JP2013222688A - 有機電子素子用透明電極、有機電子素子用透明電極の製造方法、及び有機電子素子 - Google Patents
有機電子素子用透明電極、有機電子素子用透明電極の製造方法、及び有機電子素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013222688A JP2013222688A JP2012095716A JP2012095716A JP2013222688A JP 2013222688 A JP2013222688 A JP 2013222688A JP 2012095716 A JP2012095716 A JP 2012095716A JP 2012095716 A JP2012095716 A JP 2012095716A JP 2013222688 A JP2013222688 A JP 2013222688A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polymer
- conductive layer
- transparent electrode
- organic electronic
- conductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 135
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 59
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims abstract description 255
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 claims abstract description 157
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 74
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 93
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 85
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 79
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 79
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 60
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 20
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 claims description 18
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 claims description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 abstract description 298
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 abstract description 25
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 9
- 239000010408 film Substances 0.000 description 54
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 36
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 36
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 35
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 34
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 27
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 24
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 24
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 23
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 description 21
- 229920000447 polyanionic polymer Polymers 0.000 description 21
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 21
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 20
- 239000003125 aqueous solvent Substances 0.000 description 19
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 18
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 17
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 15
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 15
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 14
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 13
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 13
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 description 13
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 13
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 13
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 12
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 11
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 11
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 11
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 11
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 11
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 11
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 10
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 10
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 10
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 9
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 9
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 9
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 9
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 8
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 8
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 8
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 8
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 8
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 8
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 7
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 7
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 7
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 7
- VTLYFUHAOXGGBS-UHFFFAOYSA-N Fe3+ Chemical class [Fe+3] VTLYFUHAOXGGBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 6
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 6
- 208000028659 discharge Diseases 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 6
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 6
- YEYKMVJDLWJFOA-UHFFFAOYSA-N 2-propoxyethanol Chemical compound CCCOCCO YEYKMVJDLWJFOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M Bisulfite Chemical compound OS([O-])=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 5
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 5
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 5
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 5
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 5
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 4
- KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N Pyrrole Chemical compound C=1C=CNC=1 KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 4
- 150000001450 anions Chemical group 0.000 description 4
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 4
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 229940125898 compound 5 Drugs 0.000 description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 4
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 4
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 4
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 4
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 4
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 4
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 4
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 4
- LDMRLRNXHLPZJN-UHFFFAOYSA-N 3-propoxypropan-1-ol Chemical compound CCCOCCCO LDMRLRNXHLPZJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920000557 Nafion® Polymers 0.000 description 3
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002042 Silver nanowire Substances 0.000 description 3
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 3
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 3
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 3
- 238000007791 dehumidification Methods 0.000 description 3
