JP2001074326A

JP2001074326A - 圧縮機ユニット

Info

Publication number: JP2001074326A
Application number: JP25293599A
Authority: JP
Inventors: Takahiko Uno; 登彦宇野; Masahiro Fujita; 昌弘藤田
Original assignee: Daikin Industries Ltd
Current assignee: Daikin Industries Ltd
Priority date: 1999-09-07
Filing date: 1999-09-07
Publication date: 2001-03-23

Abstract

(57)【要約】【課題】膨張式冷凍機の冷凍能力にばらつきを生じさ
せない。【解決手段】高圧側配管２５には高圧圧力センサ２８
を取り付ける一方、低圧側配管２７には低圧圧力センサ
２９を取り付ける。高圧側配管２６と低圧側配管２７と
を電動弁３０が介設されたバイパス配管３１で接続す
る。制御装置３２は、高圧圧力ＨＰが所定圧力Ｐ_HH以上
になると、あるいは、低圧圧力ＬＰが所定圧力Ｐ_LL以下
になると、電動弁３０を開放する。さらに、差圧(ＨＰ
−ＬＰ)が所定範囲に入るように電動弁３０の開度を制
御する。その場合における制御系にはパッシブ制御の要
素は一切なく、高圧ヘリウムガスが供給される膨張式冷
凍機の冷凍能力にばらつきは生じない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ヘリウム等の低
温液化ガスを断熱膨張させるギフォードマクマホン型等
の冷凍機(以下、膨張式冷凍機と言う)に圧縮ヘリウムガ
スを供給する圧縮機ユニットに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、膨張式冷凍機に圧縮ヘリウムガス
を供給する圧縮機ユニットとして、図４に示すようなも
のがある。図４において、ヘリウム圧縮機１から吐出さ
れた高圧ヘリウムガスは、油分離器２で冷凍機油等が分
離され、アドソーバ３によって残油分を吸着した後に膨
張式冷凍機(図示せず)の吸入口に供給される。一方、上
記膨張式冷凍機の排気口から排出された低圧ヘリウムガ
スは、サージボトル４を介してヘリウム圧縮機１に戻
る。

【０００３】上記油分離器２の頂部と低圧側配管７と
は、高圧制御弁５が介設されたバイパス管８で接続され
ている。高圧制御弁５はリリーフ弁として機能し、高圧
ヘリウムガスの圧力が所定値を越えると開放して、高圧
ヘリウムガスの一部を低圧側配管７に逃がし、ヘリウム
圧縮機１を高圧から保護するようにしている。

【０００４】さらに、上記ヘリウム圧縮機１を低圧から
保護するために、高圧側配管６と低圧側配管７とを差圧
制御弁(図示せず)で接続し、高圧ヘリウムガスと低圧ヘ
リウムガスとの差圧が所定の値以上になると高圧ヘリウ
ムガスを低圧側配管にバイパスするようにしている。

【０００５】尚、高圧圧力スイッチ９および低圧圧力ス
イッチ１０は、夫々ヘリウム圧縮機１保護停止用のスイ
ッチである。また、１１は均圧電磁弁であり、１２は高
圧圧力ゲージであり、１３は低圧圧力ゲージである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の圧縮機ユニットには、以下のような問題がある。す
なわち、高圧制御弁５や上記差圧制御弁は、作用するヘ
リウムガスの圧力あるいは差圧がバネ力を越えると上記
バネ力に抗して弁体を開く所謂パッシブ制御を行ってい
る。そのために、上記バネ定数のばらつきによる弁の吹
き始め圧力と吹き止まり圧力とにヒステリシスがあり、
信頼性と精度に問題がある。その結果、上記冷凍機の冷
凍能力にばらつきが発生するのである。また、上記パッ
シブ制御に起因して弁体の部分での音成や振動が生ずる
という問題もある。

【０００７】尚、上述の問題は、低圧保護のために、低
圧制御弁を設けて、低圧ヘリウムガスの圧力が所定値を
下回ると高圧側から低圧側へバイパスする場合も同様に
起こる。

【０００８】そこで、この発明の目的は、膨張式冷凍機
の冷凍能力にばらつきを生じさせない圧縮機ユニットを
提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に係る発明の圧縮機ユニットは、冷媒を断
熱膨張させて極低温を得る極低温冷凍機に高圧冷媒を供
給する圧縮機ユニットにおいて、圧縮機本体と、上記圧
縮機本体の吐出口と上記極低温冷凍機の冷媒供給口とを
接続する高圧冷媒管に取り付けられた高圧圧力センサ
と、上記圧縮機本体の吸入口と上記極低温冷凍機の冷媒
排出口とを接続する低圧冷媒管に取り付けられた低圧圧
力センサと、上記高圧冷媒管と低圧冷媒管とを接続する
と共に,電気式開閉弁が介設されたバイパス配管と、上
記高圧圧力センサで検出された高圧冷媒圧力および上記
低圧圧力センサで検出された低圧冷媒圧力の少なくとも
一方に基づいて,上記電気式開閉弁の開閉を制御する制
御装置を備えたことを特徴としている。

【００１０】上記構成によれば、制御装置によって、高
圧圧力センサで検出された高圧冷媒圧力および低圧圧力
センサで検出された低圧冷媒圧力の少なくとも一方に基
づいて、バイパス配管に介設された電気式開閉弁の開閉
を制御するようにしている。したがって、上記高圧冷媒
圧力および低圧冷媒圧力の制御系にはパッシブ制御の要
素は一切なく、従来の高圧制御弁や差圧制御弁のような
バネ定数のばらつきに起因する信頼性や精度の低下は発
生しない。その結果、圧縮機本体から高圧冷媒ガスが供
給される極低温冷凍機の冷凍能力にばらつきは生じな
い。

【００１１】また、請求項２に係る発明は、請求項１に
かかる発明の圧縮機ユニットにおいて、上記制御装置
は、上記高圧冷媒圧力が第１所定圧力以上になると上記
電気式開閉弁を開放するようになっていることを特徴と
している。

【００１２】上記構成によれば、上記高圧冷媒圧力が第
１所定圧力以上になると高圧冷媒ガスの一部が低圧側に
バイパスされるので、上記高圧冷媒圧力が第１所定圧力
より低く保たれて、上記圧縮機本体が異常高圧から保護
される。

【００１３】また、請求項３に係る発明は、請求項１に
かかる発明の圧縮機ユニットにおいて、上記制御装置
は、上記低圧冷媒圧力が第２所定圧力以下になると上記
電気式開閉弁を開放するようになっていることを特徴と
している。

【００１４】上記構成によれば、上記低圧冷媒圧力が第
２所定圧力以下になると高圧冷媒ガスの一部が低圧側に
バイパスされるので、上記低圧冷媒圧力が第２所定圧力
より高く保たれて、上記圧縮機本体が異常低圧から保護
される。

【００１５】また、請求項４に係る発明は、請求項１に
かかる発明の圧縮機ユニットにおいて、上記制御装置
は、上記高圧冷媒圧力が第１所定圧力以上になると、ま
たは、上記低圧冷媒圧力が第２所定圧力以下になると、
上記電気式開閉弁を開放するようになっていることを特
徴としている。

【００１６】上記構成によれば、上記高圧冷媒圧力が第
１所定圧力より低く保たれる一方、上記低圧冷媒圧力が
第２所定圧力より高く保たれて、上記圧縮機本体が異常
高圧および異常低圧から保護される。

【００１７】また、請求項５に係る発明は、請求項１に
かかる発明の圧縮機ユニットにおいて、上記制御装置
は、上記高圧冷媒圧力が第１所定圧力以上になると上記
電気式開閉弁を開放すると共に、上記高圧冷媒圧力と低
圧冷媒圧力との差圧が所定範囲に入るように上記電気式
開閉弁の開度を制御するようになっていることを特徴と
している。

【００１８】上記構成によれば、上記高圧冷媒圧力が第
１所定圧力以上になると高圧冷媒ガスの一部が低圧側に
バイパスされて、上記高圧冷媒圧力が第１所定圧力より
低く保たれる。さらに、上記高圧冷媒圧力と低圧冷媒圧
力との差圧が所定範囲に入るように上記電気式開閉弁の
開度が制御されて、上記低圧冷媒圧力が上記第２所定圧
力より低くならないように維持される。こうして、上記
圧縮機本体が異常高圧および異常低圧から保護される。

