JP2013134020A5 - - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011285356A JP5738174B2 (ja) | 2011-12-27 | 2011-12-27 | クライオポンプシステム、極低温システム、圧縮機ユニットの制御装置及びその制御方法 |
| TW101143454A TWI521179B (zh) | 2011-12-27 | 2012-11-21 | Cryogenic pump system, very low temperature system, compressor unit control device and its control method |
| US13/724,092 US9759467B2 (en) | 2011-12-27 | 2012-12-21 | Cryopump system, cryogenic system, and apparatus and method of controlling compressor unit |
| CN201210576016.8A CN103184996B (zh) | 2011-12-27 | 2012-12-26 | 低温泵系统、超低温系统、压缩机单元的控制装置及其控制方法 |
| KR1020120152851A KR101428315B1 (ko) | 2011-12-27 | 2012-12-26 | 크라이오펌프시스템, 극저온시스템, 압축기유닛의 제어장치 및 그 제어방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011285356A JP5738174B2 (ja) | 2011-12-27 | 2011-12-27 | クライオポンプシステム、極低温システム、圧縮機ユニットの制御装置及びその制御方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2013134020A JP2013134020A (ja) | 2013-07-08 |
| JP2013134020A5 true JP2013134020A5 (https=) | 2013-11-28 |
| JP5738174B2 JP5738174B2 (ja) | 2015-06-17 |
Family
ID=48653237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011285356A Active JP5738174B2 (ja) | 2011-12-27 | 2011-12-27 | クライオポンプシステム、極低温システム、圧縮機ユニットの制御装置及びその制御方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9759467B2 (https=) |
| JP (1) | JP5738174B2 (https=) |
| KR (1) | KR101428315B1 (https=) |
| CN (1) | CN103184996B (https=) |
| TW (1) | TWI521179B (https=) |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6086835B2 (ja) * | 2013-07-23 | 2017-03-01 | 住友重機械工業株式会社 | 圧縮機および冷却システム |
| DE202013010352U1 (de) * | 2013-11-18 | 2015-02-19 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Kaltkopf für Tieftemperatur-Kältemaschine |
| JP2015098844A (ja) * | 2013-11-20 | 2015-05-28 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプシステム、及びクライオポンプシステムの運転方法 |
| JP6180349B2 (ja) * | 2014-03-18 | 2017-08-16 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温冷凍機および極低温冷凍機の制御方法 |
| US9927152B2 (en) * | 2014-11-04 | 2018-03-27 | Goodrich Corporation | Multi-dewar cooling system |
| JP6410589B2 (ja) * | 2014-12-17 | 2018-10-24 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ、クライオポンプの制御方法、及び冷凍機 |
| US11149992B2 (en) | 2015-12-18 | 2021-10-19 | Sumitomo (Shi) Cryogenic Of America, Inc. | Dual helium compressors |
| JP6534358B2 (ja) * | 2016-03-22 | 2019-06-26 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ、クライオポンプ制御装置及びクライオポンプ制御方法 |
| KR20180061742A (ko) | 2016-11-30 | 2018-06-08 | 재단법인 한국섬유기계융합연구원 | 크라이오 펌프용 극저온 온도 제어 시스템 |
| JP6123041B1 (ja) * | 2017-01-04 | 2017-04-26 | 株式会社日立製作所 | 磁気共鳴イメージング装置、クライオシステムの制御装置、および、クライオシステムの制御方法 |
| JP2018127929A (ja) * | 2017-02-07 | 2018-08-16 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温冷凍機のための圧縮機ユニット、及びクライオポンプシステム |
| JP6734817B2 (ja) | 2017-06-23 | 2020-08-05 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ及びクライオポンプ制御方法 |
| JP2017214936A (ja) * | 2017-09-11 | 2017-12-07 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプシステム、及びクライオポンプシステムの運転方法 |
| CN111295557B (zh) * | 2017-10-29 | 2022-02-22 | 住友(Shi)美国低温研究有限公司 | 用于将需要不同的控制机制的低温装置集成到单个操作平台上的通用控制器 |
| JP6975066B2 (ja) | 2018-02-20 | 2021-12-01 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温冷凍機 |
