JP2011025129A - 触媒金属微粒子形成方法およびこれにより製造した触媒金属微粒子形成基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空チャンバ内に、炭素含有ガスに非反応の助触媒金属を導入すると共に、助触媒金属中に非金属元素を存在させ、次いで、炭素含有ガスに接触反応する触媒金属を導入し、次いで熱アニール処理を行うことで最表面に触媒金属微粒子を析出させる。
【選択図】図1
Description
4 バリア膜
6 Al膜
8 酸素
10 Al/Fe合金膜
12 Fe微粒子
14 CNT
Claims (4)
- 真空環境下の基板上に炭素含有ガスに非反応の助触媒金属を導入する工程と、
この助触媒金属中に非金属元素を存在させる工程と、
基板上に炭素含有ガスに接触反応する触媒金属を導入する工程と、
これら工程後に基板に対して熱アニール処理を施すことで基板上最表面に触媒金属微粒子を析出させる工程と、
を含むことを特徴とする触媒金属微粒子形成方法。 - 上記非金属元素が酸素である、請求項1に記載の方法。
- 上記助触媒金属が非磁性金属を主構成とし、上記触媒金属が磁性金属を主構成とする、請求項1または2に記載の方法。
- 請求項1ないし3のいずれかに記載の方法により製造されたものであり、最表面に複数の触媒金属微粒子を含む、ことを特徴とする触媒金属微粒子形成基板。
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