JP2013202558A - ダイコーター及び塗布膜の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基材上に形成された塗布膜の厚みを検知する検知部と、スロットの長手方向における塗布幅を変更させたとき、検知部の検知結果に基づいて、供給部によるキャビティへの塗布液の供給流量と排出部によるキャビティからの塗布液の排出流量とを制御し得る制御部とを備えているダイコーター。
【選択図】 図1
Description
すなわち、スロットの長手方向における塗布幅を変更させると、塗布液における単位塗布幅当たりのスロットを通過する通過流量が変化して、基材上に形成された塗布膜における上記長手方向(塗布膜の幅方向)全体の膜厚(膜厚の平均値)が変化することとなる。
具体的には、所定の塗布幅で、キャビティへの塗布液の供給流量及びキャビティからの塗布液の排出流量を設定した後、塗布幅を小さくさせると、上記通過流量が大きくなって、上記長手方向全体の膜厚が変更前よりも大きくなり、一方、塗布幅を大きくさせると、上記通過流量が小さくなって、上記長手方向全体の膜厚が変更前よりも小さくなる。
このため、塗布膜の膜厚が塗布幅の変更の前後で一定に設定されるようにするためには、塗布幅を小さくさせた場合には、上記通過流量が変更の前後で一定となるように、供給流量を変更前よりも小さくして塗布を行う必要があり、一方、塗布幅を大きくさせた場合には、上記通過流量が変更の前後で一定となるように、供給流量を変更前よりも大きくして、塗布を行う必要がある。
しかし、このように設定すると、塗布幅を小さくさせた場合には、小さくさせる前よりも、キャビティを通過する塗布液の流れ方向上流側に対する下流側の圧力損失が大きくなって、塗布膜における上記下流側の吐出で形成された部分が他の部分よりも薄くなる。一方、塗布幅を大きくさせた場合には、大きくさせる前よりも上記圧力損失が小さくなって、塗布膜における上記下流側の吐出で形成された部分が他の部分よりも厚くなる。
このように、塗布幅を変更させたとき、スロットを通過する通過流量における上記長手方向のバラツキが生じて塗布膜の上記長手方向における膜厚バラツキが生じることが判明した。
かかる知見に基づいて本発明者らがさらに鋭意研究したところ、塗布幅を小さくさせたときには、塗布幅の変更の前後で上記通過流量を一定にし、且つ、変更前よりも上記供給流量と排出流量とを小さくさせることによって、変更の前後での上記圧力損失の変化を抑制し得ることを見出した。また、塗布幅を大きくさせたときには、塗布幅の変更の前後で上記通過流量を一定にし、且つ、変更前よりも上記供給流量と排出流量とを大きくさせることによって、変更の前後での上記圧力損失の変化を抑制し得ることを見出した。
すなわち、変更の前後で上記通過流量を一定にし、且つ、変更前から上記供給流量と排出流量とを変化させることによって、塗布幅を適宜変更させても、変更の前後で、上記圧力損失が変化することを抑制して塗布液の通過流量における上記長手方向のバラツキを比較的小さくし得ることを見出した。
加えて、塗布幅を変更させたときの単位塗布幅当たりの通過流量の変化や、通過流量の上記長手方向のバラツキは、塗布膜の上記長手方向全体の膜厚の変化や、塗布膜の上記長手方向における厚みのバラツキとして現れるため、上記のように塗布幅を変更させたとき、塗布膜の厚みを検知し、得られた検知結果に基づいて、上記供給流量と上記排出流量とを制御することによって、変更の前後で、上記塗布液の通過流量における上記長手方向のバラツキを比較的小さくし得ることを見出し、本発明を完成するに至った。
塗布液を吐出するスロットと、前記スロットの長手方向に沿って配置されており前記スロットに塗布液を供給するキャビティとを備え、前記スロットから基材上に塗布液を吐出して該基材上に塗布膜を形成するダイコーターであって、
前記スロットの前記長手方向における塗布幅を変更させることができるように構成され、
