JP2013121200A - 圧電モーター、駆動装置、電子部品検査装置、電子部品搬送装置、印刷装置、ロボットハンド、およびロボット - Google Patents

Abstract

【課題】駆動効率の高い圧電モーターを容易に製造する。
【解決手段】圧電材料を含む振動体の両側を、振動体の屈曲方向と交差する方向から緩衝部で挟持し、皿バネを介して押さえ蓋で緩衝部を振動体に押し付けた状態で、振動体ケースに収容する。こうすれば、振動体の振動が振動体ケースに伝わり難くなるので駆動効率が向上する。更に、振動体や緩衝部の挟持方向への寸法ばらつきは皿バネの変形によって吸収され、尚且つ、振動体の振動や対象物からの反力に対しては、皿バネが変形したり、皿バネ受け部や押さえ蓋との間で皿バネが滑ったりすることがない。このため、振動体や緩衝部の厚さを実測して、振動体に対する緩衝部を選別組み付けるなどの面倒な作業が不要となり、圧電モーターを容易に製造することが可能となる。
【選択図】図５

Description

本発明は、圧電モーター、駆動装置、電子部品検査装置、電子部品搬送装置、印刷装置、ロボットハンド、およびロボットに関する。

圧電材料で形成された部材（振動体）を振動させて、対象物を駆動する圧電モーターが知られている。この圧電モーターは、電磁力を利用してローターを回転させる方式の電磁モーターに比べて小型でありながら、大きな駆動力を得ることができ、更に、対象物を高分解能で位置決めすることができるという特徴を有している。このため、たとえばカメラの駆動機構など、種々の装置のアクチュエーターとして用いられている。

圧電モーターは、次のような原理で動作する。先ず、振動体を略直方体形状に形成して、長手方向の端面に凸部を設けておく。そして、振動体に所定周波数の電圧を印加することによって、振動体が伸縮する態様の振動と、振動体が屈曲する態様の振動とを同時に生じさせる。すると、振動体の端面は一方向に回転する楕円運動を開始する。そこで、端面に設けた凸部を対象物に押しつけることで、凸部と対象物との間に働く摩擦力によって対象物を一定方向に移動させることができる。

このような動作原理から、圧電モーターは振動体の端面に設けられた凸部を対象物に押しつけた状態で用いる必要がある。また、対象物を駆動する時に凸部が対象物から受ける反力で振動体が逃げないように振動体を保持しておく必要がある。それでいながら、凸部が楕円運動するように振動体の振動は許容しなければならない。そこで、凸部を突出させた状態で振動体を保持ケースに収め、その保持ケース内で、弾性部材を用いて振動体の両側を屈曲方向から支持するとともに、振動体ごと保持ケースを対象物に向けて付勢する技術が提案されている（特許文献１）。

特開平１１−３４６４８６号公報

しかし、提案されている技術では、振動体が発生するエネルギーを、対象物の駆動のために効率よく利用することが困難であるという問題があった。これは、振動体の両側を屈曲方向から支持しているため、振動体の振動が保持ケースを介して外部に伝わり易く、外部に伝わった振動は、対象物を駆動するために利用することができないためである。

この発明は、従来の技術が有する上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、対象物を効率よく駆動することが可能な圧電モーターの提供を目的とする。

上述した課題の少なくとも一部を解決するために、本発明の圧電モーターは次の構成を採用した。すなわち、
圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設された振動体と、
前記振動体を収容する振動体ケースと、
前記振動体の前記凸部を対象物に接触させる方向に前記振動体ケースを付勢する付勢手段と、
を有し、前記振動体に伸縮振動と屈曲振動とを発生させることによって前記対象物を移動させる圧電モーターであって、
前記振動体ケース内で前記振動体の屈曲方向と交差する方向から前記振動体の両側を挟持し、動的粘弾性を有する材料を含んで形成された緩衝部と、
前記振動体ケースに取り付けられる押さえ蓋と、
前記押さえ蓋によって圧縮される皿バネと、
前記皿バネと前記緩衝部との間に設けられた皿バネ受け部と、
を備えることを特徴とする。

