JP2013143344A - 酸化物超電導薄膜とその製造方法および酸化物超電導薄膜線材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】塗布熱分解法を用いて、基材上にREBCO系酸化物超電導薄膜を形成する酸化物超電導薄膜の製造方法であって、基板上に、CeO2層を最上層とする中間層を形成して基材を作製する基材作製工程と、基材上に、REおよびBa量が、REBCOの化学量論比(RE:Ba:Cu=1:2:3)よりも低い比率で調製された原料溶液を塗布、乾燥した後、仮焼熱処理、本焼熱処理を経て、第1層目のREBCO系酸化物超電導薄膜を形成し、第1層目のREBCO系酸化物超電導薄膜の上に、Cu量がREBCOの化学量論比よりも低い比率で調製された原料溶液を塗布、乾燥した後、仮焼熱処理、本焼熱処理を経て、第2層目のREBCO系酸化物超電導薄膜を形成する酸化物超電導薄膜の製造方法。
【選択図】なし
Description
塗布熱分解法を用いて、基材上にREBCO系酸化物超電導薄膜を形成する酸化物超電導薄膜の製造方法であって、
基板上に、CeO2層を最上層とする中間層を形成して前記基材を作製する基材作製工程と、
前記基材上に、REおよびBa量が、REBCOの化学量論比(RE:Ba:Cu=1:2:3)よりも低い比率で調製された原料溶液を塗布、乾燥した後、仮焼熱処理、本焼熱処理を経て、第1層目のREBCO系酸化物超電導薄膜を形成する第1酸化物超電導薄膜形成工程と、
前記第1層目のREBCO系酸化物超電導薄膜の上に、Cu量がREBCOの化学量論比よりも低い比率で調製された原料溶液を塗布、乾燥した後、仮焼熱処理、本焼熱処理を経て、第2層目のREBCO系酸化物超電導薄膜を形成する第2酸化物超電導薄膜形成工程と、
を備えていることを特徴とする酸化物超電導薄膜の製造方法である。
請求項2に記載の発明は、
前記第1酸化物超電導薄膜形成工程に使用されるMOD溶液の組成が、RE:Ba:Cu=x:y:3(0.7≦x<1.0、1.5≦y<2.0)であり、
前記第2酸化物超電導薄膜形成工程に使用されるMOD溶液の組成が、RE:Ba:Cu=1:2:z(2.5≦z<3.0)である
ことを特徴とする請求項1に記載の酸化物超電導薄膜の製造方法である。
前記第1酸化物超電導薄膜形成工程に使用されるMOD溶液におけるREの化学量論比に対する低減比率が、前記Baの化学量論比に対する低減比率よりも大きいことを特徴とする請求項2に記載の酸化物超電導薄膜の製造方法である。
前記第2酸化物超電導薄膜形成工程において用いられる塗布熱分解法が、フッ素フリーMOD法であることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の酸化物超電導薄膜の製造方法である。
前記第2酸化物超電導薄膜形成工程の後、さらに、1層または2層以上のREBCO層を積層することを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の酸化物超電導薄膜の製造方法である。
請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の酸化物超電導薄膜の製造方法を用いて製造されていることを特徴とする酸化物超電導薄膜である。
請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の酸化物超電導薄膜の製造方法を用いて製造された酸化物超電導薄膜が設けられていることを特徴とする酸化物超電導薄膜線材である。
最初に、基板上に中間層が形成された基材を作製する。
基板としては、YSZ単結晶基板や2軸配向した配向金属基板が好ましく用いられ、前記配向金属基板としては、IBAD基板、Ni−W合金基板、SUS等をベース金属としたクラッドタイプの金属基板等が用いられる。
前記基板上に、より高いJcの酸化物超電導薄膜が得られるという観点から、CeO2層を中間層として形成する。形成方法としては、RFスパッタ法やPLD法などの気相法が用いられる。なお、CeO2層と基材との間に、CeO2、酸化イットリウム(Y2O3)、イットリア安定化ジルコニア(YSZ)、チタン酸ストロンチウム(SrTiO3)、酸化マグネシウム(MgO)や、バリウムジルコネート(BaZrO3)、アルミン酸ランタン(LaAlO3)等の層を設けて、多層の中間層を形成させてもよく、一般的には3層構造の中間層が用いられる。
次に、FF−MOD法を用いて、基材上に、第1層目の酸化物超電導薄膜および第2層目の酸化物超電導薄膜を順に形成する。