| WO2019181595A1 (ja) | 2018-03-23 | 2019-09-26 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温冷凍機 |
| JP2021063508A (ja) * | 2021-01-20 | 2021-04-22 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプシステム、クライオポンプシステムの運転方法、冷凍機システム、および冷凍機システムの運転方法 |
| US20220397322A1 (en) * | 2021-06-15 | 2022-12-15 | Applied Materials, Inc. | Cryogenic Cooling System |
| KR102536332B1 (ko) * | 2022-09-23 | 2023-05-26 | 크라이오에이치앤아이(주) | 크라이오 펌프 시스템 |
| WO2024148477A1 (zh) * | 2023-01-09 | 2024-07-18 | 安徽万瑞冷电科技有限公司 | 低温泵、控制系统和控制方法 |
| CN116498537B (zh) * | 2023-04-25 | 2024-01-02 | 德耐尔能源装备有限公司 | 空压机的智能控制方法及系统 |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11211262A (ja) * | 1998-01-28 | 1999-08-06 | Hitachi Ltd | 吸収式冷凍機システム |
| JP2001074326A (ja) * | 1999-09-07 | 2001-03-23 | Daikin Ind Ltd | 圧縮機ユニット |
| US6647735B2 (en) * | 2000-03-14 | 2003-11-18 | Hussmann Corporation | Distributed intelligence control for commercial refrigeration |
| JP2001263254A (ja) * | 2000-03-17 | 2001-09-26 | Tokimec Inc | 液圧装置 |
| US6530237B2 (en) * | 2001-04-02 | 2003-03-11 | Helix Technology Corporation | Refrigeration system pressure control using a gas volume |
| JP4445187B2 (ja) * | 2002-04-18 | 2010-04-07 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温冷凍機 |
| KR100437806B1 (ko) * | 2002-06-12 | 2004-06-30 | 엘지전자 주식회사 | 멀티형 공기조화기의 운전제어방법 |
| JP4023249B2 (ja) * | 2002-07-25 | 2007-12-19 | ダイキン工業株式会社 | 圧縮機内部状態推定装置及び空気調和装置 |
| DE10393146B4 (de) * | 2002-08-20 | 2015-07-02 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Tieftemperaturkühlvorrichtung |
| JP4275374B2 (ja) * | 2002-09-09 | 2009-06-10 | 株式会社デンソー | 圧縮機制御装置 |
| JP4151559B2 (ja) * | 2003-10-27 | 2008-09-17 | 株式会社豊田自動織機 | 容量可変型圧縮機の制御装置 |
| JP2005188783A (ja) * | 2003-12-24 | 2005-07-14 | Toshiba Corp | 冷蔵庫 |
| JP2006266172A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Denso Corp | 圧縮機容量制御装置および冷凍サイクル装置 |
| US7878014B2 (en) * | 2005-12-09 | 2011-02-01 | Emerson Climate Technologies, Inc. | Parallel condensing unit control system and method |
| JP4861914B2 (ja) * | 2007-06-26 | 2012-01-25 | サンデン株式会社 | 可変容量圧縮機の容量制御システム |
| DE112008002219B4 (de) * | 2007-08-17 | 2018-10-25 | Sanden Holdings Corporation | Kapazitätssteuerungssystem für einen Kompressor mit variabler Kapazität und Anzeigevorrichtung für das System |
| JPWO2009028450A1 (ja) | 2007-08-28 | 2010-12-02 | キヤノンアネルバ株式会社 | クライオポンプシステム |
| KR101279184B1 (ko) * | 2008-09-30 | 2013-06-26 | 캐논 아네르바 가부시키가이샤 | 진공 배기 시스템, 진공 배기 시스템의 운전 방법, 냉동기, 진공 배기 펌프, 냉동기의 운전 방법, 2단식 냉동기의 운전 제어 방법, 크라이오 펌프의 운전 제어 방법, 2단식 냉동기, 크라이오 펌프, 기판 처리 장치, 전자 디바이스의 제조 방법 |
| JP5634323B2 (ja) * | 2011-05-13 | 2014-12-03 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプシステム、クライオポンプのための再生方法 |
| US8991198B2 (en) * | 2012-04-10 | 2015-03-31 | International Business Machines Corporation | Cooling system control and servicing based on time-based variation of an operational variable |
-
2011
- 2011-12-27 JP JP2011285356A patent/JP5738174B2/ja active Active
-
2012
- 2012-11-21 TW TW101143454A patent/TWI521179B/zh active
- 2012-12-21 US US13/724,092 patent/US9759467B2/en active Active
- 2012-12-26 CN CN201210576016.8A patent/CN103184996B/zh active Active
- 2012-12-26 KR KR1020120152851A patent/KR101428315B1/ko active Active
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