JP2013219540A - 圧電デバイス - Google Patents

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Abstract

【課題】本発明は、実装端子間のショートが防がれ、実装端子とプリント基板との接合強度が高められた圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電デバイス(100)は、プリント基板に表面実装され圧電振動片(130)を有する圧電デバイスであり、絶縁材料からなりプリント基板に実装される実装面を有するベース基板(120)と、実装端子(124)の周囲の少なくとも一部に形成され底面と該底面から実装面まで伸びる側面とを有する溝部(127)と、実装面と側面とに形成される少なくとも一対の実装端子と、を備える。
【選択図】 図1

Description

本発明はプリント基板上に実装される圧電デバイスに関し、特に圧電デバイスのベース基板の実装面に形成される実装端子の構造に関する。
表面実装用の圧電デバイスは小型化が進み、圧電デバイスの実装端子間の距離が狭くなってきている。そこで、圧電デバイスをプリント基板にハンダ付けしようとする場合、各実装端子間にオーバーフローしたハンダが互いに接続されてショートする場合がある。一方、ペースト状のハンダの量を少なめにすると、実装端子とプリント基板の配線パッドとの間で電気的導通が不十分になることもある。
特許文献1は、上記問題を解決するため、実装端子間に配置した凹部を備え、実装端子をプリント基板の配線パッド上にハンダ接続した際に、一方の実装端子から他方の実装端子へ向けて流出する溶融ハンダを止めている。
特開2001−326445
その一方で、圧電デバイスの小型化により実装端子の面積が小さくなり、プリント基板に加わる曲げ応力等で、圧電デバイスが剥がれてしまう問題もあった。特許文献1の圧電デバイスでは、圧電デバイスが剥がれてしまう問題を解決することができなかった。
そこで本発明は、実装端子間のショートが防がれ、プリント基板からの剥がれが防がれた圧電デバイスを提供することを目的とする。
第1観点の圧電デバイスは、プリント基板に表面実装され圧電振動片を有する圧電デバイスであり、絶縁材料からなりプリント基板に実装される実装面を有するベース基板と、実装端子の周囲の少なくとも一部に形成され底面と該底面から実装面まで伸びる側面とを有する溝部と、実装面と側面とに形成される少なくとも一対の実装端子と、を備える。
第2観点の圧電デバイスは、第1観点において、ベース基板が短辺と長辺とを含む長方形状であり、溝部が長辺のほぼ中心で短辺方向に伸びて、且つ一対の実装端子の間にのみ形成され、実装端子が実装面と長辺方向側の側面に形成される。
第3観点の圧電デバイスは、第1観点において、ベース基板が短辺と長辺とを含む長方形状であり、溝部が二対の実装端子の間で、且つ実装面の法線方向から見て十字形状に形成され、実装端子が実装面と長辺方向側の側面に形成され、短辺方向側の側面に形成されていない。
第4観点の圧電デバイスは、第1観点において、ベース基板が短辺と長辺とを含む長方形状であり、溝部が、二対の実装端子の間、且つ実装面の法線方向から見て十字形状に形成され、実装面の法線方向から見て、実装端子のそれぞれが時計回り又は反時計回りに、長辺方向側の側面に、短辺方向側の側面に、長辺方向側の側面に、短辺方向側の側面に形成される。
第5観点の圧電デバイスは、第1観点から第4観点において、溝部が一対の実装端子の間に二重に形成されている。
第6観点の圧電デバイスは、第1観点から第5観点において、ベース基板がガラス又は圧電材料からなり、且つ実装面の反対側の接合面の中央に凹部を有し、凹部と溝部とがエッチングにより同時に形成される。
第7観点の圧電デバイスは、第6観点において、凹部と溝部とが同じ深さに形成される。
第8観点の圧電デバイスは、第6観点又は第7観点において、ベース基板が接合面から実装面まで中央側に窪んで形成されるキャスタレーションを有し、実装端子がキャスタレーションにも形成される。
本発明によれば、実装端子間のショートを防ぐことができる圧電デバイスを提供することができる。