【００１９】また、請求項６に係る発明は、請求項１に
かかる発明の圧縮機ユニットにおいて、上記制御装置
は、上記低圧冷媒圧力が第２所定圧力以下になると上記
電気式開閉弁を開放すると共に、上記高圧冷媒圧力と低
圧冷媒圧力との差圧が所定範囲に入るように上記電気式
開閉弁の開度を制御するようになっていることを特徴と
している。

【００２０】上記構成によれば、上記低圧冷媒圧力が第
２所定圧力以下になると高圧冷媒ガスの一部が低圧側に
バイパスされて、上記低圧冷媒圧力が第２所定圧力より
高く保たれる。さらに、上記高圧冷媒圧力と低圧冷媒圧
力との差圧が所定範囲に入るように上記電気式開閉弁の
開度が制御されて、上記高圧冷媒圧力が上記第１所定圧
力より高くならないように維持される。こうして、上記
圧縮機本体が異常高圧および異常低圧から保護される。

【００２１】また、請求項７に係る発明は、請求項１に
かかる発明の圧縮機ユニットにおいて、上記制御装置
は、上記高圧冷媒圧力が第１所定圧力以上になると又は
上記低圧冷媒圧力が第２所定圧力以下になると上記電気
式開閉弁を開放すると共に、上記高圧冷媒圧力と低圧冷
媒圧力との差圧が所定範囲に入るように上記電気式開閉
弁の開度を制御するようになっていることを特徴として
いる。

【００２２】上記構成によれば、上記高圧冷媒圧力が第
１所定圧力以上になると又は上記低圧冷媒圧力が第２所
定圧力以下になると高圧冷媒ガスの一部が低圧側にバイ
パスされて、上記高圧冷媒圧力が第１所定圧力より低く
保たれる一方、上記低圧冷媒圧力が第２所定圧力より高
く保たれる。さらに、上記高圧冷媒圧力と低圧冷媒圧力
との差圧が所定範囲に入るように上記電気式開閉弁の開
度が制御される。こうして、上記圧縮機本体が異常高圧
および異常低圧から保護される。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、この発明を図示の実施の形
態により詳細に説明する。図１は、本実施の形態の圧縮
機ユニットにおける冷媒回路図である。ヘリウム圧縮機
２１から吐出された高圧ヘリウムガスは、油分離器２２
で冷凍機油等が分離され、アドソーバ２３によって残油
分を吸着した後に膨張式冷凍機(図示せず)の吸入口に供
給される。一方、上記膨張式冷凍機の排気口から排出さ
れた低圧ヘリウムガスは、サージボトル２４を介してヘ
リウム圧縮機２１に戻るようになっている。

【００２４】本実施の形態においては、上記ヘリウム圧
縮機２１から油分離器２２への高圧側配管２５には、高
圧ヘリウムガスの圧力を検出する高圧圧力センサ２８を
取り付けている。また、上記膨張式冷凍機の排気口から
サージボトル２４への低圧側配管２７には、低圧ヘリウ
ムガスの圧力を検出する低圧圧力センサ２９を取り付け
ている。そして、油分離器２２からアドソーバ２３への
高圧側配管２６と低圧側配管２７とを、電動弁３０が介
設されたバイパス配管３１で接続している。

【００２５】上記高圧圧力センサ２８及び低圧圧力セン
サ２９からの検出信号は、制御装置３２に送出される。
この制御装置３２は、マイクロコンピュータ等で構成さ
れ、高圧圧力センサ２８および低圧圧力センサ２９から
の検出信号に基づいて、高圧ヘリウムガスおよび低圧ヘ
リウムガスの圧力を監視している。そして、高圧ヘリウ
ムガスの圧力が所定圧力以上になると、あるいは、低圧
ヘリウムガスの圧力が所定圧力以下になると、電動弁３
０に対して制御信号を出力して開放し、高圧ヘリウムガ
スの一部を低圧側にバイパスさせる。さらに、高圧ヘリ
ウムガスと低圧ヘリウムガスとの圧力差が所定の範囲を
外れると、電動弁３０に対して制御信号を出力して、上
記圧力差が上記所定範囲内に入るように電動弁３０の開
度を制御するのである。

