JP2013168505A - テクスチャー構造形成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】シリコン基板のエッチング時にセルフマスクの役割を果たした高分子膜を効率よく除去できる低ランニングコストのテクスチャー構造形成方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板Wの表面にテクスチャー構造を形成する本発明のテクスチャー構造形成方法であって、シリコン基板を配置した減圧下の処理室11内に、COF2ガスとハロゲン含有ガスと酸素ガスとを含むエッチングガスを導入し、放電用電力を投入してシリコン基板表面をエッチングする(第1工程)。第1工程でエッチング済みのシリコン基板Wを水洗する(第2工程)。
【選択図】図1
【解決手段】シリコン基板Wの表面にテクスチャー構造を形成する本発明のテクスチャー構造形成方法であって、シリコン基板を配置した減圧下の処理室11内に、COF2ガスとハロゲン含有ガスと酸素ガスとを含むエッチングガスを導入し、放電用電力を投入してシリコン基板表面をエッチングする(第1工程)。第1工程でエッチング済みのシリコン基板Wを水洗する(第2工程)。
【選択図】図1
Description
本発明は、シリコン基板表面にテクスチャー構造を形成するテクスチャー構造形成方法に関し、より詳しくは、結晶系太陽電池の製造工程において、シリコン基板に対し、その表面に高い光散乱封じ込め効果を発揮するテクスチャー構造を形成するためのものに関する。
単結晶や多結晶のシリコン基板を用いた結晶系太陽電池において、シリコン基板表面に、ドライエッチングにより凹凸形状を形成して粗面化する(テクスチャー構造を付与する)ことで、シリコン基板表面に入射した光の反射を低減させて光電変換効率の向上を図ることが従来から進められている。ここで、シリコン基板表面にテクスチャー構造を付与する工程として、シリコン基板表面を直接ドライエッチングする方法(所謂マスクレスプロセス)が一般に知られている。
マスクレスプロセスでは、例えば、SF6等のフッ素含有ガスと、Cl2やHBr等のハロゲン含有ガスとを含むものに、酸素ガスを所定の流量比で混合したものをエッチングガスとして用い、このエッチングガスを減圧下の処理室に導入し、例えば当該処理室内でシリコン基板を保持する基板ステージに高周波電力を投入する。これにより、処理室内に導入されたエッチングガスが励起してプラズマが形成され、プラズマ中の活性種やイオン種がシリコン基板表面に入射してエッチングが進行する。このとき、シリコン酸化物を含むハイドロカーボン(炭化水素)系の高分子膜が基板表面に堆積し、この堆積した高分子膜がセルフマスクの役割を果たすことで、シリコン表面が凹凸形状にエッチングされて粗面化され、テクスチャー構造が付与される(例えば、特許文献1参照)。
ここで、上記従来例の如くフッ素含有ガスとしてSF6ガスを用いる場合、エッチング時にセルフマスクの役割を果たした高分子膜を水洗によって除去することはできない。これは、高分子膜に含まれるシリコン酸化物の含有量が多いためであると考えられる。この場合、エッチング済みのシリコン基板をフッ酸等の薬液に浸漬させて高分子膜を除去し、さらに、シリコン基板に残った薬液を水洗により除去する必要があり、高分子膜を効率よく除去できないという問題があった。その上、薬液は定期的に交換する必要があり、ランニングコストの上昇を招来するという問題もあった。
本発明は、以上の点に鑑み、シリコン基板のエッチング時にセルフマスクの役割を果たした高分子膜を効率よく除去できる低ランニングコストのテクスチャー構造形成方法を提供することをその課題とする。
上記課題を解決するために、本発明は、シリコン基板表面にテクスチャー構造を形成するテクスチャー構造形成方法であって、シリコン基板を配置した減圧下の処理室内に、COF2ガスとハロゲン含有ガスと酸素ガスとを含むエッチングガスを導入し、放電用電力を投入してシリコン基板表面をエッチングする第1工程と、第1工程でエッチング済みのシリコン基板を水洗する第2工程と、を含むことを特徴とする。
本発明によれば、第1工程において、シリコン基板表面にテクスチャー構造が形成される。つまり、例えば、COF2ガスと、Cl2等のハロゲンガスやHBr等のハロゲン化水素ガスのようなハロゲン含有ガスと、酸素ガスとを含むエッチングガスを処理室に導入し、例えば当該処理室内でシリコン基板を保持する基板ステージに高周波電力を投入する。これにより、処理室内にプラズマが形成され、プラズマ中の活性種やイオン種がシリコン基板表面に入射してエッチングが進行する。このとき、シリコン基板表面に堆積した高分子膜がセルフマスクの役割を果たすことで、シリコン表面が凹凸形状にエッチングされて粗面化され、テクスチャー構造となる。
次に、第2工程において、エッチング済みのシリコン基板の水洗が行われる。ここで、上記第1工程にてフッ素含有ガスとしてCOF2ガスを用いたため、従来例の如くフッ素含有ガスとしてNF3やSF6やCF4等を用いる場合と比べて、第1工程でセルフマスクの役割を果たした高分子膜に含まれるシリコン酸化物の含有量は低くなる。これは、処理室内に導入された酸素ガスの分解により得られた酸素イオンや酸素ラジカルは、エッチングされたシリコンと結合するよりも、COF2ガスの分解により得られたCOイオンやCOラジカルと結合しやすく(すなわち、より低いエネルギーで反応し)、その結合したCO−Oが高分子膜中に多く取り込まれることによるものと考えられる。このようにシリコン酸化物の含有量の低い高分子膜は、シリコン基板の水洗を行うだけで効率よく除去できる。しかも、フッ酸等の薬液を用いる必要がないため、ランニングコストの増大を招かない。
本発明において、第1工程にて、COF2ガスの流量比を10〜30%の範囲内に設定することが好ましい。これによれば、SF6,NF3,CF4のようなフッ素含有ガスを用いる場合と同等のエッチングレート及びエッチング形状を実現できる。
以下、図面を参照して、処理対象物を、結晶系太陽電池に用いられる単結晶や多結晶のシリコン基板(以下、単に基板Wという)とし、その表面にテクスチャー構造を形成する本発明の実施形態のテクスチャー構造形成方法を説明する。なお、結晶系太陽電池の構造は公知であるため、ここでは詳細な説明を省略する。図1には、本実施形態のテクスチャー構造形成方法の第1工程を実施し得るドライエッチング装置EMが示されている。以下では、後述するシャワープレートから基板Wに向かう方向を下方、基板Wからシャワープレートに向かう方向を上方として説明する。
ドライエッチング装置EMは、処理室11を画成する真空チャンバ1を備える。真空チャンバ1は真空ポンプ12に接続される排気口1aを有し、処理室11を所定の真空度に減圧保持できるようになっている。真空ポンプ12としては、ターボ分子ポンプやロータリーポンプ等を単体で又は組み合わせて用いることができる。処理室11の下部空間には基板ステージ2が設けられている。基板ステージ2には、高周波電源3からの出力31が接続されている。基板ステージ2に対向させるように処理室11の上部にはシャワープレート4が設けられている。シャワープレート4は、真空チャンバ1の上壁の内面に突設した環状の支持壁13の下端で保持され、支持壁13とシャワープレート4とで画成された空間41にはエッチングガスを導入するガス導入系5が設けられている。
ガス導入系5は、空間41に通じる合流ガス管51を備える。合流ガス管51には、マスフローコントローラ等の閉止機能を有する流量制御手段52a、52b、52cが介設されたガス管53a、53b、53cが夫々接続され、第1〜第3のガス源54a、54b、54cに夫々連通している。これにより、ガス種毎に流量制御して処理室11に導入できるようになっている。本実施形態では、第1のガス源54aのガスは、フッ素含有ガスたるCOF2ガスからなり、第2のガス源54bのガスはCl2等のハロゲンガスやHBr等のハロゲン化水素ガスのようなハロゲン含有ガスからなり、第3のガス源54cのガスは酸素ガスからなる。以下、本実施形態のテクスチャー構造形成方法について具体的に説明する。
先ず、上記ドライエッチング装置EMを用いて第1工程を実施する。即ち、真空ポンプ12を作動させ処理室11が所定真空度(例えば、10−5Pa)に達した状態で、図外の搬送ロボットにより基板Wを処理室11内に搬送し、基板ステージ2に保持させる。次に、ガス導入系5の各流量制御手段52a〜52cを開弁して、第1〜第3のガス源54a、54b、54cからのエッチングガスを空間41に供給し、この空間41で拡散させたエッチングガスをシャワープレート4を介して処理室11内に導入する。エッチングガスとして、例えば、COF2ガスと、ハロゲン含有ガスたるCl2ガスと酸素ガスとからなる混合ガスを用いることができる。そして、処理室11内に導入するエッチングガスの総流量に対するCOF2ガスの流量比を10〜30%の範囲内、ハロゲン含有ガスの流量比を10〜25%の範囲内、酸素ガスの流量比を10〜30%の範囲内に夫々設定する(この場合、減圧下の処理室11内の圧力を30〜150Paとし、COF2ガスの分圧を5〜45Paとする)。COF2ガスの流量比(または分圧)が上記範囲以外であると、エッチングレートが遅く生産性が低下するという問題やエッチング形状が制御できない(テクスチャーサイズが大きくなりすぎる)という問題がある。上記エッチングガスの導入と併せて、高周波電源3を介して基板ステージ2に放電用電力を投入する。この場合の投入電力は、電力密度が0.5〜1.5W/cm2となるように適宜設定する。これにより、第1工程において基板W表面にテクスチャー構造が形成される。つまり、処理室11内でエッチングガスが励起されてプラズマが形成され、プラズマ中の活性種やイオン種が基板W表面に入射してシリコンのエッチングが進行する。このとき、エッチングされたシリコンが酸化されてシリコン酸化物が得られ、この得られたシリコン酸化物を含むハイドロカーボン系の高分子膜がシリコン基板表面に堆積する。この堆積した高分子膜がセルフマスクの役割を果たすことで、シリコン表面が凹凸形状にエッチングされて粗面化され、テクスチャー構造となる。
上記第1工程におけるエッチングを所定時間行った後、高周波電源3からの放電用電力の投入を停止すると共に、流量制御手段52a、52b、52cを閉弁してエッチングガスの処理室11内への導入を停止する。そして、エッチング済みの基板Wを図外の搬送ロボットにより処理室11から搬出する。
次に、エッチング済みの基板Wを水洗する(第2工程)。基板Wの水洗には、バッチ式洗浄装置や枚様式のスピン洗浄装置等の公知のものを用いることができるため、ここでは洗浄条件を含めて詳細な説明を省略する。この第2工程により、上記第1工程のエッチング時にセルフマスクの役割を果たした高分子膜が除去される。
以上説明したように、第1工程で処理室11内に導入するフッ素含有ガスとしてCOF2ガスを用いたため、従来例の如くNF3やSF6やCF4等を用いる場合と比べて、セルフマスクの役割を果たす高分子膜に含まれるシリコン酸化物の含有量は低くなる。これは、第1工程で処理室11内に導入された酸素ガスの分解により得られた酸素イオンや酸素ラジカルは、エッチングされたシリコンよりも、COF2ガスの分解により得られたCOイオンやCOラジカルと結合しやすく(すなわち、より低いエネルギーで反応し)、その結合したCO−Oが高分子膜中に多く取り込まれることによるものと考えられる。このようにシリコン酸化物の含有量の低い高分子膜は、基板Wの水洗を行うだけで効率よく除去できる。しかも、フッ酸等の薬液を用いる必要がないため、ランニングコストを抑えることができる。