前記キャビティの前記長手方向における第1の側に前記塗布液を供給する供給部と、前記長手方向における第2の側から前記塗布液を排出させる排出部とを備え、前記供給部により前記キャビティに供給された塗布液の一部が前記スロットを通過しつつ残りが前記排出部により排出されるように構成されており、且つ、
前記基材上に形成された塗布膜の厚みを検知し得る検知部と、
前記塗布幅を変更させたとき、前記検知部の検知結果に基づいて、前記供給部による前記塗布液の供給流量と前記排出部による前記塗布液の排出流量とを制御し得る制御部とを備えていることを特徴とする。
このように、上記検知部と制御部とを備えていることによって、塗布幅を適宜変更させても、変更の前後で上記圧力損失が変化することを抑制して、スロットを通過する塗布液の通過流量(吐出流量)における該スロットの長手方向(塗布膜の幅方向)のバラツキを比較的小さくし得る。
従って、スロットの長手方向における塗布幅を適宜変更させつつ、該長手方向に亘って膜厚バラツキが比較的小さい塗布膜を得ることが可能となる。
前記塗布膜の厚みが変更前よりも小さいとき、前記塗布幅の変更の前後で前記通過流量が一定となるように制御し、且つ、変更前よりも前記供給流量と前記排出流量とが大きくなるように制御するように構成されていることが好ましい。
塗布液を吐出するスロットと、該スロットに塗布液を供給するキャビティとを備えたダイコーターを用い、前記スロットから前記塗布液を吐出して基材上に塗布膜を作製する塗布膜の製造方法であって、
前記キャビティの長手方向における第1の側に前記塗布液を供給し、供給された塗布液の一部を前記スロットを通過させつつ残りを前記キャビティの前記長手方向における第2の側から排出させることにより、前記スロットから前記塗布液の一部を前記基材上に吐出する塗布工程を備え、
前記塗布工程では、
前記塗布幅を小さくなるように変更させたとき、変更の前後で前記スロットを通過する前記塗布液の単位塗布幅当たりの通過流量を一定にし、且つ、変更前よりも前記第1の側への前記塗布液の供給流量と前記第2の側からの前記塗布液の排出流量とを小さくさせ、
前記塗布幅を大きくなるように変更させたとき、変更の前後で前記通過流量を一定にし、且つ、変更前よりも前記供給流量と前記排出流量とを大きくさせて前記スロットから前記塗布液の一部を吐出することを特徴とする。
また、図5(b)に示すように、キャビティ22は、上方から見たとき、キャビティ22の第1の端部22a側から第2の端部22b側に向かうほどキャビティ22の短手方向の長さが小さくなるように形成され、スロット10は、上方から見たとき、短手方向の長さが長手方向に亘って一定であるように形成されていてもよい。このように形成されていることによって、図3(b)及び図4(b)に示す場合と比較して、第1の端部22aから第2の端部22bに向かうほど塗布液5の内圧を高めることが可能となるため、スロット10を通過する塗布液の通過流量のバラツキを上記長手方向に亘ってより小さくすることが可能となる。
供給部31の流量計31bによる供給流量の検知結果と、排出部33の流量計33bによる排出流量の検知結果は、制御部63に送信されるようになっている。
また、検知部61は、塗布膜55における上記長手方向第1の端部22a側及び第2の端部22b側(図3参照)の厚みを少なくとも検知し得るように構成されていることが好ましい。
このような検知部61として、固定式の検知部と、移動式の検知部とが挙げられる。
上記固定式の検知部は、例えば、複数備えられ、該複数の検知部が、塗布膜55と非接触に対向する位置において上記幅方向に沿って複数配置されるようになっている。また、これら複数の検知部61の検知結果は、制御部63に送信されるようになっている。また。固定式の検知部は、上記長手方向に沿って、図1に示すように2つ配置されているようになっていても、その他、3つ以上配置されるようになっていてもよい。
上記移動式の検知部は、例えば、1つ備えられ、該1つの検知部が、塗布膜55と非接触に対向する位置において上記長手方向に移動しながら塗布膜55の厚みを検知(スキャン)するようになっている。この検知部の検知結果は、上記同様、制御部63に送信されるようになっている。
