JP2013193090A - レーザー加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被加工物を保持する被加工物保持手段と、被加工物保持手段に保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段とを具備し、レーザー光線照射手段は、レーザー光線を発振するレーザー光線発振手段と、レーザー光線発振手段が発振したレーザー光線を集光して被加工物保持手段に保持された被加工物に照射する集光器と、レーザー光線発振手段と集光器との間に配設されレーザー光線発振手段が発振したレーザー光線を伝送する光学系とを具備しているレーザー加工装置であって、光学系と集光器との間にレーザー光線発振手段が発振したレーザー光線の波長を短波長に変換する波長変換機構が配設されている。
【選択図】図2
Description
該光学系と該集光器との間に該レーザー光線発振手段が発振したレーザー光線の波長を被加工物の加工に適した短波長に変換する波長変換機構が配設されている、
ことを特徴とするレーザー加工装置が提供される。
また、上記波長変換機構は、ペランブロッカープリズムによって分光された波長変換されなかったレーザー光線を吸収するビームダンパーを備えている。
更に、上記波長変換手段は、波長変換結晶を複数個備え、複数個の波長変換結晶が選択または組み合わせ可能に構成されている。
図示のレーザー光線照射手段6は、上記ケーシング61内に配設されたパルスレーザー光線発振手段62と、該パルスレーザー光線発振手段62によって発振されたパルスレーザー光線を伝送する光学系63と、該光学系63によって伝送されたパルスレーザー光線を集光して上記チャックテーブル36の保持面に保持された被加工物Wに照射する集光器64と、上記光学系63と集光器64との間に配設されパルスレーザー光線発振手段62によって発振されたパルスレーザー光線の波長を被加工物の加工に適した短波長に変換する波長変換機構65とを具備している。
図示の実施形態における波長変換機構65は、LBO結晶やCLBO結晶やBBO結晶からなる波長変換結晶を備えた波長変換手段66とペランブロッカープリズム69およびビームダンパー70とを具備している。
図示の実施形態における波長変換手段66は、図4に示すように第1の波長変換手段67と第2の波長変換手段68とからなっている。第1の波長変換手段67は、回転円盤671を具備している。回転円盤671は、図示の実施形態においては4個の貫通穴671a、671b、671c、671dを備えている。このように形成された回転円盤671の貫通穴671a、671b、671cには、それぞれLBO結晶からなる波長変換結晶672a、672b、672cが配設されており、貫通穴671dには波長変換結晶が配設されていない。第2の波長変換手段68も、第1の波長変換手段67の回転円盤671と同様の回転円盤681を具備している。回転円盤681は、図示の実施形態においては4個の貫通穴681a、681b、681c、681dを備えている。このように形成された回転円盤681の貫通穴681a、681b、681cには、それぞれCLBO結晶からなる波長変換結晶682a、682b、682cが配設されており、貫通穴681dには波長変換結晶が配設されていない。このように構成された第1の波長変換手段67と第2の波長変換手段68は、軸方向に互いに対向して配設され、図示しない回動機構によってそれぞれ軸心を中心として回動せしめられるようになっている。なお、上記LBO結晶からなる波長変換結晶672a、672b、672cおよびCLBO結晶からなる波長変換結晶682a、682b、682cは、それぞれ入力したレーザー光線の波長を1/2の波長に変換する機能を有している。従って、上記パルスレーザー光線発振手段62から発振された波長が1064nmのパルスレーザー光線は、LBO結晶からなる波長変換結晶672a、672b、672cまたはCLBO結晶からなる波長変換結晶682a、682b、682cのみを通過することによって波長が532nmのパルスレーザー光線に変換される。また、上記パルスレーザー光線発振手段62から発振された波長が1064nmのパルスレーザー光線は、LBO結晶からなる波長変換結晶672a、672b、672cおよびCLBO結晶からなる波長変換結晶682a、682b、682cを通過することによって波長が266nmのパルスレーザー光線に変換される。
36:チャックテーブル
37:加工送り手段
38:第1の割り出し送り手段
4:レーザー光線照射ユニット支持機構
43:第2の割り出し送り手段
5:レーザー光線照射ユニット
53:集光点位置調整手段
6:レーザー光線照射手段
62:パルスレーザー光線発振手段
63:光学系
64:集光器
65:波長変換機構
66:波長変換手段
67:第1の波長変換手段
671:回転円盤
672a、672b、672c:LBO結晶からなる波長変換結晶
68:第2の波長変換手段
681:回転円盤
682a、682b、682c:CLBO結晶からなる波長変換結晶
69:ペランブロッカープリズム
70:ビームダンパー
Claims (4)
- 被加工物を保持する被加工物保持手段と、該被加工物保持手段に保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段とを具備し、該レーザー光線照射手段は、レーザー光線を発振するレーザー光線発振手段と、該レーザー光線発振手段が発振したレーザー光線を集光して被加工物保持手段に保持された被加工物に照射する集光器と、該レーザー光線発振手段と該集光器との間に配設されレーザー光線発振手段が発振したレーザー光線を伝送する光学系とを具備しているレーザー加工装置において、
該光学系と該集光器との間に該レーザー光線発振手段が発振したレーザー光線の波長を短波長に変換する波長変換機構が配設されている、
ことを特徴とするレーザー加工装置。 - 該波長変換機構は、波長変換結晶を備えた波長変換手段と、該波長変換手段を通過し波長変換されたレーザー光線と波長変換されなかったレーザー光線とを分光するペランブロッカープリズムとからなり、該ペランブロッカープリズムによって分光された波長変換されたレーザー光線を該集光器に導く、請求項1記載のレーザー加工装置。
- 該波長変換機構は、該ペランブロッカープリズムによって分光された波長変換されなかったレーザー光線を吸収するビームダンパーを備えている、請求項2記載のレーザー加工装置。
- 該波長変換手段は、該波長変換結晶を複数個備え、複数個の該波長変換結晶が選択または組み合わせ可能に構成されている、請求項2記載のレーザー加工装置。
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