JP2013225627A - 基板搬送装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】基板の色彩や材質によっても誤検出が起こらないように、また基板に開口部や切り欠きがあっても、確実に基板の有無の確認が行える基板搬送装置を提供すること。
【解決手段】固定シュート30Aに取り付けられる受光装置の光ファイバー34よりも高い位置にある発光装置の光ファイバー33の近くに、プリント基板Pの突出部PT2が位置する場合にあって、搬送方向先端が上方に反っていない場合にも、可動シュート30Bに取り付けられる発光装置の光ファイバー33の下端レベルより低いプリント基板Pの一部が確実に検出範囲内となって光が遮断されて遮光範囲SA内に位置することとなって、確実にプリント基板Pの有無を検出することができる。
【選択図】図6

Description

本発明は、所定の作業が施される基板を搬送すると共にこの基板の有無を検出するようにした基板搬送装置に関する。
所定の作業が施されるプリント基板を搬送する基板搬送装置は、例えば特許文献1など開示されている。このような基板搬送装置においては、プリント基板の存在を確認し、その後、基板搬送装置を備えた、例えば電子部品装着装置にて所定の作業、即ちプリント基板上に電子部品を装着する作業などを行ったり、また前記プリント基板を取り込んだ際の搬送用駆動モータの減速制御を行っている。
特開2010−267696号公報
しかし、例えば光電タイプの反射方式の検出センサでは、プリント基板の色彩や材質により誤検出が起こったり、プリント基板裏面に装着済みの電子部品が存在する場合にも誤検出が起こったりすることがあった。透過タイプの光電センサを使用して、例えばプリント基板の斜め下方から光をプリント基板に向けて照射し、プリント基板の斜め上方でこの光を受光した場合にプリント基板無しとするものにあっては、プリント基板に開口部や切り欠きがある場合には、プリント基板が無いものと誤検出することがあった。
そこで本発明は、基板の色彩や材質によっても誤検出が起こらないように、また基板に開口部や切り欠きがあっても、確実に基板の有無の確認が行える基板搬送装置を提供することを目的とする。
このため第1の発明は、所定の作業が施される基板を一対の搬送シュートにより搬送すると共に前記基板の有無を有無検出装置により検出するようにした基板搬送装置であって、前記一対の搬送シュートの一方に前記有無検出装置を構成する発光装置を取り付けると共に他方に同じく前記有無検出装置を構成する受光装置を取り付け、且つ前記発光装置又は前記受光装置のいずれか一方の下端レベルを前記基板の搬送レベルとし、他方の下端レベルを搬送する前記基板のうちの最も薄い基板の厚さ未満の分だけ前記搬送レベルより高い位置にずらして前記発光装置及び前記受光装置を対向するように取り付けたことを特徴とする。
第2の発明は、所定の作業が施される基板を一対の搬送シュートにより搬送すると共に前記基板の有無を有無検出装置により検出するようにした基板搬送装置であって、前記一対の搬送シュートの一方に前記有無検出装置を構成する発光装置を取り付けると共に他方に前記発光装置に対向するように前記有無検出装置を構成する受光装置を取り付け、且つ前記一対の搬送シュートにそれぞれ設けられる搬送ベルトが張架される複数のプーリのうち、前記基板の搬送レベルより低い位置に設けられるプーリの上方位置であって、前記基板の搬送レベルが前記発光装置及び受光装置の光軸の高さ方向における中間位置に位置するように前記発光装置及び前記受光装置を取り付けたことを特徴とする。
本発明は、基板の色彩や材質によっても誤検出が起こらないように、また基板に開口部や切り欠きがあっても、確実に基板の有無の確認が行える基板搬送装置を提供することができる。