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、第1工程と第2工程との間に、後工程で所定の薄膜をカバレッジよく成膜できるように、テクスチャー構造に対するラウンド加工を施す工程を上記第1工程に連続して同一の処理室11内で行うことができる。この場合、フッ素含有ガスとしてCOF2ガスを用いればよい。
また、シリコンのインゴットをスライスして基板Wを得る際、スライス時に生じる基板Wのダメージ層を除去する工程を上記第1工程に先立って同一の処理室11内で行うことができる。この場合、ドライエッチングの条件は、上記従来例のものが利用できるため、ここでは詳細な説明を省略する。
以上の効果を確認するため、図1に示すドライエッチング装置EMを用いて次の実験を行った。発明実験では、基板として公知の方法で得た多結晶シリコン基板を用い、エッチングガスをCOF2ガスとCl2ガスと酸素ガスとの混合ガスとし、それらの流量を200:400:150sccmに夫々設定して処理室11内に導入し、エッチング時の処理室11の圧力を80Paとした。そして、高周波電源3からの投入電力を2.5kWとし、100秒間エッチングを行った。このエッチングにより得られた発明試料の断面SEM写真を図2(a)に示す。これによれば、基板表面には凹凸を繰り返すノコギリ刃状のテクスチャー構造が形成されており、テクスチャーサイズは0.3〜0.6μmであり、エッチング量(エッチング深さ)は0.62μmであり、後述の比較実験と同様のテクスチャー構造が得られることが確認された。そして、テクスチャーの頂部に堆積したセルフマスクたる高分子膜に含まれるシリコン酸化物(白い部分)の含有量が比較的少なく、この発明試料を水洗するだけで高分子膜を除去できることが確認された。また、公知の分光光度計を用い、発明試料について、基板表面に対して垂直に光を入射させて可視光領域における反射率を測定した結果、後述の比較実験と同様の7.6%という数値が得られた。
比較実験では、上記発明実験と同じ基板を用い、フッ素含有ガスとしてCOF2ガスに代えてSF6ガスを用い、SF6ガスとCl2ガスと酸素ガスの流量を200:400:200sccmに夫々設定した。エッチング時の処理室11内の圧力を100Paとし、高周波電源3からの投入電力を2.5kWとし、90秒間エッチングを行った。このエッチングにより得られた比較試料の断面SEM写真を図2(b)に示す。これによれば、テクスチャーサイズは0.21〜0.45μmであり、エッチング量は0.80μmであることが確認された。また、上記発明実験と同様の方法で反射率を測定した結果、6.4%という数値が得られた。然しながら、図2(b)に示すように、テクスチャーの頂部に堆積したセルフマスクたる高分子膜に含まれるシリコン酸化物(白い部分)の含有量は、上記発明実験よりも多く、この比較試料を水洗するだけでは高分子膜を除去できないことが確認された。
EM…ドライエッチング装置、11…処理室、2…基板ステージ、3…高周波電源、4…シャワープレート、5…ガス導入系、54a〜54c…(COF2ガス、ハロゲン含有ガス及び酸素ガス用の各)ガス源、W…基板(シリコン基板)。
Claims (2)
- シリコン基板表面にテクスチャー構造を形成するテクスチャー構造形成方法であって、
シリコン基板を配置した減圧下の処理室内に、COF2ガスとハロゲン含有ガスと酸素ガスとを含むエッチングガスを導入し、放電用電力を投入してシリコン基板表面をエッチングする第1工程と、
第1工程でエッチング済みのシリコン基板を水洗する第2工程と、を含むことを特徴とするテクスチャー構造形成方法。 - 第1工程にて、エッチングガスの総流量に対するCOF2ガスの流量比を10〜30%の範囲内に設定することを特徴とする請求項1記載のテクスチャー構造形成方法。
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