JP2013134020A5 - - Google Patents

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TW101143454A TWI521179B (zh) 2011-12-27 2012-11-21 Cryogenic pump system, very low temperature system, compressor unit control device and its control method
US13/724,092 US9759467B2 (en) 2011-12-27 2012-12-21 Cryopump system, cryogenic system, and apparatus and method of controlling compressor unit
KR1020120152851A KR101428315B1 (ko) 2011-12-27 2012-12-26 크라이오펌프시스템, 극저온시스템, 압축기유닛의 제어장치 및 그 제어방법
CN201210576016.8A CN103184996B (zh) 2011-12-27 2012-12-26 低温泵系统、超低温系统、压缩机单元的控制装置及其控制方法

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Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6086835B2 (ja) * 2013-07-23 2017-03-01 住友重機械工業株式会社 圧縮機および冷却システム
DE202013010352U1 (de) * 2013-11-18 2015-02-19 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Kaltkopf für Tieftemperatur-Kältemaschine
JP2015098844A (ja) 2013-11-20 2015-05-28 住友重機械工業株式会社 クライオポンプシステム、及びクライオポンプシステムの運転方法
JP6180349B2 (ja) * 2014-03-18 2017-08-16 住友重機械工業株式会社 極低温冷凍機および極低温冷凍機の制御方法
US9927152B2 (en) * 2014-11-04 2018-03-27 Goodrich Corporation Multi-dewar cooling system
JP6410589B2 (ja) * 2014-12-17 2018-10-24 住友重機械工業株式会社 クライオポンプ、クライオポンプの制御方法、及び冷凍機
US11149992B2 (en) 2015-12-18 2021-10-19 Sumitomo (Shi) Cryogenic Of America, Inc. Dual helium compressors
JP6534358B2 (ja) * 2016-03-22 2019-06-26 住友重機械工業株式会社 クライオポンプ、クライオポンプ制御装置及びクライオポンプ制御方法
KR20180061742A (ko) 2016-11-30 2018-06-08 재단법인 한국섬유기계융합연구원 크라이오 펌프용 극저온 온도 제어 시스템
JP6123041B1 (ja) * 2017-01-04 2017-04-26 株式会社日立製作所 磁気共鳴イメージング装置、クライオシステムの制御装置、および、クライオシステムの制御方法
JP2018127929A (ja) * 2017-02-07 2018-08-16 住友重機械工業株式会社 極低温冷凍機のための圧縮機ユニット、及びクライオポンプシステム
JP6734817B2 (ja) 2017-06-23 2020-08-05 住友重機械工業株式会社 クライオポンプ及びクライオポンプ制御方法
JP2017214936A (ja) * 2017-09-11 2017-12-07 住友重機械工業株式会社 クライオポンプシステム、及びクライオポンプシステムの運転方法
JP7073489B2 (ja) 2017-10-29 2022-05-23 スミトモ （エスエイチアイ） クライオジェニックス オブ アメリカ インコーポレイテッド 異なる制御機構を必要とする極低温装置を単一の動作プラットフォーム上に統合する為の汎用制御装置
JP6975066B2 (ja) 2018-02-20 2021-12-01 住友重機械工業株式会社 極低温冷凍機
JP7282077B2 (ja) * 2018-03-23 2023-05-26 住友重機械工業株式会社 極低温冷凍機
JP2021063508A (ja) * 2021-01-20 2021-04-22 住友重機械工業株式会社 クライオポンプシステム、クライオポンプシステムの運転方法、冷凍機システム、および冷凍機システムの運転方法
US20220397322A1 (en) * 2021-06-15 2022-12-15 Applied Materials, Inc. Cryogenic Cooling System
KR102536332B1 (ko) * 2022-09-23 2023-05-26 크라이오에이치앤아이(주) 크라이오 펌프 시스템
WO2024148477A1 (zh) * 2023-01-09 2024-07-18 安徽万瑞冷电科技有限公司 低温泵、控制系统和控制方法
CN116498537B (zh) * 2023-04-25 2024-01-02 德耐尔能源装备有限公司 空压机的智能控制方法及系统

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11211262A (ja) * 1998-01-28 1999-08-06 Hitachi Ltd 吸収式冷凍機システム
JP2001074326A (ja) * 1999-09-07 2001-03-23 Daikin Ind Ltd 圧縮機ユニット
US6647735B2 (en) * 2000-03-14 2003-11-18 Hussmann Corporation Distributed intelligence control for commercial refrigeration
JP2001263254A (ja) * 2000-03-17 2001-09-26 Tokimec Inc 液圧装置
US6530237B2 (en) * 2001-04-02 2003-03-11 Helix Technology Corporation Refrigeration system pressure control using a gas volume
JP4445187B2 (ja) * 2002-04-18 2010-04-07 住友重機械工業株式会社 極低温冷凍機
KR100437806B1 (ko) * 2002-06-12 2004-06-30 엘지전자 주식회사 멀티형 공기조화기의 운전제어방법
JP4023249B2 (ja) * 2002-07-25 2007-12-19 ダイキン工業株式会社 圧縮機内部状態推定装置及び空気調和装置
KR20050058363A (ko) * 2002-08-20 2005-06-16 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 극저온 냉동기
JP4275374B2 (ja) * 2002-09-09 2009-06-10 株式会社デンソー 圧縮機制御装置
JP4151559B2 (ja) * 2003-10-27 2008-09-17 株式会社豊田自動織機 容量可変型圧縮機の制御装置
JP2005188783A (ja) * 2003-12-24 2005-07-14 Toshiba Corp 冷蔵庫
JP2006266172A (ja) * 2005-03-24 2006-10-05 Denso Corp 圧縮機容量制御装置および冷凍サイクル装置
US7878014B2 (en) * 2005-12-09 2011-02-01 Emerson Climate Technologies, Inc. Parallel condensing unit control system and method
JP4861914B2 (ja) * 2007-06-26 2012-01-25 サンデン株式会社 可変容量圧縮機の容量制御システム
WO2009025208A1 (ja) * 2007-08-17 2009-02-26 Sanden Corporation 可変容量圧縮機の容量制御システム及び表示装置
JPWO2009028450A1 (ja) * 2007-08-28 2010-12-02 キヤノンアネルバ株式会社 クライオポンプシステム
KR101279184B1 (ko) * 2008-09-30 2013-06-26 캐논 아네르바 가부시키가이샤 진공 배기 시스템, 진공 배기 시스템의 운전 방법, 냉동기, 진공 배기 펌프, 냉동기의 운전 방법, 2단식 냉동기의 운전 제어 방법, 크라이오 펌프의 운전 제어 방법, 2단식 냉동기, 크라이오 펌프, 기판 처리 장치, 전자 디바이스의 제조 방법
JP5634323B2 (ja) * 2011-05-13 2014-12-03 住友重機械工業株式会社 クライオポンプシステム、クライオポンプのための再生方法
US8991198B2 (en) * 2012-04-10 2015-03-31 International Business Machines Corporation Cooling system control and servicing based on time-based variation of an operational variable

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