圧電デバイス100の分解斜視図である。 (a)は、ベース基板120の−Y’軸側の面の平面図である。 (b)は、プリント基板160及び圧電デバイス100の断面図である。 (a)は、ベース基板220の−Y’軸側の面の平面図である。 (b)は、図3(a)のB−B断面図である。 (a)は、ベース基板320の−Y’軸側の面の斜視図である。 (b)は、ベース基板320の−Y’軸側の面の平面図である。 (a)は、ベース基板420の−Y’軸側の面の斜視図である。 (b)は、ベース基板420の−Y’軸側の面の平面図である。 (a)は、ベース基板520の−Y’軸側の面の斜視図である。 (b)は、ベース基板520の−Y’軸側の面の平面図である。 (a)は、ベース基板620の−Y’軸側の面の斜視図である。 (b)は、ベース基板620の−Y’軸側の面の平面図である。 (a)は、ベース基板720の−Y’軸側の面の斜視図である。 (b)は、ベース基板720の−Y’軸側の面の平面図である。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
(第1実施形態)
<圧電デバイス100の構成>
図1は、圧電デバイス100の分解斜視図である。圧電デバイス100は、圧電振動片130と、リッド基板110と、ベース基板120と、により形成されている。圧電振動片130には例えばATカットの水晶振動片が用いられる。ATカットの水晶振動片は、主面(YZ面)が結晶軸(XYZ)のY軸に対して、X軸を中心としてZ軸からY軸方向に35度15分傾斜されている。以下の説明では、ATカットの水晶振動片の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をY’軸及びZ’軸として用いる。すなわち、圧電デバイス100においては圧電デバイス100の長辺方向をX軸方向、圧電デバイス100の高さ方向をY’軸方向、X及びY’軸方向に垂直な方向をZ’軸方向として説明する。
圧電デバイス100は、ベース基板120の+Y’軸側の面上に所定の振動数で振動する圧電振動片130が載置される。さらに圧電振動片130を密封するようにリッド基板110がベース基板120に接合されることにより圧電デバイス100が形成される。
圧電振動片130は、+Y’軸側及び−Y’軸側の主面に励振電極131が形成されている。また、各励振電極131からは−X軸方向に引出電極132が引き出されて形成されている。−Y’軸側の面に形成されている励振電極131に接続されている引出電極132は、−Y’軸側の面の−X軸側の−Z’軸側の端まで引き出されている。また、+Y’軸側に形成されている励振電極131に接続されている引出電極132は、励振電極131から−X軸側の+Z’軸側に伸び、+Z’軸側の側面を介して−Y’軸側の面の−X軸側の+Z’軸側の端まで引き出されている。圧電振動片130に形成される励振電極131及び引出電極132は、例えば圧電振動片130にクロム(Cr)層が形成され、クロム層の上に金(Au)層が形成されることにより形成される。
リッド基板110は、−Y’軸側の面に凹部111が形成されている。また、凹部111の周囲には接合面112が形成されている。リッド基板110は、接合面112においてベース基板120と接合される。
ベース基板120は、+Y’軸側の面に−Y’軸方向に凹む凹部121が形成されており、+Y’軸側の面の凹部121の周囲には接合面122が形成されている。凹部121には、圧電振動片130の引出電極132と電気的に接続される一対の接続電極123が形成されている。また、ベース基板120の−Y’軸側の面には、圧電デバイス100がプリント基板等に表面実装される実装面128、及び実装面128から+Y’軸方向に凹んだ溝部127が形成されている。実装面128には実装端子124が形成され、実装端子124はハンダ等を介してプリント基板に形成されるプリント基板電極に電気的に接続される。また、一対の接続電極123と一対の実装端子124とはベース基板120を貫通する貫通電極125(図2(a)参照)を介して互いに電気的に接続されている。ベース基板120は、例えばセラミックス、ガラス、又は水晶等の圧電材料等の絶縁材料により形成されることができる。
図2(a)は、ベース基板120の−Y’軸側の面の平面図である。ベース基板120は、X軸方向に伸びる長辺及びZ’軸方向に伸びる短辺を含む長方形状に形成されている。また、ベース基板120の側面の四隅及び短辺の中央には、ベース基板120の中央方向に窪んで形成されるキャスタレーション126a及びキャスタレーション126bが形成されており、ベース基板120の−Y’軸側の面の中央には、Z’軸方向に伸びる1本の溝部127が形成されている。溝部127は、実装面128から+Y’軸方向に凹んだX−Z’平面である底面127aと、X軸方向に垂直であり底面127aから実装面128まで伸びる側面127bと、により形成されている。ベース基板120の−Y’軸側の面には一対の実装端子124が形成されている。各実装端子124はベース基板120の+X軸側及び−X軸側であり、実装面128上に形成されている。実装端子124はまた、実装面128から側面127b及びキャスタレーション126bに伸びて形成されている。この側面127b及びキャスタレーション126bに形成されている実装端子124を、それぞれ側面電極124a及びキャスタレーション電極124bとする。
図2(b)は、プリント基板160及び圧電デバイス100の断面図である。図2(b)は図1のA−A断面及び図2(a)のA−A断面を含んでいる。圧電振動片130は導電性接着剤141によりベース基板120に固定されている。また、圧電振動片130の引出電極132は導電性接着剤141を介してベース基板120に形成されている接続電極123に電気的に接続されている。リッド基板110とベース基板120とは、接合面112と接合面122との間に形成される封止材142を介して互いに接合されている。一方、プリント基板160にはプリント基板電極161が形成されており、圧電デバイス100は、実装端子124とプリント基板電極161とがハンダ143により接合されることによりプリント基板160に実装される。ベース基板120に形成される実装端子124は側面電極124a及びキャスタレーション電極124bを含んでおり、ハンダ143は側面電極124a及びキャスタレーション電極124bの表面にも形成される。また、ハンダ143が側面電極124a及びキャスタレーション電極124bにも形成されることにより、プリント基板電極161と実装端子124との間からはみ出したハンダ143であるフィレット144が形成される。
圧電デバイス100では、ハンダ143が側面電極124a及びキャスタレーション電極124bにも形成されること、及びフィレット144が形成されることにより、ハンダ143と実装端子124との接触面積が広がる。このため、実装端子124とプリント基板電極161との接合強度が高められ、圧電デバイス100がプリント基板160から剥がれることが防がれる。また、ハンダ143は実装端子124に対して濡れ性が高いため、プリント基板電極161と実装端子124との間からオーバーフローしようとするハンダ143は側面電極124a及びキャスタレーション電極124bの表面に優先的に形成される。これにより、ハンダ143がプリント基板電極161と実装端子124との間から無秩序にオーバーフローすることが防がれるため、実装端子124間にオーバーフローしたハンダ143が互いに接続されてショートすることが防がれる。また、キャスタレーション電極124bに形成されるハンダ143が形成されることにより、圧電デバイス100のプリント基板160への接合状態を圧電デバイス100の外側から目視により確認することができる。
<ベース基板220の構成>
ベース基板120では、一対の実装端子124の間に2本の溝部が形成されていても良い。以下に、ベース基板120の変形例として一対の実装端子124の間に、溝部127の代わりに2本の溝部227が形成されたベース基板220について説明する。
図3(a)は、ベース基板220の−Y’軸側の面の平面図である。ベース基板220では、一対の実装端子124の間に2本の溝部227が形成されている。各溝部227は、Z’軸方向に伸びており、実装面128から+Y’軸方向に凹んだX−Z’平面である底面227aと、X軸方向に対して垂直であり底面227aから実装面128まで伸びる側面227aと、により形成されている。各溝部227の一方の側面227bには実装端子124の一部である側面電極124aが形成されている。また、各溝部227同士は互いに接していないため、実装端子124からハンダ143が溝部227にオーバーフローしたとしても各実装端子124からオーバーフローしたハンダ143同士が互いに電気的に接触することが防がれる。
図3(b)は、図3(a)のB−B断面図である。ベース基板220は、凹部121の深さをHY1、溝部227の深さをHY2とすると、深さHY1と深さHY2とが等しく形成される。ベース基板220がガラス又は水晶などにより形成される場合には、ベース基板220の製造において凹部121及び溝部227をエッチングすることにより形成することができる。ベース基板220では、凹部121と溝部227とを同時にエッチングすることで同時に形成することができ、凹部121と溝部227との深さが同じになる。このように、凹部121と溝部227とが同時にエッチングされる場合には、エッチングの回数、すなわちベース基板220の製造工程数を減らすことができるため好ましい。このような凹部121と溝部との深さが同じになるように形成することは、他の実施例において用いても良い。
(第2実施形態)
ベース基板には、3以上の複数の実装端子が形成されていても良い。以下に、第2実施形態として、4つの実装端子が形成されているベース基板について説明する。以下の説明では、第1実施形態と同じ部分に関しては、第1実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
<ベース基板320の構成>
図4(a)は、ベース基板320の−Y’軸側の面の斜視図である。ベース基板320は、側面の四隅にキャスタレーション126aが形成されており、−Y’軸側の面には図2(a)に示されるベース基板120と同様の1本の溝部127が形成されている。また、ベース基板320の−Y’軸側の面には、一対のホット端子324a及び一対のアース端子324bからなる4つの実装端子324が形成されている。ホット端子324aは、ベース基板320の−Y’軸側の面の+X軸側の−Z’軸側及び−X軸側の+Z’軸側に、貫通電極125を介して圧電振動片130の励振電極131に電気的に接続される端子として形成される。アース端子324bは、ベース基板320の−Y’軸側の面の+X軸側の+Z’軸側及び−X軸側の−Z’軸側に、圧電デバイスをアースするための端子として形成される。ホット端子324a及びアース端子324bは、溝部127の側面127b及びキャスタレーション126aに形成される側面電極324c及びキャスタレーション電極324dを含んでいる。
図4(b)は、ベース基板320の−Y’軸側の面の平面図である。ベース基板320を含む圧電デバイスは、実装端子324に形成されるハンダ143が図2(b)に示されるようなフィレット144を含んで形成される。そのため、ベース基板120と同様に、プリント基板160のプリント基板電極161との接合強度を高めることができる。また、ベース基板320には側面電極324c及びキャスタレーション電極324dが形成されているため、ハンダ143を側面電極324c及びキャスタレーション電極324dの方向に選択的に導くことができる。これにより、ベース基板320ではZ’軸方向に並んだホット端子324aとアース端子324bとの距離DZ1が狭く形成されても、ハンダ143が側面電極324c及びキャスタレーション電極324dの方向に選択的に向かうことにより、Z’軸方向に並んだホット端子324aとアース端子324bとに形成されるハンダ143が互いに電気的に接続することが防がれる。
<ベース基板420の構成>
図5(a)は、ベース基板420の−Y’軸側の面の斜視図である。ベース基板420は、ベース基板320において1つの溝部127の代わりに図3(a)及び図3(b)に示される2つの溝部227が形成されている。その他の構成は、ベース基板320と同様である。
図5(b)は、ベース基板420の−Y’軸側の面の平面図である。ベース基板420では、2つの溝部227同士が互いに繋がっていないため、各実装端子324に形成されるハンダ143が溝部227に流れ込んだ場合でも、X軸方向に向かい合う実装端子324に形成されるハンダ143同士が電気的に接触しない。
<ベース基板520の構成>
図6(a)は、ベース基板520の−Y’軸側の面の斜視図である。ベース基板520は、側面の四隅にキャスタレーション126aが形成されており、−Y’軸側の面には十字形状の溝部527が形成されている。溝部527は、底面527aと側面527bとにより形成されており、X軸方向に伸びる溝部とZ’軸方向に伸びる溝部とがベース基板520の−Y’軸側の面の中心で交差した形状を有している。ベース基板520の−Y’軸側の面には、一対のホット端子524a及び一対のアース端子524bからなる4つの実装端子524が形成されている。ホット端子524aは、ベース基板520の−Y’軸側の面の+X軸側の−Z’軸側及び−X軸側の+Z’軸側に形成されている。また、アース端子524bは、ベース基板520の−Y’軸側の面の+X軸側の+Z’軸側及び−X軸側の−Z’軸側に形成されている。ホット端子524a及びアース端子524bは、溝部527の側面527b及びキャスタレーション126aに形成される側面電極524c及びキャスタレーション電極524dを含んでいる。
図6(b)は、ベース基板520の−Y’軸側の面の平面図である。ベース基板520に形成される各実装端子524は、X軸側に形成される側面電極524a、Z’軸側に形成される側面電極524a、及びキャスタレーション126a側に形成されるキャスタレーション電極524bの3つの方向の側面に電極が形成されている。そのため、実装端子524の表面積が広くなり、実装端子524とプリント基板160との接合強度が強くなる。
