JP5605750B2 - 酸化物超電導薄膜製造用の原料溶液 - Google Patents
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Description
塗布熱分解法により酸化物超電導薄膜を製造する際に使用される酸化物超電導薄膜製造用の原料溶液であって、
フッ素を含まない金属有機化合物を溶質とする溶液に、塩素が含有されていることを特徴とする酸化物超電導薄膜製造用の原料溶液である。
総金属イオン濃度に対する前記塩素の含有率が、0.05原子%〜5原子%であることを特徴とする第1の技術に記載の酸化物超電導薄膜製造用の原料溶液である。
前記金属有機化合物が、希土類元素、バリウムおよび銅のそれぞれのアセチルアセトン金属錯体であることを特徴とする第1の技術または第2の技術に記載の酸化物超電導薄膜製造用の原料溶液である。
前記酸化物超電導薄膜が、REBa2Cu3O7−Xの薄膜であることを特徴とする第1の技術ないし第3の技術のいずれかに記載の酸化物超電導薄膜製造用の原料溶液である。
塗布熱分解法により酸化物超電導薄膜を製造する際に使用される酸化物超電導薄膜製造用の原料溶液であって、
フッ素を含まない金属有機化合物を溶質とする溶液に、塩素が含有されており、
総金属イオン濃度に対する前記塩素の含有率が、0.05原子%〜5原子%であることを特徴とする酸化物超電導薄膜製造用の原料溶液である。
前記金属有機化合物が、希土類元素、バリウムおよび銅のそれぞれのアセチルアセトン金属錯体であることを特徴とする請求項1に記載の酸化物超電導薄膜製造用の原料溶液である。
前記酸化物超電導薄膜が、REBa 2 Cu 3 O 7−X の薄膜であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の酸化物超電導薄膜製造用の原料溶液である。
1.原料溶液の作製
本実施例は、YBCO(Y123)酸化物超電導薄膜に関する例である。
(1)アセチルアセトン金属錯体溶液の調製
Y、Ba、Cuの各アセチルアセトン金属錯体を、Y:Ba:Cuのモルが1:2:3となるように調整してメタノールに溶解し、総金属イオン濃度が1mol/Lであるアセチルアセトン金属錯体溶液を調製した。
調製したアセチルアセトン金属錯体溶液に1mol/Lの塩酸を添加し、塩素を0.01mol/L(総金属イオン濃度に対して1原子%)含むYBCO酸化物超電導薄膜製造用の原料溶液を調製した。
(1)仮焼成
調製した原料溶液をCeO2/YSZ/CeO2/Ni合金の基板上に塗布後、乾燥して塗膜を作製した。次に、作製した塗膜を大気雰囲気の下で、500℃まで20℃/分の昇温速度で昇温後、2時間保持後炉冷した。この工程を6回繰り返し行って厚さ1.2μmの6層構造(1層の膜厚は0.2μm)の仮焼膜を作製した。
次に、作製した仮焼膜をアルゴン/酸素混合ガス(酸素濃度:100ppm、CO2濃度:1ppm以下)雰囲気の下、10℃/分の昇温速度で770℃まで昇温させ90分間保持した。その後、酸素濃度100%雰囲気の下で炉冷し、膜厚が0.9μm(厚膜)のYBCO酸化物超電導薄膜を作製した。
塩素を添加しなかったこと以外は、実施例と同じ方法でYBCO酸化物超電導薄膜製造用の原料溶液を調製した。その後、原料溶液を実施例と同じ基板に塗布後、実施例と同じ条件で仮焼および本焼を行い、YBCO酸化物超電導薄膜を作製した。
(1)表面状態の観察
図1および図2は、それぞれ実施例および比較例のYBCO酸化物超電導薄膜の表面のSEM写真である。得られたYBCO(Y123)酸化物超電導薄膜の表面状態を、SEMにより観察したところ、実施例は、図1より、ほぼ均一な平滑面が形成されていることが確認できた。これに対して、比較例は、図2より、表面に荒れが生じていることが確認できた。
仮焼膜の断面状態を、STEMにより観察したところ、実施例の場合は、空隙が認められず、Cuの分布が一様であり、均一な組成であることが確認できた。これに対して、比較例の場合は、仮焼膜に多くの空隙が存在しており、Cuが偏析していることを示すCuリッチ部が確認できた。この様子を図3に示す。図3は比較例の仮焼膜の空隙の存在、およびCuの偏析を説明するために、膜断面を模式的に表した図であり、1はCuプア部、2は空隙、3はCuリッチ部である。
(a)77K、自己磁場下において作製したYBCO酸化物超電導薄膜の超電導特性の一つとしてIcを測定した。また、X線回折(XRD)によりYBCO(005)ピーク強度を測定した。
(b)単位幅、即ち幅1cm当たりのIcおよびYBCO(005)ピーク強度の測定の結果を膜厚と併せて表1に示す。
2 空隙
3 Cuリッチ部
Claims (3)
- 塗布熱分解法により酸化物超電導薄膜を製造する際に使用される酸化物超電導薄膜製造用の原料溶液であって、
フッ素を含まない金属有機化合物を溶質とする溶液に、塩素が含有されており、
総金属イオン濃度に対する前記塩素の含有率が、0.05原子%〜5原子%であることを特徴とする酸化物超電導薄膜製造用の原料溶液。 - 前記金属有機化合物が、希土類元素、バリウムおよび銅のそれぞれのアセチルアセトン金属錯体であることを特徴とする請求項1に記載の酸化物超電導薄膜製造用の原料溶液。
- 前記酸化物超電導薄膜が、REBa2Cu3O7−Xの薄膜であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の酸化物超電導薄膜製造用の原料溶液。
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