【００２６】図２および図３は、上記制御装置３２によ
って行われるヘリウム圧力制御処理動作のフローチャー
トである。以下、図２および図３に従って、ヘリウム圧
力制御処理について説明する。本圧縮機ユニットの電源
がオンされると、ヘリウム圧力制御処理動作がスタート
する。

【００２７】ステップＳ1で、上記高圧圧力センサ２８
からの検出信号に基づいて、ヘリウム圧縮機２１が停止
状態における高圧圧力ＨＰが所定値Ｐ₀以下であるか否
かが判別される。その結果、Ｐ₀以下であればステップ
Ｓ3に進み、そうでなければステップＳ2に進む。ステッ
プＳ2で、異常表示ＬＥＤ(発光ダイオード)(図示せず)
が点灯され、エラーフラグが設定される。ステップＳ3
で、ヘリウム圧縮機２１のスイッチ(図示せず)がオンさ
れたか否かが判別される。その結果、オンされていれば
ステップＳ4に進み、オフであれば上記ステップＳ1に戻
る。

【００２８】ステップＳ4で、上記電動弁３０がＴ1秒間
開放され、バイパス配管３１が開放されて均圧処理が行
われる。ステップＳ5で、圧縮機主電源がオンされてヘ
リウム圧縮機２１が駆動される。ステップＳ6で、圧縮
機保護機器からの信号が正常値であるか否かが判別され
る。その結果、正常値であればステップＳ7に進み、異
常値であればステップＳ21に進む。尚、上記圧縮機保護
機器としては、圧縮機温度センサ,冷却水温度センサ,圧
縮機モータ電流計(何れも図示せず)等がある。

【００２９】ステップＳ7で、上記高圧圧力センサ２８
からの検出信号に基づいて、高圧圧力ＨＰが上限値Ｐ
_Hmaxよりも低いか否かが判別される。その結果、Ｐ_Hmax
よりも低ければステップＳ8に進み、Ｐ_Hmax以上であれ
ばステップＳ21に進む。ステップＳ8で、高圧圧力ＨＰ
が高い閾値Ｐ_HHよりも低いか否かが判別される。その結
果、Ｐ_HHよりも低ければステップＳ10に進み、Ｐ_HH以上
であればステップＳ9に進む。ステップＳ9で、電動弁３
０が開放されて、高圧ヘリウムガスの一部が低圧側配管
２７にバイパスされる。そうした後、ステップＳ12に進
む。ステップＳ10で、高圧圧力ＨＰが低い閾値Ｐ_HLより
も高いか否かが判別される。その結果、Ｐ_HLより高けれ
ばステップＳ12に進み、Ｐ_HL以下であればステップＳ11
に進む。ステップＳ11で、電動弁３０が閉鎖される。

【００３０】ステップＳ12で、上記低圧圧力センサ２９
からの検出信号に基づいて、低圧圧力ＬＰが下限値Ｐ
_Lmaxよりも高いか否かが判別される。その結果、Ｐ_Lmax
よりも高ければステップＳ13に進み、Ｐ_Lmax以下であれ
ばステップＳ21に進む。ステップＳ13で、上記低圧圧力
ＬＰが低い閾値Ｐ_LLよりも高いか否かが判別される。そ
の結果、Ｐ_LLよりも高ければステップＳ15に進み、Ｐ_LL
以下であればステップＳ14に進む。ステップＳ14で、電
動弁３０が開放されて、高圧ヘリウムガスの一部が低圧
側配管２７にバイパスされる。そうした後、ステップＳ
17に進む。ステップＳ15で、上記低圧圧力ＬＰが高い閾
値Ｐ_LHよりも低いか否かが判別される。その結果、Ｐ_LH
よりも低ければステップＳ17に進み、Ｐ_LH以上であれば
ステップＳ16に進む。ステップＳ16で、電動弁３０が閉
鎖される。

【００３１】ステップＳ17で、上記高圧圧力と低圧圧力
との差圧(ＨＰ−ＬＰ)が算出され、この差圧(ＨＰ−Ｌ
Ｐ)が所定範囲内に入るように、電動弁３０の開度が制
御される。ステップＳ18で、ヘリウム圧縮機２１の上記
スイッチがオフされたか否かが判別される。その結果、
オフされていればステップＳ19に進み、オンのままであ
れば上記ステップＳ6に戻って、高圧圧力ＨＰと低圧圧
力ＬＰとの監視と電動弁３０の制御とが続行される。ス
テップＳ19で、圧縮機主電源がオフされてヘリウム圧縮
機２１が停止される。ステップＳ20で、電動弁３０がＴ
1秒間開放されて均圧処理が行われる。そうした後、上
記ステップＳ1に戻って高圧圧力ＨＰの監視に移行す
る。

【００３２】ステップＳ21で、上記異常表示ＬＥＤが点
灯されると共に、エラーフラグが設定される。ステップ
Ｓ22で、上記圧縮機主電源がオフされてヘリウム圧縮機
２１が停止される。ステップＳ23で、電動弁３０がＴ1
秒間開放されて均圧処理が行われる。ステップＳ24で、
エラーフラグの解除および異常表示のクリアが指示され
るのを待ち、指示されればステップＳ25に進む。ステッ
プＳ25で、異常表示ＬＥＤが消灯され、エラーフラグが
解除される。そうした後、上記ステップＳ1に戻って高
圧圧力ＨＰの監視に移行する。

【００３３】尚、上記高圧圧力ＨＰおよび低圧圧力ＬＰ
の値の大小判定には、圧力ＨＰ,ＬＰを所定数サンプリ
ングし、そのサンプリング値の平均値を用いる。あるい
は、比較の対象となる閾値に所定回数到達した場合に、
上記閾値に至ったと判定するようにしても差し支えな
い。また、上記ステップＳ17で行われる電動弁３０の開
度制御に際しては、ＰＩＤ制御を行うことによって冷凍
能力が最適になるように制御する。さらに、電動弁３０
の開閉制御に際してもＰＩＤ制御を行うことによって、
電動弁３０が完全オン/オフする場合が減少し、電動弁
３０の寿命を長くして信頼性を高めることができる。例
えば、電動弁３０をステッピングモータ駆動の電動式開
閉弁とすると、常時制御電圧が印加されることはなく、
ＰＩＤ制御が必要な場合のみ制御電圧が印加される。

【００３４】このように、本実施の形態によれば、高圧
側配管２５には高圧圧力センサ２８を取り付ける一方、
低圧側配管２７には低圧圧力センサ２９を取り付ける。
さらに、高圧側配管２６と低圧側配管２７とを電動弁３
０が介設されたバイパス配管３１で接続する。そして、
制御装置３２によって、高圧圧力センサ２８および低圧
圧力センサ２９からの検出信号に基づいて、高圧圧力Ｈ
Ｐが所定圧力Ｐ_HH以上になると、あるいは、低圧圧力Ｌ
Ｐが所定圧力Ｐ_LL以下になると、電動弁３０を開放して
高圧ヘリウムガスの一部を低圧側にバイパスする。さら
に、差圧(ＨＰ−ＬＰ)が所定範囲に入るように電動弁３
０の開度を制御するようにしている。

【００３５】その場合における高圧圧力ＨＰおよび低圧
圧力ＬＰの制御系にはパッシブ制御の要素は一切なく、
従来の高圧制御弁や差圧制御弁のようなバネ定数のばら
つきに起因する信頼性や精度の低下は無い。したがっ
て、上述のようにして圧力ＨＰが制御された高圧ヘリウ
ムガスが供給される膨張式冷凍機の冷凍能力にばらつき
は生じないのである。

【００３６】上記実施の形態によれば、高圧圧力ＨＰが
上限値Ｐ_Hmax以上あるいは低圧圧力ＬＰが下限値Ｐ_Lmax
以下になると、自動的にヘリウム圧縮機２１が停止され
るようになっている。したがって、ヘリウム圧縮機２１
保護停止用のスイッチである高圧圧力スイッチおよび低
圧圧力スイッチを削除することができる。さらに、上記
ステップＳ4,ステップＳ20,ステップＳ23のように、ヘ
リウム圧縮機２１の運転開始時や運停止時に均圧処理が
必要な場合には、制御装置３２によって電動弁３０を開
放するようにしている。したがって、均圧専用の均圧電
磁弁を削除することができるのである。さらに、制御装
置３２によって、運転開始時等における高圧圧力センサ
２８や低圧圧力センサ２９のオフセットを更正して、正
確な制御を行なうことができる。

