JP2013190284A - 羽根車の欠陥検査方法 - Google Patents

羽根車の欠陥検査方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2013190284A
JP2013190284A JP2012056071A JP2012056071A JP2013190284A JP 2013190284 A JP2013190284 A JP 2013190284A JP 2012056071 A JP2012056071 A JP 2012056071A JP 2012056071 A JP2012056071 A JP 2012056071A JP 2013190284 A JP2013190284 A JP 2013190284A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
blade
light
inspected
pinhole defect
defect
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012056071A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5845985B2 (ja
Inventor
Naoki Fuse
直紀 布施
Shunji Fudamoto
峻嗣 札本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daido Steel Co Ltd
Original Assignee
Daido Steel Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daido Steel Co Ltd filed Critical Daido Steel Co Ltd
Priority to JP2012056071A priority Critical patent/JP5845985B2/ja
Publication of JP2013190284A publication Critical patent/JP2013190284A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5845985B2 publication Critical patent/JP5845985B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

【課題】構成簡単で検査に時間を要さず、複雑形状の羽根車の各羽根のピンホール欠陥を確実に検出することができる。
【解決手段】鋳造された羽根車Wの被検査羽根2Aに隣接する羽根2Bにスポット光(4)を照射し、当該羽根2Bの表面24上で拡散された光を被検査羽根2Aの裏面22全面に入射させて、当該被検査羽根2Aの表面21からの出射光41の有無によって被検査羽根2Aにおけるピンホール欠陥23の有無を判定する。
【選択図】 図1

Description

本発明はタービンホイール等の羽根車の特にピンホール欠陥を検査するのに適した羽根車の欠陥検査方法に関するものである。
特許文献1には被検査体に生じたピンホール欠陥を検査する方法が示されており、ここでは、光源から発したスポット光を、回転するポリゴンミラーに入射させて走査光とし、当該走査光を直接あるいはレンズを介して被検査体に入射させて、被検査体の各部を逐次検査するようにしている。
特開平7−190954
しかし、上記走査光による検査は被検査体の各部を逐次検査していくものであるために時間を要するという問題があるとともに、スポット光を走査光に変換するための機器等が必要であるため構成が複雑であるという問題があった。加えて、羽根車のような複雑な構造体の各羽根を検査対象としてそのピンホール欠陥を検査しようとすると、隣接した羽根に遮られて各羽根の全面を走査するのが困難な場合がある。
そこで、例えば図2に示すようにスポット光5の円形光束を拡径して、羽根車としてのタービンホイールWの被検査羽根2Aの全面を一度に照射し、この際のピンホール欠陥23からの射出光51をカメラ3で検出する方法が考えられるが、円形スポット光5の光束径を複雑形状の羽根2A全体をカバーできる大きさとする必要があるため、羽根2Aに当たらない余分な光がカメラ3に直接入射してピンホール欠陥23からの相対的に弱い射出光51が検出できないという問題を生じる。なお、図2中、1はタービンホイールWのシャフト、符号2はシャフト周囲に形成された羽根である。
本発明はこのような課題を解決するもので、構成簡単で検査に時間を要さず、複雑形状の羽根車の各羽根のピンホール欠陥を確実に検出することが可能な羽根車の欠陥検査方法を提供することを目的とする。
本発明の羽根車の欠陥検査方法では、鋳造された羽根車(W)の被検査羽根(2A)に隣接する羽根(2B)にスポット光(4)を照射し、当該羽根(2B)の面(24)上で拡散された光を前記被検査羽根(2A)の一面(22)全面に入射させて、当該被検査羽根(2A)の他面(21)からの出射光(41)の有無によって前記被検査羽根(2A)におけるピンホール欠陥(23)の有無を判定する。
本発明において、隣接する羽根に照射されたスポット光は、鋳造による細かい凹凸のある梨地状の羽根面で反射散乱され拡散光となって被検査羽根の一面全面に入射する。被検査羽根の一部にピンホール欠陥があると、拡散光の一部がこのピンホール欠陥を通過して被検査羽根の他面から出射する。したがって、被検査羽根の他面からの出射光の有無をカメラで撮像する等によって被検査羽根におけるピンホール欠陥の有無を確実に検出することができる。
本発明によれば、スポット光を走査する必要が無いから光走査のための機器が不要で構成が簡素化される上に、走査に要する時間を必要としないから速やかな検査が可能である。また、隣接する羽根面で反射散乱された拡散光は複雑な形状の被検査羽根の一面全面に効率的に入射する一方、被検査羽根にピンホール欠陥がある場合以外は出射光を生じないから、余分な光によってピンホール欠陥からの相対的に弱い射出光が検出できないという問題も生じない。
なお、上記カッコ内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
以上のように、本発明の羽根車の欠陥検査方法によれば、検査に時間を要さず、複雑形状の羽根車の各羽根のピンホール欠陥を確実に検出することができる。
本発明方法の一例を示す、タービンホイールの側面図である。 従来方法の一例を示す、タービンホイールの側面図である。
なお、以下に説明する実施形態はあくまで一例であり、本発明の要旨を逸脱しない範囲で当業者が行う種々の設計的改良も本発明の範囲に含まれる。
図1には、羽根車としてのタービンホイールの、各羽根に生じたピンホール欠陥を検査する本発明方法の一例を示す。図1はタービンホイールWの側面図であり、シャフト1の外周に一定間隔で複雑形状に湾曲する多数の羽根2が形成されている。このようなタービンホイールWは精密鋳造によって製造されている。なお、図1は羽根2Aを被検査羽根としてこれに生じたピンホール欠陥を検査する場合を示している。
図1より明らかなように、被検査羽根2Aの表面21に対向させてその画像を取得するカメラ3が設けられている。そして、被検査羽根2Aの裏面22に対向する、隣接する羽根2Bの表面24に、図略のレーザ光源から一定径の円形スポット光4を照射する。なお、レーザ光源としては市販のレーザポインタ等を使用することができる。
羽根2Bの表面24に照射されたスポット光4は、細かい凹凸のある梨地状の羽根2Bの表面24で反射散乱され拡散光(図1の斜線部)となって被検査羽根2Aの裏面22全面に入射する。そして、被検査羽根2Aの一部にピンホール欠陥23があると、拡散光の一部41がこのピンホール欠陥23を通過して被検査羽根2Aの表面21から出射しカメラ3に入射する。このようにして、被検査羽根2Aの表面21をカメラ3で撮像して、当該表面21からの出射光41の有無によって被検査羽根2Aにおけるピンホール欠陥23の有無を確実に検出することができる。なお、スポット光4を照射する羽根2Bの表面24は、図1に示すように凸面となっていた方が被検査羽根2Aの裏面22全面に拡散光を入射させやすい点で有利である。
この場合、羽根2Bの表面24で反射された拡散光は色々な方向へ反射される光成分を含むため、被検査羽根2Aのピンホール欠陥23がスポット光4の反射領域42からの放射線方向からある程度外れた方向で当該羽根2Aを貫通していても、カメラ3方向への出射光41が生じて、確実にピンホール欠陥23の有無を検出することができる。
また、拡散光はスポット光4の反射領域42から拡散して複雑な形状の被検査羽根2Aの裏面22全面に効率的に入射する一方、被検査羽根2Aにピンホール欠陥23がある場合以外はカメラ3方向へ向かう出射光41を生じないから、余分な光がカメラ3に入射してピンホール欠陥23からの相対的に弱い射出光41が検出できないという問題は生じない。
発明者の実験によると分解能500万画素のCCDカメラ3を使用して、0.3mm厚の被検査羽根2Aに生じた50μm程度のピンホール欠陥23を確実かつ良好に検出することができた。
2A…被検査羽根、21…表面(他面)、22…裏面(一面)、23…ピンホール欠陥、2B…隣接する羽根、24…表面(面)、4…スポット光、41…出射光、W…羽根車。

Claims (1)

  1. 鋳造された羽根車の被検査羽根に隣接する羽根にスポット光を照射し、当該羽根の面上で拡散された光を前記被検査羽根の一面全面に入射させて、当該被検査羽根の他面からの出射光の有無によって前記被検査羽根におけるピンホール欠陥の有無を判定することを特徴とする羽根車の欠陥検査方法。
JP2012056071A 2012-03-13 2012-03-13 羽根車の欠陥検査方法 Active JP5845985B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012056071A JP5845985B2 (ja) 2012-03-13 2012-03-13 羽根車の欠陥検査方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012056071A JP5845985B2 (ja) 2012-03-13 2012-03-13 羽根車の欠陥検査方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013190284A true JP2013190284A (ja) 2013-09-26
JP5845985B2 JP5845985B2 (ja) 2016-01-20

Family

ID=49390705

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012056071A Active JP5845985B2 (ja) 2012-03-13 2012-03-13 羽根車の欠陥検査方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5845985B2 (ja)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03170005A (ja) * 1988-09-15 1991-07-23 Soc Natl Etud Constr Mot Aviat <Snecma> タービン翼の微細孔の光学検査
JP2002365227A (ja) * 2001-06-06 2002-12-18 Hitachi Zosen Fukui Corp プレス品の検査装置
JP2006047022A (ja) * 2004-08-02 2006-02-16 Shigeru Co Ltd 表皮のピンホール検査装置
JP2010066153A (ja) * 2008-09-11 2010-03-25 Daido Steel Co Ltd 外観検査方法および外観検査装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03170005A (ja) * 1988-09-15 1991-07-23 Soc Natl Etud Constr Mot Aviat <Snecma> タービン翼の微細孔の光学検査
JP2002365227A (ja) * 2001-06-06 2002-12-18 Hitachi Zosen Fukui Corp プレス品の検査装置
JP2006047022A (ja) * 2004-08-02 2006-02-16 Shigeru Co Ltd 表皮のピンホール検査装置
JP2010066153A (ja) * 2008-09-11 2010-03-25 Daido Steel Co Ltd 外観検査方法および外観検査装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP5845985B2 (ja) 2016-01-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5328812B2 (ja) 物体を検出するための補助照明のための装置及び方法
JP2012515913A (ja) 光学測定方法およびシステム
KR20130004915A (ko) 보어 검사 시스템 및 보어 검사 시스템에 의한 검사 방법
JP2006220498A (ja) レンズ検査装置
JP2015055561A (ja) マイクロレンズアレイの欠陥検査方法及び欠陥検査装置
JP2012229978A (ja) 孔内周面撮影装置
JP2012026858A (ja) 円筒容器の内周面検査装置
JP5728395B2 (ja) 円筒内周面検査用光学系及び円筒内周面検査装置
JP2008233715A (ja) 円筒孔検査装置
JP5845985B2 (ja) 羽根車の欠陥検査方法
JP2014240766A (ja) 表面検査方法および表面検査装置
JP2008026050A (ja) 中子孔検査方法
JP5255763B2 (ja) 光学検査方法および装置
JP5248903B2 (ja) ライン照明装置およびライン照明方法および光学検査装置および光加工装置
JP2012042254A (ja) レンズ欠陥の検査方法
KR101664470B1 (ko) 빔 스플리터의 후면 반사를 이용한 다중 광경로 레이저 광학계
JP6402082B2 (ja) 表面撮像装置、表面検査装置、及び表面撮像方法
JP6870262B2 (ja) 板ガラスの検査方法および板ガラス検査装置
JP2009150910A (ja) 欠陥検査装置、欠陥検査方法、光学式走査装置、半導体デバイス製造方法
TWI595445B (zh) 抗雜訊之立體掃描系統
JP2005043229A (ja) 透明板欠陥検査装置
JP6251049B2 (ja) 表面形状検査装置
JP5263082B2 (ja) リング照明装置およびリング照明装置を用いた表面検査装置
JPH1183465A (ja) 表面検査方法及び装置
JP2011053085A (ja) ウェーハ表面のlpd検出方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150123

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20151019

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20151027

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20151109

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5845985

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150