最初に、基材上に第1層目の酸化物超電導薄膜を形成する。
Y、Ba、Cuのアセチルアセトナート塩などの有機金属化合物(金属塩)を、アルコールなどの溶媒に溶解して第1のMOD溶液を作製する。
基材の中間層上に、上記のように調製された第1のMOD溶液を塗布し、乾燥させて塗膜を形成させる。
塗膜が形成された基材を、大気雰囲気下、500℃程度の温度で120分間加熱して仮焼熱処理を行った後、さらに、酸素濃度100ppmのアルゴン/酸素混合ガス雰囲気下、800℃程度の温度で90分間加熱して本焼熱処理を行う。これにより、基板上に第1層目の酸化物超電導薄膜が形成される。
次に、第1層目の酸化物超電導薄膜の上に第2層目の酸化物超電導薄膜を形成する。
前記と同様に、Y、Ba、Cuのアセチルアセトナート塩などの有機金属化合物(金属塩)を、アルコールなどの溶媒に溶解して第2のMOD溶液を作製する。
第1層目の酸化物超電導薄膜の上に、上記のように調製された第2のMOD溶液を塗布し、乾燥させて塗膜を形成させる。
その後、大気雰囲気下、500℃程度の温度で120分間加熱して仮焼熱処理を行った後、さらに、酸素濃度100ppmのアルゴン/酸素混合ガス雰囲気下、800℃程度の温度で90分間加熱して本焼熱処理を行う。これにより、第1層目の酸化物超電導薄膜の上に、第2層目の酸化物超電導薄膜が形成される。
本実施例は、第1層目の酸化物超電導薄膜の形成に際して、YBCOの化学量論比(Y:Ba:Cu=1:2:3)よりも、YおよびBaの比率が低くなるように調製されたMOD溶液を用いることにより、BaCeO3の生成、およびY211の析出が抑制されることを確認した例である。
本実施例は、YおよびBaの比率が低いMOD溶液を用いて形成された第1層目の酸化物超電導薄膜の上に、Cuの比率が低いMOD溶液を用いて第2層目の酸化物超電導薄膜を形成することにより、Cu−Oの析出が抑制されることを確認した例である。
Claims (7)
- 塗布熱分解法を用いて、基材上にREBCO系酸化物超電導薄膜を形成する酸化物超電導薄膜の製造方法であって、
基板上に、CeO2層を最上層とする中間層を形成して前記基材を作製する基材作製工程と、
前記基材上に、REおよびBa量が、REBCOの化学量論比(RE:Ba:Cu=1:2:3)よりも低い比率で調製された原料溶液を塗布、乾燥した後、仮焼熱処理、本焼熱処理を経て、第1層目のREBCO系酸化物超電導薄膜を形成する第1酸化物超電導薄膜形成工程と、
前記第1層目のREBCO系酸化物超電導薄膜の上に、Cu量がREBCOの化学量論比よりも低い比率で調製された原料溶液を塗布、乾燥した後、仮焼熱処理、本焼熱処理を経て、第2層目のREBCO系酸化物超電導薄膜を形成する第2酸化物超電導薄膜形成工程と、
を備えていることを特徴とする酸化物超電導薄膜の製造方法。 - 前記第1酸化物超電導薄膜形成工程に使用されるMOD溶液の組成が、RE:Ba:Cu=x:y:3(0.7≦x<1.0、1.5≦y<2.0)であり、
前記第2酸化物超電導薄膜形成工程に使用されるMOD溶液の組成が、RE:Ba:Cu=1:2:z(2.5≦z<3.0)である
ことを特徴とする請求項1に記載の酸化物超電導薄膜の製造方法。 - 前記第1酸化物超電導薄膜形成工程に使用されるMOD溶液におけるREの化学量論比に対する低減比率が、前記Baの化学量論比に対する低減比率よりも大きいことを特徴とする請求項2に記載の酸化物超電導薄膜の製造方法。
- 前記第2酸化物超電導薄膜形成工程において用いられる塗布熱分解法が、フッ素フリーMOD法であることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の酸化物超電導薄膜の製造方法。
- 前記第2酸化物超電導薄膜形成工程の後、さらに、1層または2層以上のREBCO層を積層することを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の酸化物超電導薄膜の製造方法。
- 請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の酸化物超電導薄膜の製造方法を用いて製造されていることを特徴とする酸化物超電導薄膜。
- 請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の酸化物超電導薄膜の製造方法を用いて製造された酸化物超電導薄膜が設けられていることを特徴とする酸化物超電導薄膜線材。
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