電子部品装着装置の平面図である。 電子部品装着装置の制御ブロック図である。 基板搬送装置の第1位置決め部の可動シュート側を正面から見た概略図である。 図3のA−A断面図である。 基板搬送装置の第1位置決め部の可動シュート側を正面から見た概略図である。 図6(ア)、(イ)はプリント基板の平面図、図6(ウ)は第1位置決め部の縦断右側面図である。 基板有無検出装置の第2の実施形態を説明するための図であり、図7(エ)は発光装置の光ファイバーと受光装置の光ファイバーとの関係図であり、図7(オ)は発光装置の光ファイバー、受光装置の光ファイバー、プリント基板との関係図である。 基板有無検出装置の第3の実施形態を説明するための図であり、図7(エ)は発光装置の光ファイバーと受光装置の光ファイバーとの関係図であり、図7(オ)は発光装置の光ファイバー、受光装置の光ファイバー、プリント基板との関係図である。 基板有無検出装置の第4の実施形態を説明するための図であり、第1位置決め部の縦断右側面図である。 基板有無検出装置の第4の実施形態を説明するための図であり、基板搬送装置の第1位置決め部の可動シュート側を正面から見た概略図である。
以下、作業装置としてのプリント基板組立装置として、プリント基板上に接着剤を塗布する接着剤塗布装置、プリント基板上にクリーム半田を塗布するスクリーン印刷機、プリント基板上に電子部品を装着する電子部品装着装置などがあるが、これらのうち、電子部品装着装置を実施形態として、詳述する。
図1は電子部品装着装置1の平面図であり、電子部品装着装置1の装置本体2上の前部及び後部には部品供給装置3A、3B、3C、3Dが4つのブロックに分かれて複数並設されている。
前記各部品供給装置3A、3B、3C、3Dは、取付台であるカート台のフィーダベース上に部品供給ユニット5を多数並設したものであり、部品供給側の先端部が基板としてのプリント基板Pの搬送路に臨むように前記装置本体2に連結具を介して着脱可能に配設され、カート台が正規に装置本体2に取り付けられるとカート台に搭載された部品供給ユニット5に電源が供給され、また連結具を解除して把手を引くと下面に設けられたキャスタにより移動できる構成である。
そして、各部品供給装置3A、3B、3C、3Dは、部品供給側の先端部が装着ヘッド6の部品取出し領域であるピックアップ領域に臨むように配設されており、各部品供給ユニット5は前記カート台に回転自在に載置した供給リールに巻回した状態で順次繰り出された収納テープに所定間隔で開設した送り孔にその歯が嵌合した送りスプロケットを所定角度回転させて収納テープを電子部品の部品吸着取出位置まで送りモータにより間欠送りするテープ送り機構と、剥離モータの駆動により吸着取出位置の手前でキャリアテープからカバーテープを引き剥がすためのカバーテープ剥離機構とを備え、カバーテープ剥離機構によりカバーテープを剥離してキャリアテープの収納部に装填された電子部品を順次部品吸着取出位置へ供給して先端部から前記吸着ノズルにより取出し可能である。
そして、手前側の部品供給装置3B、3Dと奥側の部品供給装置3A、3Cとの間には、基板搬送装置8を構成する供給コンベア、第1位置決め部8A、中間コンベア、第2位置決め部及び排出コンベアが設けられている。そして、供給コンベアは上流より受けたプリント基板Pを第1位置決め部8Aに搬送し、この各位置決め部8Aで図示しない位置決め機構により位置決めされた基板P上に電子部品を装着した後、中間コンベアに搬送し、この中間コンベアより受けたプリント基板Pを第2位置決め部で位置決め機構により位置決めして電子部品を装着した後、排出コンベアに搬送され、その後下流側装置に搬送される。
Y方向にY軸駆動モータ11によりガイドレール9に沿って移動する各ビーム10にはその長手方向、即ちX方向にX軸駆動モータ13により移動する装着ヘッド6が設けられ、この装着ヘッド6には複数本の保持部材である吸着ノズルが設けられる。そして、前記装着ヘッド6には前記吸着ノズルを上下動させるための上下軸駆動モータ14が搭載され、また鉛直軸周りに回転させるためのθ軸駆動モータ15が搭載されている。したが.って、装着ヘッド6の吸着ノズルはX方向及びY方向に移動可能であり、鉛直軸回りに回転可能で、かつ上下動可能となっている。
12は部品認識カメラで、電子部品が吸着ノズルに対してどれだけ位置ずれして吸着保持されているかXY方向及び回転角度につき、位置認識するために電子部品を撮像する。
次に、図2の制御ブロック図について説明すると、前記電子部品装着装置1には、本装着装置1を統括制御する制御装置としての制御装置20と、該制御装置にバスライン28を介して接続される記憶装置21が備えられている。
そして、制御装置20は前記記憶装置21に記憶されたデータに基づき、電子部品装着装置1の部品装着動作に係る動作を統括制御する。即ち、制御装置20は、インターフェース24及び駆動回路27を介して前記Y軸駆動モータ11、X軸駆動モータ13、上下軸駆動モータ14及び前記θ軸駆動モータ15等の駆動を制御する。