【００３７】尚、上記実施の形態においては、上記バイ
パス配管３１に電動弁３０に設けているが、この発明に
おいては特に電動弁３０に限定するものではなく、電磁
比例弁等の電気で作動する総ての弁を含む概念である。

【００３８】

【発明の効果】以上より明らかなように、請求項１に係
る発明の圧縮機ユニットは、高圧冷媒管と低圧冷媒管と
を電気式開閉弁が介設されたバイパス配管で接続し、上
記高圧冷媒管に取り付けられた高圧圧力センサで検出さ
れた高圧冷媒圧力と、上記低圧冷媒管に取り付けられた
低圧圧力センサで検出された低圧冷媒圧力との少なくと
も一方に基づいて、制御装置によって上記電気式開閉弁
の開閉を制御するので、上記高圧冷媒圧力および低圧冷
媒圧力の制御系にはパッシブ制御の要素は一切ない。し
たがって、従来の高圧制御弁や差圧制御弁のようなバネ
定数のばらつきに起因する信頼性や精度の低下は発生し
ない。すなわち、この発明によれば、圧縮機本体から高
圧冷媒ガスが供給される極低温冷凍機の冷凍能力に、ば
らつきは生じないのである。

【００３９】また、請求項２に係る発明における上記制
御装置は、上記高圧冷媒圧力が第１所定圧力以上になる
と上記電気式開閉弁を開放するようになっているので、
上記高圧冷媒圧力を第１所定圧力よりも低く保つことが
でき、上記圧縮機本体を異常高圧から保護できる。

【００４０】また、請求項３に係る発明における上記制
御装置は、上記低圧冷媒圧力が第２所定圧力以下になる
と上記電気式開閉弁を開放するようになっているので、
上記低圧冷媒圧力を第２所定圧力よりも高く保つことが
でき、上記圧縮機本体を異常低圧から保護できる。

【００４１】また、請求項４に係る発明における上記制
御装置は、上記高圧冷媒圧力が第１所定圧力以上になる
と、あるいは、上記低圧冷媒圧力が第２所定圧力以下に
なると、上記電気式開閉弁を開放するようになっている
ので、上記高圧冷媒圧力を第１所定圧力よりも低く保つ
一方、上記低圧冷媒圧力を第２所定圧力よりも高く保つ
ことができる。したがって、上記圧縮機本体を異常高圧
および異常低圧から保護できる。

【００４２】また、請求項５に係る発明における上記制
御装置は、上記高圧冷媒圧力が第１所定圧力以上になる
と上記電気式開閉弁を開放すると共に、上記高圧冷媒圧
力と低圧冷媒圧力との差圧が所定範囲に入るように上記
電気式開閉弁の開度を制御するようになっているので、
上記高圧冷媒圧力を上記第１所定圧力よりも低く保つ一
方、上記低圧冷媒圧力を第２上記所定圧力よりも低くな
らないように維持できる。したがって、上記圧縮機本体
を異常高圧および異常低圧から保護できる。

【００４３】また、請求項６に係る発明における上記制
御装置は、上記低圧冷媒圧力が第２所定圧力以下になる
と上記電気式開閉弁を開放すると共に、上記高圧冷媒圧
力と低圧冷媒圧力との差圧が所定範囲に入るように上記
電気式開閉弁の開度を制御するようになっているので、
上記低圧冷媒圧力を上記第２所定圧力よりも高く保つ一
方、上記高圧冷媒圧力を上記第１所定圧力よりも高くな
らないように維持できる。こうして、上記圧縮機本体を
異常高圧および異常低圧から保護できる。

【００４４】また、請求項７に係る発明における上記制
御装置は、上記高圧冷媒圧力が第１所定圧力以上になる
と又は上記低圧冷媒圧力が第２所定圧力以下になると上
記電気式開閉弁を開放すると共に、上記高圧冷媒圧力と
低圧冷媒圧力との差圧が所定範囲に入るように上記電気
式開閉弁の開度を制御するようになっているので、上記
高圧冷媒圧力を第１所定圧力よりも低く保つ一方、上記
低圧冷媒圧力を第２所定圧力よりも高く保つことができ
る。さらに、上記高圧冷媒圧力と低圧冷媒圧力との差圧
を上記所定範囲内に入るように維持できる。こうして、
上記圧縮機本体を異常高圧および異常低圧から保護でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の圧縮機ユニットにおける冷媒回路
図である。