図1に示す態様では、検知部61は、固定式であり、且つ、2つ備えられており、塗布膜55における上記長手方向第1の端部22a側及び第2の端部22b側(図3参照)の厚みを検知することができるようになっている。
図1の態様では、制御部63は、各検知部61の検知結果に基づいて、上記長手方向における塗布膜55の膜厚の平均値を算出するようになっている。また、算出された平均値と、検知部で検知された厚みとを記憶するようになっている。
また、塗布幅を変更させたとき、制御部63は、検知部61から送信された検知結果に基づいて、変更後の上記長手方向における塗布膜55の膜厚の平均値を算出するようになっている。
そして、制御部63は、変更後の膜厚の平均値が変更前の膜厚の平均値よりも大きくなったとき(塗布幅を小さくした場合に相当する。)、変更後の膜厚の平均値を変更前の膜厚の平均値に近づけるために、スロット10を通過する塗布液5の単位塗布幅当たりの通過流量が変更の前後で一定となるように、供給部31による供給流量が小さくなるように制御するようになっている。
さらに、制御部63は、このままでは上記第2の端部22b側(下流側)の膜厚が変更前よりも小さくなることから、上記通過流量を一定としつつ供給部31による供給流量と排出部33とが小さくなるように制御するようになっている。
なお、かかる双方小さくする制御は、第2の端部22b側の検知部61のみの検知結果に基づいて実行されるようになっていてもよく、また、第2の端部22b側と第1の端部22a側(上流側)の検知部61との検知結果のバラツキに基づいて実行されるようになっていてもよい。
一方、制御部63は、変更後の膜厚の平均値が変更前の膜厚の平均値よりも小さくなったとき(塗布幅を大きくした場合に相当する。)、変更後の膜厚の平均値を変更前の膜厚の平均値に近づけるために、スロット10を通過する塗布液5の単位塗布幅当たりの通過流量が変更の前後で一定となるように、供給部31による供給流量が大きくなるように制御するようになっている。
さらに、制御部63は、このままでは上記第2の端部22b側後の厚みが変更前よりも大きくなることから、上記通過流量を一定としつつ供給部31による供給流量と排出部333による排出流量とが大きくなるように制御するようになっている。
なお、かかる双方大きくする制御は、第2の端部22b側の検知部61のみの検知結果に基づいて実行されるようになっていてもよく、また、第2の端部22b側と第1の端部22a側の検知部61との検知結果のバラツキに基づいて実行されるようになっていてもよい。
また、制御部63は、前記供給流量、排出流量及び上記通過流量を、前記流量計31b、33bの検知結果に基づいて算出するようになっており、かかる算出結果に基づいて、ポンプ31aによる上記供給流量とポンプ33aによる上記排出流量を変化させるように構成されている。
このように、検知部61と制御部63とを備えていることによって、塗布幅を適宜変更させても、変更の前後で上記圧力損失が変化することを抑制して、スロット10を通過する塗布液の通過流量における該スロット10の長手方向(塗布膜の幅方向)のバラツキを比較的小さくし得る。
従って、スロット10の長手方向における塗布幅を適宜変更させつつ、該長手方向に亘って膜厚バラツキが比較的小さい塗布膜を得ることが可能となる。
上記nが0.99〜1.01の範囲外の塗布液は、上記nが0.99〜1.01の範囲以内の塗布液と比較して、せん断速度が大きくなるほど粘度の増加または低下が大きくなってスロット10からの塗布液5の吐出量が長手方向にバラツキ易いところ、本実施形態のダイコーター1は、このように吐出量がバラツキ易い塗布液を用いた場合であっても、スロット10からの吐出量のバラツキを抑制することが可能となるため、有用となる。
すなわち、塗布幅を変更前の塗布幅よりも小さくさせたとき(例えば図7のW1から図8のW2と小さくさせたとき)、変更の前後で上記通過流量を一定にしつつ、変更前よりも上記供給量と上記排出流量とを小さくさせ、塗布幅を変更前の塗布幅よりも大きくさせたとき(例えば図8のW2から図7のW1と大きくさせたとき)、変更の前後で上記通過流量を一定にしつつ、変更前よりも上記供給流量と上記排出流量を大きくさせるように構成されていることが好ましい。