- 239000004815 dispersion polymer Substances 0.000 description 3
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 3
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 3
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 3
- 229940070721 polyacrylate Drugs 0.000 description 3
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 description 3
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 3
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 3
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 3
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 3
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 3
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 3
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 3
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 3
- ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N triethylene glycol Chemical compound OCCOCCOCCO ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000108 ultra-filtration Methods 0.000 description 3
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 3
- JOLQKTGDSGKSKJ-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxypropan-2-ol Chemical compound CCOCC(C)O JOLQKTGDSGKSKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QENGPZGAWFQWCZ-UHFFFAOYSA-N 3-Methylthiophene Chemical compound CC=1C=CSC=1 QENGPZGAWFQWCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N Aniline Chemical compound NC1=CC=CC=C1 PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N Naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 2
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical class OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N Thiophene Chemical compound C=1C=CSC=1 YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DTQVDTLACAAQTR-UHFFFAOYSA-N Trifluoroacetic acid Chemical compound OC(=O)C(F)(F)F DTQVDTLACAAQTR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N anthracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C21 MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 239000002585 base Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 2
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 229940125782 compound 2 Drugs 0.000 description 2
- 229940126214 compound 3 Drugs 0.000 description 2
- VPUGDVKSAQVFFS-UHFFFAOYSA-N coronene Chemical compound C1=C(C2=C34)C=CC3=CC=C(C=C3)C4=C4C3=CC=C(C=C3)C4=C2C3=C1 VPUGDVKSAQVFFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZSWFCLXCOIISFI-UHFFFAOYSA-N cyclopentadiene Chemical compound C1C=CC=C1 ZSWFCLXCOIISFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 2
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 2
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 2
- 238000002296 dynamic light scattering Methods 0.000 description 2
- 239000003995 emulsifying agent Substances 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 238000007646 gravure printing Methods 0.000 description 2
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N indium tin Chemical compound [In].[Sn] RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 2
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- RNVCVTLRINQCPJ-UHFFFAOYSA-N o-toluidine Chemical compound CC1=CC=CC=C1N RNVCVTLRINQCPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 2
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 2
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- JRKICGRDRMAZLK-UHFFFAOYSA-L peroxydisulfate Chemical compound [O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O JRKICGRDRMAZLK-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 125000002467 phosphate group Chemical group [H]OP(=O)(O[H])O[*] 0.000 description 2
- 229920000172 poly(styrenesulfonic acid) Polymers 0.000 description 2
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 2
- 229920006290 polyethylene naphthalate film Polymers 0.000 description 2
- 229920013716 polyethylene resin Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229920001195 polyisoprene Polymers 0.000 description 2
- 239000002685 polymerization catalyst Substances 0.000 description 2
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 229940005642 polystyrene sulfonic acid Drugs 0.000 description 2
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 2
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 2
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 2
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 2
- KMUONIBRACKNSN-UHFFFAOYSA-N potassium dichromate Chemical compound [K+].[K+].[O-][Cr](=O)(=O)O[Cr]([O-])(=O)=O KMUONIBRACKNSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BBEAQIROQSPTKN-UHFFFAOYSA-N pyrene Chemical compound C1=CC=C2C=CC3=CC=CC4=CC=C1C2=C43 BBEAQIROQSPTKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002407 reforming Methods 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- GGCZERPQGJTIQP-UHFFFAOYSA-N sodium;9,10-dioxoanthracene-2-sulfonic acid Chemical compound [Na+].C1=CC=C2C(=O)C3=CC(S(=O)(=O)O)=CC=C3C(=O)C2=C1 GGCZERPQGJTIQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L sulfate group Chemical group S(=O)(=O)([O-])[O-] QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 125000000020 sulfo group Chemical group O=S(=O)([*])O[H] 0.000 description 2
- 238000005987 sulfurization reaction Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 229930192474 thiophene Natural products 0.000 description 2
- JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N toluene-4-sulfonic acid Chemical compound CC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 2