【図２】図１における制御装置によって行われるヘリ
ウム圧力制御処理動作のフローチャートである。

【図３】図２に続くヘリウム圧力制御処理動作のフロ
ーチャートである。

【図４】従来の圧縮機ユニットの冷媒回路図である。

【符号の説明】

２１…ヘリウム圧縮機、２５,２６…高圧側配管、
２７…低圧側配管、２８…高圧圧力センサ、
２９…低圧圧力センサ、３０…電動弁、
３１…バイパス配管、３２…制
御装置。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】冷媒を断熱膨張させて極低温を得る極低
温冷凍機に高圧冷媒を供給する圧縮機ユニットにおい
て、圧縮機本体(２１)と、上記圧縮機本体(２１)の吐出口と上記極低温冷凍機の冷
媒供給口とを接続する高圧冷媒管(２５)に取り付けられ
た高圧圧力センサ(２８)と、上記圧縮機本体(２１)の吸入口と上記極低温冷凍機の冷
媒排出口とを接続する低圧冷媒管(２７)に取り付けられ
た低圧圧力センサ(２９)と、上記高圧冷媒管(２６)と低圧冷媒管(２７)とを接続する
と共に、電気式開閉弁(３０)が介設されたバイパス配管
(３１)と、上記高圧圧力センサ(２８)で検出された高圧冷媒圧力お
よび上記低圧圧力センサ(２９)で検出された低圧冷媒圧
力の少なくとも一方に基づいて、上記電気式開閉弁(３
０)の開閉を制御する制御装置(３２)を備えたことを特
徴とする圧縮機ユニット。
【請求項２】請求項１に記載の圧縮機ユニットにおい
て、上記制御装置(３２)は、上記高圧冷媒圧力が第１所定圧
力以上になると、上記電気式開閉弁(３０)を開放するよ
うになっていることを特徴とする圧縮機ユニット。
【請求項３】請求項１に記載の圧縮機ユニットにおい
て、上記制御装置(３２)は、上記低圧冷媒圧力が第２所定圧
力以下になると、上記電気式開閉弁(３０)を開放するよ
うになっていることを特徴とする圧縮機ユニット。
【請求項４】請求項１に記載の圧縮機ユニットにおい
て、上記制御装置(３２)は、上記高圧冷媒圧力が第１所定圧
力以上になると、あるいは、上記低圧冷媒圧力が第２所
定圧力以下になると、上記電気式開閉弁(３０)を開放す
るようになっていることを特徴とする圧縮機ユニット。
【請求項５】請求項１に記載の圧縮機ユニットにおい
て、上記制御装置(３２)は、上記高圧冷媒圧力が第１所定圧
力以上になると上記電気式開閉弁(３０)を開放すると共
に、上記高圧冷媒圧力と低圧冷媒圧力との差圧が所定範
囲に入るように上記電気式開閉弁(３０)の開度を制御す
るようになっていることを特徴とする圧縮機ユニット。
【請求項６】請求項１に記載の圧縮機ユニットにおい
て、上記制御装置(３２)は、上記低圧冷媒圧力が第２所定圧
力以下になると上記電気式開閉弁(３０)を開放すると共
に、上記高圧冷媒圧力と低圧冷媒圧力との差圧が所定範
囲に入るように上記電気式開閉弁(３０)の開度を制御す
るようになっていることを特徴とする圧縮機ユニット。
【請求項７】請求項１に記載の圧縮機ユニットにおい
て、上記制御装置(３２)は、上記高圧冷媒圧力が第１所定圧
力以上になると、あるいは、上記低圧冷媒圧力が第２所
定圧力以下になると上記電気式開閉弁(３０)を開放する
と共に、上記高圧冷媒圧力と低圧冷媒圧力との差圧が所
定範囲に入るように上記電気式開閉弁(３０)の開度を制
御するようになっていることを特徴とする圧縮機ユニッ
ト。