この図2では、説明の便宜上、複数あるものでも、例えば装着ヘッド6などは1つとして省略してある。前記記憶装置21には、部品装着に係るプリント基板Pの種類毎に装着データが記憶されており、その装着順序毎に、プリント基板P内でのX方向、Y方向及び角度の情報や、各部品供給ユニット5の配置番号情報等が格納されている。
また前記記憶装置21には、各プリント基板Pの種類毎に前記各部品供給ユニット5の部品供給ユニット配置番号(レーン番号)に対応した各電子部品の種類(部品ID)の情報、即ち部品配置情報が格納されており、この部品配置情報は前記カート台上のどの位置にどの部品供給ユニット5を搭載するかに係るデータである。更には、この部品ID毎に電子部品の特徴等に関する部品ライブラリデータが格納されている。
23はインターフェース24を介して前記制御装置20に接続される認識処理装置で、前記部品認識カメラ12により撮像して取込まれた画像の認識処理が該認識処理装置23にて行われ、制御装置20に処理結果が送出される。即ち、制御装置20は、部品認識カメラ12に撮像された画像を認識処理(位置ずれ量の算出など)するように指示を認識処理装置23に出力すると共に、認識処理結果を認識処理装置23から受取るものである。
25は部品画像や各種データ設定のための画面などを表示するモニタで、このモニタ25には入力手段としての種々のタッチパネルスイッチ26が設けられ、作業者がタッチパネルスイッチ26を操作することにより、種々の設定を行うことができる。
29はタイマーで、前記制御装置20が供給コンベア及び第1位置決め部8Aの駆動モータに駆動指令を発した後に、計時が開始する。
次に図3、図4及び図5に基づいて、基板搬送装置8のうち、第2位置決め部も同様である第1位置決め部8Aを中心として、以下説明する。
前記第1位置決め部8Aは、プリント基板Pを搬送案内する固定シュート30A及び可動シュート30Bから成る一対の搬送シュートを備えており、前記可動シュート30Bは駆動源により前記プリント基板Pの幅(搬送方向と直交する方向)に応じて前記固定シュート30Aに近づいたり又は遠ざかったりすることが可能である。なお、この一対の搬送シュートの両方を可動シュートとしてもよい。
図3に示すように、この固定シュート30A及び可動シュート30Bには、各2つの大径プーリ31A1、31A2とこの両大径プーリ31A1及び31A2との間の中間プーリとしての小径プーリ31B1、31B2、31B3とに搬送ベルト32がそれぞれ張架され、プリント基板Pを両搬送ベルト32上に載置して一方の前記大径プーリ31A1に連結した駆動モータ(図示せず)の駆動により搬送する構成である。なお、前記小径プーリ31B2の上端は他の大径プーリ31A1、31A2及び小径プーリ31B1、31B3の上端より低い位置に配設されている。
33はプリント基板Pの基板有無検出装置を構成する発光装置の光ファイバーで、前記可動シュート30Bに取り付け固定されている。また、34は同じく前記有無検出装置を構成する受光装置の光ファイバーで、前記光ファイバー33に対向するように前記固定シュート30Aに取り付け固定されており、両光ファイバー33、34は丸型光ファイバーで側面視、同径の円形状を呈して光軸KJの縦断面形状が円形である。
そして、前記受光装置の光ファイバー34の下端は前記搬送ベルト32の上面レベルである前記プリント基板Pの搬送レベルHLと同じレベルであり、扱うプリント基板Pのうち、最も薄い厚さの、例えば0.3mmの厚さのプリント基板Pでも確実に検出できるように、前記発光装置の光ファイバー33の下端が前記搬送レベルHLより高く且つ搬送レベルHLより0.3mm未満の高さの範囲に位置するように配設される。
しかも、前記発光装置の光ファイバー33と前記受光装置の光ファイバー34は、ともに前記小径プーリ31B1と31B3との間の位置で且つ小径プーリ31B2の上方位置に配設される。
そして、図3に示すように、前記発光装置の光ファイバー33の光軸KJを形成する面と前記受光装置の光ファイバー34の光軸KJを形成する面とを結んだ範囲がプリント基板Pの有無検出が可能な高さ範囲である検出可能範囲であって、前記発光装置の光ファイバー33の下端と前記受光装置の光ファイバー34の下端とを結んだ位置から前記発光装置の光ファイバー33の上端と前記受光装置の光ファイバー34の上端とを結んだ位置との間がプリント基板Pの有無検出が可能な高さレベルであって、黒い範囲が前述した最も薄いプリント基板Pの遮光範囲(このプリント基板Pが光、光軸KJを遮る範囲)SAである。
