JP2013245985A - 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及び欠陥検査プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の一態様にかかる欠陥検査装置は、試料20を照明する光源と、光源10によって照明された試料からの光を検出する検出器11と、検出器11によって取得された試料画像Aに対して処理を行う処理装置50と、を備え、処理装置50が、試料画像Aに対して第1のフィルタを用いることによって、第1のフィルタ画像Fを生成し、試料画像Aと前記第1のフィルタ画像Fとの差分に応じた第1の差分画像Gを生成し、第1の差分画像Gに基づいて第1の欠陥を検出するものである
【選択図】図1
Description
まず、欠陥の種類を判別するために用いられるFIRフィルタについて、図10、図11を用いて説明する。図10、図11は、本実施の形態にかかるFIRフィルタを説明するための図である。試料画像Aの画像サイズに比べて、狭い領域の定数項を除去するFIRフィルタを作成する。そのため、図10に示すように、定数項(0次)のみ0となっており、その他の項(−n次〜−1次、及び1次〜n次)は1となるスペクトルを用いる。図10に示すスペクトルをフーリエ変換すると、図11に示すFIRフィルタとなる。0次項のみ0とするFIRフィルタを用いることで、フィルタサイズより小さい領域で、微分値の大きい成分を抽出することできる。図11に示すFIRフィルタを第1のFIRフィルタとする。第1の記憶部51は、第1のFIRフィルタを記憶している。
点状ムラを抽出する処理について、図12〜図16を用いて説明する。点状ムラを欠陥として検出するために、第1のFIRフィルタを用いる。図12に示すように、X方向を長手方向とする第1のFIRフィルタによって、試料画像Aをフィルタリングする。ここでX方向に第1のFIRフィルタを用いた時のフィルタ画像をフィルタ画像Bとする。
次に、縞状ムラを抽出する処理について、図17を用いて説明する。図17は、縞状ムラを抽出する処理を説明する図である。縞状ムラを抽出する場合、点状ムラを抽出した時に用いたフィルタ画像を用いることができる。縞状ムラを抽出する処理では、上記の試料画像Aとフィルタ画像Fを用いる。図13に示すように、試料画像Aとフィルタ画像Fの差分を求める。ここで、試料画像Aとフィルタ画像Fの差分によって求めた画像を差分画像Gとする。試料画像Aからフィルタ画像Fを引くことで、点状のムラと、カメラノイズに代表される高周波のノイズ成分が除去される。
傾斜状ムラを抽出する処理について、図18を用いて説明する。傾斜状ムラを抽出するために、第1のFIRフィルタと異なる特性の第2のFIRフィルタが用いられる。ここでは、第2のFIRフィルタは、第1のFIRフィルタよりもサイズが大きくなっており、例えば、51×51ピクセルのサイズとなっている。すなわち、X方向、及びY方向に51ピクセルのサイズを有する第2のFIRフィルタが用いられている。第2のFIRフィルタは、51×51の中心の1ピクセルのみ約0.987で、その他のピクセルが約−0.013となっている。ここでは、方向性に依存しない、正方形のFIRフィルタを用いている。そして、第2のFIRフィルタを用いて、差分画像Gをフィルタリングする。この時のフィルタ画像をフィルタ画像Hとする。フィルタ画像Hは、図18に示すようになる。第2のフィルタ画像生成部55が差分画像Gに基づいてフィルタ画像Hを生成する。なお、第1のFIRフィルタは、第2のFIRフィルタよりも高い周波数領域を通過する特性を有している。すなわち、第2のFIRフィルタは、第1のFIRフィルタよりも高い周波数成分を通過しない特性を有している。
次に、枠状ムラを抽出する処理について、図20を用いて説明する。図20は、枠状ムラを抽出するための処理を説明するための図である。枠状ムラを抽出するために、X方向、及びY方向におけるデータを合成して、Y方向、及びX方向のプロファイルデータを生成する。たとえば、試料画像AのX方向における位置が同じデータの平均値を求めることで、Y方向の1次元プロファイルデータが生成される。換言すると、縦1列のデータの総和に基づいて、横方向におけるプロファイルデータを求める。同様に、試料画像AのY方向における位置が同じデータの平均値を求めることで、X方向の1次元プロファイルデータが生成される。
上記の検査アルゴリズムのシミュレーション結果について説明する。ここでは、ノイズレベルを7.3階調(3sigma)とする試料画像Aを用いた。そして、枠状ムラの設定輝度を25階調、縞状ムラの設定輝度を23階調、点状ムラの設定輝度を40階調、傾斜状ムラの設定輝度を25階調として、ダミー欠陥画像を生成した。そして、ダミー欠陥画像を試料画像Aとして、処理装置50が上記の処理を行った。なお、設定輝度は、欠陥となるピクセルと、正常箇所となるピクセルの輝度の差である。
以下、図26のフローチャートを用いて、一般化した検査手順を説明する。図26では、FIRフィルタによるフィルタリング処理と、差分画像を取得するために差分を取る処理をNmax(Nmaxは2以上の整数)回繰り返す方法を示している。
図27を用いて、別の検査方法について説明する。図27は別の検査方法を示すフローチャートである。図27に示す検査方法では、差分画像をしきい値と比較せずに、フィルタ画像をしきい値と比較することで、欠陥検出を行っている。なお、上記の説明と重複する内容については、適宜省略する。
