JP2013145916A5 - 熱処理装置 - Google Patents

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本発明の熱処理装置は、
基板を加熱板に載置して熱処理を行うための熱処理装置において、
前記加熱板の裏面と対向して設けられる第１の冷却プレートと、
前記加熱板と前記第１の冷却プレートとの間に設けられた第２の冷却プレートと、
前記第２の冷却プレートを、前記加熱板を冷却するために当該加熱板の裏面に接触または近接する冷却位置と前記第１の冷却プレート上に載置される待機位置との間で相対的に昇降させるための昇降機構と、
前記基板の熱処理中に、前記第２の冷却プレートを前記第１の冷却プレートにより冷却するために当該第２の冷却プレートを前記待機位置に設定し、熱処理後の基板が前記加熱板から搬出された後、当該加熱板を降温させるために前記第２の冷却プレートを前記冷却位置に設定するように前記昇降機構を制御する制御部と、を備えたことを特徴とする。
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