このため、図3及び図4に示すように、図4の左から最も薄いプリント基板Pが搬送されても、前記プリント基板Pの一部が確実に前述した検出範囲内に位置することとなり、遮光してプリント基板Pの有無を検出することができることとなる。
また、図5に示すように、矢印に示すように、左から右へと搬送されるプリント基板Pの搬送方向先端が上方へ反っていても、前記発光装置の光ファイバー33と前記受光装置の光ファイバー34とが共に直径が1.0mmであれば、プリント基板Pの搬送方向先端部下面が搬送レベルHLより1.3mm(1.0+0.3)未満であれば、プリント基板Pの有無を検出することができることとなる。即ち、光軸KJの径(直径が1.0mm)とプリント基板Pの最も薄い厚さ(0.3mm)との和の1.3mm(1.0+0.3)未満までの反りまで検出することができる。
なお、各プリント基板Pの平面図である図6(ア)、(イ)のような、切欠きPK1、PK2があって且つ搬送方向の先端に突出部PT1、PT2があるプリント基板Pにあっても、図6(ウ)に示すように、確実にプリント基板Pの有無を検出することができる。
即ち、発光装置の光ファイバー33よりも低い位置にある受光装置の光ファイバー34の近くに、図6(ア)に示すようなプリント基板Pの突出部PT1が位置する場合にあって、矢印で示す搬送方向先端(突出部PT1側)が上方へ反っていても、図6(ウ)の左部に示すように、発光装置の光ファイバー33よりも低い位置にある受光装置の光ファイバー34の上端レベルより高い前記プリント基板Pの一部が確実に検出範囲内となって光が遮断されて遮光範囲SA内に位置することとなって、確実にプリント基板Pの有無を検出することができる。
また、受光装置の光ファイバー34よりも高い位置にある発光装置の光ファイバー33の近くに、図6(イ)に示すようなプリント基板Pの突出部PT2が位置する場合にあって、矢印で示す搬送方向先端が上方に反っていない場合にも、図6(ウ)の右部に示すように、発光装置の光ファイバー33の下端レベルより低い前記プリント基板Pの一部が確実に検出範囲内となって光が遮断されて遮光範囲SA内に位置することとなって、確実にプリント基板Pの有無を検出することができる。
このように、プリント基板Pの存在を確認し、その検出出力に基づいて電子部品装着装置1にてプリント基板P上への電子部品の装着を可能としたり、また前記プリント基板Pを取り込んだ際の基板搬送装置8の搬送用駆動モータの減速制御を行うことができる。
次に、図7(エ)、(オ)に基づいて、プリント基板Pの有無検出装置の第2の実施形態について説明する。この実施形態も発光装置の光ファイバー33Aと受光装置の光ファイバー34Aは丸型光ファイバーで側面視、円形状を呈して光軸KJの縦断面形状が円形である。そして、前記発光装置の光ファイバー33Aの径を受光装置の光ファイバー34Aの径より大径とし、前記発光装置の光ファイバー33Aの上端レベルと受光装置の光ファイバー34Aの上端レベルとは同じ高さレベルとし且つ前記発光装置の光ファイバー33Aの下端をプリント基板Pの搬送レベルHLと同じにする。
以上のような第2の実施形態の構成によっても、前記プリント基板Pの一部が確実に前記プリント基板Pの一部が確実に検出範囲内となって光が遮断されて遮光範囲SA内に位置することとなって、確実にプリント基板Pの有無を検出することができる。
また、図8(カ)、(キ)に基づいて、プリント基板Pの有無検出装置の第3の実施形態について説明する。この実施形態も発光装置の光ファイバー33Bと受光装置の光ファイバー34Bは丸型光ファイバーで側面視、円形状を呈して光軸KJの縦断面形状が円形である。前記発光装置の光ファイバー33Bの径を受光装置の光ファイバー34Bの径より大径とし、前記発光装置の光ファイバー33Bの中心と受光装置の光ファイバー34Bの中心とを同じ高さレベルとし且つ前記発光装置の光ファイバー33Bの下端をプリント基板Pの搬送レベルHLと同じにする。
以上のような第3の実施形態の構成によっても、前記プリント基板Pの一部が確実に前記プリント基板Pの一部が確実に検出範囲内となって光が遮断されて遮光範囲SA内に位置することとなって、確実にプリント基板Pの有無を検出することができる。
なお、前述した第2及び第3の実施形態においては、前記発光装置の光ファイバーの径を受光装置の光ファイバーの径より大径としたが、逆に前記受光装置の光ファイバーの径を発光装置の光ファイバーの径より大径としてもよい。
次に、図9及び図10に基づいて、プリント基板Pの有無検出装置の第4の実施形態について説明する。
先ず、この第4の実施形態も、前述した実施形態と同様に、固定シュート30A及び可動シュート30Bには、各2つの大径プーリ31A1、31A2とこの両大径プーリ31A1及び31A2との間の小径プーリ31B1、31B2、31B3とに搬送ベルト32がそれぞれ張架され、プリント基板Pを両搬送ベルト32上に載置して駆動モータ(図示せず)の駆動により搬送する構成である。なお、前記小径プーリ31B2は他の大径プーリ31A1、31A2及び小径プーリ31B1、31B3より低い位置に配設されている。
33Cは前記有無検出装置を構成する発光装置の光ファイバーで、側面視四角形の帯状を呈して、前記可動シュート30Bに取り付け固定されており、34Cは同じく前記有無検出装置を構成する前記受光装置の光ファイバーで、側面視して前記光ファイバー33Cと同じサイズの四角形の帯状を呈して、前記発光装置の光ファイバー33Cに対向するように前記固定シュート30Aに取り付け固定されており、前記発光装置の光ファイバー33Cからの光を前記受光装置の光ファイバー34Cが受光するように配設される。
しかも、前記発光装置の光ファイバー33Cと前記受光装置の光ファイバー34Cは、ともに前記小径プーリ31B1と31B3との間の位置で且つ小径プーリ31B2の上方位置に配設され、その帯状の光軸KJの上端レベルと下端レベルとの間に搬送レベルHLが位置するように配設される。即ち、前記プリント基板Pの搬送レベルHLが前記光軸KJの高さ方向における中間位置に位置するように前記発光装置の光ファイバー33C及び前記受光装置の光ファイバー34Cを可動シュート30B、固定シュート30Aに取り付ける。
従って、この発光装置の光ファイバー33Cと前記受光装置の光ファイバー34Cの上端レベル及び下端レベルは、ともに同一の高さレベルであり、しかもプリント基板Pの搬送レベルHLは前記上端レベルと前記下端レベルとの間の高さレベルにあり、搬送されるプリント基板P自体も前記上端レベルと前記下端レベルとの間に位置する。
このため、搬送レベルHL上にあるいかなる薄いプリント基板Pであっても、前記発光装置33Cによる光を遮光でき、プリント基板Pの有無を検出することができる。
また、図10に示すように、プリント基板Pの搬送方向の先端部が上方に反っていても、上方にその先端が反ったプリント基板Pの下端レベルが光軸KJの上端レベルより低くければ、前記発光装置の光ファイバー33Cによる光を遮光でき、プリント基板Pの有無を検出することができる。
以下、プリント基板Pへの電子部品の装着動作について、簡単に説明する。先ず、プリント基板Pが上流側装置(図示せず)より受継がれて供給コンベア8A上に存在すると、各駆動モータにより供給コンベア及び第1位置決め部8Aによる基板搬送が開始される。
また、制御装置20は前記駆動モータに駆動指令を発した後、タイマー29の計時が開始するように制御し、更に記憶装置21に格納されている基板有りデータ(ON)を消去して、基板無しデータ(OFF)を格納するように制御する。
そして、供給コンベア及び第1位置決め部8Aによりプリント基板Pが搬送されて、タイマー29の計時によりタイムアップする前に、移動中のプリント基板Pにより受光装置が受光できなくなると(受光量がある程度の量に減少する場合を含む。)、プリント基板Pが発光装置の光ファイバー33、33A、33B、33C及び受光装置の光ファイバー34、34A、34B、34Cが配設された位置に到達したことが検出されることとなる。
従って、この有無検出装置がプリント基板Pが前記到達したことを検出することとなり、記憶装置21に基板有り(ON)データを格納するように制御すると共に第1位置決め部8A(搬送コンベア)の駆動モータの駆動を停止するように制御して、基板搬送を停止させる。なお、供給コンベアは、プリント基板Pが第1位置決め部8Aに移載される時間を見込んだこの見込み時間の経過後に、停止するように制御される。
このため、第1位置決め部8Aの駆動モータの駆動が停止しても、僅か進んでプリント基板Pは基板ストッパ(図示せず)に当接して係止し、正常動作が終了する。この後、昇降装置(図示せず)により第1位置決め部8Aの搬送ベルト32又はクランプ機構を上昇させて、プリント基板Pを一対の固定シュート30A、可動シュート30Bの各位置規制部にプリント基板Pを下方から押圧して、プリント基板Pの高さ方向の位置決めを行うと共に水平方向の位置決めを行う。
更に、この位置決めしたプリント基板P上に部品供給ユニット5より電子部品を吸着保持して取出した吸着ノズルを水平方向に移動させて、プリント基板Pの部品装着位置上方に移動させて、下降させることにより順次プリント基板P上に電子部品を装着する。
そして、プリント基板Pへの全てのチップ部品の装着を終えると、第1位置決め部8Aの搬送ベルト又はクランプ機構を下降させ、この搬送ベルト32上にあるプリント基板Pを中間コンベアへ、また供給コンベア上のプリント基板Pを第1位置決め部8Aへ搬送させる。
以上の実施形態においては、前記固定シュート30Aに受光装置の光ファイバー34、34A、34B、34Cを、可動シュート30Bに前記発光装置の光ファイバー33、33A、33B、33Cを取り付けたが、前記固定シュート30Aに前記発光装置の光ファイバー33、33A、33B、33Cを、可動シュート30Bに受光装置の光ファイバー34、34A、34B、34Cを取り付けてもよい。
なお、以上の実施形態の前記発光装置は発光素子と光ファイバー33、33A、33B、33Cとから構成され、受光装置は受光素子と光ファイバー34、34A、34B、34Cとから構成され、前記発光装置からの光を受光装置が受光するように配設されるが、例えば光電センサで基板有無検出装置を構成してもよい。
なお、以上の実施形態は、プリント基板組立装置としての電子部品装着装置1の基板搬送装置8の第1位置決め部8Aを実施形態としたが、これに限らず、電子部品装着装置1のその他の基板搬送装置や、その他のプリント基板組立装置の基板搬送装置にも適用できる。
以上のような実施形態の基板有無検出装置は、反射型センサではないので、プリント基板の色彩や材質によっても誤検出が起こらないようにでき、またプリント基板に開口部や切り欠きがあっても、確実にプリント基板の有無の確認が行える。
以上のように本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
1 電子部品装着装置
8A 第1位置決め部
20 制御装置
30A 固定シュート
30B 可動シュート
32 搬送ベルト
33 発光装置の光ファイバー
34 受光装置の光ファイバー
SA 遮光範囲

Claims (2)

  1. 所定の作業が施される基板を一対の搬送シュートにより搬送すると共に前記基板の有無を有無検出装置により検出するようにした基板搬送装置であって、前記一対の搬送シュートの一方に前記有無検出装置を構成する発光装置を取り付けると共に他方に同じく前記有無検出装置を構成する受光装置を取り付け、且つ前記発光装置又は前記受光装置のいずれか一方の下端レベルを前記基板の搬送レベルとし、他方の下端レベルを搬送する前記基板のうちの最も薄い基板の厚さ未満の分だけ前記搬送レベルより高い位置にずらして前記発光装置及び前記受光装置を対向するように取り付けたことを特徴とする基板搬送装置。
  2. 所定の作業が施される基板を一対の搬送シュートにより搬送すると共に前記基板の有無を有無検出装置により検出するようにした基板搬送装置であって、前記一対の搬送シュートの一方に前記有無検出装置を構成する発光装置を取り付けると共に他方に前記発光装置に対向するように前記有無検出装置を構成する受光装置を取り付け、且つ前記一対の搬送シュートにそれぞれ設けられる搬送ベルトが張架される複数のプーリのうち、前記基板の搬送レベルより低い位置に設けられるプーリの上方位置であって、前記基板の搬送レベルが前記発光装置及び受光装置の光軸の高さ方向における中間位置に位置するように前記発光装置及び前記受光装置を取り付けたことを特徴とする基板搬送装置。
JP2012098065A 2012-04-23 2012-04-23 基板搬送装置 Active JP5982167B2 (ja)

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