11 検出器
20 ウェハ
30 ステージ
50 処理装置
51 第1の記憶部
52 第2の記憶部
53 第1のフィルタ画像生成部
54 第1の差分画像生成部
55 第2のフィルタ画像生成部
56 第2の差分画像生成部
57 プロファイルデータ生成部
58 比較部
Claims (15)
- 試料を照明する光源と
前記光源によって照明された試料からの光を検出する検出器と、
前記検出器によって取得された試料画像に対して処理を行う処理装置と、を備え、
前記処理装置が、
前記試料画像に対して第1のフィルタを用いることによって、第1のフィルタ画像を生成し、
前記試料画像と前記第1のフィルタ画像との差分に応じた第1の差分画像を生成し、
前記第1の差分画像に基づいて第1の欠陥を検出する欠陥検査装置。 - 前記第1のフィルタと異なる特性を有する第2のフィルタを、前記第1の差分画像に用いることで、第2のフィルタ画像を生成し、
前記第1の差分画像と前記第2のフィルタ画像との差分に応じた第2の差分画像を生成し、
前記第2の差分画像に基づいて、第2の欠陥を検出する請求項1に記載の欠陥検査装置。 - 前記処理装置が、
第n(nは1以上の整数)のフィルタとは異なる特性を有する第(n+1)のフィルタを、第nの差分画像に用いることで、第(n+1)のフィルタ画像を生成するフィルタ処理と、
前記第nの差分画像と、前記第(n+1)のフィルタ画像とに差分に応じた第(n+1)差分画像を生成する差分処理と、
を繰り返し行って、前記nを順次増加させていき、
前記第(n+1)の差分画像に基づいて、第(n+1)の欠陥を検出する請求項1、又は2に記載の欠陥検査装置。 - 第nのフィルタがFIRフィルタであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の欠陥検査装置。
- 異なる作用方向に第nのフィルタを用いることで、複数の画像を生成し、
前記複数の画像に対して最小値フィルタを用いることによって、前記第nのフィルタ画像を生成し、
前記第nのフィルタ画像に基づいて、第nの欠陥を検出する請求項1、又は2に記載の欠陥検査装置。 - 試料からの光を検出器で受光して、試料の欠陥検査を行う欠陥検査方法であって、
前記検出器によって取得された前記試料画像に対して、第1のフィルタを用いることによって、第1のフィルタ画像を生成するステップと、
前記試料画像と前記第1のフィルタ画像の差分に応じた第1の差分画像を生成するステップと、
前記第1の差分画像に基づいて、第1の欠陥を検出するステップと、を備えた欠陥検査方法。 - 前記第1のフィルタと異なる特性を有する第2のフィルタを、前記第1の差分画像に用いることで、第2のフィルタ画像を生成し、
前記第1の差分画像と前記第2のフィルタ画像との差分に応じた第2の差分画像を生成し、
前記第2の差分画像に基づいて、第2の欠陥を検出する請求項5に記載の欠陥検査方法。 - 第n(nは1以上の整数)のフィルタとは異なる特性を有する第(n+1)のフィルタを、第nの差分画像に用いることで、第(n+1)のフィルタ画像を生成するフィルタ処理と、
前記第nの差分画像と、前記第(n+1)のフィルタ画像とに差分に応じた第(n+1)差分画像を生成する差分処理と、
を繰り返し行って、前記nを順次増加させていき、
前記第(n+1)の差分画像に基づいて、第(n+1)の欠陥を検出する請求項6、又は7に記載の欠陥検査方法。 - 第nのフィルタがFIRフィルタであることを特徴とする請求項6〜8のいずれか1項に記載の欠陥検査方法。
- 異なる作用方向に第nのフィルタを用いることで、複数の画像を生成し、
前記複数の画像に対して最小値フィルタと用いることで、前記第nのフィルタ画像を生成し、
前記第nのフィルタ画像に基づいて、第nの欠陥を検出する請求項6〜9のいずれか1項に記載の欠陥検査方法。 - 試料からの光を検出器で受光して、試料の欠陥検査を行う欠陥検査プログラムであって、
コンピュータに対して、
前記検出器によって取得された前記試料画像に対して、第1のフィルタを用いることによって、第1のフィルタ画像を生成するステップと、
前記試料画像と前記第1のフィルタ画像の差分に応じた第1の差分画像を生成するステップと、
前記第1の差分画像に基づいて、第1の欠陥を検出するステップと、
を実行させる欠陥検査プログラム。 - 前記コンピュータに対して、
前記第1のフィルタと異なる特性を有する第2のフィルタを、前記第1の差分画像に用いることで、第2のフィルタ画像を生成させ、
前記第1の差分画像と前記第2のフィルタ画像との差分に応じた第2の差分画像を生成させ、
前記第2の差分画像に基づいて、第2の欠陥を検出させる請求項11に記載の欠陥検査プログラム。 - 前記コンピュータに対して、
第n(nは1以上の整数)のフィルタとは異なる特性を有する第(n+1)のフィルタを、第nの差分画像に用いることで、第(n+1)のフィルタ画像を生成するフィルタ処理と、
前記第nの差分画像と、前記第(n+1)のフィルタ画像とに差分に応じた第(n+1)差分画像を生成する差分処理と、
を繰り返し実行させて、前記nを順次増加させていき、
