JP2013205174A - 圧力センサ並びに圧力計測装置及びその方法 - Google Patents

Abstract

【課題】圧力センサ並びに圧力計測装置及びその方法において、流路の位置に拘わらず圧力分布を適正に計測可能とする。
【解決手段】多数の貫通孔２１を有する多孔質部材２２における一方の面に感圧塗料２３が塗布されて他方の面に光透過性を有する補強部材２４が固定される圧力センサ１１と、圧力センサ１１における補強部材２４側に配置されて圧力センサ１１の計測面２３ａに励起光を照射する励起光源１２と、圧力センサ１１における補強部材２４側に配置されて圧力センサ１１における計測面２３ａからの発光光を受光するカメラ１３とを設ける。
【選択図】図１

Description

本発明は、蛍光燐光式の感圧塗料を用いて流路における圧力分布を計測可能な圧力センサ並びに圧力計測装置及びその方法に関するものである。

感圧塗料（ＰＳＰ：Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ Ｐａｉｎｔ）を用いて圧力の分布を計測することが知られている。この計測は、空気中の酸素分子が感圧塗料に含まれる蛍光・燐光色素（発光色素）の励起エネルギーを奪い、発光色素の発光光が消光する現象を利用するものである。即ち、計測面に感圧塗料を塗り、この感圧塗料に励起光を照射すると発光色素が発光し、この発光強度分布をカメラで撮影して画像処理を行うことで、計測面の圧力分布を計測することができる。

このような感圧塗料を用いた圧力計測技術としては、例えば、下記特許文献１に記載されたものがある。この特許文献１に記載された計測方法は、表面に無数の凹みが形成された多孔質基盤を用い、この多孔質基盤の表面に感圧塗料を塗布し、光源から多孔質基盤の感圧塗料に向けて励起光を照射し、カメラにより発光強度分布を撮影して画像処理を行うことで、計測面の圧力分布を計測するものである。

特開２０１１−１０６９４８号公報

上述した特許文献１に記載された計測方法では、表面に無数の凹みが形成された多孔質基盤を用い、この多孔質基盤の表面に感圧塗料を塗布している。この場合、光源は、多孔質基盤における感圧塗料が塗布された側から励起光を照射し、同じ側からカメラにより発光強度分布を撮影することとなる。即ち、多孔質基盤に対して流路側に光源とカメラを配置しなければならず、この光源とカメラの位置が限定されることで、流路の位置によっては計測することができないおそれがある。

本発明は上述した課題を解決するものであり、流路の位置に拘わらず圧力分布を適正に計測可能とする圧力センサ並びに圧力計測装置及びその方法を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するための本発明の圧力センサは、多数の貫通孔を有する多孔質部材と、前記多孔質部材における前記貫通孔が開口する一方の面に塗布される感圧塗料と、前記多孔質部材における前記貫通孔が開口する他方の面に設けられて光透過性を有する補強部材と、を有することを特徴とするものである。

従って、多数の貫通孔を有する多孔質部材一方の面に感圧塗料が塗布され、他方の面に光透過性を有する補強部材が設けられて圧力センサが構成されることから、光がこの圧力センサを透過することが可能となり、感圧塗料が塗布された計測面における圧力を圧力センサのどちらの面からも計測することができ、流路の位置に拘わらずこの流路の圧力分布を適正に計測することができる。

本発明の圧力センサでは、前記多孔質部材は、陽極酸化皮膜から構成されることを特徴としている。

従って、容易に低コストで多孔質部材を製造することができる。

また、本発明の圧力計測装置は、多数の貫通孔を有する多孔質部材における一方の面に感圧塗料が塗布されて前記他方の面に光透過性を有する補強部材が固定される圧力センサと、前記圧力センサにおける前記補強部材側に配置されて前記圧力センサの計測面に励起光を照射する励起光源と、前記圧力センサにおける前記補強部材側に配置されて前記圧力センサにおける前記計測面からの発光光を受光する撮像装置と、を有する、ことを特徴とするものである。