このような構成を有する本発明の圧電モーターにおいては、振動体ケースに収容された振動体は、振動体の屈曲方向と交差する方向から、緩衝部によって両側を挟持されているので、振動体の振動が振動体ケースに伝わり難く、従って、対象物を効率よく駆動することができる。また、緩衝部は、動的粘弾性を有する材料を含んで形成されているので、振動体の振動は、緩衝部が変形する際に減衰され、この意味からも振動体ケースに伝わり難い。尚、動的粘弾性（ｔａｎδ）とは、次のような指標である。材料を引っ張りモードにおいて正弦波ひずみεを与えると、材料にも正弦波の応力σが生じるが、応力σの位相は、入力されたひずみに対して位相δだけ遅れが生じる。この位相δを用いて材料の動的な粘性を定量化した指標が、動的粘弾性（ｔａｎδ）である。すなわち動的粘弾性が大きい、すなわち位相δが大きい、ということは与えられたひずみを材料の内部での伝達遅れを生じる。言い換えると、振動の伝達をより遅くさせ、振動体ケースへ振動が伝わることを抑制することができる。また、緩衝部は、押さえ蓋で圧縮された皿バネによって振動体に押し付けられている。このため、振動体や緩衝部の寸法が、振動体の挟持方向（振動体の屈曲方向と交差する方向）にばらついても、皿バネの弾性変形によって寸法ばらつきを吸収することができる。また、皿バネは、振動体の振動方向（伸縮方向および屈曲方向）に対しては変形しにくい形状となっている。加えて、押さえ蓋によって押し付けられることによって、皿バネの角が皿バネ受け部および押さえ蓋に食い込むので、皿バネ受け部や押さえ蓋との間で皿バネが滑ることもない。従って、振動体の振動方向（振動体の伸縮方向および屈曲方向）および対象物から反力を受ける方向に対しては、皿バネ受け部から押さえ蓋までをほぼ剛体として扱うことができる。このため、本発明によれば、振動体や緩衝部の挟持方向への寸法ばらつきは、皿バネが変形することによって吸収し、それでいながら、振動体の振動方向や対象物から反力を受ける方向に対しては、皿バネを設けたことによる影響は何ら生じない。その結果、振動体や緩衝部の厚さを実測して、振動体に対する緩衝部を選別して組み付けるなどの面倒な作業が不要となり、圧電モーターを容易に製造することが可能となる。また、このことによって圧電モーターの性能面に何らの悪影響が生じることもない。

また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、皿バネの角部が当接する皿バネ受け部の部分に、角部が嵌る溝（第１溝）を予め形成しておき、皿バネの角部が当接する押さえ蓋の部分に、角部が嵌る溝（第２溝）を予め形成しておいてもよい。

こうすれば、皿バネ受け部や押さえ蓋の材料を、皿バネよりも硬い材料（あるいは表面に熱処理を施した材料）などを用いることが可能となる。また、第１溝や第２溝を深めに形成しておくことで、皿バネ受け部や押さえ蓋との間で皿バネを確実に保持することができるので、皿バネ受け部や押さえ蓋との間で皿バネが滑ることをより確実に防止することができる。

また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、皿バネ受け部または押さえ蓋の一方に、皿バネが外周部分で嵌る凹部を形成してもよい。

こうすれば、皿バネ受け部と皿バネと押さえ蓋とを重ねて組み付ける際に、凹部に皿バネを嵌め込んでおくことができるので、組み付け作業が容易となる。尚、組み付け作業を容易とする観点からは、皿バネが大きくは動かないように、皿バネの外周部分が凹部に緩く嵌れば十分である。しかし、皿バネが動かないような状態で、皿バネの外周部分が凹部に嵌るようにしておけば、単に組み付け作業が容易になるだけでなく、圧電モーターの動作中に、皿バネ受け部あるいは押さえ蓋との間で皿バネが動くことをより確実に防止することが可能となる。また、凹部の上面視の形状（押さえ蓋で押し付ける方向から見た形状）としては、皿バネが外周部分で嵌れば十分であり、従って、皿バネと同じく円形としてもよいが、たとえば多角形形状などとすることも可能である。

また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、皿バネ受け部または押さえ蓋の一方に、皿バネが内周部分で嵌る凸部を形成してもよい。

このようにしても、皿バネ受け部と皿バネと押さえ蓋とを重ねて組み付ける際に、凸部に皿バネを嵌め込んでおくことができるので、組み付け作業が容易となる。尚、組み付け作業を容易とする観点からは、皿バネが大きくは動かないように、皿バネの内周部分が凸部に緩く嵌れば十分である。しかし、皿バネが動かないような状態で、皿バネの内周部分が凸部に嵌るようにしておけば、単に組み付け作業が容易になるだけでなく、圧電モーターの動作中に、皿バネ受け部あるいは押さえ蓋との間で皿バネが動くことをより確実に防止することが可能となる。また、凸部の上面視の形状（押さえ蓋で押し付ける方向から見た形状）としては、皿バネが内周部分で嵌れば十分であり、従って、皿バネと同じく円形としてもよいが、たとえば多角形形状などとしても構わない。

また、上述した本発明の圧電モーターを用いて駆動装置や、印刷装置、ロボットハンド、ロボットなどを構成しても良い。

本発明の圧電モーターは、小型で且つ高い駆動精度を実現することが可能であり、しかも容易に製造することができる。従って、本発明の圧電モーターを用いて駆動装置や、印刷装置、ロボットハンド、ロボットなどを構成してやれば、小型で高性能な駆動装置や、印刷装置、ロボットハンド、ロボットなどを容易に製造することができる。

また、本発明の圧電モーターを用いて、以下のような電子部品検査装置を構成しても良い。すなわち、把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、上述した本発明の何れかの圧電モーターを用いて、検査ソケットに対する電子部品の位置合わせを行うようにしてもよい。

上述したように、本発明の圧電モーターは小型で高い駆動効率と高い駆動精度とを実現することが可能であり、しかも容易に製造することができる。このため、電子部品検査装置に組み込む圧電モーターとして優れている。

また、上述した本発明の電子部品検査装置は次のような態様で把握することも可能である。すなわち、本発明の電子部品検査装置は、
把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、
前記検査ソケットに対する前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設されて、伸縮振動および屈曲振動を行う振動体と、
前記振動体を収容する振動体ケースと、
前記振動体の前記凸部を対象物に接触させる方向に前記振動体ケースを付勢する付勢手段と、
前記振動体ケース内で前記振動体の屈曲方向と交差する方向から前記振動体の両側を挟持し、動的粘弾性を有する材料を含んで形成された緩衝部と、
前記振動体ケースに取り付けられる押さえ蓋と、
前記押さえ蓋によって圧縮される皿バネと、
前記皿バネと前記緩衝部との間に設けられた皿バネ受け部と、
ことを特徴とする電子部品検査装置という態様で把握することもできる。

更に、上述した本発明の電子部品検査装置は、次のような態様、すなわち、
電子部品が装着されて、前記電子部品の電気的特性が検査される検査ソケットと、
前記電子部品を把持する把持装置と、
前記把装置を互いに直交する第１軸および第２軸と、前記第１軸および第２軸に直交する第３軸との合計三軸方向に移動させる移動装置と、
前記検査ソケットから見て前記第１軸上または前記第２軸上に設けられて、前記検査ソケットに装着される前記電子部品について、前記第１軸および前記第２軸の方向への位置および前記第３軸まわりの角度を、前記電子部品の姿勢として検出する撮像装置と、
前記検査ソケットから前記撮像装置を結ぶ前記第１軸または前記第２軸上の所定位置まで、前記電子部品を搬送する上流側ステージと、
前記検査ソケットから見て前記撮像装置が設けられている側と反対側の所定位置から、前記電子部品を搬送する下流側ステージと、
前記移動装置の動作を制御する制御装置と、
を備える電子部品検査装置であって、
前記制御装置は、
前記上流側ステージが搬送してきた前記電子部品を把持した前記把持装置を、前記撮像装置の上まで移動させる第１制御部と、
前記把持装置を移動させることによって、前記撮像装置で姿勢が確認された前記電子部品を前記検査ソケットに装着する第２制御部と、
前記把持装置を移動させることによって、前記検査ソケットで前記電気的特性が検査された前記電子部品を前記検査ソケットから前記下流側ステージに載置する第３制御部と、
を備えており、
前記把持装置は、前記撮像装置で検出された前記電子部品の姿勢に基づいて、前記電子部品を前記第１軸方向に移動させる第１の圧電モーターと、前記第２軸方向に移動させる第２の圧電モーターと、前記第３軸まわりに回転させる第３の圧電モーターとを有しており、
前記第１ないし第３の圧電モーターは、請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターである
ことを特徴とする電子部品検査装置という態様で把握することもできる。