前記第(n+1)の差分画像に基づいて、第(n+1)の欠陥を検出する請求項11、又は12に記載の欠陥検査プログラム。 - 第nのフィルタがFIRフィルタであることを特徴とする請求項11〜13のいずれか1項に記載の欠陥検査プログラム。
- 前記コンピュータに対して、
異なる作用方向に第nのフィルタを用いることで、複数の画像を生成させ、
複数の前記画像に対して最小値フィルタと用いることで、前記第nのフィルタ画像を生成させ、
前記第nのフィルタ画像に基づいて、第nの欠陥を検出させる請求項11〜14に記載の欠陥検査プログラム。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016092783A1 (en) * | 2014-12-12 | 2016-06-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Information processing apparatus, method for processing information, discriminator generating apparatus, method for generating discriminator, and program |
JP2016115331A (ja) * | 2014-12-12 | 2016-06-23 | キヤノン株式会社 | 識別器生成装置、識別器生成方法、良否判定装置、良否判定方法、プログラム |
JP7401294B2 (ja) | 2018-12-26 | 2023-12-19 | カムテック エルティーディー. | 埋め込み層の測定 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06102199A (ja) * | 1992-09-21 | 1994-04-15 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 自動検反方法および自動検反装置 |
JPH09326026A (ja) * | 1996-06-07 | 1997-12-16 | Advantest Corp | 画像処理方法及び画像処理装置 |
JPH10171996A (ja) * | 1996-12-09 | 1998-06-26 | Advantest Corp | 画像内粒状点検出方法 |
JP2007078540A (ja) * | 2005-09-14 | 2007-03-29 | Tdk Corp | 外観検査方法及び外観検査装置 |
JP2009036580A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Toshiba Corp | 検査用画像の作成方法、作成装置及び作成プログラム並びに平面表示パネルの検査方法及び検査装置 |
JP2010121958A (ja) * | 2008-11-17 | 2010-06-03 | Seiko Epson Corp | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06102199A (ja) * | 1992-09-21 | 1994-04-15 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 自動検反方法および自動検反装置 |
JPH09326026A (ja) * | 1996-06-07 | 1997-12-16 | Advantest Corp | 画像処理方法及び画像処理装置 |
JPH10171996A (ja) * | 1996-12-09 | 1998-06-26 | Advantest Corp | 画像内粒状点検出方法 |
JP2007078540A (ja) * | 2005-09-14 | 2007-03-29 | Tdk Corp | 外観検査方法及び外観検査装置 |
JP2009036580A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Toshiba Corp | 検査用画像の作成方法、作成装置及び作成プログラム並びに平面表示パネルの検査方法及び検査装置 |
JP2010121958A (ja) * | 2008-11-17 | 2010-06-03 | Seiko Epson Corp | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016092783A1 (en) * | 2014-12-12 | 2016-06-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Information processing apparatus, method for processing information, discriminator generating apparatus, method for generating discriminator, and program |
JP2016115331A (ja) * | 2014-12-12 | 2016-06-23 | キヤノン株式会社 | 識別器生成装置、識別器生成方法、良否判定装置、良否判定方法、プログラム |
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