JP2013197127A - サーミスタ素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 サーミスタ素体2と、該サーミスタ素体の表面に形成された一対の電極膜3と、一対の電極膜の表面に部分的に形成された一対の中間層4と、一対の中間層の表面に設置された一対のリード線5と、中間層の表面に設置されたリード線の部分を覆うと共に電極膜の表面まで達してリード線を固定する固着用導電性接着剤6とを備え、中間層が、リード線に含まれる金属元素の内部への拡散特性が電極膜よりも低い材料で形成されている。
【選択図】 図1
Description
なお、特許文献2では、固着用耐熱導電性電極内の金属成分がガラス封着の加熱時に、厚膜電極内に拡散して抵抗値がばらつくことを防ぐため、サーミスタ素体上の厚膜電極上に別のブロック電極を塗布する方法が提案されている。
上述したように、リード線からサーミスタ素体に拡散した金属元素によってサーミスタ特性が変化してしまうため、これら金属元素の拡散を防ぐことが必要である。例えば、特許文献2の技術のように、表面電極の上に金属元素の拡散を抑える中間層を設けることが考えられるが、この場合、固着用導電性接着剤と中間層との間及び中間層とサーミスタ表面電極との間に、異種接合界面がサーミスタ素体上すべての面に新たに生じることにより電気的接合安定性および機械的接合安定性が低下する恐れがあった。
したがって、本発明は、上記知見から得られたものであり、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、第1の発明に係るサーミスタ素子は、サーミスタ素体と、該サーミスタ素体の表面に形成された一対の電極膜と、一対の前記電極膜の表面に部分的に形成された一対の中間層と、一対の前記中間層の表面に設置された一対のリード線と、前記中間層の表面に設置された前記リード線の部分を覆うと共に前記電極膜の表面まで達して前記リード線を固定する固着用導電性接着剤とを備え、前記中間層が、前記リード線に含まれる金属元素の内部への拡散特性が前記電極膜よりも低い材料で形成されていることを特徴とする。
中間層(表面電極よりも拡散特性が小さい層)の要件として、対象物質に対する拡散係数が表面電極よりも小さい物質、もしくは対象物質と混じり合わない(合金化しない、固溶しない)物質を主成分とした材料であることが望ましい。さらに、厚みが厚いほど拡散量は低下すると考えられることから、中間層の厚みを厚くすることは結果的には拡散特性を低下させるのと同義であり、中間層の厚みは厚ければなお望ましい。
さらに、中間層が形成されている領域以外では、従来通り電気的接続を保っているため、中間層自体の導電性は不要になり、絶縁体などでも構わないことから、材料の選択自由度が高い。
また、中間層にPd等の貴金属元素を用いる場合でも、部分的に中間層を形成するので、高価な金属の形成面積が少なく、低コストに作製することができる。さらに、全域に厚膜の中間層を塗布した場合、その後のダイシング工程において剥がれの原因となり得るが、リード線周辺のみに形成した場合、加工時の不良についても回避することが可能になる。
中間層を用いない場合、リード線がサーミスタ素体と接触する位置からの距離と拡散濃度との相関を求めたところ、リード線に接している部分の濃度が最も高く、リード線とサーミスタ素体との距離が広がるにつれて減少傾向がみられる。そして、リード線とサーミスタ素体との間隔が4.6μm以上では、拡散が顕著に減少する傾向がみられ、さらに13.4μm以上では拡散がほとんど起きていない。なお、リード線とサーミスタ素体との間隔が4.6μm程度の場合でも、その間にさらに拡散の程度が小さい物質を挟みこめば、さらに拡散を低減できると考えられる。
すなわち、このサーミスタ素子では、中間層の厚さが、4.6μm以上であるので、リード線の上記含有元素のサーミスタ素体への拡散を顕著に減少させることができる。なお、中間層の厚さが、13.4μm以上であることがより望ましい。
Agは対象金属と固溶体を形成し難く、500℃においては特にFe,Niに対してほとんど固溶しないことが知られており、またCuに対しても固溶量は5%以下と少ないため、Agを主成分とすることで拡散特性を抑制させることができる。一方、さらなる抑制対策としてAgにPd等を添加することで合金化し融点を上げることができ、拡散速度を低下させることが可能になる。すなわち、このサーミスタ素子では、中間層が、Agを主成分とする物質からなるので、リード線に含まれるFe,Ni,Cuに対して特に有効に拡散を抑制することができる。
すなわち、このサーミスタ素子では、サーミスタ素体が、ペロブスカイト型酸化物を含有する金属酸化物焼結体であるので、高温安定性に優れたペロブスカイト型酸化物系のサーミスタ素体における金属元素拡散の影響を抑制でき、サーミスタ特性を安定して得ることができる。
すなわち、本発明に係るサーミスタ素子によれば、リード線と接触する中間層が、リード線に含まれる金属元素の内部への拡散特性が電極膜よりも低い材料で形成されているので、中間層がリード線からの金属元素の拡散を抑制してサーミスタ素体へ侵入することを防止できると共に、露出した電極膜の表面とリード線とを固着用導電性接着剤により強固に接合させることができる。
したがって、本発明のサーミスタ素子は、プロセス条件や高温使用時によって抵抗値変化が少なく安定したサーミスタ特性を得ることができ、例えば自動車エンジン周りの触媒温度や排気系温度を検出する高温測定用センサとして好適である。
このサーミスタ素体2は、チップ状又はフレーク状に形成されており、その上下面に上記電極膜3が形成されている。
上記リード線5は、いわゆるジュメット線であり、Fe,Ni,Cu等の金属元素を構成成分として含有している。
上記中間層4は、リード線5に含まれる金属元素の内部への拡散特性が電極膜3よりも低い材料で形成されている。例えば、中間層4は、Ag,Pdの少なくとも一種を含んだ金属膜で形成されている。
また、中間層4の幅Wは、リード線5の直径φの半分以上に設定されている。この中間層4は、電極膜3の全面に形成されるのではなく、電極膜3の中央部に部分的にパターン形成され、中間層4の両側には電極膜3が露出している。この電極膜3が露出している領域は、十分な接合強度が得られるように十分な面積に設定されている。
上記固着用導電性接着剤6は、例えばAuペーストが使用される。また、上記モールド材7は例えばガラス材が採用される。
まず、出発原料である粉末のLa2O3,MnCO3,Cr2O3,CaCO3を所定量秤量および混合し、乾燥した後1300℃、5時間で仮焼を行う。さらに、粉砕後にプレス成形した後、1500℃で焼成を行い、焼結体ブロックを作製する。次に、焼結体ブロックを厚み0.3mm程度にスライス加工して、サーミスタウェハとする。
また、中間層4にPd等の貴金属元素を用いる場合でも、部分的に中間層4を形成するので、高価な金属の形成面積が少なく、低コストに作製することができる。さらに、全域に厚膜の中間層4を塗布した場合、その後のダイシング工程において剥がれの原因となり得るが、リード線5周辺のみに形成した場合、加工時の不良についても回避することが可能になる。
さらに、サーミスタ素体2が、ペロブスカイト型酸化物を含有する金属酸化物焼結体であるので、温安定性に優れたペロブスカイト型酸化物系のサーミスタ素体2における金属元素拡散の影響を抑制でき、サーミスタ特性を安定して得ることができる。
この測定では、図4の(a)に示すように中間層を挟んでいない従来例であるサーミスタ素子10と、図4の(b)に示すように上記実施形態に基づいて作製した本発明の実施例であるサーミスタ素子1とについて、それぞれリード線構成成分(Fe,Ni,Cu)の拡散状況をEPMA(電子線マイクロアナライザ)分析で確認した。なお、従来例のサーミスタ素子10は、中間層4を形成していない点以外は、本実施例のサーミスタ素子1と同様に作製した。
Claims (4)
- サーミスタ素体と、
該サーミスタ素体の表面に形成された一対の電極膜と、
一対の前記電極膜の表面に部分的に形成された一対の中間層と、
一対の前記中間層の表面に設置された一対のリード線と、
前記中間層の表面に設置された前記リード線の部分を覆うと共に前記電極膜の表面まで達して前記リード線を固定する固着用導電性接着剤とを備え、
前記中間層が、前記リード線に含まれる金属元素の内部への拡散特性が前記電極膜よりも低い材料で形成されていることを特徴とするサーミスタ素子。 - 請求項1に記載のサーミスタ素子において、
前記中間層の厚さが、4.6μm以上であることを特徴とするサーミスタ素子。 - 請求項1又は2に記載のサーミスタ素子において、
前記リード線が、Fe,Ni,Cuを含む材質からなり、
前記中間層が、Agを主成分とする物質からなることを特徴とするサーミスタ素子。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載のサーミスタ素子において、
前記サーミスタ素体が、ペロブスカイト型酸化物を含有する金属酸化物焼結体であることを特徴とするサーミスタ素子。
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