従って、圧力センサは、多数の貫通孔を有する多孔質部材一方の面に感圧塗料が塗布され、他方の面に光透過性を有する補強部材が設けられて構成され、感圧塗料が流路に面するように圧力センサを配置し、励起光源により補強部材側から励起光を照射すると、この励起光が補強部材を透過し、各貫通孔を通して感圧塗料に至って発光することとなり、撮像装置により補強部材側からこの発光光を撮影することで、計測面の圧力分布を計測することができる。その結果、流路側に励起光源や撮像装置を配置することなく、流路の圧力分布を適正に計測することができる。

また、本発明の圧力計測装置は、多数の貫通孔を有する多孔質部材における一方の面に感圧塗料が塗布されて前記他方の面に光透過性を有する補強部材が固定される圧力センサと、前記圧力センサの計測面に励起光を照射する励起光源と、前記圧力センサにおける前記計測面からの発光光を受光する撮像装置と、を有し、前記励起光源と前記撮像装置の一方が前記圧力センサにおける前記補強部材側に配置され、前記他方が前記感圧塗料側に配置される、ことを特徴とするものである。

従って、圧力センサは、多数の貫通孔を有する多孔質部材一方の面に感圧塗料が塗布され、他方の面に光透過性を有する補強部材が設けられて構成され、感圧塗料が流路に面するように圧力センサを配置し、例えば、励起光源により感圧塗料側から励起光を照射すると、この励起光が感圧塗料に至って発光することとなり、撮像装置により補強部材側から補強部材及び各貫通孔を通してこの発光光を撮影することで、計測面の圧力分布を計測することができる。その結果、励起光源と撮像装置を圧力センサを挟んで同軸上に配置することが可能となり、流路の圧力分布を適正に、且つ、高精度に計測することができる。

本発明の圧力計測装置では、前記補強部材は、前記撮像装置のフィルタまたはレンズで構成されることを特徴としている。

従って、補強部材として撮像装置のフィルタやレンズを用いることで、光透過性を有する補強部材を別途設ける必要がなく、構造の簡素化及び低コスト化を可能とすることができる。

また、本発明の圧力計測方法は、多数の貫通孔を有する多孔質部材における一方の面に感圧塗料が塗布されて前記他方の面に光透過性を有する補強部材が固定される圧力センサを、前記感圧塗料が流路に面するように配置し、前記圧力センサにおける前記補強部材側から励起光を照射し、前記圧力センサにおける前記補強部材からの発光光を受光し、前記受光光から前記流路の圧力を計測する、ことを特徴とするものである。

従って、流路側に励起光源や撮像装置を配置することなく、流路の圧力分布を適正に計測することができる。

また、本発明の圧力計測方法は、多数の貫通孔を有する多孔質部材における一方の面に感圧塗料が塗布されて前記他方の面に光透過性を有する補強部材が固定される圧力センサを、前記感圧塗料が流路に面するように配置し、前記圧力センサにおける前記感圧塗料と前記補強部材のいずれか一方側から励起光を照射し、前記他方側からの発光光を受光し、前記受光光から前記流路の圧力を計測する、ことを特徴とするものである。

従って、励起光源と撮像装置を圧力センサを挟んで同軸上に配置することが可能となり、流路の圧力分布を適正に、且つ、高精度に計測することができる。

本発明の圧力センサ並びに圧力計測装置及びその方法によれば、多数の貫通孔を有する多孔質部材における一方の面に感圧塗料を塗布して他方の面に光透過性を有する補強部材を固定して圧力センサを構成し、感圧塗料が流路に面するように圧力センサを配置し、圧力センサにおける補強部材側から、励起光源により感圧塗料に励起光を照射したり、撮像装置により感圧塗料の発光光を受光したりすることを可能とするので、流路の位置に拘わらず圧力分布を適正に計測することができる。

図１は、本発明の実施例１に係る圧力計測装置を表す概略図である。 図２は、実施例１の圧力計測装置に適用される圧力センサを表す概略図である。 図３は、本発明の実施例２に係る圧力計測装置を表す概略図である。 図４は、本発明の実施例３に係る圧力計測装置を表す概略図である。

以下に添付図面を参照して、本発明に係る圧力センサ並びに圧力計測装置及びその方法の好適な実施例を詳細に説明する。なお、この実施例により本発明が限定されるものではなく、また、実施例が複数ある場合には、各実施例を組み合わせて構成するものも含むものである。