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- RRZIJNVZMJUGTK-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-trifluoro-2-(1,2,2-trifluoroethenoxy)ethene Chemical compound FC(F)=C(F)OC(F)=C(F)F RRZIJNVZMJUGTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KLCLIOISYBHYDZ-UHFFFAOYSA-N 1,4,4-triphenylbuta-1,3-dienylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C=1C=CC=CC=1)=CC=C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 KLCLIOISYBHYDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 1-butoxybutane Chemical compound CCCCOCCCC DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RWNUSVWFHDHRCJ-UHFFFAOYSA-N 1-butoxypropan-2-ol Chemical compound CCCCOCC(C)O RWNUSVWFHDHRCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LDMOEFOXLIZJOW-UHFFFAOYSA-N 1-dodecanesulfonic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCS(O)(=O)=O LDMOEFOXLIZJOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GUPMCMZMDAGSPF-UHFFFAOYSA-N 1-phenylbuta-1,3-dienylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1[C](C=C[CH2])C1=CC=CC=C1 GUPMCMZMDAGSPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GKWLILHTTGWKLQ-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydrothieno[3,4-b][1,4]dioxine Chemical compound O1CCOC2=CSC=C21 GKWLILHTTGWKLQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LCPVQAHEFVXVKT-UHFFFAOYSA-N 2-(2,4-difluorophenoxy)pyridin-3-amine Chemical compound NC1=CC=CN=C1OC1=CC=C(F)C=C1F LCPVQAHEFVXVKT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000536 2-Acrylamido-2-methylpropane sulfonic acid Polymers 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XHZPRMZZQOIPDS-UHFFFAOYSA-N 2-Methyl-2-[(1-oxo-2-propenyl)amino]-1-propanesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)CC(C)(C)NC(=O)C=C XHZPRMZZQOIPDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZMCHBSMFKQYNKA-UHFFFAOYSA-N 2-aminobenzenesulfonic acid Chemical compound NC1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O ZMCHBSMFKQYNKA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WBIQQQGBSDOWNP-UHFFFAOYSA-N 2-dodecylbenzenesulfonic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCC1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O WBIQQQGBSDOWNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MGADZUXDNSDTHW-UHFFFAOYSA-N 2H-pyran Chemical compound C1OC=CC=C1 MGADZUXDNSDTHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XWEYATZFSPHATJ-UHFFFAOYSA-N 3,4-dibutoxythiophene Chemical compound CCCCOC1=CSC=C1OCCCC XWEYATZFSPHATJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LGPVKMIWERPYIJ-UHFFFAOYSA-N 3,4-dibutyl-1h-pyrrole Chemical compound CCCCC1=CNC=C1CCCC LGPVKMIWERPYIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FKXCQUBXKMXXBG-UHFFFAOYSA-N 3,4-dibutylthiophene Chemical compound CCCCC1=CSC=C1CCCC FKXCQUBXKMXXBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CFCYZQALCKXBOZ-UHFFFAOYSA-N 3,4-didecoxythiophene Chemical compound CCCCCCCCCCOC1=CSC=C1OCCCCCCCCCC CFCYZQALCKXBOZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GVQISPCTVFFREP-UHFFFAOYSA-N 3,4-didodecoxythiophene Chemical compound CCCCCCCCCCCCOC1=CSC=C1OCCCCCCCCCCCC GVQISPCTVFFREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BUZZAMRHHXZQNN-UHFFFAOYSA-N 3,4-diheptoxythiophene Chemical compound CCCCCCCOC1=CSC=C1OCCCCCCC BUZZAMRHHXZQNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OMANTHZRUHGCNC-UHFFFAOYSA-N 3,4-dihexoxythiophene Chemical compound CCCCCCOC1=CSC=C1OCCCCCC OMANTHZRUHGCNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WNOOCRQGKGWSJE-UHFFFAOYSA-N 3,4-dihydro-2h-thieno[3,4-b][1,4]dioxepine Chemical compound O1CCCOC2=CSC=C21 WNOOCRQGKGWSJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZUDCKLVMBAXBIF-UHFFFAOYSA-N 3,4-dimethoxythiophene Chemical compound COC1=CSC=C1OC ZUDCKLVMBAXBIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OJFOWGWQOFZNNJ-UHFFFAOYSA-N 3,4-dimethyl-1h-pyrrole Chemical compound CC1=CNC=C1C OJFOWGWQOFZNNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GPSFYJDZKSRMKZ-UHFFFAOYSA-N 3,4-dimethylthiophene Chemical compound CC1=CSC=C1C GPSFYJDZKSRMKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OTUYNPNPIIFVGN-UHFFFAOYSA-N 3,4-dioctoxythiophene Chemical compound CCCCCCCCOC1=CSC=C1OCCCCCCCC OTUYNPNPIIFVGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LKYDJXOAZWBJIM-UHFFFAOYSA-N 3,4-dipropoxythiophene Chemical compound CCCOC1=CSC=C1OCCC LKYDJXOAZWBJIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NECRQCBKTGZNMH-UHFFFAOYSA-N 3,5-dimethylhex-1-yn-3-ol Chemical class CC(C)CC(C)(O)C#C NECRQCBKTGZNMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GOLORTLGFDVFDW-UHFFFAOYSA-N 3-(1h-benzimidazol-2-yl)-7-(diethylamino)chromen-2-one Chemical compound C1=CC=C2NC(C3=CC4=CC=C(C=C4OC3=O)N(CC)CC)=NC2=C1 GOLORTLGFDVFDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JSOMPMRZESLPSM-UHFFFAOYSA-N 3-(2-methylpropyl)aniline Chemical compound CC(C)CC1=CC=CC(N)=C1 JSOMPMRZESLPSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYMPIGRRSUORAR-UHFFFAOYSA-N 3-(4-methyl-1h-pyrrol-3-yl)propanoic acid Chemical compound CC1=CNC=C1CCC(O)=O FYMPIGRRSUORAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JCOLSHCVCITSFG-UHFFFAOYSA-N 3-(4-methylthiophen-3-yl)propanoic acid Chemical compound CC1=CSC=C1CCC(O)=O JCOLSHCVCITSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XCMISAPCWHTVNG-UHFFFAOYSA-N 3-bromothiophene Chemical compound BrC=1C=CSC=1 XCMISAPCWHTVNG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FCVHZARBOWEONP-UHFFFAOYSA-N 3-butoxy-1h-pyrrole Chemical compound CCCCOC=1C=CNC=1 FCVHZARBOWEONP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NZSSXTMHSXMZBL-UHFFFAOYSA-N 3-butoxythiophene Chemical compound CCCCOC=1C=CSC=1 NZSSXTMHSXMZBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATWNFFKGYPYZPJ-UHFFFAOYSA-N 3-butyl-1h-pyrrole Chemical compound CCCCC=1C=CNC=1 ATWNFFKGYPYZPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KPOCSQCZXMATFR-UHFFFAOYSA-N 3-butylthiophene Chemical compound CCCCC=1C=CSC=1 KPOCSQCZXMATFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QUBJDMPBDURTJT-UHFFFAOYSA-N 3-chlorothiophene Chemical compound ClC=1C=CSC=1 QUBJDMPBDURTJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YTIXUMPBYXTWQA-UHFFFAOYSA-N 3-decoxythiophene Chemical compound CCCCCCCCCCOC=1C=CSC=1 YTIXUMPBYXTWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FFRZVVFLHHGORC-UHFFFAOYSA-N 3-decyl-1h-pyrrole Chemical compound CCCCCCCCCCC=1C=CNC=1 FFRZVVFLHHGORC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JAYBIBLZTQMCAY-UHFFFAOYSA-N 3-decylthiophene Chemical compound CCCCCCCCCCC=1C=CSC=1 JAYBIBLZTQMCAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQKVUWMATDWFJI-UHFFFAOYSA-N 3-dodecoxythiophene Chemical compound CCCCCCCCCCCCOC=1C=CSC=1 HQKVUWMATDWFJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HGICMYITGGLHHY-UHFFFAOYSA-N 3-dodecyl-1h-pyrrole Chemical compound CCCCCCCCCCCCC=1C=CNC=1 HGICMYITGGLHHY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RFKWIEFTBMACPZ-UHFFFAOYSA-N 3-dodecylthiophene Chemical compound CCCCCCCCCCCCC=1C=CSC=1 RFKWIEFTBMACPZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KEAYXGHOGPUYPB-UHFFFAOYSA-N 3-ethoxy-1h-pyrrole Chemical compound CCOC=1C=CNC=1 KEAYXGHOGPUYPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZFQVXRBCYGOGAA-UHFFFAOYSA-N 3-ethoxy-4-methylthiophene Chemical compound CCOC1=CSC=C1C ZFQVXRBCYGOGAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RDEGOEYUQCUBPE-UHFFFAOYSA-N 3-ethoxythiophene