JP2013136132A - 搬送装置および搬送方法 - Google Patents
搬送装置および搬送方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013136132A JP2013136132A JP2011288966A JP2011288966A JP2013136132A JP 2013136132 A JP2013136132 A JP 2013136132A JP 2011288966 A JP2011288966 A JP 2011288966A JP 2011288966 A JP2011288966 A JP 2011288966A JP 2013136132 A JP2013136132 A JP 2013136132A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- wafer
- laminate
- holding
- solidifying
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims abstract description 18
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 3
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 abstract description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 5
- 238000003475 lamination Methods 0.000 abstract description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 30
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 20
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 4
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 4
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005679 Peltier effect Effects 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 239000008246 gaseous mixture Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000012719 thermal polymerization Methods 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】搬送装置1は、ウェハWFに相対する保持面21を有する保持体2と、保持面21から噴出する冷風CWの流れ方向を制御することで保持面21とウェハWFとの間に負圧領域AVを形成して、ウェハWFを非接触状態で保持する気体供給手段3と、流動化された再接着層AD1を固形化する冷風送風手段31と、保持体2を搬送する搬送手段4とを備え、気体供給手段は、冷風CWがウェハWFにおける外縁領域WF1のみに接触してから外側に向かって流れるように制御する。
【選択図】図2
Description
この特許文献1の構成では、ウェハに相対する保持面の中央および当該中央よりも外側の周方向に沿った4箇所に噴出孔が設けられており、保持面をウェハに近づけて噴出孔から気体を噴出することで、ベルヌーイ効果によってウェハを保持する。
しかしながら、特許文献1のような構成で接着層が積層された面側から支持して搬送する場合、ウェハにおける被貼付面の中央を含むエリアに空気が噴き付けられるため、被貼付面に設けられた接着層が噴き付けられた空気の作用によって移動してしまい、接着層の厚みの精度が低下したり厚みの均一性が損なわれたりしてしまうという不都合がある。
また、本発明の搬送装置では、前記積層物は、エネルギー線により固形化する特性を有し、前記固形化手段は、エネルギー線を照射可能なエネルギー線照射手段を備える、ことが好ましい。
また、積層物がエネルギー線により固形化する場合には、エネルギー線照射手段でエネルギー線を照射することで当該積層物の流動性を低下させることができ、積層物が移動することを抑制して搬送することができる。
なお、各図においては、本発明の内容を理解しやすくするために各構成の形状や配置状態を誇張して示している。
本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図1を基準としている。
図1および図2において、搬送装置1は、流動化された積層物としての再接着層AD1が図示しない積層装置によって積層された板状部材としてのウェハWFを、シート貼付装置8に搬送するものである。再接着層AD1としては、流動化させることが可能なものであれば、特に限定されることはないが、ダイアタッチフィルムに使用されるような、熱可塑性、熱重合性などを有するものを用いる。なお、本実施形態では、約40℃以下に冷却されたときに固形化可能な特性を有する再接着層AD1を適用した場合について説明する。
また、再接着層とは、当該再接着層を介して板状部材に貼付したシートを再接着層から剥離した後に、当該再接着層を介して板状部材を他のものに接着することができるものを意味する。
そして、搬送装置1は、ウェハWFに相対する保持面21を有する保持体2と、保持面21から噴き付ける気体の流れ方向を制御することで保持面21とウェハWFとの間に負圧領域AVを形成して、ウェハWFを非接触状態で保持する気体供給手段3と、保持体2を搬送する搬送手段4とを備え、パーソナルコンピュータやシーケンサ等の制御手段5によってその全体的な動作が制御されるように構成されている。
冷風送風手段31としては、外部から供給される空気GSを冷風CWに冷却するものであれば、特に限定されるものではないが、ペルティエ効果を利用した冷却装置や、フロンを利用した冷却装置を適用することができる。
送風流路32は、保持面21の周方向全周にわたって設けられており、保持面21に円環状に形成された送風開孔部33から噴き付ける冷風CWの流れ方向を、冷風CWがウェハWFにおける外縁領域WF1のみに接触してから外側に向かって流れるように制御する。ここで、外縁領域WF1とは、ウェハWFの外縁を含む例えば幅寸法LWが3mmの円環状の領域であり、当該外縁領域WF1には、回路が設けられていない。このような冷風CWの流れ方向の制御によって、保持面21とウェハWFとの間の領域のうち、保持面21とウェハWFと冷風CWの流れとで囲まれる領域の圧力が下がり負圧領域AVとなる。
搬送手段4は、駆動機器であるリニアモータ41と、このリニアモータ41のスライダ42に設けられ、その出力軸44が保持体2の上面部に固定された駆動機器としての直動モータ43とを備えている。
シート貼付装置8は、シートSTが所定間隔で帯状の剥離シートRL上に擬似接着などにより仮着された原反RSを支持する支持ローラ83と、剥離シートRLを折り返してシートSTを剥離シートRLから剥離する剥離板84と、剥離シートRLを回収する回収ローラ85と、繰り出されたシートSTをウェハWFに押圧して再接着層AD1を介して貼付する押圧手段86と、ウェハWFを吸着保持可能なテーブル87と、テーブル87の下面にスライダ88が固定された駆動機器としての単軸ロボット89とを備える。
次いで、制御手段5は、気体供給手段3の冷風送風手段31によって冷風CWを噴き付け、当該冷風CWをウェハWFにおける外縁領域WF1のみに噴き付けてから外側に向かって流すことで、保持面21とウェハWFとの間に負圧領域AVを形成する。この負圧領域AVの形成によって、ウェハWFを保持面21に引きつけようとする力が作用し、ベルヌーイ効果によってウェハWFを非接触の状態で保持することが可能となる。また、冷風CWがウェハWFにおける外縁領域WF1のみに噴き付けられ、当該外縁領域WF1よりも内側の領域には噴き付けられないため、負圧領域AVを形成するために冷風CWを噴き付けた場合であっても、ウェハWFの上に存在する流動化された再接着層AD1が冷風CWの流れによって移動することが抑制される。さらに、冷風CWが外縁領域WF1に噴き付けられることによってウェハWF全体が冷却され、当該ウェハWFの冷却によって再接着層AD1が冷却されて固形化するため、ウェハWFの搬送中に発生する振動によって再接着層AD1が移動することが抑制される。すなわち、冷風送風手段31は、本実施形態においては、再接着層AD1を固形化する固形化手段としても機能する。したがって、ウェハWFを保持するための負圧領域AVの形成時およびウェハWFの搬送時において、ウェハWF上の再接着層AD1の厚みの精度が低下したり、厚みの均一性が損なわれたりするという不具合を抑制できる。なお、再接着層AD1が加熱されることによって固形化する特性のものであれば、固形化手段として冷風送風手段31の替わりに、コイルヒータや赤外線ヒータ等の熱風送風手段を設けることができる。