図１は、本発明の実施例１に係る圧力計測装置を表す概略図、図２は、実施例１の圧力計測装置に適用される圧力センサを表す概略図である。

実施例１において、図１に示すように、圧力計測装置１０は、圧力センサ１１と、励起光源１２と、撮像装置としてのカメラ１３とを有しており、流路１４における圧力分布を計測することができる。

圧力センサ１１は、図１及び図２に示すように、多数の貫通孔２１を有する多孔質部材２２と、多孔質部材２２における各貫通孔２１が開口する一方の面に塗布される感圧塗料２３と、多孔質部材２２における各貫通孔２１が開口する他方の面に設けられて光透過性を有する補強部材２４とから構成されている。

多孔質部材２２は、孔径がナノミクロンオーダの無数の貫通孔２１が形成された薄板形状をなす基盤であり、例えば、陽極酸化皮膜から構成されている。なお、この多孔質部材２２は、陽極酸化皮膜に限るものではなく、これ以外に、例えば、シリカゲルや酸化アルミ粒子や二酸化チタン粒子などのような多孔質物質から形成してもよい。

感圧塗料２３は、周囲の圧力に応じて発光強度が変化する蛍光塗料であり、具体的には、周辺大気における酸素が塗料の蛍光（または、燐光）を消光させる作用を有している。即ち、酸素濃度は、静圧に比例するため、感圧塗料を多孔質部材２２に塗布することで、表面（計測面）２３ａの圧力分布を光学的に把握することができる。この感圧塗料２３は、感圧色素をポリマーによりバインドした混合物を有機溶剤に溶解して製造されたものであり、感圧色素としては、例えば、ポルフィリン系やルテニウム錯体などの遷移金属錯体、また、ピレン系分子などの多環式芳香族化合物などが用いられ、ポリマーとしては、例えば、フッ素系ポリマーが用いられる。本実施例にて、感圧塗料２３は、多孔質部材２２における一方の面に、例えば、スプレーガンにより薄く塗布されて形成された所定厚さの層である。この場合、感圧塗料２３は、多孔質部材２２の表面だけでなく、各貫通孔２１の内面にまで入り込んで付着している。なお、多孔質部材２２に対する感圧塗料２３の塗布処理は、スプレーガンによるものに限らず、刷毛による塗布、浸漬など他の方法であってもよい。

補強部材２４は、光透過性を有する材料、例えば、石英ガラスやアクリル樹脂（合成樹脂）などにより形成されている。そして、この補強部材２４は、多孔質部材２２における他方の面に固定されている。

励起光源１２は、感圧塗料２３に用いられる感圧色素の励起波長と発光波長に応じて設定されるものであり、キセノンランプなどが用いられる。カメラ１３は、受光部が高速度・高感度の光センサによって構成されたカメラであり、多孔質部材２２に塗布された感圧塗料２３の計測面２３ａの発光強度分布を撮影して画像処理を行うことで、計測面２３ａの圧力分布を計測することができる。

本実施例の圧力計測装置１０にて、圧力センサ１１は、流路１４側に感圧塗料２３の計測面２３ａが面するように配置され、圧力センサ１１における補強部材２４側に励起光源１２が配置されると共に、励起光源１２と同じ側にカメラ１３が配置される。この励起光源１２とカメラ１３は、圧力センサ１１の計測面２３ａに対してほぼ同距離となるように、支持部材１５に支持されている。なお、励起光源１２の光量やカメラ１３のレンズや絞りなどに調整可能とすれば、励起光源１２とカメラ１３を圧力センサ１１の計測面２３ａに対して同距離に設定する必要はない。

そして、本実施例の圧力計測装置１０による計測方法は、励起光源１２が圧力センサ１１における補強部材２４側から励起光を照射し、カメラ１３が圧力センサ１１における補強部材２４からの発光光を受光し、この受光光から流路１４の圧力分布を計測する。

具体的に説明すると、励起光源１２から圧力センサ１１に向けて励起光を照射すると、この励起光は、補強部材２４を透過し、多孔質部材２２の各貫通孔２１を通って感圧塗料２３に至る。この感圧塗料２３は、励起光が照射されると、蛍光・燐光色素が基底状態から励起状態へ移行し、内部転換を経て励起一重項状態に移行して発光（蛍光・燐光）する。酸素分子が感圧色素に付着すると、励起エネルギの一部が酸素分子によって奪われ、感圧色素の発光が阻害されて発光強度が低下する。

カメラ１３は、補強部材２４及び多孔質部材２２の各貫通孔２１を通して感圧塗料２３の発光を撮像する。ここで、感圧塗料２３にて、発光強度と酸素濃度とは逆相関関係をもつことから、発光強度により酸素濃度、つまり、酸素分圧を計測することができる。即ち、カメラが撮像した発光強度を色の濃淡に対して、計測面２３ａの酸素分圧を計測することができ、その結果、この計測面２３ａの近傍における流路１４の圧力分布を計測することができる。

このように実施例１の圧力センサにあっては、多数の貫通孔２１を有する多孔質部材２２と、多孔質部材２２における各貫通孔２１が開口する一方の面に塗布される感圧塗料２３と、多孔質部材２２における各貫通孔２１が開口する他方の面に設けられて光透過性を有する補強部材２４とから構成されている。

従って、多数の貫通孔２１を有する多孔質部材２２一方の面に感圧塗料２３が塗布され、他方の面に光透過性を有する補強部材２４が設けられて圧力センサ１１が構成されることから、励起光がこの圧力センサ１１を透過することが可能となり、感圧塗料２３が塗布された計測面２３ａにおける圧力を圧力センサ１１のどちらの面からも計測することができ、流路１４の位置に拘わらず、この流路１４の圧力分布を適正に計測することができる。

実施例１の圧力センサでは、多孔質部材２２を陽極酸化皮膜から構成している。従って、容易に低コストで多孔質部材を製造することができる。

また、実施例１の圧力計測装置にあっては、多数の貫通孔２１を有する多孔質部材２２における一方の面に感圧塗料２３が塗布されて他方の面に光透過性を有する補強部材２４が固定される圧力センサ１１と、圧力センサ１１における補強部材２４側に配置されて圧力センサ１１の計測面２３ａに励起光を照射する励起光源１２と、圧力センサ１１における補強部材２４側に配置されて圧力センサ１１における計測面２３ａからの発光光を受光するカメラ１３とを設けている。

従って、圧力センサ１１は、多数の貫通孔２１を有する多孔質部材２２一方の面に感圧塗料２３が塗布され、他方の面に光透過性を有する補強部材２４が設けられて構成され、感圧塗料２３が流路１４に面するように圧力センサ１１を配置し、励起光源１２により補強部材２４側から励起光を照射すると、この励起光が補強部材２４を透過し、各貫通孔２１を通して感圧塗料２３に至って発光することとなり、カメラ１３により補強部材２４側からこの発光光を撮影することで、計測面２３ａの圧力分布を計測することができる。その結果、流路１４側に励起光源１２やカメラ１３を配置することなく、流路１４の圧力分布を適正に計測することができる。

また、実施例１の圧力計測方法にあっては、圧力センサ１１における補強部材２４側から励起光を照射し、圧力センサ１１における補強部材２４からの発光光を受光し、受光光から流路１４の圧力を計測している。

従って、流路１４側に励起光源１２やカメラ１３を配置することなく、流路１４の圧力分布を適正に計測することができる。

図３は、本発明の実施例２に係る圧力計測装置を表す概略図である。なお、上述した実施例と同様の機能を有する部材には、同一の符号を付して詳細な説明は省略する。

実施例２では、図３に示すように、圧力計測装置３０は、圧力センサ１１と、励起光源１２と、カメラ１３とを有しており、流路１４における圧力分布を計測することができる。

圧力センサ１１は、多数の貫通孔２１を有する多孔質部材２２と、多孔質部材２２における各貫通孔２１が開口する一方の面に塗布される感圧塗料２３と、多孔質部材２２における各貫通孔２１が開口する他方の面に設けられて光透過性を有する補強部材２４とから構成されている。

本実施例の圧力計測装置３０にて、圧力センサ１１は、流路１４側に感圧塗料２３の計測面２３ａが面するように配置され、圧力センサ１１における補強部材２４側に励起光源１２が配置される一方、圧力センサ１１における感圧塗料２３側、つまり、流路１４にカメラ１３が配置される。この励起光源１２とカメラ１３は、圧力センサ１１の計測面２３ａに対してほぼ同距離となるように、且つ、励起光源１２の光軸Ｏ１と、カメラ１３の光軸Ｏ２がほぼ直線上に位置するように配置されている。

そして、本実施例の圧力計測装置３０による計測方法は、励起光源１２が圧力センサ１１における補強部材２４側から励起光を照射し、カメラ１３が圧力センサ１１における感圧塗料２３側からの発光光を受光し、この受光光から流路１４の圧力分布を計測する。

具体的に説明すると、励起光源１２から圧力センサ１１に向けて励起光を照射すると、この励起光は、補強部材２４を透過し、多孔質部材２２の各貫通孔２１を通って感圧塗料２３に至る。この感圧塗料２３は、励起光が照射されると、発光（蛍光・燐光）する。流路１４側にあるカメラ１３は、感圧塗料２３の計測面２３ａからの発光を撮像することで、計測面２３ａの近傍における流路１４の圧力分布を計測することができる。

このように実施例２の圧力計測装置にあっては、多数の貫通孔２１を有する多孔質部材２２における一方の面に感圧塗料２３が塗布されて他方の面に光透過性を有する補強部材２４が固定される圧力センサ１１と、圧力センサ１１における補強部材２４側に配置されて圧力センサ１１の計測面２３ａに励起光を照射する励起光源１２と、圧力センサ１１における感圧塗料２３側に配置されて圧力センサ１１における計測面２３ａからの発光光を受光するカメラ１３とを設けている。

従って、圧力センサ１１は、多数の貫通孔２１を有する多孔質部材２２一方の面に感圧塗料２３が塗布され、他方の面に光透過性を有する補強部材２４が設けられて構成され、感圧塗料２３が流路１４に面するように圧力センサ１１を配置し、励起光源２３により補強部材２４側から励起光を照射すると、この励起光が補強部材２４を透過し、各貫通孔２１を通して感圧塗料２３に至って発光することとなり、カメラ１３により感圧塗料２３側からこの発光光を撮影することで、計測面２３ａの圧力分布を計測することができる。その結果、励起光源１２とカメラ１３を圧力センサ１１を挟んで同軸上に配置することが可能となり、流路１４の圧力分布を適正に、且つ、高精度に計測することができる。

また、実施例２の圧力計測方法にあっては、圧力センサ１１における補強部材２４側から励起光を照射し、感圧塗料２３側からの発光光を受光し、受光光から流路１４の圧力を計測している。

従って、励起光源１２とカメラ１３を圧力センサ１１を挟んで同軸上に配置することが可能となり、流路１４の圧力分布を適正に、且つ、高精度に計測することができる。

なお、この実施例２では、圧力センサ１１における補強部材２４側に励起光源１２を配置する一方、圧力センサ１１における感圧塗料２３側にカメラ１３を配置したが、圧力センサ１１における補強部材２４側にカメラ１３を配置する一方、圧力センサ１１における感圧塗料２３側に励起光源１２を配置してもよい。

図４は、本発明の実施例３に係る圧力計測装置を表す概略図である。なお、上述した実施例と同様の機能を有する部材には、同一の符号を付して詳細な説明は省略する。

実施例３では、図４に示すように、圧力計測装置４０は、圧力センサ４１と、励起光源４２と、カメラ４３とを有しており、流路１４における圧力分布を計測することができる。

圧力センサ４１は、多数の貫通孔２１を有する多孔質部材２２と、多孔質部材２２における各貫通孔２１が開口する一方の面に塗布される感圧塗料２３と、多孔質部材２２における各貫通孔２１が開口する他方の面に設けられて光透過性を有する補強部材としてのフィルタ５１とから構成されている。

本実施例の圧力計測装置４０にて、圧力センサ４１は、流路１４側に感圧塗料２３の計測面２３ａが面するように配置され、圧力センサ４１における感圧部材２３側、つまり、流路１４に励起光源４２が配置される一方、圧力センサ４１における感圧塗料２３とは反対側にカメラ４３が配置される。この場合、カメラ４３は、所定の波長だけの光が入光するフィルタ５１を有しており、このフィルタ５１を介して多孔質部材２２が固定されている。即ち、カメラ４３のフィルタ５１は、光透過性を有することから、圧力センサ４１の補強部材として機能し、圧力センサ４１とカメラ４３が一体に構成されている。

そして、本実施例の圧力計測装置４０による計測方法は、励起光源４２が圧力センサ４１における感圧塗料２３側から励起光を照射し、カメラ４３がその反対側から感圧塗料２３の光を受光し、この受光光から流路１４の圧力分布を計測する。

具体的に説明すると、励起光源１２から圧力センサ４１に向けて励起光を照射すると、この励起光は感圧塗料２３に至り、発光（蛍光・燐光）する。圧力センサ４１における計測面２３ａの発光は、多孔質部材２２の各貫通孔２１からフィルタ５１を透過してカメラ４３が撮像することで、計測面２３ａの近傍における流路１４の圧力分布を計測することができる。

このように実施例３の圧力計測装置にあっては、圧力センサ４１と励起光源４２とカメラ４３とを設け、圧力センサ４１の一方の面に感圧塗料２３を塗布し、他方の面にカメラ４３のフィルタ５１を固定している。

従って、補強部材としてカメラ４３のフィルタ５１を用いることで、光透過性を有する補強部材を別途設ける必要がなく、構造の簡素化及び低コスト化を可能とすることができる。

なお、この実施例３では、補強部材としてカメラ４３のフィルタ５１を用いたが、カメラ４３の光学レンズを用いてもよい。

また、上述した各実施例では、多孔質部材２２に多数の貫通孔２１を設けたが、この貫通孔２１の貫通方向は、多孔質部材２２の厚さ方向に貫通していればよいものであり、多孔質部材２２の厚さ方向に平行であるものに限らず、傾斜していてもよいものである。

１０，３０，４０ 圧力計測装置
１１，４１ 圧力センサ
１２，４２ 励起光源
１３，４３ 撮像装置（カメラ）
１４ 流路
２１ 貫通孔
２２ 多孔質部材
２３ 感圧塗料
２３ａ 計測面
２４ 補強部材
５１ フィルタ（補強部材）

Claims (7)

1. 多数の貫通孔を有する多孔質部材と、
   前記多孔質部材における前記貫通孔が開口する一方の面に塗布される感圧塗料と、
   前記多孔質部材における前記貫通孔が開口する他方の面に設けられて光透過性を有する補強部材と、
   を有することを特徴とする圧力センサ。
2. 前記多孔質部材は、陽極酸化皮膜から構成されることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
3. 多数の貫通孔を有する多孔質部材における一方の面に感圧塗料が塗布されて前記他方の面に光透過性を有する補強部材が固定される圧力センサと、
   前記圧力センサにおける前記補強部材側に配置されて前記圧力センサの計測面に励起光を照射する励起光源と、
   前記圧力センサにおける前記補強部材側に配置されて前記圧力センサにおける前記計測面からの発光光を受光する撮像装置と、
   を有する、
   ことを特徴とする圧力計測装置。
4. 多数の貫通孔を有する多孔質部材における一方の面に感圧塗料が塗布されて前記他方の面に光透過性を有する補強部材が固定される圧力センサと、
   前記圧力センサの計測面に励起光を照射する励起光源と、
   前記圧力センサにおける前記計測面からの発光光を受光する撮像装置と、
   を有し、
   前記励起光源と前記撮像装置の一方が前記圧力センサにおける前記補強部材側に配置され、前記他方が前記感圧塗料側に配置される、
   ことを特徴とする圧力計測装置。
5. 前記補強部材は、前記撮像装置のフィルタまたはレンズで構成されることを特徴とする請求項３または４に記載の圧力計測装置。
6. 多数の貫通孔を有する多孔質部材における一方の面に感圧塗料が塗布されて前記他方の面に光透過性を有する補強部材が固定される圧力センサを、前記感圧塗料が流路に面するように配置し、
   前記圧力センサにおける前記補強部材側から励起光を照射し、
   前記圧力センサにおける前記補強部材からの発光光を受光し、
   前記受光光から前記流路の圧力を計測する、
   ことを特徴とする圧力計測方法。
7. 多数の貫通孔を有する多孔質部材における一方の面に感圧塗料が塗布されて前記他方の面に光透過性を有する補強部材が固定される圧力センサを、前記感圧塗料が流路に面するように配置し、
   前記圧力センサにおける前記感圧塗料と前記補強部材のいずれか一方側から励起光を照射し、
   前記他方側からの発光光を受光し、
   前記受光光から前記流路の圧力を計測する、
   ことを特徴とする圧力計測方法。

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