Chemical compound CCOC=1C=CSC=1 RDEGOEYUQCUBPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RLLBWIDEGAIFPI-UHFFFAOYSA-N 3-ethyl-1h-pyrrole Chemical compound CCC=1C=CNC=1 RLLBWIDEGAIFPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MCLMZMISZCYBBG-UHFFFAOYSA-N 3-ethylheptanoic acid Chemical compound CCCCC(CC)CC(O)=O MCLMZMISZCYBBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SLDBAXYJAIRQMX-UHFFFAOYSA-N 3-ethylthiophene Chemical compound CCC=1C=CSC=1 SLDBAXYJAIRQMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JFRPBGLJDHIQGT-UHFFFAOYSA-N 3-heptoxythiophene Chemical compound CCCCCCCOC=1C=CSC=1 JFRPBGLJDHIQGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IUUMHORDQCAXQU-UHFFFAOYSA-N 3-heptylthiophene Chemical compound CCCCCCCC=1C=CSC=1 IUUMHORDQCAXQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IOKBHBPVRURKRQ-UHFFFAOYSA-N 3-hexoxy-1h-pyrrole Chemical compound CCCCCCOC=1C=CNC=1 IOKBHBPVRURKRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- INZDUCBKJIQWBX-UHFFFAOYSA-N 3-hexoxy-4-methyl-1h-pyrrole Chemical compound CCCCCCOC1=CNC=C1C INZDUCBKJIQWBX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GFJHLDVJFOQWLT-UHFFFAOYSA-N 3-hexoxythiophene Chemical compound CCCCCCOC=1C=CSC=1 GFJHLDVJFOQWLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WGKRMQIQXMJVFZ-UHFFFAOYSA-N 3-iodothiophene Chemical compound IC=1C=CSC=1 WGKRMQIQXMJVFZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HGDGACBSGVRCSM-UHFFFAOYSA-N 3-methoxy-4-methylthiophene Chemical compound COC1=CSC=C1C HGDGACBSGVRCSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RFSKGCVUDQRZSD-UHFFFAOYSA-N 3-methoxythiophene Chemical compound COC=1C=CSC=1 RFSKGCVUDQRZSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FEKWWZCCJDUWLY-UHFFFAOYSA-N 3-methyl-1h-pyrrole Chemical compound CC=1C=CNC=1 FEKWWZCCJDUWLY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OIXVNYHVHGWVEN-UHFFFAOYSA-N 3-methyl-5-(1h-pyrrol-2-yl)pentanoic acid Chemical compound OC(=O)CC(C)CCC1=CC=CN1 OIXVNYHVHGWVEN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GRTWOPGOPPTXOA-UHFFFAOYSA-N 3-methyl-5-thiophen-2-ylpentanoic acid Chemical compound OC(=O)CC(C)CCC1=CC=CS1 GRTWOPGOPPTXOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KPORMHZYIJPHAV-UHFFFAOYSA-N 3-octadecoxythiophene Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCOC=1C=CSC=1 KPORMHZYIJPHAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ARFJPHXJBIEWSZ-UHFFFAOYSA-N 3-octadecylthiophene Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCC=1C=CSC=1 ARFJPHXJBIEWSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AUVZKIJQGLYISA-UHFFFAOYSA-N 3-octoxythiophene Chemical compound CCCCCCCCOC=1C=CSC=1 AUVZKIJQGLYISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFHVTZRAIPYMMO-UHFFFAOYSA-N 3-octyl-1h-pyrrole Chemical compound CCCCCCCCC=1C=CNC=1 WFHVTZRAIPYMMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WQYWXQCOYRZFAV-UHFFFAOYSA-N 3-octylthiophene Chemical compound CCCCCCCCC=1C=CSC=1 WQYWXQCOYRZFAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZDQZVKVIYAPRON-UHFFFAOYSA-N 3-phenylthiophene Chemical compound S1C=CC(C=2C=CC=CC=2)=C1 ZDQZVKVIYAPRON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FAOPZUAEZGKQNC-UHFFFAOYSA-N 3-propyl-1h-pyrrole Chemical compound CCCC=1C=CNC=1 FAOPZUAEZGKQNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QZNFRMXKQCIPQY-UHFFFAOYSA-N 3-propylthiophene Chemical compound CCCC=1C=CSC=1 QZNFRMXKQCIPQY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WEELZNKFYGCZKL-UHFFFAOYSA-N 4-(4-phenylphenyl)-n,n-bis[4-(4-phenylphenyl)phenyl]aniline Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=C(C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC=CC=2)C=C1 WEELZNKFYGCZKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FXPOCCDGHHTZAO-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-1h-pyrrole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CNC=C1C(O)=O FXPOCCDGHHTZAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LRFIHWGUGBXFEC-UHFFFAOYSA-N 4-methylthiophene-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CSC=C1C(O)=O LRFIHWGUGBXFEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PBTJPWDPWUYFIT-UHFFFAOYSA-N COC1=CNC=C1.OC1=CNC=C1 Chemical compound COC1=CNC=C1.OC1=CNC=C1 PBTJPWDPWUYFIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910020366 ClO 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical group C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- 229920003935 Flemion® Polymers 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Malonic acid Chemical compound OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- LGCMKPRGGJRYGM-UHFFFAOYSA-N Osalmid Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1NC(=O)C1=CC=CC=C1O LGCMKPRGGJRYGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YNPNZTXNASCQKK-UHFFFAOYSA-N Phenanthrene Natural products C1=CC=C2C3=CC=CC=C3C=CC2=C1 YNPNZTXNASCQKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920012266 Poly(ether sulfone) PES Polymers 0.000 description 1
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 229920002377 Polythiazyl Polymers 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N Quinacridone Chemical compound N1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C1C(=O)C3=CC=CC=C3NC1=C2 NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical group [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XBDYBAVJXHJMNQ-UHFFFAOYSA-N Tetrahydroanthracene Natural products C1=CC=C2C=C(CCCC3)C3=CC2=C1 XBDYBAVJXHJMNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGEZNRSVGBDHLK-UHFFFAOYSA-N [1,10]phenanthroline Chemical compound C1=CN=C2C3=NC=CC=C3C=CC2=C1 DGEZNRSVGBDHLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 229920006243 acrylic copolymer Polymers 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 239000005456 alcohol based solvent Substances 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 150000007933 aliphatic carboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 150000003863 ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N anhydrous quinoline Natural products N1=CC=CC2=CC=CC=C21 SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001448 anilines Chemical class 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical class 0.000 description 1
- 125000000732 arylene group Chemical group 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 150000001555 benzenes Chemical class 0.000 description 1