従って、スロット10の長手方向における塗布幅を適宜変更させつつ、該長手方向に亘って膜厚バラツキが比較的小さい塗布膜を得ることが可能となる。
例えば、上記実施形態では、キャビティ22から排出された塗布液5をキャビティ22に循環させる構成を挙げたが、その他、排出された塗布液5を回収する構成を採用することもできる。また、上記実施形態では、複数のシムからシムを選択することによってスロット10の塗布幅を変更させることができるような構成としたが、スロット10の塗布幅を変更させることが可能であれば、他の構成を採用することもできる。
そこで、全通過流量を3.6L/minで一定にしつつ、排出流量を大きくしたところ(No.11〜No.13)、膜厚バラツキが小さくなった。また、排出流量が大き過ぎる場合には返って膜厚バラツキが大きくなる傾向にあり(No.14)、排出流量が2.5L/minのとき(No.12)、膜厚バラツキが最も小さかった。
この結果、塗布幅が600mmの場合、塗布条件をNo.12に設定することが最適であることがわかった。
一方、全通過流量を3.6L/minで一定にしつつ、排出流量を小さくしたところ(No.9)、No.10よりもさらに膜厚バラツキが大きくなった。
そこで、全通過流量を4.8L/minで一定にしつつ、排出流量を大きくしたところ(No.18〜No.22)、膜厚バラツキが小さくなった。また、排出流量が大き過ぎる場合には返って膜厚バラツキが大きくなる傾向にあり(No.21、No.22)、排出流量が3L/minのとき(No.20)、膜厚バラツキが最も小さかった。
この結果、塗布幅が800mmの場合、塗布条件をNo.20に設定することが最適であることがわかった。
一方、全通過流量を4.8L/minで一定にしつつ、排出流量を小さくしたところ(No.16)、No.17よりもさらに膜厚バラツキが大きくなった。
そこで、全通過流量を4.8L/minで一定にしつつ、排出流量を大きくしたところ(No.20)、膜厚バラツキが小さくなった。また、排出流量が大き過ぎる場合には返って膜厚バラツキが大きくなる傾向にあり(No.21、No.22)、排出流量が3L/minのとき(No.20)、膜厚バラツキが最も小さかった。
この結果、塗布幅が800mmの場合、塗布条件をNo.20に設定することが最適であることがわかった。
一方、全通過流量を4.8L/minで一定にしつつ、排出流量を小さくしたところ(No.16〜No.18)、No.19よりもさらに膜厚バラツキが大きくなった。
そこで、全通過流量を3.6L/minで一定にしつつ、排出流量を小さくしたところ(No.11、No.12)、膜厚バラツキが小さくなった。また、排出流量が小さ過ぎる場合には返って膜厚バラツキが大きくなる傾向にあり(No.9、No.10)、排出流量が2.5L/minのとき(No.12)、膜厚バラツキが最も小さかった。
この結果、塗布幅が600mmの場合、塗布条件をNo.12に設定することが最適であることがわかった。
一方、全通過流量を3.6L/minで一定にしつつ、排出流量を大きくしたところ(No.14)、No.13よりもさらに膜厚バラツキが大きくなった。
そこで、全通過流量を2.4L/minで一定にしつつ、排出流量を小さくしたところ(No.2〜No.5)、膜厚バラツキが小さくなった。また、排出流量が小さ過ぎる場合には返って膜厚バラツキが大きくなる傾向にあり(No.2)、排出流量が1.5L/minのとき(No.3)、膜厚バラツキが最も小さかった。
この結果、塗布幅が400mmの場合、塗布条件をNo.3に設定することが最適であることがわかった。
一方、全通過流量を2.4L/minで一定にしつつ、排出流量を大きくしたところ(No.7)、No.6よりもさらに膜厚バラツキが大きくなった。
