JP2013191267A - マルチレベルセル不発揮性メモリ(mlcnvm)の高効率ビット変換構造及びその方法 - Google Patents

マルチレベルセル不発揮性メモリ(mlcnvm)の高効率ビット変換構造及びその方法 Download PDF

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Abstract

【課題】本発明は、マルチレベルセル不発揮性メモリの高効率ビット変換の構造とその方法を提供する。
【解決手段】マルチレベルセル不発揮性メモリシステムにおいて、NVMセルの閾値電圧レベルの状態によりNVMセル中のマルチビット情報を表す。本明細書において、NVMセルの閾値電圧レベルのP個の状態はNグループの閾値電圧レベルに分けられ、各グループはM個の閾値電圧レベルを含む。ここで、P=N×Mである。対応するゲート電圧を印加することにより、各グループのM個の閾値電圧レベルを検知し解析することができる。N個の異なるゲート電圧を順次に印加することにより、NVMセルの閾値電圧レベルのP個の状態をマルチレベルセル不発揮性メモリセルの蓄積ビットに有効に変換できる。
【選択図】図5

Description

本発明は、マルチレベルセル(multi-level cell、MLC)不発揮性メモリ(Non-Volatile Memory、NVM)を解析(resolve)し、各NVMセルが有するマルチビット(multi-bit)に変換する(convert)仕組み(scheme)に関する。特に、マルチレベルセルの複数の閾値電圧(threshold voltage)は複数の閾値電圧グループに分けられ、これら閾値電圧グループは複数の閾値電圧サブグループを含む。対応ゲート電圧を各前記グループに印加することにより、各グループの閾値電圧サブグループを検知(sense)し解析することができる。複数の対応ゲート電圧を前記それぞれのMLC NVMセルの全てのグループに印加することにより、正確且つ有効に前記それぞれのMLCNVMセルのマルチビット情報が得られる。
半導体不発揮性メモリ、特にEEPROM(electrical erasable programmable read only memory)は、コンピュータ、電子情報ハードウェアから消費者家電に至るまで電子装置において幅広く応用されている。通常、EEPROMは、ファームウェアやデータを記憶するメカニズムとして、不発揮性メモリ分野における適切な位置(niche)にある。即ち、電力切断(power off)時でもファームウェアやデータを保存でき、又、必要に応じてファームウェアやデータを補修できる。フラッシュEEPROMは、特別に配置されたEEPROMと見なすことができ、全体的な(global)消去やセクタ単位での(sector-by-sector)電気的消去のみが行える。
電荷キャリア(charge carrier)を電荷蓄積層(charge-storage layer)へチャネルから注入して、MOSFET(metal-oxide-semiconductor field effect transistor) の閾値電圧Vthに変調(modulate)させる方法により、データをEEPROMセルに記憶する。例えば、NチャネルMOSFETの場合、電界効果トランジスタ(FET)チャネル領域上方のフローティングゲート(floating gate)又は誘電層(dielectric layer)中の電子蓄積(accumulation)は、前記MOSFETに比較的高い閾値電圧Vthを備えさせる。SLC (single level cell)半導体NVMの操作において、ゲート電圧を複数のSLM NVMセルのゲートに印加し、且つ前記ゲート電圧が高閾値電圧レベルグループと低閾値電圧レベルグループとの間である時、高閾値電圧を有するSLCNVMセルはオフ(off)にされ、低閾値電圧を有するSLCNVMセルは導通(on)される。
マルチレベル(MLC)不発揮性メモリ(NVM)の動作において、NVMセルの閾値電圧レベルの状態により、NVMセル中に記憶したマルチビット情報を表示する。EEPROMセルに記憶したビット数量は解析可能(resolvable)な閾値電圧レベル数量によって決まる。即ち、ビット数量=log(解析可能な閾値電圧レベル数量)である。一つ又は複数のゲート電圧を複数のMLCNVMセルのゲートに印加し、又、前記それぞれのMLCNVMセルのソース(source)及びドレイン(drain)もそれぞれバイアスがかけられることにより、前記それぞれのMLCNVMセルの閾値電圧レベルを検知する。
従来のMLCNVMセル中のマルチビット情報を読み取る方法は、シングルゲート電圧構造であり、固定ゲート電圧をバイアスソースとドレインを有するMLCNVMセルのゲートに印加する。MLCNVMセルの反応電流(response current)が前記印加ゲート電圧とNVMセルの閾値電圧との間の電圧差(Vg-Vth)の関数であるので、従って、その反応電流と複数の所定参考電流(preset reference current)を直接比較することにより前記それぞれのMLCNVMセルの状態を決定する。NOR型(NOR-type)フラッシュメモリの2ビットMLCNVMセルを例にすると、前記それぞれのMLCNVMセルの閾値電圧は4つのグループに分けられ、図1に示すように、それぞれ(11)、(10)、(01)と(00)によって表示される。閾値電圧グループ(01)と(00)との間の固定ゲート電圧Vaを前記それぞれのMLCNVMセルのゲートに印加する。電圧差がVa-Vth(11) > Va-Vth(10) > Va-Vth(01) > Va-Vth(00)である場合、前記それぞれのMLCNVMセルの対応する反応電流は、それぞれID(11) > ID(10) > ID(01) > ID(00)であり、そのうちID(11)、ID(10)、ID(01)、ID(00) 及びVth(11)、Vth(10)、Vth(01)、Vth(00)は、それそれ上述の4グループの反応電流と閾値電圧を意味する。ここで、(11)、(10)と(01)の3グループの電流は伝導電流であり、閾値電圧が前記印加ゲート電圧Vaに接近する場合、図1に示すように、(00)群の電流は、電流を切断するか又は伝導電流に接近する。前記それぞれのMLCNVMセルがゲート電圧Vaを印加されて生成した上述の4グループの反応電流中において、電流の大きさが前記4つの反応電流との間の3つの参考電流を選択する。ゲート電圧Vaを前記それぞれのMLCNVMセルのゲートに印加するという前提で、前記それぞれの反応電流と3つの参考電流を比較して、前記それぞれのMLCNVMセルの閾値電圧が特定のグループに属することを判定し、且つこれにより表すされる前記MLCNVMセルの状態を蓄積ビット情報に変換することができる。