- WZJYKHNJTSNBHV-UHFFFAOYSA-N benzoquinoline Natural products C1=CN=C2C3=CC=CC=C3C=CC2=C1 WZJYKHNJTSNBHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QDHFHIQKOVNCNC-UHFFFAOYSA-N butane-1-sulfonic acid Chemical compound CCCCS(O)(=O)=O QDHFHIQKOVNCNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003490 calendering Methods 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- ABDBNWQRPYOPDF-UHFFFAOYSA-N carbonofluoridic acid Chemical compound OC(F)=O ABDBNWQRPYOPDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002843 carboxylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000010549 co-Evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 229940125904 compound 1 Drugs 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001879 copper Chemical class 0.000 description 1
- 238000003851 corona treatment Methods 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000502 dialysis Methods 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- SZXQTJUDPRGNJN-UHFFFAOYSA-N dipropylene glycol Chemical compound OCCCOCCCO SZXQTJUDPRGNJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- MOTZDAYCYVMXPC-UHFFFAOYSA-N dodecyl hydrogen sulfate Chemical compound CCCCCCCCCCCCOS(O)(=O)=O MOTZDAYCYVMXPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940043264 dodecyl sulfate Drugs 0.000 description 1
- 229940060296 dodecylbenzenesulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- CCIVGXIOQKPBKL-UHFFFAOYSA-N ethanesulfonic acid Chemical compound CCS(O)(=O)=O CCIVGXIOQKPBKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- DQYBDCGIPTYXML-UHFFFAOYSA-N ethoxyethane;hydrate Chemical compound O.CCOCC DQYBDCGIPTYXML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N fluoranthrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=C22)=C3C2=CC=CC3=C1 GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007850 fluorescent dye Substances 0.000 description 1
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 1
- UQSQSQZYBQSBJZ-UHFFFAOYSA-N fluorosulfonic acid Chemical group OS(F)(=O)=O UQSQSQZYBQSBJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012494 forced degradation Methods 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 239000007792 gaseous phase Substances 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- 150000002334 glycols Chemical class 0.000 description 1
- 229920001519 homopolymer Polymers 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 229920001600 hydrophobic polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 1
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 description 1
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 238000007561 laser diffraction method Methods 0.000 description 1
- 238000013532 laser treatment Methods 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 230000004807 localization Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002082 metal nanoparticle Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000693 micelle Substances 0.000 description 1
- 238000001471 micro-filtration Methods 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N oxadiazole Chemical compound C1=CON=N1 WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- SNGREZUHAYWORS-UHFFFAOYSA-N perfluorooctanoic acid Chemical compound OC(=O)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F SNGREZUHAYWORS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 1
- CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N peryrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=3C2=C2C=CC=3)=C3C2=CC=CC3=C1 CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 1
- 229920001197 polyacetylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002859 polyalkenylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001281 polyalkylene Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920000323 polyazulene Polymers 0.000 description 1
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 1
- 229920001088 polycarbazole Polymers 0.000 description 1
- 229920006289 polycarbonate film Polymers 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920000414 polyfuran Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229920001289 polyvinyl ether Polymers 0.000 description 1
- 229920000131 polyvinylidene Polymers 0.000 description 1
- 239000012286 potassium permanganate Substances 0.000 description 1
- USHAGKDGDHPEEY-UHFFFAOYSA-L potassium persulfate Chemical compound [K+].[K+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O USHAGKDGDHPEEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 238000004321 preservation Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DOYOPBSXEIZLRE-UHFFFAOYSA-N pyrrole-3-carboxylic acid Chemical compound OC(=O)C=1C=CNC=1 DOYOPBSXEIZLRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003233 pyrroles Chemical class 0.000 description 1
- 238000010526 radical polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 238000001223 reverse osmosis Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N rubrene Chemical compound C1=CC=CC=C1C(C1=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=CC=C2C(C=2C=CC=CC=2)=C11)=C(C=CC=C2)C2=C1C1=CC=CC=C1 YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- CHQMHPLRPQMAMX-UHFFFAOYSA-L sodium persulfate Substances [Na+].[Na+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O CHQMHPLRPQMAMX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 150000003457 sulfones Chemical class 0.000 description 1
- 150000003460 sulfonic acids Chemical class 0.000 description 1
- IFLREYGFSNHWGE-UHFFFAOYSA-N tetracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC4=CC=CC=C4C=C3C=C21 IFLREYGFSNHWGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 1
- 150000003568 thioethers Chemical class 0.000 description 1
- HERSKCAGZCXYMC-UHFFFAOYSA-N thiophen-3-ol Chemical compound OC=1C=CSC=1 HERSKCAGZCXYMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MPKQTNAUFAZSIJ-UHFFFAOYSA-N thiophene-3,4-diol Chemical compound OC1=CSC=C1O MPKQTNAUFAZSIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GSXCEVHRIVLFJV-UHFFFAOYSA-N thiophene-3-carbonitrile Chemical compound N#CC=1C=CSC=1 GSXCEVHRIVLFJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YNVOMSDITJMNET-UHFFFAOYSA-N thiophene-3-carboxylic acid Chemical compound OC(=O)C=1C=CSC=1 YNVOMSDITJMNET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003577 thiophenes Chemical class 0.000 description 1
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 229910001456 vanadium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006163 vinyl copolymer Polymers 0.000 description 1