そこで、全通過流量を2.4L/minで一定にしつつ、排出流量を小さくしたところ(No.3、No.4)、膜厚バラツキが小さくなった。また、排出流量が小さ過ぎる場合には返って膜厚バラツキが大きくなる傾向にあり(No.2)、排出流量が1.5L/minのとき(No.3)、膜厚バラツキが最も小さかった。
この結果、塗布幅が400mmの場合、塗布条件をNo.3に設定することが最適であることがわかった。
一方、全通過流量を2.4L/minで一定にしつつ、排出流量を大きくしたところ(No.6、No.7)、No.5よりもさらに膜厚バラツキが大きくなった。
Claims (5)
- 塗布液を吐出するスロットと、前記スロットの長手方向に沿って配置されており前記スロットに塗布液を供給するキャビティとを備え、前記スロットから基材上に塗布液を吐出して該基材上に塗布膜を形成するダイコーターであって、
前記スロットの前記長手方向における塗布幅を変更させることができるように構成され、
前記キャビティの前記長手方向における第1の側に前記塗布液を供給する供給部と、前記長手方向における第2の側から前記塗布液を排出させる排出部とを備え、前記供給部により前記キャビティに供給された塗布液の一部が前記スロットを通過しつつ残りが前記排出部により排出されるように構成されており、且つ、
前記基材上に形成された塗布膜の厚みを検知し得る検知部と、
前記塗布幅を変更させたとき、前記検知部の検知結果に基づいて、前記供給部による前記塗布液の供給流量と前記排出部による前記塗布液の排出流量とを制御し得る制御部とを備えていることを特徴とするダイコーター。 - 前記制御部は、前記検知部の検知結果に基づいて、前記塗布膜の厚みが変更前よりも大きいとき、前記塗布幅の変更の前後で前記スロットを通過する前記塗布液の単位塗布幅当たりの通過流量が一定となるように制御し、且つ、変更前よりも前記供給流量と前記排出流量とが小さくなるように制御し、
前記塗布膜の厚みが変更前よりも小さいとき、前記塗布幅の変更の前後で前記通過流量が一定となるように制御し、且つ、変更前よりも前記供給流量と前記排出流量とが大きくなるように制御するように構成されていることを特徴とする請求項1に記載のダイコーター。 - 前記塗布液は、せん断速度20〜2000(1/s)の範囲で粘度を測定したとき、粘度μ〔Pa・s〕、ゼロせん断速度μ0〔Pa・s〕及びせん断速度γ〔1/s〕について得られた式μ=μ0・γn-1において、nが0.99〜1.01の範囲外であることを特徴とする請求項1または2に記載のダイコーター。
- 前記塗布液は、ゴム系溶液、アクリル系溶液、シリコーン系溶液、ウレタン系溶液、ビニルアルキルエーテル系溶液、ポリビニルアルコール系溶液、ポリビニルピロリドン系溶液、ポリアクリルアミド系溶液、セルロース系溶液から選択されたいずれか1つ以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のダイコーター。
- 塗布液を吐出するスロットと、該スロットに塗布液を供給するキャビティとを備えたダイコーターを用い、前記スロットから前記塗布液を吐出して基材上に塗布膜を作製する塗布膜の製造方法であって、
前記キャビティの長手方向における第1の側に前記塗布液を供給し、供給された塗布液の一部を前記スロットを通過させつつ残りを前記キャビティの前記長手方向における第2の側から排出させることにより、前記スロットから前記塗布液の一部を前記基材上に吐出する塗布工程を備え、
前記塗布工程では、
前記塗布幅を小さくなるように変更させたとき、変更の前後で前記スロットを通過する前記塗布液の単位塗布幅当たりの通過流量を一定にし、且つ、変更前よりも前記第1の側への前記塗布液の供給流量と前記第2の側からの前記塗布液の排出流量とを小さくさせ、
前記塗布幅を大きくなるように変更させたとき、変更の前後で前記通過流量を一定にし、且つ、変更前よりも前記供給流量と前記排出流量とを大きくさせて前記スロットから前記塗布液の一部を吐出することを特徴とする塗布膜の製造方法。
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