このような構成の電子部品検査装置は、把持装置に設けられた第１ないし第３の圧電モーターを用いて電子部品の姿勢を調整した後、検査ソケットに装着することができる。ここで、本発明の圧電モーターは、小型であり、対象物を効率よく、尚且つ対象物を精度良く駆動することができ、しかも容易に製造することができるので、把持装置に設ける第１ないし第３の圧電モーターとして特に優れている。

更には、本発明の圧電モーターを用いて、以下のような電子部品搬送装置を構成しても良い。すなわち、把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、上述した本発明の何れかの圧電モーターを用いて、電子部品の位置合わせを行うようにしてもよい。

上述したように、本発明の圧電モーターは小型であり、対象物を効率良く、尚且つ精度良く駆動することができ、しかも容易に製造することができるから、電子部品搬送装置に組み込む圧電モーターとして特に優れている。

あるいは、本発明の電子部品搬送装置は、以下のような態様、すなわち、
把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、
前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設されて、伸縮振動および屈曲振動を行う振動体と、
前記振動体を収容する振動体ケースと、
前記振動体の前記凸部を対象物に接触させる方向に前記振動体ケースを付勢する付勢手段と、
前記振動体ケース内で前記振動体の屈曲方向と交差する方向から前記振動体の両側を挟持し、動的粘弾性を有する材料を含んで形成された緩衝部と、
前記振動体ケースに取り付けられる押さえ蓋と、
前記押さえ蓋によって圧縮される皿バネと、
前記皿バネと前記緩衝部との間に設けられた皿バネ受け部と、
ことを特徴とする電子部品搬送装置という態様で把握することもできる。

更には、上述した本発明の電子部品搬送装置は、以下のような態様、すなわち、
電子部品を把持する把持装置と、
互いに直交する第１軸および第２軸と、前記第１軸および第２軸に直交する第３軸との合計三軸方向に前記把装置を移動させる移動装置と、
前記移動装置の動作を制御する制御装置と
を備える電子部品搬送装置であって、
前記把持装置は、前記電子部品を前記第１軸方向に移動させる第１の圧電モーターと、前記第２軸方向に移動させる第２の圧電モーターと、前記第３軸まわりに回転させる第３の圧電モーターとを有しており、
前記第１ないし第３の圧電モーターは、請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターである
ことを特徴とする電子部品搬送装置という態様で把握することもできる。

本実施例の圧電モーターの大まかな構成を示した説明図である。 本実施例の本体部の構造を示す分解組立図である。 圧電モーターの動作原理を示す説明図である。 振動体の挟持方法を示した説明図である。 振動体および緩衝部の厚さ方向の寸法ばらつきを吸収しつつ振動体を適切に挟持可能な理由を示す説明図である。 振動体の挟持方法の他の態様を示した説明図である。 第２変形例の挟持方法を示した説明図である。 第３変形例の挟持方法を示した説明図である。 本実施例の圧電モーターを組み込んで構成された電子部品検査装置を例示した斜視図である。 把持装置に内蔵された微調整機構についての説明図である。 本実施例の圧電モーターを組み込んだ印刷装置を例示した斜視図である。 本実施例の圧電モーターを組み込んだロボットハンドを例示した説明図である。 ロボットハンドを備えたロボットを例示した説明図である。