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N vinyl-ethylene Natural products C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/549—Organic PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
- Hybrid Cells (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
【解決手段】透明基板上に、導電性ポリマーと非導電性ポリマーとを含むポリマー導電層を有する有機電子素子用透明電極であって、該ポリマー導電層の表面のJIS B0601(2001)に準拠した方法で測定した算術平均粗さRaが10〜100nmの範囲内であり、かつ最大高さRzが50〜500nmの範囲内であることを特徴とする有機電子素子用透明電極。
【選択図】なし
Description
《有機電子素子用透明電極》
本発明の有機電子素子用透明電極(以下、単に透明電極ともいう。)は、透明基板上に、少なくとも導電性ポリマーと非導電性ポリマーとを含むポリマー導電層を有し、該ポリマー導電層の表面のJIS B0601(2001)に準拠した方法で測定した算術平均粗さRa(以下、表面粗さRaともいう。)が、10〜100nmの範囲内であり、かつ最大高さRzが、50〜500nmの範囲内であることを特徴とする。
図1は、本発明の有機電子素子用透明電極の構成の一例を示す概略断面図である。
透明基板2は、ポリマー導電層6を担持する板状の基板であり、透明電極を得るためには、JIS K 7361−1:1997(プラスチック−透明材料の全光線透過率の試験方法)に準拠した方法で測定した可視光波長領域における全光線透過率が80%以上のものが好ましく用いられる。
本発明の透明電極において、好ましい構成要件である金属導電層は、上記のとおり金属材料から構成される層であり、図2に例示するような一定のパターン状を呈している。
本発明に係るポリマー導電層は、少なくとも、導電性ポリマーと非導電性ポリマーとから構成されていることを特徴とする。更には、本発明に係る非導電性ポリマーが、水系溶剤に分散可能なポリマーであって、解離性基を含有し、かつガラス転移温度が25〜80℃の温度範囲内にある自己分散型ポリマーであることが好ましい態様である。このような特性を備えた非導電性ポリマーを適用することにより、透明電極において高い透明性と高い導電性とを両立し、さらに高温高湿度下での性能変動の少ない透明電極が得られる。
本発明で規定する導電性とは、電気が流れる状態を指し、JIS K 7194の「導電性プラスチックの4探針法による抵抗率試験方法」に準拠した方法で測定したシート抵抗が1×108Ω/□以下であることをいう。
本発明に用いるπ共役系導電性高分子としては、特に限定されず、ポリチオフェン(基本のポリチオフェンを含む、以下同様)類、ポリピロール類、ポリインドール類、ポリカルバゾール類、ポリアニリン類、ポリアセチレン類、ポリフラン類、ポリパラフェニレンビニレン類、ポリアズレン類、ポリパラフェニレン類、ポリパラフェニレンサルファイド類、ポリイソチアナフテン類、ポリチアジル類、の鎖状導電性ポリマーを利用することができる。中でも、導電性、透明性、安定性等の観点からポリチオフェン類やポリアニリン類が好ましく、ポリエチレンジオキシチオフェンが最も好ましい。
π共役系導電性高分子の形成に用いられる前駆体モノマーは、分子内にπ共役系を有し、適切な酸化剤の作用によって高分子化した際にもその主鎖にπ共役系が形成されるものである。例えば、ピロール類及びその誘導体、チオフェン類及びその誘導体、アニリン類及びその誘導体等が挙げられる。
本発明に係る導電性ポリマーの調製に用いられるポリアニオンは、置換もしくは未置換のポリアルキレン、置換もしくは未置換のポリアルケニレン、置換もしくは未置換のポリイミド、置換もしくは未置換のポリアミド、置換もしくは未置換のポリエステル及びこれらの共重合体であって、アニオン基を有する構成単位とアニオン基を有さない構成単位とから構成されるものである。
ポリマー導電層の構成材料の一つとして、非導電性ポリマーを用いることが特徴の一つである。更には、本発明に係る非導電性ポリマーとしては、水系溶剤に分散可能なポリマー粒子の状態であり、解離性基を含有し、かつガラス転移温度が25℃以上で80℃以下である自己分散型ポリマーを用いることが、特に好ましい。
本発明に係るポリマー導電層を形成するためのポリマー導電層形成用液状組成物では、非導電性ポリマーとして解離性基含有自己分散型ポリマーを含有することが好ましい態様であるが、このような組成となる場合に極性溶媒を含有することが、解離性基含有自己分散型ポリマーの分散安定性を損なうことなく、当該組成物を安定に保ち、例えば、インクジェット方式により安定に吐出できる観点から好ましい。
%の範囲が好ましい。極性溶媒の添加量が5質量%以上であれば、ポリマー導電層形成用液状組成物に対する安定化効果を発現させることができ、40質量%以下であれば、塗膜乾燥時の表面張力変化を抑え、寸法変化を低減することができる。
本発明に係るポリマー導電層を形成するために用いるポリマー導電層形成用液状組成物には、グリコールエーテル類を含有することが好ましい。これにより、前記極性溶媒を含有するポリマー導電層形成用液状組成物の表面張力を、解離性基含有自己分散型ポリマーの分散安定性を損なうことなく、効果的に低下させることができ、インクジェット方式を用いた際に安定した吐出性と、透明基板上での必要十分な濡れ性を得ることができる。
本発明の透明電極において、ポリマー導電層表面の平滑性を表すRzとRaは、Rzが最大高さ(表面の山頂部と谷底部との高低差)を意味し、Raは算術平均粗さを意味し、これらはJIS B0601(2001)に規定される表面粗さに準ずる値である。
本発明の透明電極の製造方法は、主に、
(i)少なくとも、導電性ポリマーと、非導電性ポリマー、好ましくは自己分散型ポリマーと、水と、水以外の極性溶媒と、グリコールエーテルとを混合し、ポリマー導電層形成用液状組成物を調製する工程と、
(ii)透明基板上に金属導電層を形成する工程と、
(iii)上記ポリマー導電層形成用液状組成物を、インクジェット方式により透明基板に吐出してポリマー導電層を形成する工程と、
を備えている。
本発明に係るポリマー導電層形成用液状組成物には、透明電極や有機電子素子の性能に影響しない範囲で、界面活性剤を含有していてもよい。界面活性剤としては、ノニオンタイプが好ましく、フッ素系界面活性剤、アセチレングリコール系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤が挙げられ、特に少量添加で表面張力を大きく低下することができるフッ素系界面活性剤が好ましい。これらは、単独で使用してもよいし、上述のグリコールエーテル系溶媒と併用することで液状組成物の表面張力を効果的に低下することができ、かつグリコールエーテル系溶媒や該界面活性剤の使用量を少量に抑えることができる。
本発明の有機電子素子は、基本的には、一対の電極としての第1の電極と第2の電極および有機機能層を備え、第1の電極と第2の電極とが対向した位置に配置され、有機機能層が第1の電極と第2の電極との間に設けられた構成を有するものである。
(i)陽極/有機機能層/陰極、
(ii)陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰極、
(iii)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰極、
(iv)陽極/正孔注入層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極、
(v)陽極/正孔注入層/発光層/電子注入層/陰極、
等の各種の構成のものを挙げることができる。
図3は、本発明の透明電極を具備した有機電子素子の一例である有機EL素子の概略構成を示す断面図である。
金属導電層及びポリマー導電層6と、有機機能層14を完全に被覆するように封止部材18にてこれら部材を封止する。また、封止材18の外周部には、取出電極12の一部及び対向電極16の一部が露出している。
《透明電極の作製》
下記の方法に従って、透明電極101〜157を作製した。
〔透明基板1の作製〕
(1:平滑層の形成)
厚み100μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(コスモシャインA4100、東洋紡績株式会社製、以下、PETフィルムあるいはPET基板ともいう。)の下引き加工を施していない面に、JSR株式会社製のUV硬化型有機/無機ハイブリッドハードコート材(OPSTAR Z7501)を、塗布、乾燥後の平均膜厚が4μmになるようにワイヤーバーで塗布した後、80℃で3分間乾燥させ、その後空気雰囲気下において、高圧水銀ランプを照射し、硬化条件1.0J/cm2で硬化を行い、PETフィルム上に、平滑層を形成した。
次に、上記PET基板上に形成した平滑層上に、ガスバリア層を以下に示す条件で、形成した。
パーヒドロポリシラザン(PHPS、AZエレクトロニックマテリアルズ(株)製アクアミカ NN320)の20質量%ジブチルエーテル溶液をワイヤレスバーにて、乾燥後の(平均)膜厚が、0.30μmとなるように平滑層上に塗布した。
(1)第一工程:乾燥処理
上記得られた塗布試料を温度85℃、相対湿度55%の雰囲気下で1分間処理し、乾燥試料を得た。
上記乾燥処理した試料を、更に温度25℃、相対湿度10%(露点温度−8℃)の雰囲気下に10分間保持し、除湿処理を行った。
上記除湿処理を行った試料を、下記の装置を用いて下記の条件で改質処理を行い、ガスバリア層を形成した。改質処理時の露点温度は−8℃で実施した。
使用装置:株式会社エム・ディ・コム製エキシマ照射装置MODEL:MECL−M−1−200
波長:172nm
ランプ封入ガス:Xe
(2)改質処理条件
エキシマ光強度:60mW/cm2(172nm)
試料と光源の距離:1mm
ステージ加熱温度:70℃
照射装置内の酸素濃度:1.0体積%
エキシマ照射時間 3秒
以上のようにして、ガスバリア層を有する透明電極用の透明基板1を作製した。
上記作製したガスバリア層を有する透明電極用の透明基板1のガスバリア層を形成していない面側に、以下の方法に従って、ポリマー導電層1を形成した。
下記の各添加剤を、順次混合した後、0.45μm径のメンブランフィルターを用いてろ過処理を施して、ポリマー導電層形成用液状組成物1を調製した。
非導電性ポリマー:乖離性基を有する自己分散型ポリマー:ヨドゾールAD176(ヘンケルジャパン社製、アクリル系エマルジョン樹脂、Tg=70℃)
2.89質量%
溶媒1:プロピレングリコール(略称:PG) 20.0質量%
溶媒2:エチレングリコールモノプロピルエーテル(略称:EGPr)
12.0質量%
水 64.6質量%
上記調製したポリマー導電層形成用液状組成物1が含有する粒子の平均粒径を、ゼータサイザーナノシリーズ(Malvern社製)で測定した結果、290nmであった。
上記透明電極101の作製において、ポリマー導電層の形成に用いたポリマー導電層形成用液状組成物の構成として、非導電性ポリマーの種類、総ポリマー量(ポリマー濃度%)、調製時の平均粒径調製手段の種類及び有無、溶媒1及び溶媒2の種類と添加量を、表1に記載のように変更した以外は同様にして、透明基板及びポリマー導電層から構成される透明電極102〜114を作製した。なお、導電性ポリマーと非導電性ポリマーとの質量比は、固形分比で15:85の一定条件とした。
下記の方法に従って、透明基板、金属導電層及びポリマー導電層から構成される透明電極115を作製した。
上記作製したガスバリア層を有する透明電極用の透明基板1のガスバリア層を形成していない面側に、以下の方法に従って、金属導電層1を形成した。
上記形成した金属導電層1上に、以下の方法に従って、ポリマー導電層15を形成した。
下記の各添加剤を、順次混合した後、0.45μm径のメンブランフィルターを用いてろ過処理を施して、ポリマー導電層形成用液状組成物15を調製した。
非導電性ポリマー:乖離性基を有する自己分散型ポリマー:ヨドゾールAD176(ヘンケルジャパン社製、アクリル系エマルジョン樹脂、Tg=70℃)
2.98質量%
溶媒1:エチレングリコール(略称:EG) 15.0質量%
溶媒2:エチレングリコールモノプロピルエーテル(略称:EGPr)
10.0質量%
水 71.5質量%
上記調製したポリマー導電層形成用液状組成物15が含有する粒子の平均粒径を、ゼータサイザーナノシリーズ(Malvern社製)で測定した結果、280nmであった。
上記透明電極115の作製において、ポリマー導電層の形成に用いたポリマー導電層形成用液状組成物の構成として、非導電性ポリマーの種類、総ポリマー量(ポリマー濃度%)、調製時の平均粒径調製手段の種類及び有無、溶媒1及び溶媒2の種類と添加量を、表1及び表2に記載のように変更した以外は同様にして、透明基板、金属導電層及びポリマー導電層から構成される透明電極116〜148を作製した。なお、導電性ポリマーと非導電性ポリマーとの質量比は、固形分比で15:85の一定条件とした。
上記透明電極115の作製において、ポリマー導電層の形成に用いたポリマー導電層形成用液状組成物15に代えて、下記のポリマー導電層形成用液状組成物49を用いた以外は同様にして、透明電極149を作製した。
下記の各添加剤を、順次混合した後、0.45μm径のメンブランフィルターを用いてろ過処理を施して、ポリマー導電層形成用液状組成物15を調製した。
フッ素化ポリアニオンP−2:ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)/ナフィオン 0.37質量%
非導電性ポリマー:乖離性基を有する自己分散型ポリマー:プラスコートRZ−105(互応化学工業社製、ポリエステル系エマルジョン樹脂、Tg=52℃)
2.78質量%
溶媒1:ジメチルスルホキシド(略称:DMSO) 15.0質量%
溶媒2:エチレングリコールモノブチルエーテル(略称:EGBu)
10.0質量%
水 71.3質量%
上記調製したポリマー導電層形成用液状組成物49が含有する粒子の平均粒径を、ゼータサイザーナノシリーズ(Malvern社製)で測定した結果、60nmであった。
上記透明電極149の作製において、ポリマー導電層の形成に用いたポリマー導電層形成用液状組成物の構成として、非導電性ポリマーの種類、総ポリマー量(ポリマー濃度%)、溶媒1の添加量、溶媒2の種類と添加量を、表2に記載のように変更した以外は同様にして、透明基板、金属導電層及びポリマー導電層から構成される透明電極150〜153を作製した。なお、導電性ポリマーとフッ素化ポリアニオンと非導電性ポリマーとの質量比は、固形分比で、15:10:75とした。
上記透明電極150の作製において、溶媒2であるEGBuの添加量を15質量%とし、更にフッ素系界面活性剤として、フタージェント215(ネオス社製)を0.020質量%添加した以外は同様にして、透明電極154を作製した。
上記透明電極154の作製において、フッ素系界面活性剤の種類と添加量、非導電性ポリマーの種類、溶媒1及び溶媒2の添加量、フッ素化ポリアニオンの有無、ポリマー濃度、分散処理方法を表2に記載の組み合わせに変更した以外は同様にして、透明電極155〜157を作製した。
表3に、商品名、型番名、メーカー名、樹脂の種類、Tg(℃)、平均粒径(nm)を示す。なお、表1及び表2には、型番名を略称として表示した。なお、表3に記載の非導電性ポリマーのガラス転移温度(Tg)は、示差走査熱量測定器(Perkin Elmer社製DSC−7型)を用いて、昇温速度10℃/分で測定し、JIS K7121(1987)に従い求めた。
PG:プロピレングリコール
EG:エチレングリコール
DMSO:ジメチルスルホキシド
(溶媒2)
EGPr:エチレングリコールモノプロピルエーテル
EGBu:エチレングリコールモノブチルエーテル
PGEt:プロピレングリコールモノエチルエーテル
PGPr:プロピレングリコールモノプロピルエーテル
(界面活性剤)
FT−215:フッ素系界面活性剤 フタージェント215(ネオス社製)
FT−245:フッ素系界面活性剤 フタージェント245(ネオス社製)
(分散処理方法)
ろ過:0.45μm径のメンブランフィルターを用いてろ過処理
超音波:超音波分散機ブランソニック3510J−MT(日本エマソン社製)を用いて、10分間の超音波照射処理
《透明電極の表面粗さの測定》
上記作製した各透明電極表面の算術平均粗さRa及び最大高さRzを測定した。測定には、AFM(セイコーインスツル社製、SPI3800Nプローブステーション及びSPA400多機能型ユニット)を使用し、約1cm角の大きさに切り取った各透明電極試料について、JIS B601(2001)に準拠した方法に従って、算術平均粗さRa及び最大高さRzを測定し、得られた測定結果を、表4及び表5に示す。
上記作製した各透明電極について、下記の方法に従って、未処理状態での透明性、導電性及び強制劣化後の透明性、導電性について評価を行った。
(透明性の評価)
各透明電極について、JIS K 7361−1:1997に準拠して、東京電色社製 HAZE METER NDH5000を用いて、全光線透過率を測定し、下記基準に従って、透明性の評価を行った。本発明の透明電極は、有機電子デバイスに適用するため、透過率としては、75%以上であることが実用上好ましい。
○:透過率が、75%以上、80%未満である
△:70%〜75%未満
×:70%未満
(導電性の評価)
各透明電極について、JIS K 7194:1994に準拠して、抵抗率計(ロレスタGP(MCP−T610型):三菱化学アナリテック社製)を用いて表面抵抗値を測定し、下記基準に従って、導電性の評価を行った。透明電極としては、表面抵抗値が100Ω/□以下であることが好ましく、有機電子デバイスを大面積化することができる観点からは、表面抵抗値としては30Ω/□以下であることが好ましい。
○:表面抵抗値が、30Ω/□以上、50Ω/□未満である
△:表面抵抗値が、50Ω/□以上、100Ω/□未満である
×:表面抵抗値が、100Ω/□以上、500Ω/□未満である
××:表面抵抗値が、500Ω/□以上である
〔耐久性の評価:強制劣化処理後の特性値〕
上記作製した各透明電極に対し、強制劣化処理として、80℃、相対湿度90%の環境下で5日間保存した後、上記方法と同様にして、透明性及び導電性の評価を行い、各特性値の低下状況を確認し、これを耐久性の尺度とした。
《有機EL素子の作製》
〔有機EL素子201の作製〕
実施例1で作製した透明電極101を用いて、以下の方法に従って、図4に示す製造フローに従って、図3に記載の構成からなる有機EL素子201を作製した。
実施例1で作製した透明電極101のポリマー導電層(図4に示す(6))上に、下記の方法に従って、真空蒸着法により、有機機能層として正孔輸送層、発光層、正孔ブロック層及び電子輸送層を形成した。
真空蒸着装置内の真空度を1×10−4Paまで減圧した後、化合物1の入った上記蒸着用るつぼに通電して加熱し、蒸着速度0.1nm/秒で、透明電極上の図4に示す(14)の領域に蒸着し、厚さ30nmの正孔輸送層を設けた。
次に、以下の手順に従って、発光層を形成した。
次いで、形成した発光層上に、図4に示す(14)の領域に、化合物6を蒸着して、厚さ5nmの正孔阻止層を形成した。
引き続き、形成した正孔阻止層上に、図4に示す(14)の領域に、CsFの膜厚比が10%となる条件で、化合物6と共蒸着し、厚さ45nmの電子輸送層を形成した。
上記形成した電子輸送層上に、Alを5×10−4Paの真空下で、図4に示す(16)の領域に蒸着し、厚さ100nmのカソード電極を形成した。
ポリエチレンテレフタレートを基材とし、Al2O3を厚さ300nmで蒸着した可撓性封止部材を用いて、上記第2電極まで形成した有機EL素子要素を封止した。
上記有機EL素子201の作製において、透明電極101を、それぞれ実施例1で作製した透明電極102〜157に変更した以外は同様にして、有機EL素子202〜257を作製した。
上記作製した各有機EL素子について、下記の方法に従って、電力効率、発光均一性及び素子寿命の評価を行った。
上記有機EL素子201の作製において、アノード電極として、透明電極101を、下記の方法に従って形成したITOパターン電極からなるアノード電極に変更した以外は同様にして有機EL素子を作製し、これを基準有機EL素子とした。
前記透明基板1上に、陽極としてITO(インジウム−スズの複合酸化物)を110nmの厚さで成膜してパターニングを行った後、このITO透明電極を付けた透明基板をイソプロピルアルコールで超音波洗浄し、乾燥窒素ガスで乾燥し、UVオゾン洗浄を5分間行って、アノード電極を作製した。
○:相対電力効率が、100%以上、150%未満である
△:相対電力効率が、80%以上、100%未満である
×:相対電力効率が、50%以上、80%未満である
××:相対電力効率が、50%未満である
〔発光均一性の評価〕
(強制試験前試料の評価)
KEITHLEY製のソースメジャーユニット2400型を用いて、直流電圧を各有機EL素子に印加して発光させた。1000cd/m2の条件で発光させた有機EL素子201〜253について、50倍の顕微鏡で各々の有機EL素子発光面での発光輝度ムラを観察し、下記の基準に従って、強制劣化前試料の発光均一性を評価した。
○:ほとんど均一発光しており、問題ない
△:部分的に若干発光ムラが見られ、発光均一性にやや劣る
×:全面にわたって強い発光ムラが認められ、実用上明らかに問題となる品質である
(強制試験後試料の評価)
上記作製した各有機EL素子を、オーブンにて60%RH、温度80℃の条件下で5時間加熱したのち、23±3℃、55±3%RHの環境下で1時間温調した後、上記強制試験前試料の評価と同様の方法で、発光均一性を評価した。
上記作製した有機EL素子201〜253と、電力効率の評価で用いた基準有機EL素子について、初期の発光輝度を5000cd/m2となるように駆動電圧を調整した後、その条件で連続発光させ、電圧を固定して、発光輝度が半減(2500cd/m2となる条件)するまでの半減時間を求めた。
○:相対半減時間が、100%以上、150%未満である
△:相対半減時間が、80%以上、100%未満である
×:相対半減時間が、80%未満である
以上により得られた結果を、表6及び表7に示す。
《透明電極の作製》
〔透明電極301の作製〕
実施例1に記載の透明電極115の作製において、ポリマー導電層の形成に用いたポリマー導電層形成用液状組成物15を、下記の組成からなるポリマー導電層形成用液状組成物31に変更した以外は同様にして、透明電極301を作製した。
下記の各添加剤を、順次混合した後、0.45μm径のメンブランフィルターを用いてろ過処理を施して、ポリマー導電層形成用液状組成物31を調製した。
非導電性ポリマー:乖離性基を有する自己分散型ポリマー:MD2000(バイロナールMD2000、東洋紡績社製、ポリエステル系エマルジョン樹脂、Tg=67℃)
3.23質量%
溶媒1:エチレングリコール(略称:EG) 6.0質量%
溶媒2:エチレングリコールモノプロピルエーテル(略称:EGPr)
8.0質量%
水 82.2質量%
〔透明電極302〜317の作製〕
上記透明電極301の作製に用いたポリマー導電層形成用液状組成物31において、非導電性ポリマーの種類、ポリマー濃度、溶媒1及び溶媒2の種類と添加量を、表8に記載の条件に変更した以外は同様にしてポリマー導電層形成用液状組成物32〜47を調製し、これを用いて透明電極302〜317を作製した。なお、導電性ポリマーと非導電性ポリマーとの質量比は、固形分比で15:85の一定条件とした。
DEG:ジエチレングリコール
TEG:トリエチレングリコール
PrOH:2−プロパノール
《透明電極の評価》
上記作製した透明電極301〜317と、実施例1で作製した透明電極154〜157について、下記の各評価を行った。
〔組成物の保存安定性の評価〕
組成物の保存安定性として、各透明電極の作製に用いたポリマー導電層形成用液状組成物31〜47を、ガラス製のサンプル瓶に充填して密封した後、25℃の恒温槽中で3日間保存し、保存前後での組成物の粘度を、振動式粘度計VISCOMATE VM−1G−MH(YAMAICHI.CO.LTD製)を用い、温度25℃の条件下で測定した。次いで、保存前の粘度に対する保存後の粘度の変動率(絶対値)を求め、下記の基準に従って、保存安定性を評価した。
◎:粘度変動率が、10%未満である
○:粘度変動率が、10%以上、20%未満である
△:粘度変動率が、20%以上、50%未満である
×:粘度変動率が、50%以上、100%未満である
××:粘度変動率が、100%以上である
〔吐出安定性の評価〕
各透明電極の作製に用いたポリマー導電層形成用液状組成物31〜47を、下記のインクジェット記録装置に装填し、組成物吸収能を備えたインクジェット専用紙上に吐出して、矩形の組成物による10cm×10cmのベタ画像パターンを形成した。形成したベタ画像について、ノズルの目詰まりに起因するスジ故障や白抜け故障の発生の有無を目視観察し、下記の基準に従って、インクジェット方式における吐出安定性の評価を行った。
△:形成したベタ画像に、スジ故障が1本以上、5本以下、または白抜け故障が1箇所以上、5箇所以下発生している
×:形成したベタ画像に、スジ故障が6本以上、または白抜け故障が6箇所以上発生している
〔パターン再現性の評価〕
各透明電極の作製に用いたポリマー導電層形成用液状組成物31〜47を、吐出安定性の評価に用いたのと同様のインクジェット記録装置を用いて、透明ガラス基板上に吐出して、矩形の組成物による10cm×10cmのベタ画像パターンを形成した。
△:オリジナル画像パターンに対し、縦横方向におけるズレ幅が0.5mm以上、1.0mm未満である
×:オリジナル画像パターンに対し、縦横方向におけるズレ幅が1.0mm以上、5.0mm未満である
××:オリジナル画像パターンに対し、縦横方向におけるズレ幅が5.0mm以上である
−:吐出不良により、評価可能な画像を形成することができなかった
以上により得られた結果を、表8に示す。
実施例3で作製した透明電極301〜307について、実施例2に記載の方法と同様にして、有機EL素子を作製し、同様の評価を行った結果、本発明の透明電極を用いた有機EL素子は、比較例に対し、電力効率、発光均一性、強制試験後の発光均一性(耐久性)及び素子寿命に優れていることを確認することができた。
2 透明基板
4 金属導電層
6 ポリマー導電層
10 有機EL素子
12 取出電極
14 有機機能層
16 対向電極
18 封止部材
Claims (8)
- 透明基板上に、導電性ポリマーと非導電性ポリマーとを含むポリマー導電層を有する有機電子素子用透明電極であって、
該ポリマー導電層の表面のJIS B0601(2001)に準拠した方法で測定した算術平均粗さRaが10〜100nmの範囲内であり、かつ最大高さRzが50〜500nmの範囲内であることを特徴とする有機電子素子用透明電極。 - 前記非導電性ポリマーが、解離性基を有する自己分散型ポリマーであり、かつガラス転移温度が25〜80℃の範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の有機電子素子用透明電極。
- 前記ポリマー導電層がポリマー導電層形成用液状組成物を用いて形成され、該ポリマー導電層形成用液状組成物は平均粒径が50〜300nmの範囲内にある粒子を含有することを特徴とする請求項1または2に記載の有機電子素子用透明電極。
- 前記ポリマー導電層を構成する前記導電性ポリマーが、フッ素化導電性ポリマー及び非フッ素化導電性ポリマーで構成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の有機電子素子用透明電極。
- 前記透明基板上に、更にパターン状に形成された金属導電層を有することを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の有機電子素子用透明電極。
- 請求項1から5のいずれか一項に記載の有機電子素子用透明電極を製造する有機電子素子用透明電極の製造方法であって、
ポリマー導電層は、導電性ポリマーと非導電性ポリマーとを含有するポリマー導電層形成用液状組成物を、インクジェット方式により、透明基材上に塗布及び乾燥して形成し、
該ポリマー導電層形成用液状組成物が、平均粒径が50〜300nmの範囲内にある粒子を含有し、
該非導電性ポリマーが解離性基含有自己分散型ポリマーであり、かつ、ガラス転移温度が25〜80℃の範囲内であることを特徴とする有機電子素子用透明電極の製造方法。 - 請求項1から5のいずれか一項に記載の透明電極を具備することを特徴とする有機電子素子。
- 前記有機電子素子が、有機エレクトロルミネッセンス素子または有機太陽電池素子であることを特徴とする請求項7に記載の有機電子素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012095716A JP5888084B2 (ja) | 2012-04-19 | 2012-04-19 | 有機電子素子用透明電極、有機電子素子用透明電極の製造方法、及び有機電子素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012095716A JP5888084B2 (ja) | 2012-04-19 | 2012-04-19 | 有機電子素子用透明電極、有機電子素子用透明電極の製造方法、及び有機電子素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013222688A true JP2013222688A (ja) | 2013-10-28 |