上述のシングルゲート電圧を印加することにより前記それぞれのMLCNVMセルの蓄積ビットを判定する方法が最も早いものの、解析可能な閾電圧レベルの数量は電流検知の精確性により制限を受ける。この他、NVMセルの反応電流が印加するゲート電圧の特性に相対し、動作領域の両端に電流減衰(degeneracy)の現象が表示され、ここで、印加したゲート電圧が前記NVMセルの閾値電圧よりも低い場合、微小のリーク電流(leakage current)が発生し、また、強反転領域(strong inversion region)において、ある印加ゲート電圧を超えることにより、前記それぞれのMLCNVMセルの伝導電流が飽和する。前記電流減衰は、更に電流検知範囲を制限し、前記それぞれのMLCNVMセルの前記印加ゲート電圧より低いか若しくは当該印加ゲート電圧を超える閾値電圧を解析する。通常、典型的なNOR型フラッシュメモリにとって、印加されるシングルゲート電圧が解析可能な閾値電圧範囲は約数ボルト(volt)である。
MLCNVMセル中のマルチビット情報を読み取る従来の別の方法は、変動ステップ型(varying step)ゲート電圧構造であり、複数のゲート電圧(即ち多重ゲート電圧)を前記それぞれのMLCNVMセルのゲートに印加する。印加したゲート電圧は前記それぞれのMLCNVMセルの閾値電圧より大きい場合、前記それぞれのMLCNVMセルは導通(オン)され、印加したゲート電圧が前記それぞれのMLCNVMセルの閾値電圧より小さい場合、前記それぞれのMLCNVMセルは切られる(オフ)。伝導電流によりオン及びオフの状態を検知し、前記印加ゲート電圧と前記それぞれのMLCNVMセルの閾値電圧との間の電圧差により発生する伝導電流量を気にしなくてもよい。よって、この構造では、MLCNVMセルのセンスアンプ(sense amplifier)が出力する情報は、前記それぞれのMLCNVMセルの閾値電圧が前記印加ゲート電圧よりも大きい(又は小さい)ことを表す。図2に示すように、従来の2ビットMLCのNAND型フラッシュメモリを例にすると、3つのゲート電圧を前記それぞれのMLCNVMセルのゲートに印加する。前記3つのゲート電圧の大きさは、4つの閾値電圧グループ(11)、(10)、(01)と(00)との間である。上記3つのゲート電圧を順次に印加した後、前記それぞれのMLCNVMセルに蓄積された2ビット情報は、予め設計された論理回路(pre-designed logic circuitry)を介して、前記それぞれのMLCNVMセルのセンスアンプの出力に基づき変換される。
アメリカ特許公告番号US 7,400,527号及び7,606,069号において、デジタル/アナログコンバータ(digital-to-analog converter、DAC)を応用することにより、複数の対応ゲート電圧を生成して前記それぞれのMLCNVMセルに印加する。前記それぞれのMVMセルが複数の応力漸増型(incremental step)のゲート電圧に応答することによりオフの状態から導通状態へ変化する場合、前記DAC中で前記状態を表す対応ビットは読み取りデータバッファ(read data buffer)に書き込まれる。前記シングルゲート電圧構造に比べ、多重ゲート電圧構造は小さい閾値電圧レベルを解析できるものの、印加電圧の回数の増加により複数のゲート電圧を前記それぞれのMLCNVMセルに印加する時間も増加する。典型的な各セルに2つのビットを有するNOR型MLCフラッシュメモリが約100ナノ秒(nanosecond)(~10-7 s)だけでビット読取を行うのに対して、セルごとに4つのビットを有するMLCNVMセルにおいては、合計15ステップのゲート電圧を印加することにより、前記それぞれのMLCNVMセルの蓄積ビットを読み取り、数マイクロ秒(microsecond)(>10-6 s)以上かかってしまう。
アメリカ特許公告番号US 7,400,527号公報 アメリカ特許公告番号US 7,606,069号公報
上述の前記シングルゲート電圧構造の検知制限及び前記多重ゲート電圧構造の緩慢なビット読み取り速度を解決するために、MLCNVMセルにおいて、本発明は、ビット読取構造を提供して、高い閾値電圧解析性(resolution)及び速いビット読み取り速度を実現する。
MLCNVM素子システムにおいて、図3に示すように、複数のNVMセルの閾値電圧は(P-1)個の閾値電圧レベル及び消去閾値電圧レベルにプログラミングされ、ここで、Pは、整数(integer)である。この素子システムにおいて、各NVMセルのビット数は、log2(P)により算出される。前記それぞれのNVMセルの閾値電圧レベルはNグループに分けられ、各グループは、M個の閾値電圧レベルを含み、そのうちP= N×Mである。前記MLCNVM素子システムにおいて、N個の閾値電圧グループに対応するN個の印加ゲート電圧は、第1ビットフォーマットの複数個の状態に指定され、そのビット数は、log2(N)により算出される。各グループのM個の閾値電圧状態は、第2ビットフォーマットにより表わされ、そのビット数は、log2(M)により算出される。従って、前記MLCNVM素子システムの総ビット数は、(P)=log2(N)+ log2(M)により算出され、ここで、log(N)≠0及びlog(M)≠0である。
前記MLCNVM素子システム中の蓄積ビット情報を読み取るために、対応ゲート電圧に応答して、M+1個の参考電流(そのうち低限界(bound) 参考電流と高限界参考電流を含む)により、MLCNVMセルの各閾値電圧グループ中のM個の閾値電圧レベルを解析する。印加するゲート電圧Vaj (そのうちj=0、 ...、 (N-1))にとって、IDにより前記それぞれのMLCNVMセルの電流を表し、この電流は前記印加したゲート電圧と前記閾値電圧間の電圧差 (Vaj−Vthk)の関数であり、ここで、k=1、...、Pである。前記印加ゲート電圧が前記それぞれのMLCNVMセルの閾値電圧より小さい場合、つまりVaj < Vthkであり、前記それぞれのMLCNVMセルはオフにされる。前記MLCNVMセルをオン及びオフにする臨界電流を低限界参考電流と選択的に定義する。前記印加するゲート電圧Vajに応答して、この低限界参考電流は、複数の高い閾値電圧レベル中から目標閾値電圧グループを区分するのに用いられる。(M−1)個の参考電流により、前記それぞれのNVMセルの伝導電流は、更にM個のサブグループに分けられ、ここで、前記(M−1)個の参考電流は、前記それぞれのNVMセルが印加されるゲート電圧Vajの状態で、電流量の大きさがNVMセルの複数の反応伝導電流との間の電流から選択される。