JP5263082B2 - リング照明装置およびリング照明装置を用いた表面検査装置 - Google Patents
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Description
2 光出射部
3 遮光板
4 対象物
5 観測領域
6 直接光照射部
7a 正反射光
7b 前方拡散反射光
7c 後方拡散反射光
7d 回折光
8 カメラ
9 レンズ
10 画像処理装置
11 従来のリング照明装置
12 遮光部
13 拡散板
Claims (4)
- 対象物を照射するリング照明装置であって、
リング状の光出射部と対象物の中間に、前記光出射部と同心円状で、かつ、前記光出射部より径の小さい光学的な開口部を有する遮光板を備え、
対象物に前記光出射部からの直接光が照射されないようにしたことを特徴とするリング照明装置。 - 請求項1に記載のリング照明装置において、
対象物の表面上の観測領域全体が、前記遮光板によって形成される暗い遮光部の中に含まれるようにしたことを特徴とすることを特徴とするリング照明装置。 - 請求項1または2に記載のリング照明装置を用いた表面検査装置であって、
前記リング照明装置の中心線上に配置し、前記リング照明装置の中央開口部から対象物を撮影するカメラと、
該カメラで撮影した画像から対象物の表面異質部を抽出・判定する画像処理装置とを備えることを特徴とする表面検査装置。 - 請求項3に記載の表面検査装置において、
検査対象は、鋼板表面の微小点状欠陥であることを特徴とする表面検査装置。
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