JP2013199403A - カーボンナノチューブシート及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板上に下地層を介して触媒微粒子を形成し、前記触媒微粒子を触媒として前記下地層上に複数のカーボンナノチューブを成長させ、前記複数のカーボンナノチューブの間隙を充填層で充填したのち、前記充填層を冷却固化する際に、冷却固化時に生じる圧縮歪みを利用して前記第1下地層と前記基板とを剥離する。
【選択図】 図1
Description
(付記1)導電性の第1下地層と、前記第1下地層上に設けた酸化物からなる第2下地層と、前記第2下地層の表面に設けた触媒微粒子と、前記触媒微粒子を成長核として成長したカーボンナノチューブと、前記カーボンナノチューブの間隙を充填する充填層とを備えたことを特徴とするカーボンナノチューブシート。
(付記2)前記カーボンナノチューブの成長側の先端部が金属膜により被覆されていることを特徴とする付記1に記載のカーボンナノチューブシート。
(付記3)基板上に下地層を介して触媒微粒子を形成し、前記触媒微粒子を触媒として前記下地層上に複数のカーボンナノチューブを成長させる工程と、前記複数のカーボンナノチューブの間隙を充填層で充填する工程と、前記充填層を冷却固化する際に、冷却固化時に生じる圧縮歪みを利用して前記第1下地層と前記基板とを剥離する剥離工程とを有することを特徴とするカーボンナノチューブシートの製造方法。
(付記4)前記基板上に下地層を介して触媒微粒子を形成し、前記触媒微粒子を触媒として前記下地層上に複数のカーボンナノチューブを成長させる工程が、前記下地層上に触媒金属膜を形成したのち、ホットフィラメント化学気相成長法により、前記触媒金属膜を微粒子化して触媒微粒子を形成するとともに、前記触媒微粒子を触媒として前記下地層上に複数のカーボンナノチューブを成長させる工程であることを特徴とする付記3に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
(付記5)前記複数のカーボンナノチューブの間隙を充填層で充填する工程の前に、前記複数のカーボンナノチューブの成長側の先端部を金属膜で被覆する工程を備えていることを特徴とする付記3または付記4に記載のカーボンナノチューブシートの製造方法。
(付記6)前記下地層が、前記基板に接する導電性の第1下地層と、前記第1下地層に接する酸化物からなる第2下地層の2層構造からなることを特徴とする付記3乃至付記5のいずれか1に記載のカーボンナノチューブシートの製造方法。
(付記7)前記基板が、表面にSiO2膜を備えたシリコン基板、Al2O3基板、MgO基板或いはガラス基板のいずれかからなり、前記第1下地層がAu、Ag或いはPtのいずれかからなり、前記第2下地層がAl2O3からなり、前記充填層が熱可塑性樹脂からなることを特徴とする付記3乃至付記6のいずれか1に記載のカーボンナノチューブシートの製造方法。
(付記8)付記1または付記2に記載のカーボンナノチューブシートを発熱部と放熱部との間に配置し、加熱及び加圧することにより、前記熱可塑性樹脂の表面から前記カーボンナノチューブの先端を露出させ、前記カーボンナノチューブを前記発熱部または前記放熱部の一方とを熱的に接続させるとともに、前記下地層と前記発熱部または前記放熱部の他方とを熱的に接続させることを特徴とする熱拡散装置の製造方法。
2 第1下地層
3 第2下地層
4 触媒微粒子
5 カーボンナノチューブ
6 充填層
7 基板
8 絶縁膜
11 電子デバイス
12 バンプ
13 実装基板
14 放熱体
15 接着層
21 シリコン基板
22 SiO2膜
23 Au膜
24 Al2O3膜
25 Fe膜
26 Fe微粒子
27 カーボンナノチューブ
28 樹脂シート
29 樹脂層
30 Au被覆膜
Claims (5)
- 導電性の第1下地層と、
前記第1下地層上に設けた酸化物からなる第2下地層と、
前記第2下地層の表面に設けた触媒微粒子と、
前記触媒微粒子を成長核として成長したカーボンナノチューブと、
前記カーボンナノチューブの間隙を充填する充填層と
を備えたことを特徴とするカーボンナノチューブシート。 - 前記カーボンナノチューブの成長側の先端部が金属膜により被覆されていることを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブシート。
- 基板上に下地層を介して触媒微粒子を形成し、前記触媒微粒子を触媒として前記下地層上に複数のカーボンナノチューブを成長させる工程と、
前記複数のカーボンナノチューブの間隙を充填層で充填する工程と、
前記充填層を冷却固化する際に、冷却固化時に生じる圧縮歪みを利用して前記第1下地層と前記基板とを剥離する剥離工程と
を有することを特徴とするカーボンナノチューブシートの製造方法。 - 前記複数のカーボンナノチューブの間隙を充填層で充填する工程の前に、
前記複数のカーボンナノチューブの成長側の先端部を金属膜で被覆する工程を備えていることを特徴とする請求項3に記載のカーボンナノチューブシートの製造方法。 - 前記下地層が、前記基板に接する導電性の第1下地層と、前記第1下地層に接する酸化物からなる第2下地層の2層構造からなることを特徴とする請求項3または請求項4に記載のカーボンナノチューブシートの製造方法。
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