JP5888084B2 JP5888084B2 (ja) | 2016-03-16 |
Family
ID=49593507
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012095716A Expired - Fee Related JP5888084B2 (ja) | 2012-04-19 | 2012-04-19 | 有機電子素子用透明電極、有機電子素子用透明電極の製造方法、及び有機電子素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5888084B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014050344A1 (ja) * | 2012-09-27 | 2014-04-03 | 富士フイルム株式会社 | 有機電界発光素子 |
JP2015095438A (ja) * | 2013-11-14 | 2015-05-18 | 凸版印刷株式会社 | 透明電極、透明電極の製造方法、透明電極を備えた有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JP2016118819A (ja) * | 2014-12-18 | 2016-06-30 | 富士フイルム株式会社 | フィルム材料および導電材料の製造方法 |
JP2016192342A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-10 | パイオニア株式会社 | 発光装置 |
KR20170017929A (ko) * | 2014-06-05 | 2017-02-15 | 닛산 가가쿠 고교 가부시키 가이샤 | 전하 수송성 바니시 |
JP2018157099A (ja) * | 2017-03-17 | 2018-10-04 | 株式会社東芝 | 太陽電池、多接合型太陽電池、太陽電池モジュール及び太陽光発電システム |
JP2020035755A (ja) * | 2019-11-01 | 2020-03-05 | パイオニア株式会社 | 発光装置 |
WO2020066979A1 (ja) * | 2018-09-25 | 2020-04-02 | 日産化学株式会社 | 有機機能膜付き基板の製造方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005302508A (ja) * | 2004-04-12 | 2005-10-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 透明導電性シートおよびそれを用いたエレクトロルミネッセンス素子 |
JP2008518397A (ja) * | 2004-10-21 | 2008-05-29 | イーストマン コダック カンパニー | 高分子導電体ドナーおよび転写方法 |
JP2010199016A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Hitachi Maxell Ltd | 透明導電性シート及びその製造方法 |
JP2010244746A (ja) * | 2009-04-02 | 2010-10-28 | Konica Minolta Holdings Inc | 透明電極、透明電極の製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子 |
WO2011115147A1 (ja) * | 2010-03-17 | 2011-09-22 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 有機電子デバイスおよびその製造方法 |
JP2011198698A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 透明導電体及びその製造方法、入力デバイス |
-
2012
- 2012-04-19 JP JP2012095716A patent/JP5888084B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005302508A (ja) * | 2004-04-12 | 2005-10-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 透明導電性シートおよびそれを用いたエレクトロルミネッセンス素子 |
JP2008518397A (ja) * | 2004-10-21 | 2008-05-29 | イーストマン コダック カンパニー | 高分子導電体ドナーおよび転写方法 |
JP2010199016A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Hitachi Maxell Ltd | 透明導電性シート及びその製造方法 |
JP2010244746A (ja) * | 2009-04-02 | 2010-10-28 | Konica Minolta Holdings Inc | 透明電極、透明電極の製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子 |
WO2011115147A1 (ja) * | 2010-03-17 | 2011-09-22 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 有機電子デバイスおよびその製造方法 |
JP2011198698A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 透明導電体及びその製造方法、入力デバイス |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014050344A1 (ja) * | 2012-09-27 | 2014-04-03 | 富士フイルム株式会社 | 有機電界発光素子 |
JP2015095438A (ja) * | 2013-11-14 | 2015-05-18 | 凸版印刷株式会社 | 透明電極、透明電極の製造方法、透明電極を備えた有機エレクトロルミネッセンス素子 |
KR102098714B1 (ko) * | 2014-06-05 | 2020-04-08 | 닛산 가가쿠 가부시키가이샤 | 전하 수송성 바니시 |
KR20170017929A (ko) * | 2014-06-05 | 2017-02-15 | 닛산 가가쿠 고교 가부시키 가이샤 | 전하 수송성 바니시 |
US20170104161A1 (en) * | 2014-06-05 | 2017-04-13 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Charge-transporting varnish |
JPWO2015186688A1 (ja) * | 2014-06-05 | 2017-04-20 | 日産化学工業株式会社 | 電荷輸送性ワニス |
EP3154100A4 (en) * | 2014-06-05 | 2018-02-21 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Charge-transporting varnish |
US11018303B2 (en) | 2014-06-05 | 2021-05-25 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Charge-transporting varnish |
JP2016118819A (ja) * | 2014-12-18 | 2016-06-30 | 富士フイルム株式会社 | フィルム材料および導電材料の製造方法 |
JP2016192342A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-10 | パイオニア株式会社 | 発光装置 |
JP2018157099A (ja) * | 2017-03-17 | 2018-10-04 | 株式会社東芝 | 太陽電池、多接合型太陽電池、太陽電池モジュール及び太陽光発電システム |
US11031512B2 (en) | 2017-03-17 | 2021-06-08 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Solar cell, multijunction solar cell, solar cell module, and solar power generation system |
WO2020066979A1 (ja) * | 2018-09-25 | 2020-04-02 | 日産化学株式会社 | 有機機能膜付き基板の製造方法 |
CN112771995A (zh) * | 2018-09-25 | 2021-05-07 | 日产化学株式会社 | 带有有机功能膜的基板的制造方法 |
JPWO2020066979A1 (ja) * | 2018-09-25 | 2021-08-30 | 日産化学株式会社 | 有機機能膜付き基板の製造方法 |
JP7334741B2 (ja) | 2018-09-25 | 2023-08-29 | 日産化学株式会社 | 有機機能膜付き基板の製造方法 |
JP2020035755A (ja) * | 2019-11-01 | 2020-03-05 | パイオニア株式会社 | 発光装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5888084B2 (ja) | 2016-03-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5888084B2 (ja) | 有機電子素子用透明電極、有機電子素子用透明電極の製造方法、及び有機電子素子 | |
JP5987843B2 (ja) | 透明電極形成用組成物、透明電極、有機電子素子および透明電極の製造方法 | |
US9005747B2 (en) | Transparent electrode and organic electronic element using same | |
JP6020554B2 (ja) | 導電膜及び有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
JP6024351B2 (ja) | 導電膜及び有機エレクトロルミネッセンス素子並びに導電膜の製造方法 | |
US9640762B2 (en) | Method for producing transparent electrode and organic EL element | |
JP5655745B2 (ja) | 透明電極及び有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
JP5761058B2 (ja) | 透明導電膜の製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
WO2013061967A1 (ja) | 透明導電膜及び有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
JP5782855B2 (ja) | 透明電極及び有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
US10103347B2 (en) | Transparent electrode, method for manufacturing same, and organic electroluminescent element | |
JP2014229397A (ja) | 導電膜の製造方法、導電膜、有機電子素子及びタッチパネル | |
JP6003582B2 (ja) | 透明電極の製造方法 | |
JP6015764B2 (ja) | 透明導電膜及び有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
JP5884671B2 (ja) | 透明導電膜、有機エレクトロルミネッセンス素子及び透明導電膜の製造方法 | |
JP5834954B2 (ja) | 透明導電膜及び有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
JP5831303B2 (ja) | 透明導電膜及び有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
JP2012138311A (ja) | 透明導電膜基板および有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
JP2012243401A (ja) | 透明導電膜及び有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
WO2015093342A1 (ja) | 導電性フィルムの製造方法、導電性フィルム、有機電子素子及びタッチパネル | |
JP2014175272A (ja) | 透明電極の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141014 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150706 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150714 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150910 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160119 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160201 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5888084 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |