累計した損傷度が増すに従って、第1接合部30、第2接合部40には不良が進展していくことを表す。そして、累積した損傷度が1に達したとき、第1接合部30、第2接合部40は破損したことを表す。すなわち、この損傷度とは、第1接合部30および第2接合部40内での不良の進展状態を表す指標である。
しかしながら、実際には第1接合部30、第2接合部40の個体差等の影響等により、予め予測された破損するまでの損傷度である1に達する前後に第1接合部30、第2接合部40が破損する場合がある。そこで、判定部220が第1接合部30を破損(電子装置2を故障)と判定した時点で、それまでに得られていた第2接合部40の損傷度を修正することができる。
損傷度算出部240は、センサ110が測定し、記憶装置300に格納する加速度の時間履歴を用いて、所定の時間ごとに第1接合部30および第2接合部40のそれぞれに対する損傷度を算出する。
損傷度修正部250は、判定部220の判定結果を得て、予め予測された第1接合部30が破損する際の損傷度と、判定部220が第1接合部30を破損と判定して時点で損傷度算出部240が算出する第1接合部30の損傷度を比較することで、第1接合部30の損傷度の誤差を算出する。そして、損傷度修正部250は、算出した第1接合部30の損傷度の誤差と同程度の誤差が第2接合部40にも存在するものと仮定して、この誤差を用いて損傷度算出部240が算出する第2接合部40の損傷度を修正する。
推定部260は、損傷度算出部240が算出する第2接合部40の損傷度、または損傷度修正部250が修正する第2接合部40の損傷度を用いて、第2接合部40の寿命(すなわち、電子装置2の寿命)を推定する。ここで、寿命とは、第2接合部40が破損するまでの期間を表すもので、例えば、破損までの負荷のサイクル数や破損までの時間等で表すことができる。
これには、例えば記憶装置300に負荷のサイクル数と損傷度の関係をデータベースとして格納しておくことで、このデータベースを参照して損傷度が1に達するまでの残りのサイクル数を寿命とすることができる。または、同一の繰返し負荷が与えられた場合には過去と同様の傾向で損傷度が増加するものと仮定することで、例えば損傷度の時間履歴を記憶装置300に格納しておき、この時間履歴に対して最小二乗法等のアルゴリズムを適用することで破損までの予測式を得て、この予測式により得られる破損までの予測時間を寿命とすることができる。
以下、図8のフローチャートを参照して、寿命推定方法について説明する。
損傷度算出部240は、センサ110が測定し、記憶装置300に格納する加速度の時間履歴を得る(S101)。この加速度は、第1接合部30、第2接合部40に対して同様に作用するものと見なすことができる。
損傷度算出部240は、加速度の時間履歴を用いて、例えばサイクルカウント等のアルゴリズムにより加速度振幅のサイクル数をカウントする。また、記憶装置300に予め格納される加速度振幅とひずみ振幅との関係から、例えば図9に示すひずみ振幅の情報を得る(S102)。
損傷度算出部240は、ひずみ振幅を用いて、例えば次式により第1接合部30および第2接合部40の損傷度Dを算出する(S103)。ただし、Nfは破損までのひずみ振幅Δεのサイクル数(寿命サイクル数)である。また、α、βは材料の損傷特性を表すパラメータであり、材料により固有の値を有する。
損傷度算出部240が算出する損傷度Dは、記憶装置300に格納する。
損傷度修正部250は、損傷度算出部240が算出する第1接合部30および第2接合部40の損傷度Dを得る(S104)。
損傷度修正部250は、判定部220が第1接合部30を破損と判定した際、予め予測された破損するまでの損傷度が1であることから、第1接合部30の損傷度Dの逆数1/Dを損傷度Dの誤差として算出する(S105)。
損傷度修正部250は、第1接合部30と同様に第2接合部40にも同様の誤差が生じているものと仮定し、S105で算出した誤差を第2接合部40の損傷度Dに乗じることで、第2接合部40の損傷度Dを修正する(S106)。このように損傷度修正部250が修正する第2接合部40の損傷度D’は記憶装置300に格納する。
推定部260は、損傷度修正部250が修正する第2接合部40の損傷度D’を得る(S107)。
推定部260は、記憶装置300が格納する負荷のサイクル数と損傷度との関係のデータベースを参照して、第2接合部40(電子装置2)の寿命を推定する(S108)。このように推定部260が推定する寿命は記憶装置300に格納する。
出力装置400は、推定部260が推定する第2接合部40の寿命を出力し、例えばディスプレイの表示等によりユーザに対して通知する(S109)。
なお、推定部260は、第2接合部40の破損までの時間を寿命として推定するものであってもよい。また、推定部260は、損傷度修正部250が修正する損傷度ではなく、損傷度算出部240が算出する損傷度を用いて、第2接合部40の寿命を推定するものであってもよい。また、本実施形態では、損傷度の算出にはセンサ110が測定した加速度の時間履歴を用いる例を説明したが、センサ110に加え温度センサ等を設け、この温度センサ等が測定する温度等の負荷を用いてもよい。
本実施形態の電子装置2によれば、修正された損傷度を用いることで、第一の実施形態と比較して、第2接合部の個体差の影響を加味することにより、さらに半田接合の信頼性を向上させることができる。
以上説明した少なくとも1つの実施形態の電子装置、破損推定方法、寿命推定方法によれば、半田接合の信頼性を向上させることが可能となる。
これら実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、様々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同時に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
1、2・・・電子装置
10・・・放熱基板
20・・・絶縁基板
30・・・第1接合部
40・・・第2接合部
50・・・第1素子
60・・・第2素子
70・・・ワイヤ
80・・・シリコーンゲル
90・・・筐体
100・・・パワーモジュール
110・・・センサ
120・・・締結部材
130・・・ヒートシンク
200、500・・・演算処理装置
210・・・応答スペクトル算出部
220・・・判定部
230、260・・・推定部
240・・・損傷度算出部
250・・・損傷度修正部
300・・・記憶装置
400・・・出力装置

Claims (8)

  1. 放熱基板と、
    前記放熱基板上に設けられる第1接合部と、
    前記放熱基板上に前記第1接合部と間隔を空けて設けられ、前記第1接合部よりも接合面積の大きい第2接合部と、
    前記第1接合部および前記第2接合部上に設けられ、角部を含む領域が前記第1接合部に当接する絶縁基板と、
    前記絶縁基板上の前記第2接合部よりも第1接合部の近傍に設けられ、前記絶縁基板に加わる振動の加速度を測定する第1センサと、
    前記第1センサが測定した前記加速度を用いて、前記加速度の応答スペクトルを算出する第1算出部と、
    前記第1算出部が算出した前記応答スペクトルの最大ピークの周波数と基準周波数を比較して、前記第1接合部の接合不良の進展状態を判定する判定部と、
    前記判定部が判定した前記進展状態に基づいて、前記第2接合部の破損を推定する推定部と、
    を備える電子装置。
  2. 前記絶縁基板の前記角部を含む領域での厚さが、その他の領域での厚さよりも薄い請求項1に記載の電子装置。
  3. 前記判定部は、前記最大ピークの周波数が第1基準周波数以下の場合に、前記第1接合部を破損直前と判定し、前記最大ピークの周波数が前記第1基準周波数よりも低い第2基準周波数以下の場合に、前記第1接合部を破損と判定する請求項1または2に記載の電子装置。
  4. 前記第1接合部および前記第2接合部に作用する負荷の時間履歴を測定する第2センサと、
    前記第2センサが測定する前記負荷の時間履歴を用いて、前記第2接合部の第1損傷度および前記第1接合部の第2損傷度を算出する第2算出部と、
    前記判定部が前記第1接合部を破損と判定した時点で前記第2算出部が算出する前記第2損傷度と、予め定められる前記第1接合部が破損する時点での損傷度とを比較して、前記第2損傷度の誤差を算出する第3算出部と、
    前記第3算出部が算出した前記誤差を用いて、前記第2算出部が算出する前記第1損傷度を修正し、前記第1損傷度が修正された第3損傷度を得る修正部と、
    をさらに備え、
    前記推定部は、前記第3損傷度と、予め定められる前記第2接合部が破損する時点での損傷度とを比較して、前記第2接合部が破損するまでの寿命を推定する、請求項3に記載の電子装置。
  5. 前記推定部が前記第2接合部を破損と推定した結果を出力する出力部をさらに備える請求項1乃至3いずれか1項に記載の電子装置。
  6. 前記推定部が推定した前記寿命を出力する出力部をさらに備える請求項4に記載の電子装置。
  7. 放熱基板と、
    前記放熱基板上に設けられる第1接合部と、
    前記放熱基板上に前記第1接合部と間隔を空けて設けられ、前記第1接合部よりも接合面積の大きい第2接合部と、
    前記第1接合部および前記第2接合部上に設けられ、角部を含む領域が前記第1接合部に当接する絶縁基板と、
    前記絶縁基板上の前記第2接合部よりも第1接合部の近傍に設けられ、前記絶縁基板に加わる振動の加速度を測定する第1センサと、
    を備える電子装置における破損推定方法であって、
    算出部が、前記第1センサが測定した前記加速度を用いて、前記加速度の応答スペクトルを算出するステップと、
    判定部が、前記算出部が算出した前記応答スペクトルの最大ピークの周波数と基準周波数を比較して、前記第1接合部の接合不良の進展状態を判定するステップと、
    推定部が、前記判定部が判定した前記進展状態に基づいて、前記第2接合部の破損を推定するステップと、
    を有する破損推定方法。
  8. 放熱基板と、
    前記放熱基板上に設けられる第1接合部と、
    前記放熱基板上に前記第1接合部と間隔を空けて設けられ、前記第1接合部よりも接合面積の大きい第2接合部と、
    前記第1接合部および前記第2接合部上に設けられ、角部を含む領域が前記第1接合部に当接する絶縁基板と、
    前記絶縁基板上の前記第2接合部よりも第1接合部の近傍に設けられ、前記絶縁基板に加わる振動の加速度を測定する第1センサと、
    前記第1接合部および前記第2接合部に作用する負荷の時間履歴を測定する第2センサと、
    を備える電子装置における寿命推定方法であって、
    第1算出部が、前記第1センサが測定した前記加速度を用いて、前記加速度の応答スペクトルを算出するステップと、
    判定部が、前記第1算出部が算出した前記応答スペクトルの最大ピークの周波数と基準周波数を比較して、前記第1接合部の接合不良の進展状態を判定するステップと、
    第2算出部が、前記第2センサが測定する前記負荷の時間履歴を用いて、前記第2接合部の第1損傷度および前記第1接合部の第2損傷度を算出するステップと、
    第3算出部が、前記判定部が前記第1接合部を破断と判定した時点で前記第2算出部が算出する前記第2損傷度と、予め定められる前記第1接合部が破損する時点での損傷度とを比較して、前記第2損傷度の誤差を算出するステップと、
    修正部が、前記第3算出部が算出する前記誤差を用いて、前記第2算出部が算出する前記第1損傷度を修正するステップと、
    推定部が、前記修正部が修正する前記第1損傷度と、予め定められる前記第2接合部が破損する時点での損傷度とを比較して、前記第2接合部が破損するまでの寿命を推定するステップと、
    を有する寿命推定方法。
JP2012120108A 2012-05-25 2012-05-25 電子装置、破損推定方法、寿命推定方法 Pending JP2013247244A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012120108A JP2013247244A (ja) 2012-05-25 2012-05-25 電子装置、破損推定方法、寿命推定方法
US13/722,087 US9091610B2 (en) 2012-05-25 2012-12-20 Electronic apparatus, a method for estimating a break, and a method for estimating a fatigue life

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012120108A JP2013247244A (ja) 2012-05-25 2012-05-25 電子装置、破損推定方法、寿命推定方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2013247244A true JP2013247244A (ja) 2013-12-09

Family

ID=49620533

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012120108A Pending JP2013247244A (ja) 2012-05-25 2012-05-25 電子装置、破損推定方法、寿命推定方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US9091610B2 (ja)
JP (1) JP2013247244A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110567663A (zh) * 2019-08-22 2019-12-13 歌尔股份有限公司 一种检测连接部位异常的方法以及检测装置

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6224643B2 (ja) * 2015-03-26 2017-11-01 日本碍子株式会社 棚板割れ検知方法、ハニカム構造体の搬送方法、棚板割れ検知装置、及び棚板搬送装置
CN109211500B (zh) * 2018-07-16 2020-06-30 中国航空综合技术研究所 用于pbga封装互连焊点随机振动载荷下的可靠性分析方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009300142A (ja) * 2008-06-11 2009-12-24 Espec Corp 複合環境試験方法、故障検出方法、故障検出プログラム、および故障検出プログラムを記録した記録媒体
JP2010073795A (ja) * 2008-09-17 2010-04-02 Toshiba Corp 損傷指標予測システムおよび損傷指標予測方法
WO2011036751A1 (ja) * 2009-09-24 2011-03-31 株式会社 東芝 電子機器および損傷検出方法
JP2011203113A (ja) * 2010-03-25 2011-10-13 Honda Motor Co Ltd 温度センサ接合部検査装置、及び、温度センサ接合部検査方法
JP2012034427A (ja) * 2010-07-28 2012-02-16 Toshiba Schneider Inverter Corp インバータ装置
JP2012063279A (ja) * 2010-09-16 2012-03-29 Toshiba Corp はんだ接合部の寿命予測方法、はんだ接合部の寿命予測装置、及び電子機器

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07306239A (ja) * 1994-05-16 1995-11-21 Hitachi Ltd 余寿命センサー付き電気製品
US6532421B2 (en) * 2000-04-07 2003-03-11 Toho Gas Co., Ltd Method for estimating a life of apparatus under narrow-band random stress variation
US20060066335A1 (en) * 2004-09-28 2006-03-30 Kang Seung H Semiconductor test device with heating circuit
US7171314B2 (en) * 2004-09-30 2007-01-30 The Boeing Company Methods and systems for analyzing structural test data
US8290753B2 (en) * 2006-01-24 2012-10-16 Vextec Corporation Materials-based failure analysis in design of electronic devices, and prediction of operating life
US7514941B2 (en) * 2006-03-15 2009-04-07 Raytheon Company Method and apparatus for predicting the reliability of electronic systems
US7648847B2 (en) * 2006-06-26 2010-01-19 Hamilton Sundstrand Corporation In-situ monitoring and method to determine accumulated printed wiring board thermal and/or vibration stress fatigue using a mirrored monitor chip and continuity circuit
JP5025676B2 (ja) * 2009-03-25 2012-09-12 株式会社東芝 監視装置および監視方法
US8156810B2 (en) * 2009-12-22 2012-04-17 Gas Technology Institute Method for identifying defective heat fusion joints
JP4648505B1 (ja) * 2010-03-30 2011-03-09 株式会社東芝 電子装置および電子システム
JP2011109145A (ja) 2011-03-01 2011-06-02 Toshiba Corp 損傷指標予測システムおよび損傷予測方法
JP6081055B2 (ja) * 2011-11-16 2017-02-15 株式会社東芝 電子部品および測定方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009300142A (ja) * 2008-06-11 2009-12-24 Espec Corp 複合環境試験方法、故障検出方法、故障検出プログラム、および故障検出プログラムを記録した記録媒体
JP2010073795A (ja) * 2008-09-17 2010-04-02 Toshiba Corp 損傷指標予測システムおよび損傷指標予測方法
WO2011036751A1 (ja) * 2009-09-24 2011-03-31 株式会社 東芝 電子機器および損傷検出方法
JP2011203113A (ja) * 2010-03-25 2011-10-13 Honda Motor Co Ltd 温度センサ接合部検査装置、及び、温度センサ接合部検査方法
JP2012034427A (ja) * 2010-07-28 2012-02-16 Toshiba Schneider Inverter Corp インバータ装置
JP2012063279A (ja) * 2010-09-16 2012-03-29 Toshiba Corp はんだ接合部の寿命予測方法、はんだ接合部の寿命予測装置、及び電子機器

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110567663A (zh) * 2019-08-22 2019-12-13 歌尔股份有限公司 一种检测连接部位异常的方法以及检测装置
CN110567663B (zh) * 2019-08-22 2021-10-08 潍坊歌尔微电子有限公司 一种检测连接部位异常的方法以及检测装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20130312523A1 (en) 2013-11-28
US9091610B2 (en) 2015-07-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9824950B2 (en) Semiconductor device
US9310414B2 (en) Electronic apparatus, a method for deciding a failure, and a method for estimating a fatigue life
JP5233198B2 (ja) 半導体装置
US9500693B2 (en) Electronic apparatus, measuring method, and monitoring apparatus
US9578754B2 (en) Metal base substrate, power module, and method for manufacturing metal base substrate
JP5152099B2 (ja) 基板構造
JP2015153874A (ja) 半導体装置およびその製造方法
US20170154835A1 (en) Electronic module and method of manufacturing the same
JP2013247244A (ja) 電子装置、破損推定方法、寿命推定方法
US20220146568A1 (en) Method for assessing the thermal loading of a converter
US10837997B2 (en) Failure prediction device and circuit board using the same
WO2011152151A1 (ja) 素子寿命予測方法及び素子寿命予測機能を備えた回路基板
JP2019021740A (ja) 半導体装置、半導体モジュール及び半導体装置の試験方法
JP5894515B2 (ja) 半導体装置、寿命推定装置、寿命推定方法
JP5739705B2 (ja) 半導体モジュール、電子機器及び状態判定方法
JP6550761B2 (ja) 半導体集積回路の寿命予測装置
JP2016532074A (ja) はんだ接合の予備診断のための電子アセンブリ
JP5816340B2 (ja) 電子装置、故障判定方法、寿命推定方法、プログラム
JP6532726B2 (ja) 電子機器、異常判定方法、およびプログラム
JP4555187B2 (ja) パワーモジュールおよびその製造方法
JP2015114149A (ja) ボンディングワイヤ劣化検出装置及びボンディングワイヤ劣化検出方法
JP2012037411A (ja) 半導体装置の検査方法及び検査装置
JP6055509B2 (ja) 半導体モジュール、電子機器
JP2024042343A (ja) 損傷判定システム、損傷判定装置、損傷判定方法及びコンピュータプログラム
JP4462250B2 (ja) セラミックス回路基板およびそれを用いた半導体装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20140408

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20140808

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140905

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20141104

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20150216

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20150218

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150703

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150828

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20160311