<ベース基板620の構成>
図7(a)は、ベース基板620の−Y’軸側の面の斜視図である。ベース基板620は、−Y’軸側の面に溝部527が形成され、側面の四隅にはキャスタレーション126aが形成されている。また、ベース基板620には図4(a)及び図4(b)で示された実装端子324が形成されている。各実装端子324は、X軸方向に接する溝部527の側面527bに側面電極324cが形成されており、Z’軸方向に接する溝部527の側面527bには側面電極が形成されていない。
図7(b)は、ベース基板620の−Y’軸側の面の平面図である。ベース基板620に形成される溝部527は、Z’軸方向に伸びる溝部の幅が、X軸方向に伸びる溝部の幅よりも広く形成されている。そのためベース基板620は、図4(b)に示されたベース基板320と同じく、Z’軸方向に並んだホット端子324aとアース端子324bとの距離DZ1が狭く形成されても、側面電極324cの形成によりハンダ143をZ’軸方向に伸びる溝部の方向へ流すことにより、Z’軸方向に並んだホット端子324aとアース端子324bとに形成されるハンダ143が互いに電気的に接続することが防がれる。
<ベース基板720の構成>
図8(a)は、ベース基板720の−Y’軸側の面の斜視図である。ベース基板720の−Y’軸側の面には、溝部527、キャスタレーション126a、及び実装端子724が形成されている。実装端子724は一対のホット端子724a及び一対のアース端子724bを含んでいる。ホット端子724aは、ベース基板720の−Y’軸側の面の+X軸側の−Z’軸側及び−X軸側の+Z’軸側に形成されており、アース端子724bは、ベース基板720の−Y’軸側の面の+X軸側の+Z’軸側及び−X軸側の−Z’軸側に形成されている。ホット端子724a及びアース端子724bは、溝部527の側面527bの一部及びキャスタレーション126aに形成される側面電極724c及びキャスタレーション電極724dを含んでいる。
図8(b)は、ベース基板720の−Y’軸側の面の平面図である。+X軸方向の−Z’軸側のホット端子724aは−X軸側の側面527bに側面電極724cが形成されており、−X軸方向の−Z’軸側のアース端子724bは+Z’軸側の側面527bに側面電極724cが形成されており、−X軸方向の+Z’軸側のホット端子724aは+X軸側の側面527bに側面電極724cが形成されており、+X軸方向の+Z’軸側のアース端子724bは−Z’軸側の側面527bに側面電極724cが形成されている。すなわち、各実装端子724の時計回りの方向に側面電極724cが形成されている。そのため、隣接する実装端子724間のハンダ143は互いに向き合う方向にオーバーフローしないため、ハンダ143同士の電気的な接続が防がれる。図8(b)では、各実装端子724の側面電極724cが時計回りの方向に形成された場合を示しているが、側面電極724cは反時計回りの方向に形成されても良い。
以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。
例えば、上記実施形態のベース基板は実装端子と励振電極とが貫通電極125を介して電気的に接続されている。このような実施形態以外にも、貫通電極125の代わりにベース基板のキャスタレーションに形成されるキャスタレーション電極が接続電極123に電気的に接続されて実装端子と励振電極とが電気的に接続されても良い。また、圧電デバイスは、集積回路を有する水晶発振器であってもよい。
さらに、圧電振動片130はATカットの水晶振動片である場合を示したが、同じように厚みすべりモードで振動するBTカットなどであっても同様に適用できる。また、音叉型水晶振動片についても適用できる。さらに圧電振動片は水晶材料のみならず、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムあるいは圧電セラミックを含む圧電材料に基本的に適用できる。
100 … 圧電デバイス
110 … リッド基板
111 … 凹部
112 … 接合面
120、220、320、420、520 … ベース基板
121 … 凹部
122 … 接合面
123 … 接続電極
124、324、524 … 実装端子
124a、324c、524c、724c … 側面電極
124b、324d、524d、724d … キャスタレーション電極
125 … 貫通電極
126a、126b … キャスタレーション
127、227、527 … 溝部
127a、227a、527a … 底面
127b、227b、527b … 側面
128 … 実装面
130 … 圧電振動片
131 … 励振電極
132 … 引出電極
141 … 導電性接着剤
142 … 封止材
143 … ハンダ
144 … フィレット
160 … プリント基板
161 … プリント基板電極
324a、524a、724a … ホット端子
324b、524b、724b … アース端子

Claims (8)

  1. プリント基板に表面実装され、圧電振動片を有する圧電デバイスにおいて、
    絶縁材料からなり、前記プリント基板に実装される実装面を有するベース基板と、
    前記実装端子の周囲の少なくとも一部に形成され、底面と該底面から前記実装面まで伸びる側面とを有する溝部と、
    前記実装面と前記側面とに形成される少なくとも一対の実装端子と、
    を備えた表面実装用の圧電デバイス。
  2. 前記ベース基板は、短辺と長辺とを含む長方形状であり、
    前記溝部は、前記長辺のほぼ中心で前記短辺方向に伸びて、且つ一対の前記実装端子の間にのみ形成され、
    前記実装端子は、前記実装面と前記長辺方向側の前記側面に形成される請求項1に記載の表面実装用の圧電デバイス。
  3. 前記ベース基板は、短辺と長辺とを含む長方形状であり、
    前記溝部は、二対の前記実装端子の間で、且つ前記実装面の法線方向から見て十字形状に形成され、
    前記実装端子は、前記実装面と前記長辺方向側の前記側面に形成され、前記短辺方向側の前記側面に形成されていない請求項1に記載の表面実装用の圧電デバイス。
  4. 前記ベース基板は、短辺と長辺とを含む長方形状であり、
    前記溝部は、二対の前記実装端子の間、且つ前記実装面の法線方向から見て十字形状に形成され、
    前記実装面の法線方向から見て、前記実装端子のそれぞれが時計回り又は反時計回りに、前記長辺方向側の前記側面に、前記短辺方向側の前記側面に、前記長辺方向側の前記側面に、前記短辺方向側の前記側面に形成される請求項1に記載の表面実装用の圧電デバイス。
  5. 前記溝部は、一対の前記実装端子の間に二重に形成されている請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の表面実装用の圧電デバイス。
  6. 前記ベース基板は、ガラス又は圧電材料からなり、且つ前記実装面の反対側の接合面の中央に凹部を有し、
    前記凹部と前記溝部とは、エッチングにより同時に形成される請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の表面実装用の圧電デバイス。
  7. 前記凹部と前記溝部とは、同じ深さに形成される請求項6に記載の圧電振動片。
  8. 前記ベース基板は、前記接合面から前記実装面まで前記中央側に窪んで形成されるキャスタレーションを有し、
    前記実装端子は、前記キャスタレーションにも形成される請求項6及び請求項7に記載の表面実装用の圧電デバイス。
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5731880B2 (ja) * 2010-10-15 2015-06-10 日本電波工業株式会社 圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法
USD760230S1 (en) * 2014-09-16 2016-06-28 Daishinku Corporation Piezoelectric vibration device
AU2019225148A1 (en) * 2018-02-22 2020-09-17 Dexcom, Inc. Sensor interposers employing castellated through-vias

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3989663B2 (ja) * 2000-02-17 2007-10-10 セイコーインスツル株式会社 圧電振動子と圧電振動子の製造方法
WO2008102900A1 (ja) * 2007-02-20 2008-08-28 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd パッケージ型圧電振動子及びパッケージ型圧電振動子の製造方法

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