前記印加されるゲート電圧Vajに応答し、高限界参考電流は複数の低閾値電圧レベル中から目標閾値電圧グループを区分することに用いられる。前記それぞれのNVMセルが前記印加するゲート電圧Vajに応答して生成した反応電流が、前記低限界参考電流と前記高限界参考電流との間の場合、ゲートスイッチ(gate switch)は、第jグループ(即ち、上述の目標閾値電圧グループ)の閾値電圧を表す複数のビット(=logN個のビット)が読み取りバッファの第1パート(part)に書き込まれ、同時に、M個の閾値電圧サブグループ状態を表す複数のビット(=logM個のビット)が読取バッファの第2パートに書き込まれる。同時に、前記それぞれのNVM閾値電圧レベルのM個の状態にとって、前記それぞれのNVMセルが印加するゲート電圧Vajに応答して生成した反応電流は検知されると同時に、M−1個の参考電流と比較される。論理回路を経由して、前記目標閾値電圧グループ中のNVM閾値電圧レベル状態は複数のビットに変換されて、前記それぞれの読取バッファの第2パートに書き込まれる。N個のゲート電圧を前記それぞれのNVMセルのゲートに印加を完了した後、前記それぞれのMLCNVMセルを表す"P= N×M"個の閾値電圧レベルの蓄積ビットは完全に変換され、前記それぞれの読取バッファに書き込まれる。
従来のNOR型フラッシュメモリ中の各セルに2個のビットを有するMLCNVMセルの閾値電圧レベルの分布及び印加するシングルゲート電圧を表す。 従来のNAND型フラッシュメモリ中の各セルに2個のビットを有するMLCNVMセルの閾値電圧レベルの分布及び印加する複数のゲート電圧を表す。 本発明に基づく、"P= N×M"個の閾値電圧レベルの分布及びN個のゲート電圧を印加して各グループ中のM個の閾値電圧レベルを解析することを示す。 本発明の実施例に基づき、P=4、N=2及びM=2の場合、各セルに2つのビットを有するMLCNVMフラッシュメモリ中の閾値電圧の分布及び複数の印加ゲート電圧を示す。 図4に基づく、本発明の不発揮性メモリ構造を示す概略図である。 本発明の実施例に基づく、P=8、N=2及びM=4である場合、各セルに3個のビットを有するMLCNVMフラッシュメモリ中の閾値電圧の分布及び複数の印加ゲート電圧を示す。 図6に基づく、本発明の不発揮性メモリ構造を示す概略図である。 本発明の実施例に基づき、P=16、N=4及びM=4である場合、各セルに4個のビットを有するMLCNVMフラッシュメモリ中の閾値電圧の分布及び複数の印加ゲート電圧を示す。 図8に基づく、本発明の不発揮性メモリ構造を示す。
本発明は、単一の半導体NVMセル中において、マルチビットの読取(multi-bit reading)を実現する方法と構造を提供する。以下の説明において、当業者は本発明が各種可能な方法により実施できることが理解できるように、本発明の複数の実施例を挙げるが、下記で示される実施例又は実施例中の特徴に制限されるものではない。
<実施例>
図4は、本発明に基づく実施例であり、各セルに2個のビットを有するMLCNVMフラッシュメモリ(P=4、N=2及びM=2)が有する(11)、(10)、(01)と(00)の4グループの閾値電圧の分布、及び二つの印加ゲート電圧Va0とVa1を示す。図5は、本発明の不発揮性メモリ構造の概略図であり、ここで、2個のビットデータバッファ510と512はそれぞれQ0とにより表示され、つまり、(Q)は、上述の4個の閾値電圧グループを表す。前記それぞれのデータバッファ510と512に書き込まれたビットデータは、それぞれデジタル値(digital value)により印加ゲート電圧の2個の状態を表す状態レジスタ(status register)580からであり、NVMセル570の反応電流状態を区別するレベル比較器(level comparator)554からの比較結果に用いられる。ゲートスイッチ(gate switch) 520と522は、状態レジスタ580のビットデータとレベル比較554の比較結果のビットデータをデータバッファ510と512へ送信(pass)して、前記それぞれのNVMセルが前記印加ゲート電圧Vajに応答して生成した反応電流の大きさは、低限界参考電流RLBと高限界参考電流RHBの範囲内の論理状態の場合、ゲートスイッチ520と522は、導通(オン)される。
印加ゲート電圧の状態レジスタ580の値がそれぞれ1及び0である場合、それぞれ印加するゲート電圧がVa0及びVa1を表す。レベル比較器554はNVMセル570が印加ゲート電圧Vajに応答して生成した反応電流とレベル参考電流RLとを比較する。レベル比較器554が正論理レベル(論理1)と負論理レベル(論理0)を出力した場合、NVMセル570の反応電量はレベル参考電流RLより大きい及びより小さいことをそれぞれ表す。低限界比較器550が正論理レベル(論理1)を出力した場合、NVMセル570の反応電流は前記低限界参考電流RLBより大きいことを表し、高限界比較器552が正論理レベル(論理1)を出力した場合、NVMセル570の反応電流は前記高限界参考電流RHBより低いことを表す。前記低限界比較器550と前記高限界比較器552の出力信号が論理"AND"ゲート530にフィードインされて2つのゲート切替器520と522を制御する。NVMセル570が印加ゲート電圧Vajに応答して生成した反応電流が低限界参考電流RLB及び高限界参考電流RHBの範囲内である場合、前記ANDゲート530は2つのゲート切替器520及び522を導通(オン)する。
読取シークエンスは前記ゲート電圧Va0を前記それぞれのNVMセル570のゲートに印加することから始まり、故に、前記状態レジスタ580の値は1である。前記閾値電圧グループ(11)を有するNVMセル570が印加ゲート電圧Va0に応答して生成した反応電流が低限界参考電流と高限界参考電流との間であり、且つ前記レベル参考電流RLより大きいので、Qは前記状態レジスタ580からデジタル値1を取得し、Qは前記レベル比較器554の出力からデジタル値1を取得する。前記閾値電圧グループ(10)を有するNVMセル570が印加ゲート電圧Va0に応答して生成した反応電流が低限界参考電流と高限界参考電流との間であり且つ前記レベル参考電流RLよりも低いので、Qは前記状態レジスタ580からデジタル値1を取得し、Qは、前記レベル比較器554の出力からデジタル値0を取得する。閾値電圧グループ(01)と(00)に属するNVMセル570が印加ゲート電圧Va0に応答して生成した反応電流が低限界参考電流RLBより小さいので、2つのゲート切替器520及び522はオフにされ、且つ前記レベル比較器554及び前記状態レジスタ580の両者の出力はQとQに書き込まれない。
次に、ゲート電圧Va1(前記状態レジスタ580に対応する値は0である)を前記それぞれのNVMセル570のゲートに印加する場合、閾値電圧グループ(11)及び(10)に属するNVMセル570が生成した反応電流は前記高限界参考電流RHBより大きく、2つのゲート切替器520及び522はオフにされる。よって、状態レジスタ580の値0と、前記レベル比較器554の出力値1は、いずれもQとQに上書き(overwrite)されない。2個の閾値電圧グループ(11)及び(10)に属する前記それぞれのNVMセル570について、QとQは前回の値を保存する。前記閾値電圧グループ(01)を有するNVMセル570が印加ゲート電圧Va1に応答して生成した反応電流は低限界参考電流と高限界参考電流との間であり、且つ前記レベル参考電流RLより大きいので、2つのゲート切替器520と522は、導通(オン)され、最後に、Qは前記状態レジスタ580からのデジタル値0を書き込み、Qは前記レベル比較器554から出力されたデジタル値1を書き込む。前記閾値電圧グループ(00)を有するNVMセル570が印加ゲート電圧Va1に応答して生成した反応電流は低限界参考電流と高限界参考電流との間であり且つ前記レベル参考電流RLより小さいので、2つのゲート切換器520と522は導通され、最後に、Qは、前記状態レジスタ580からのデジタル値0を書き込み、Qは、前記レベル比較器554から出力されたデジタル値0を書き込む。各セルに2個のビットを有するMLCNVMフラッシュメモリに上記2個のゲート電圧Va1とVa0を印加した後、前記読取シークエンスが完成する。前記2つのデータバッファ510と512は、前記それぞれのMLVNVMセル中の蓄積ビット値を精確に提供する。
図6は、本発明に基づく実施例であり、各セルに3個のビットを有するMLCNVMフラッシュメモリ(P=8、N=2及びM=4)が有する(111)、(110)、(101)、(100)、(011)、(010)、(001)と(000)の8グループの閾値電圧の分布及び、2個の印加ゲート電圧Va0とVa1を示す。図7は、本発明の不発揮性メモリ構造を示す概略図であり、そのうち3個のビットデータバッファ710、712と714はそれぞれQ、QとQにより表示され、つまり、(Q)は上述の8個の閾値電圧グループを表す。前記それぞれのデータバッファ710、712と714に書き込むビットデータは、それぞれ、ビット状態レジスタ780出力ノード781及び3個のレベル比較器754、756及び758の2ビット出力ノード731と732から送信され、そのうち前記出力ノード781は2個の印加ゲート電圧Vajの2個の状態を表す。ゲート切替器720、722と724は、状態レジスタ780のデータと2ビット出力ノード731と732の2ビット出力値をデータバッファ710、712と714へ送信するのに用い、NVMセル770が印加ゲート電圧Vajに応答して生成した反応電流が低限界参考電流RLBと高限界参考電流RHBの範囲内の論理状況下である場合、ゲート切替器720、722と724は導通される。
印加ゲート電圧の状態レジスタ780の値はそれぞれ1及び0である場合、印加したゲート電圧はVa0及びVa1をそれぞれ表す。3個のレベル比較器754、756と758は、NVMセル770が印加ゲート電圧Vajに応答して生成した反応電流と3個のレベル参考電流RL0、RL1とRL2を比較する。そのうちRL0 > RL1 > RL2である。NVMセル770の反応電流が前記それぞれのレベル参考電流より高い場合、3個のレベル比較器754、756と758は正論理レベル(論理1)を出力する。その逆もまた同様である。前記レベル比較器754の出力信号に基づき、2個のレベル比較器756と758の出力ノード741と742のうちの一つの出力信号は、前記ゲート切替器724の入力ノード732へ送信される。前記それぞれのNVMセル770の閾値電圧が小さい閾値電圧グループ(反応電圧がRL1より大きい)に属す場合、前記レベル比較器756の出力信号を前記ゲート切替器724の出力ノード732へ送信する。前記それぞれのNVMセルの閾値電圧が大きい閾値電圧グループ(反応電流がRL1より小さい)に属する場合、前記レベル比較器758の出力信号を前記ゲート切替器724の入力ノード732へ送信する。NVMセル770の反応電流が前記低限界参考電流RLBより大きい場合、低限界比較器750は正論理レベル(論理1)を出力し、そして、NVMセル770の反応電流が前記高限界参考電流RHBより低い場合、高限界比較器752は、正論理レベル(論理1)を出力する。前記低限界比較器750と前記高限界比較器752の出力信号は論理ANDゲート730にフィードインされて前記3個のゲート切替器720、722と724を制御する。前記それぞれのNVMセル770が印加ゲート電圧Vajに応答して生成した反応電流の大きさが低限界参考電流RLBと高限界参考電流RHBとの範囲内である場合、前記ANDゲート730は前記3個のゲート切替器720、722と724を導通する。
読取シークエンスとしては、前記ゲート電圧Va0を前記それぞれのNVMセル770のゲートに印加することにより開始される。故に、前記状態レジスタ780の値は1である。閾値電圧グループ(111)、(110)、(101)と(100)に属するNVMセル770が印加ゲート電圧Va0に応答して生成した反応電流の大きさは、低限界参考電流と高限界参考電流との間であるので、前記それぞれのゲート切替器720、722と724は導通され、ビットデータをQ、QとQに送信する。Qは、前記ビット状態レジスタ780からデジタル値1を取得する。閾値電圧グループ(11x)と(10x)に属するNVMセル770に対して、前記データバッファQは、前記レベル比較器754の出力信号から、データ1又は0を取得する。ここで、xは、1又は0を表す。ゲート電圧Va0を印加する期間内において、前記レベル比較器756は、閾値電圧グループ(111)を有するNVMセル770の反応電流及び参考電流RL0を比較する場合、前記レベル比較器756は信号1を出力し、そして、前記レベル比較器756がその他のグループに属するNVMセル770の反応電流と参考電流をRL0比較する場合、前記レベル比較器756は信号0を出力する。前記レベル比較器758が、閾値電圧グループ(111)、(110)、(101)と(100)に属するNVMセル770の反応電流と参考電流RL2を比較する場合、前記レベル比較器758は信号1を出力する。そして、前記レベル比較器758がその他のグループに属するNVMセル770の反応電流と参考電流RL2を比較する場合、前記レベル比較器785は信号0を出力する。前記レベル比較器754が出力値1を生成した場合、前記データバッファQは前記レベル比較器756の出力ノード741からデジタル値を取得する。前記レベル比較器754が出力値0を生成する場合、前記データバッファQは前記レベル比較器758の出力ノード742からデジタル値を取得する。最後に、NVMセル770の閾値電圧が、閾値電圧グループ(111)、(110)、(101)及び(100)にそれぞれ属す場合,データバッファQとQは、それぞれ"1と1"、" 1と0"、"0と1"及び"0と0"が書き込まれる。
3個のレベル比較器754、756と758は、閾値電圧グループ(0xx)に属するNVMセル770が印加ゲート電圧Va0に応答して生成する反応電流を比較する場合、前記3個のレベル比較器754、756と758の出力信号はいずれも0である。閾値電圧グループ(0xx)に属するNVMセル770が印加ゲート電圧Va0に応答して生成する反応電流は、前記低限界参考電圧RLBより小さいので、前記3個のゲート切替器720、722と724はオフにされて、前記状態レジスタ780の状態ビット及び前記3個のレベル比較器754、756と758の出力信号がデータバッファQ、QとQに送信されるのを防ぐ。
次に、ゲート電圧Va1(対応する前記状態レジスタ780の値は0である)を前記それぞれのNVMセル770のゲートに印加する場合、閾値電圧グループ(111)、(110)、(101)及び(100)に属すNVMセル770が生成した反応電流は前記高限界参考電流RHBより大きいので、3個のゲート切替器720、722と724がオフにされ、且つQ、QとQに上書きされるデータは存在しない。この印加ゲート電圧Va1ステップにおいて、閾値電圧グループ(111)、(110)、(101)及び(100)に属するNVMセル770に対して、前記それぞれのデータバッファQ、QとQはその前回の値を保存する。閾値電圧グループ(011)、(010)、(001)及び(000)に属するNVMセル770が前記印加ゲート電圧Va1に応答して生成した反応電流は前記低限界参考電流RLBと前記高限界参考電流RHBとの間であるので、前記3個のゲート切替器720、722と724は導通されて、状態レジスタ780の値0及び前記3個のレベル比較器754、756と758の出力信号を前記それぞれのデータバッファQ、QとQに送信する。印加ゲート電圧がVa1であるので、Qは前記状態レジスタ780のビット値0が書き込まれる。Qは、前記レベル比較器754から出力されたデータが書き込まれる。前記レベル比較器754が出力値1を生成した場合、前記データバッファQは、前記レベル比較器756の出力ノード741からのデータが書き込まれる。前記レベル比較器754が出力値0を生成する場合、前記データバッファQは、前記レベル比較器758の出力ノード742からのデータが書き込まれる。最後に、NVMセル770の閾値電圧が、それぞれ閾値電圧グループ(011)、(010)、(001)及び(000)に属し、3個のデータバッファ(Q、QとQ)は、それぞれ(0、1と1)、(0、1と0)、(0、0と1)及び(0、0と0)が書き込まれる。
上記2個のゲート電圧VaとVaを各セルに3個のビットを有するMLCNVMフラッシュメモリに印加し終えると、前記読取シークエンスが完了する。データバッファ710、712と714は、前記それぞれのMLCNVMセル中の蓄積ビットを精確に提供する。各セルに3個のビットを有するMLCNVMの実施例において、前記それぞれのNVMセル770が印加ゲート電圧に応答した反応電流レベルを検知し判定するのに約30ナノ秒必要である。よって、各セルに3個ビットを有するMLCNVMの蓄積ビット情報を読み取るのに合計約60ナノ秒かかる。
図8は、本発明に基づく実施例であり、各セルに4個のビットを有するMLCNVMフラッシュメモリ(P=16、N=4及びM=4)が有する16グループの閾値電圧の分布であり、それぞれ、(1111)、(1100)、(1101)と(1100)は印加ゲート電圧Va0に対応し、(1011)、(1010)、(1001)と(1000)は印加ゲート電圧Va1に対応し、(0111)、(0110)、(0101)と(0100)は印加ゲート電圧Va2に対応し、(0011)、(0010)、(0001)と(0000)は印加ゲート電圧Va3に対応する。図9は、本発明の不発揮性メモリ構造を示す概略図である。そのうち4個のビットデータバッファ910、912、914と916はそれぞれQ、Q、QとQにより表わされ、つまり(Q)により上述の16個の閾値電圧グループを表す。前記それぞれのデータバッファ910、912、914と916に書き込むビットデータは、それぞれ2ビット状態レジスタ980を表す2ビット出力ノード981と982及び3個のレベル比較器954、956と958の2ビット出力ノード931と932からである。ここで、2ビット出力ノード981と982は、4個の印加ゲート電圧Vajの4個の状態を表す。ゲート切替器920、922、924と926は、2ビット状態レジスタ980のデータと2つの出力ノード931と932の2ビットデータを前記それぞれのデータバッファ910、912、914と916に送信することに用いられる。前記それぞれのNVMセル970が印加ゲート電圧Vajに応答して生成した反応電流が低限界参考電流RLBと高限界参考電流RHBの範囲内の論理状況下である場合、ゲート切替器920、922、924と926は導通される。
印加ゲート電圧状態レジスタ980の値がそれぞれ"11"、"10"と"00"である場合、それぞれ、印加するゲート電圧はVa0、Va1とVa2を表す。3個のレベル比較器954、956と958は、それぞれ前記それぞれのNVMセル970が印加ゲート電圧に応答して生成した反応電流と3個のレベル参考電流RL0、RL1とRL2を比較する。ここで、RL0 > RL1 > RL2である。前記それぞれのNVMセル970の反応電流が前記それぞれのレベル参考電流より高い場合、3個のレベル比較器954、956と958は、正論理レベル(論理1)を出力し、その逆もまた正しい。前記レベル比較器954の出力信号に基づき、2個の出力ノード941と942のうちの一つの出力信号は前記ゲート切替器926の入力ノード932に送信される。前記それぞれのNVMセル970の閾値電圧が小さい閾値電圧グループ(反応電流がRL1より大きい)に属す場合、前記レベル比較器956のノード941の出力信号は、前記ゲート切替器926の入力ノード932に送信される。前記それぞれのNVMセル970の閾値電圧が大きい閾値電圧グループ(反応電流がRL1より小さい)に属す場合、前記レベル比較器958のノード942の出力信号は、前記ゲート切替器926の入力ノード932へ送信される。NVMセル970の反応電流が前記低限界参考電流RLBより大きい場合、低限界比較器950は高論理レベル(論理1)を出力し、そして、NVMセル970の反応電流が前記高限界参考電流RHBより低い場合、高限界比較器952は高論理レベル(論理1)を出力する。前記低限界比較器950と前記高限界比較器952の出力信号は、論理ANDゲート930にフィードインされて、前記4個のゲート切替器920、922、924と926を制御する。前記それぞれのNVMセル970が印加ゲート電圧に応答して生成する反応電流の大きさは、低限界参考電流RLBと高限界参考電流RHBの範囲内である場合、前記ANDゲート930は、4個のゲート切替器920、922、924と926を導通する。