2…保持体
3…気体供給手段
4…搬送手段
6A…紫外線照射ランプ(エネルギー線照射手段)(固形化手段)
31…冷風送風手段(固形化手段)
AD1,AD2…再接着層(積層物)
CW…冷風(気体)
WF…ウェハ(板状部材)
Claims (4)
- 流動化された積層物が積層された板状部材を搬送する搬送装置であって、
前記板状部材に相対する保持面を有する保持体と、
前記保持面から噴き付ける気体の流れ方向を制御することで前記保持面と前記板状部材との間に負圧領域を形成して、前記板状部材を非接触状態で保持する気体供給手段と、
前記流動化された積層物を固形化する固形化手段と、
前記保持体を搬送する搬送手段とを備え、
前記気体供給手段は、前記気体が前記板状部材における外縁領域のみに噴き付けられてから外側に向かって流れるように制御することを特徴とする搬送装置。 - 前記積層物は、所定温度に達したときに固形化する特性を有し、
前記固形化手段は、前記積層物が固形化する温度となる冷風または熱風を送風可能な冷風送風手段または熱風送風手段を備えることを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。 - 前記積層物は、エネルギー線により固形化する特性を有し、
前記固形化手段は、エネルギー線を照射可能なエネルギー線照射手段を備えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の搬送装置。 - 流動化された積層物が積層された板状部材を搬送する搬送方法であって、
保持体の保持面を前記板状部材に相対させるステップと、
前記保持面から噴き付ける気体を、前記気体が前記板状部材における外縁領域のみに噴き付けて、当該噴き付け位置から外側に向かって流れるように制御することで前記保持面と前記板状部材との間に負圧領域を形成して、前記板状部材を非接触状態で保持するステップと、
前記流動化された積層物を固形化するステップと、
前記保持体を搬送するステップとを有することを特徴とする搬送方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011288966A JP5851831B2 (ja) | 2011-12-28 | 2011-12-28 | 搬送装置および搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011288966A JP5851831B2 (ja) | 2011-12-28 | 2011-12-28 | 搬送装置および搬送方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013136132A true JP2013136132A (ja) | 2013-07-11 |
JP5851831B2 JP5851831B2 (ja) | 2016-02-03 |
Family
ID=48912327
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011288966A Active JP5851831B2 (ja) | 2011-12-28 | 2011-12-28 | 搬送装置および搬送方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5851831B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0217975A (ja) * | 1988-06-09 | 1990-01-22 | Dow Corning Corp | 放射線形成ダムによる流動制御方法 |
JPH0389514A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-15 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JPH09181026A (ja) * | 1995-12-25 | 1997-07-11 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造装置 |
-
2011
- 2011-12-28 JP JP2011288966A patent/JP5851831B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0217975A (ja) * | 1988-06-09 | 1990-01-22 | Dow Corning Corp | 放射線形成ダムによる流動制御方法 |
JPH0389514A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-15 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JPH09181026A (ja) * | 1995-12-25 | 1997-07-11 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5851831B2 (ja) | 2016-02-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN111095493B (zh) | 薄型化板状部件的制造方法以及薄型化板状部件的制造装置 | |
JP6219196B2 (ja) | シート貼付方法および貼付装置 | |
JP4746002B2 (ja) | 移載装置及び移載方法 | |
JP6352014B2 (ja) | 厚さ測定器 | |
JP6001941B2 (ja) | 積層体形成方法および積層体形成システム | |
WO2012026274A1 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP2017059582A (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP5851831B2 (ja) | 搬送装置および搬送方法 | |
JP2013110244A (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP3210743U (ja) | シート貼付装置 | |
TW202145322A (zh) | 薄片剝離方法以及薄片剝離裝置 | |
JP3200936U (ja) | シート貼付装置 | |
JP5868702B2 (ja) | 積層装置 | |
KR102501353B1 (ko) | 지지 장치 및 지지 방법 | |
JP2017147346A (ja) | 貼付装置、貼付システム、及び貼付方法 | |
JP3235024U (ja) | 支持装置 | |
JP6312472B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP6818933B1 (ja) | 積層体製造方法および積層体製造装置 | |
JP6134625B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP2013197117A (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP2023142037A (ja) | 搬送装置および搬送方法 | |
JP6535550B2 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP2008227223A (ja) | アライメント装置、搬送装置及びシート貼付装置 | |
JP2013138144A (ja) | シート貼付装置、およびシート貼付方法 | |
JP2022049272A (ja) | シート剥離装置およびシート剥離方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140807 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150415 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150421 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150617 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151124 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151203 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5851831 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |