JP2013231700A5 - - Google Patents

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本発明の一態様のＸ線検査方法によれば、検査対象の形状パラメータが異なる複数のＸ線透過像のシミュレーション画像を生成するシミュレーション画像生成ステップと、前記検査対象を透過するＸ線透過画像を撮像するＸ線撮像ステップと、前記複数のＸ線透過像のシミュレーション画像のうち、前記Ｘ線透過画像との類似性を表す評価値が所定の条件を満たす前記Ｘ線透過像のシミュレーション画像の前記形状パラメータを、前記検査対象の形状として推定する形状推定ステップとを備える。

Claims (10)

  1. 検査対象の形状パラメータが異なる複数のＸ線透過像のシミュレーション画像を生成するシミュレーション画像生成ステップと、
    前記検査対象を透過するＸ線透過画像を撮像するＸ線撮像ステップと、
    前記複数のＸ線透過像のシミュレーション画像のうち、前記Ｘ線透過画像との類似性を表す評価値が所定の条件を満たす前記Ｘ線透過像のシミュレーション画像の前記形状パラメータを、前記検査対象の形状として推定する形状推定ステップとを備える
    ことを特徴とするＸ線検査方法。
  2. 前記Ｘ線透過画像から、超解像処理による超解像画像及び前記超解像画像の縮小画像を生成する画像生成ステップを備え、
    前記形状推定ステップは、前記縮小画像を用いて前記形状パラメータを推定した後、前記超解像画像を用いて前記形状パラメータを推定する
    ことを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査方法。
  3. 前記シミュレーション画像生成ステップは、
    前記検査対象の前記形状パラメータに応じて、Ｘ線の透過率が異なるボクセルを積み上げて形成した集合体に、Ｘ線を照射した時に前記透過率に基づいて前記ボクセルの集合体を透過する前記Ｘ線の透過量を算出することで、前記Ｘ線透過像のシミュレーション画像を生成する
    ことを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線検査方法。
  4. 前記Ｘ線透過画像及び前記複数のＸ線透過像のシミュレーション画像にエッジ強調フィルタ処理を施すフィルタ処理ステップを備え、
    前記形状推定ステップは、前記エッジ強調フィルタ処理が施された前記Ｘ線透過画像に基づいて少なくとも１つ以上の前記形状パラメータを推定する
    ことを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載のＸ線検査方法。
  5. Ｘ線の透過量が異なる材料を所定のパターンで配列することにより形成された試料のＸ線撮像結果に基づき、前記Ｘ線透過画像又は前記Ｘ線透過像のシミュレーション画像の歪補正を行う歪補正ステップを備える
    ことを特徴とする請求項１から４の何れか一項に記載のＸ線検査方法。
  6. 前記評価値は、正規化相関、幾何学相関及び方向符号照会の何れかにより算出される値であることを特徴とする請求項１から５の何れか一項に記載のＸ線検査方法。
  7. 前記形状推定ステップは、最適化アルゴリズムを用いて前記評価値が前記所定の条件を満たす前記形状パラメータを推定する
    ことを特徴とする請求項１から６の何れか一項に記載のＸ線検査方法。
  8. 前記形状パラメータは、前記検査対象の立体形状に応じて設定された複数のパラメータを含む
    ことを特徴とする請求項１から７の何れか一項に記載のＸ線検査方法。
  9. 前記形状パラメータは、前記検査対象の立体形状に応じて、Ｘ線が透過する深さ方向のパラメータ及び前記深さ方向に分布する水平方向のパラメータの少なくとも一方を含む
    ことを特徴とする請求項１から８の何れか一項に記載のＸ線検査方法。
  10. 検査対象の形状パラメータが異なる複数のＸ線透過像のシミュレーション画像を生成するシミュレーション画像生成手段と、
    前記検査対象を透過するＸ線透過画像を撮像するＸ線撮像手段と、
    前記複数のＸ線透過像のシミュレーション画像のうち、前記Ｘ線透過画像との類似性を表す評価値が所定の条件を満たす前記Ｘ線透過像のシミュレーション画像の前記形状パラメータを、前記検査対象の形状として推定する形状推定手段とを備える
    ことを特徴とするＸ線検査装置。
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