読取シークエンスとしては、前記ゲート電圧Va0を前記それぞれのNVMセル970のゲートに印加することから開始する。故に、前記状態レジスタ980の値は"11"である。目標グループ(1111)、(1100)、(1101)と(1110)に属するNVMセル970が印加ゲート電圧Va0に応答して生成する反応電流の大きさが前記低限界参考電流RLBと高限界参考電流RHBの間であるので、前記4個のゲート切換器920、922、924と926は導通されてビットデータをQ、Q、QとQに送信する。QとQは前記2ビット状態レジスタ980からのデジタル値"11"が書き込まれる。閾値電圧グループ(111x)と(110x)に属するNVMセル970に対して、前記データバッファQは前記レベル比較器954の出力信号に基づき、データ1又は0を取得する。そのうちxは、1又は0を表す。このゲート電圧Va0を印加する期間内において、前記レベル比較器956は、閾値電圧グループ(1111)を有するNVMセル970が生成する反応電流と参考電流RL0を比較する場合、前記レベル比較器956は、信号1を出力し、そして、前記レベル比較器956は、他の閾値電圧グループを有するNVMセル970が生成する反応電流と参考電流RL0を比較する場合、前記レベル比較器956は信号0を出力する。前記レベル比較器958が閾値電圧グループ(1111)、(1110)と(1101)に属するNVMセル970が生成する反応電流と参考電流RL2を比較する場合、前記レベル比較器958は信号1を出力する。そして、前記レベル比較器958は、その他の閾値電圧グループを有するNVMセル970が生成する反応電流と参考電流RL2を比較する場合、前記レベル比較器958は信号0を出力する。前記レベル比較器954が出力値1を生成したとき、データバッファQは前記レベル比較器956の出力信号からデジタル値を取得する。前記レベル比較器954が出力値0を生成したとき、データバッファQは、前記レベル比較器958の出力信号からデジタル値を取得する。最後に、前記それぞれのNVMセル970の閾値電圧は、(1111)、(1110)、(1101)及び(1100)にそれぞれ属し、データバッファQとQは、それぞれ"1と1"、"1と0"、"0と1"及び"0と0"が書き込まれる。前記それぞれのNVMセル970の閾値電圧が、その他の閾値電圧グループ(10xx)、(01xx)及び(00xx)に属する場合、前記それぞれのレベル比較器954、956と958の出力信号は0であるが、しかし、前記それぞれのデータバッファQ2とQに送信されない。
次に、ゲート電圧Va1(対応する前記状態レジスタ980の値は"10"である)を前記それぞれのNVMセル970のゲートに印加する時、閾値電圧グループ(1111)、(1110)、(1101)及び(1100)に属する前記それぞれのNVMセル970の反応電流は前記高限界参考電流RHBより大きく、前記それぞれのゲート切換器920、922、924と926は、オフにされ、且つデータは前記それぞれのデータバッファQ、Q、QとQに上書きされない。このゲート電圧Va1を印加するステップにおいて、閾値電圧グループ(1111)、(1110)、(1101)及び(1100)に属する前記それぞれのNVMセル970に対して、前記それぞれのデータバッファQ、Q、QとQは前回のデジタル値を保存する。閾値電圧グループ(1011)、(1010)、(1001)及び(1000)に属する前記それぞれのNVMセル970が前記印加したゲート電圧Va1に応答して生成した反応電流は前記低限界参考電流RLBと前記高限界参考電流RHBとの間であるので、前記それぞれのゲート切替器920、922、924と926は導通され、状態レジスタ980のビットデータ"10"及び前記3個のレベル比較器954、956と958の出力信号を前記それぞれのデータバッファQ、Q、QとQへ送信する。前記印加ゲート電圧がVa1であるので、前記2ビット状態レジスタ980中のビットデータ"10"は、QとQに書き込まれる。前記レベル比較器954からの出力信号のデータはQに書き込まれる。前記レベル比較器954が出力値1を生成する場合、前記レベル比較器956からの出力信号のデータは、前記データバッファQに書き込まれる。前記レベル比較器954が出力値0を生成する場合、前記レベル比較器958からの出力信号のデータは、前記データバッファQに書き込まれる。最後に、前記それぞれのNVMセル970の閾値電圧がそれぞれ、閾値電圧グループ(1011)、(1010)、(1001)及び(1000)である時、4個のデータバッファ(Q、Q、QとQ)の対応する値は、それぞれ(1、0、1と1)、(1、0、1と0)、(1、0、0と1)及び(1、0、0と0)である。その他のグループ(01xx)及び(00xx)に属する前記それぞれのNVMセル970が前記印加ゲート電圧Va1に応答して生成するNVM反応電流は、前記低限界参考電流RLBより小さいので、前記それぞれのゲート切換器920、922、924と926はオフにされ、且つデータは前記それぞれのデータバッファQ、Q、QとQに送信されない。
次に、ゲート電圧Va2(対応する前記状態レジスタ980の値は"01"である)を前記それぞれのNVMセル970のゲートに印加する時、8個の閾値電圧グループ(11xx)及び(10xx)に属する前記それぞれのNVMセル970の反応電流は、前記高限界参考電流RHBより大きい。前記それぞれのゲート切替器920、922、924と926はオフにされ、且つデータは前記それぞれのデータバッファQ、Q、QとQに送信されない。この印加ゲート電圧Va2ステップにおいて、8個の閾値電圧グループ(11xx)及び(10xx)に属する前記それぞれのNVMセル970に対し、前記それぞれのデータバッファQ、Q、QとQは前回のデジタル値を保存する。前記それぞれの目標グループ(0111)、(0110)、(0101)及び(0100)に属する前記それぞれのNVMセル970が前記印加ゲート電圧Va2に応答して生成する反応電流は、前記低限界参考電流RLBと前記高限界参考電流RHBとの間であるので、前記それぞれのゲート切替器920、922、924と926は導通され、状態レジスタ980のビットデータ"01"及び前記3個のレベル比較器954、956と958の出力信号を前記それぞれのデータバッファQ、Q、QとQへ送信する。前記印加ゲート電圧がVa2であるので、前記2ビット状態レジスタ980中のビット書込みデータ"01"はQとQに書き込まれる。前記レベル比較器954からの出力信号のデータはQに書き込まれる。前記レベル比較器954が出力値1を生成するとき、レベル比較器956からの出力信号のデータは前記データバッファQに書き込まれる。レベル比較器954が出力値0を生成するとき、前記レベル比較器958からの出力信号のデータは前記データバッファQに書き込まれる。最後に、前記それぞれのNVMセル970の閾値電圧がそれぞれ閾値電圧グループ(0111)、(0110)、(0101)及び(0100)に属するとき、4個のデータバッファ(Q、Q、QとQ)の対応する値はそれぞれ(0、1、1と1)、(0、1、1と0)、(0、1、0と1)及び(0、1、0と0)である。その他4つのグループ(00xx)に属する前記それぞれのNVMセル970が前記印加ゲートゲート電圧Va2に応答して生成する反応電流は、前記低限界参考電流RLBより小さいので、ゲート切替器920、922、924と926はオフにされ、且つデータを前記それぞれのデータバッファQ、Q、QとQに送信しない。
次に、ゲート電圧Va3(対応する前記状態レジスタ980の値は"00"である)を前記それぞれのNVMセル970のゲートに印加する時、12個の閾値電圧グループ(11xx)、(10xx)及び(01xx)に属する前記それぞれのNVMセル970が前記印加ゲート電圧Va3に応答して生成する反応電流は、前記高限界参考電流RHBより大きいので、前記それぞれのゲート切換器920、922、924と926はオフにされ、そして、データは、前記それぞれのデータバッファQ、Q、QとQに上書きされない。このゲート電圧Va3印加ステップにおいて、12個の閾値電圧グループ(11xx)、(10xx)及び(01xx)に属する前記それぞれのNVMセル970に対して、前記それぞれのデータバッファQ、Q、QとQは、前回のデジタル値を保存する。目標グループ(0011)、(0010)、(0001)及び(0000) に属する前記それぞれのNVMセル970が前記施加ゲート電圧Va3に対応して生成する反応電流は、前記低限界参考電流RLBと前記高限界参考電流RHBの間であるので、前記それぞれのゲート切替器920、922、924と926は導通されて、状態レジスタ980のビットデータ"00"及び前記3個のレベル比較器954、956と958の出力信号を前記それぞれのデータバッファQ、Q、QとQに送信する。前記印加ゲート電圧がVa3であるので、前記2ビット状態レジスタ980中のビットデータ"00"はQとQに書き込まれる。前記レベル比較器954からの出力信号のデータはQに書き込まれる。前記レベル比較器954が出力値1を生成するとき、前記レベル比較器956からの出力信号データは、前記データバッファQに書き込まれる。前記レベル比較器954が出力値0を生成するとき、前記レベル比較器958からの出力信号のデータは前記データバッファQに書き込まれる。最後に、前記それぞれのNVMセル970の閾値電圧がそれぞれ、閾値電圧グループ(0011)、(0010)、(0001)及び(0000)に属する場合、前記4個のデータバッファ(Q、Q、QとQ)の相対値は、それぞれ(0、0、1と1)、(0、0、1と0)、(0、0、0と1)及び(0、0、0と0)である。
各セルに4個のビットを有するNLCNVMフラッシュメモリに対し前記4個のゲート電圧Va0、Va1、Va2とVa3を印加した後、前記読取が完了する。データバッファ910、912、914と916は、前記それぞれのMLCNVMセル中の蓄積ビットを正確に提供する。各セルに4個のビットを有するMLCNVMの実施例において、前記それぞれのNVMセル970が印加ゲート電圧に応答した反応電流レベルを検知し判定する時間は約30ナノ秒かかる。よって、4個の印加ゲート電圧を利用して、各セルに4個のビットを有するMLCNVMの蓄積ビット情報を読み取る時間は約120ナノ秒かかる。
以上は実施例により本発明を説明したが、本発明の範囲を制限するものではない。本発明の要旨を逸脱しなければ、当業者は各種変化又は変更を行うことができ、いずれも本発明の特許請求の範囲内である。
510、512 、710、712、714 データバッファ
910、912、914、916 データバッファ
520、522、720、722、724 ゲート切換器
920、922、924、926 ゲート切換器
530、730、930 ANDゲート
550、750、950 低限界比較器
552、752、952 高限界比較器
554、754、756、758、954、956、958 レベル比較器
570、770、970 NVMセル
580、780、980 状態レジスタ
731、732、741、742、781 ノード
931、932、941、942、981、982 ノード

Claims (21)

  1. P個の異なる値のうちの一つを表示する電荷量を蓄積する蓄積層、及び制御ゲートを含むMOSFETと、
    個の異なる電圧レベルを順次に生成し、前記制御ゲートに印加されたとき、前記MOSFETが前記順次に生成された2個の異なる電圧レベルに応答して相応する反応電流を生成する電圧生成器(source)と、
    前記反応電流と低限界電流レベルと高限界電流レベルとを比較して、前記2個の異なる電圧レベルに対応するn個のビットデータを送信するか否かを決定する第1決定回路と、
    (2-1)個の異なる参考電流レベルに基づき、前記反応電流を測定してm個のビットデータを得、かつ前記第1決定回路の比較結果に基づき、前記m個のビットデータを送信するか否かを決定する第2決定回路と、
    を含み、
    ここで、前記n個のビットデータと前記m個のビットデータは、前記P個の異なる値を構成し、
    n≠0、m≠0、logP=(m+n)であり、又Pが2より大きい整数であることを特徴とする不発揮性メモリの構造。
  2. 前記第1決定回路と前記第2決定回路に接続され、前記n個のビットデータと前記m個のビットデータを受信する出力バッファを更に含むことを特徴とする請求項1記載の不発揮性メモリの構造。
  3. 前記第1決定回路は、
    前記反応電流と前記低限界電流レベルを比較する低限界比較器と、
    前記反応電流と前記高限界電流レベルを比較する高限界比較器と、を含み、
    ここで、前記第1決定回路は前記低限界比較器と前記高限界比較器の出力に基づき、前記n個のビットデータを前記出力バッファに提供するか否かを決定することを特徴とする請求項2記載の不発揮性メモリの構造。
  4. 前記第1決定回路は、
    前記低限界比較器と前記高限界比較器の出力に応答して、前記n個のビットデータを前記出力バッファに出力するように制御する第1切替器を更に含み、
    ここで、前記反応電流の大きさは、前記低限界電流レベルと前記高限界電流レベルとの間である時、前記第1切替器は前記n個のビットデータを前記出力バッファへ送信することを特徴とする請求項3記載の不発揮性メモリの構造。
  5. 前記第2決定回路は、
    それぞれが前記反応電流と前記(2-1)個の異なる参考電流レベルのうちの一つを比較する(2-1)個のレベル比較器を含み、
    ここで、前記第2決定回路は、前記それぞれの(2-1)個のレベル比較器と前記低限界比較器と前記高限界比較器の出力に基づき、前記m個のビットデータを前記出力バッファへ提供するか否かを決定することを特徴とする請求項3記載の不発揮性メモリの構造。
  6. 前記第2決定回路は、
    前記それぞれの(2-1)個のレベル比較器の出力に基づき、前記m個のビットデータを生成する論理回路と、
    前記論理回路に接続され、前記低限界比較器と前記高限界比較器の出力に応答して前記m個のビットデータを前記出力バッファへ出力するように制御する第2切替器と、を更に含み、
    ここで、前記反応電流の大きさは、前記低限界電流レベルと前記高限界電流レベルとの間である時、前記第2切替器は前記m個のビットデータを前記出力バッファへ送信することを特徴とする請求項5記載の不発揮性メモリの構造。
  7. Pが4であり、nが1であり、mが2であることを特徴とする請求項1記載の不発揮性メモリの構造。
  8. Pが8であり、nが1であり、mが2であることを特徴とする請求項1記載の不発揮性メモリの構造。
  9. Pが16であり、nが2であり、mが2であることを特徴とする請求項1記載の不発揮メモリの構造。
  10. 前記第1決定回路に接続され、前記2個の異なる電圧レベルに対応するn個のビットデータを提供する状態レジスタを更に含むことを特徴とする請求項1記載の不発揮性メモリの構造。
  11. 前記P個の異なる値がP個の異なる閾値電圧レベルに対応し、又前記P個の異なる閾値電圧レベルが2グループに分けられ、且つ前記グループが2個の異なる閾値電圧レベルを含むことを特徴とする請求項1記載の不発揮性メモリの構造。
  12. 前記低限界電流レベルは、複数の高い閾値電圧レベルから目標グループを区別し、そして前記高限界電流レベルは、複数の低い閾値電圧レベルから前記目標グループを区別することを特徴とする請求項11記載の不発揮性メモリの構造。
  13. 前記MOSFETの閾値電圧は、前記目標グループに属し、又、そのうち前記(2-1)個の異なる参考電流レベルは、前記MOSFETの制御ゲートに対応する電圧レベルが印加される状態で、前記MOSFETの前記2個の異なる閾値電圧レベルにより生成する複数の異なる反応電流の間であることを特徴とする請求項12記載の不発揮性メモリの構造。
  14. 不発揮性メモリセル中のMOSFETに応用し、前記MOSFETの蓄積層に蓄積するマルチビットデータ値を決定する方法であって、
    ここで、前記マルチビットデータ値はP個の異なるマルチビット値のうちの一つであり、
    前記方法は、
    個の異なる電圧レベルを前記MOSFETの制御ゲートに順次に印加して、対応する反応電流を得る工程と、
    前記2個の異なる電圧レベルに対応するn個のビットデータを提供する工程と、
    前記反応電流と低限界電流レベルと高限界電流レベルとを比較する工程と、
    前記反応電流と(2-1)個の異なる参考電流レベルとを比較して、m個のビットデータを取得する工程と、
    前記反応電流の大きさが前記低限界電流レベルと前記高限界電流レベルとの間の時、前記n個のビットデータと前記m個のビットデータを、前記蓄積層に蓄積するマルチビットデータ値として提供する工程と、を含み、
    ここで、n≠0であり、m≠0であり、logP=(m+n)であり、又Pが2より大きい整数であることを特徴とする方法。
  15. 前記n個のビットデータと前記m個のビットデータとを提供する工程において、
    前記n個のビットデータと前記m個のビットデータを出力バッファへ提供することを含むことを特徴とする請求項14記載の方法。
  16. 前記印加する工程の前に、選択した電荷量を前記MOSFETの蓄積層に蓄積し、前記選択した電荷量は前記マルチビットデータ値に対応することを特徴とする請求項14記載の方法。
  17. 前記反応電流と前記(2-1)個の異なる参考電流レベルとを比較する工程は、
    (2-1)個のレベル比較器を利用して、それぞれ前記反応電流と前記(2-1)個の異なる参考電流レベルとを比較する工程と、
    前記反応電流と前記(2-1)個の異なる参考電流レベルの比較結果に基づき、前記m個のビットデータを得る工程と、
    を含むことを特徴とする請求項14記載の方法。
  18. 前記n個のビットデータを提供する工程は、
    状態レジスタを利用して、前記n個のビットデータを提供し、前記n個のビットデータは前記2個の異なる電圧レベルのうちの一つに対応する工程を含むことを特徴とする請求項14記載の方法。
  19. 前記P個の異なる値はP個の異なる閾値電圧レベルに対応し、又、前記P個の異なる閾値電圧レベルは、2個のグループに分けられ、且つ各前記グループは2個の異なる閾値電圧レベルを含むことを特徴とする請求項14記載の方法。
  20. 前記低限界電流レベルは、複数の高い閾値電圧レベルから目標グループを区別し、そして、前記高限界電流レベルは複数の低閾値電圧レベルから前記目標グループを区別することを特徴とする請求項19記載の方法。
  21. 対応電圧レベルを前記目標グループに属する前記MOSFETの制御ゲートに印加する工程と、
    前記MOSFETの前記2個の異なる閾値電圧レベルにより生成した複数の異なる反応電流との間の複数の電流レベルを選択し、前記(2-1)個の異なる参考電流レベルとする工程と、
    を更に含むことを特徴とする請求項20記載の方法。
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