以下では、上述した本願発明の内容を明確にするために、次のような順序に従って実施例を説明する。
Ａ．装置構成：
Ｂ．圧電モーターの動作原理：
Ｃ．振動体の挟持構造：
Ｄ．変形例：
Ｅ．適用例：

Ａ．装置構成 ：
図１は、本実施例の圧電モーター１０の大まかな構成を示した説明図である。図１（ａ）には、本実施例の圧電モーター１０の全体図が示されており、図１（ｂ）には分解組立図が示されている。図１（ａ）に示されるように、本実施例の圧電モーター１０は、大まかには、本体部１００と、基台部２００とから構成されている。本体部１００は基台部２００内に取り付けられており、その状態で一方向に移動可能となっている。尚、本明細書中では、本体部１００の移動方向をＸ方向と称する。また、図中に示すように、Ｘ方向と直交する方向を、それぞれＹ方向、Ｚ方向と称するものとする。

本体部１００および基台部２００は、それぞれ複数の部品が組み合わされて構成されている。たとえば基台部２００は、略矩形形状をした基板２３０の上面の両側に、第１側壁ブロック２１０および第２側壁ブロック２２０が止めネジ２４０で締結されることによって構成されている（図１（ｂ）を参照のこと）。圧電モーター１０を組み立てる際には、本体部１００の上方から、第１側壁ブロック２１０および第２側壁ブロック２２０を、止めネジ２４０を用いて基板２３０に取り付ける。

また、第１側壁ブロック２１０には、前方ハウジング２１２、中央ハウジング２１４、後方ハウジング２１６の３つの凹部が形成されている。そして、第１側壁ブロック２１０を基板２３０に取り付ける際には、前方ハウジング２１２に前方側圧バネ２１２ｓを収容し、後方ハウジング２１６に後方側圧バネ２１６ｓを収容した状態で取り付ける。その結果、本体部１００は、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓによって第２側壁ブロック２２０に押しつけられた状態となる。また、本体部１００の側面の、第２側壁ブロック２２０に面する側には、前側コロ１０２ｒおよび後側コロ１０６ｒが取り付けられている。更に、本体部１００の側面には加圧バネ２２２ｓが設けられている。この加圧バネ２２２ｓは、前側コロ１０２ｒの後ろ側の箇所で本体部１００をＸ方向に押圧している。尚、本実施例では、本体部１００をＸ方向に押圧する加圧バネ２２２ｓが、本発明の「付勢手段」に対応する。

また、前側コロ１０２ｒおよび後側コロ１０６ｒが設けられた側と反対側の本体部１００の側面には、Ｚ方向（図面上では上方）に向けて押さえコロ１０４ｒが設けられている。第１側壁ブロック２１０を取り付けた状態では、この押さえコロ１０４ｒは第１側壁ブロック２１０の中央ハウジング２１４に収容される。また、本体部１００の押さえコロ１０４ｒが設けられた部分の裏面側と、基板２３０との間には、押さえバネ２３２ｓが設けられている。このため、押さえコロ１０４ｒは中央ハウジング２１４の内面に対してＺ方向（図面上では上方）に押しつけられた状態となっている。

図２は、本実施例の本体部１００の構造を示す分解組立図である。本体部１００は、大まかには、振動体ケース１２０内に振動部１１０が収容された構造となっている。振動部１１０は、圧電材料によって直方体形状に形成された振動体１１２と、振動体１１２の長手方向（Ｘ方向）の端面に取り付けられたセラミック製の駆動凸部１１４と、振動体１１２の一方の側面を４分割して設けられた４枚の表電極１１６などから構成されている。尚、図２では示されていないが、４枚の表電極１１６が設けられた側と反対側の側面には、側面のほぼ全面を覆う裏電極が設けられており、この裏電極はグランドに接地されている。尚、本実施例では、駆動凸部１１４が本発明の「凸部」に対応する。

振動部１１０は、表電極１１６および裏電極が設けられた両側面（図２では、Ｚ方向の両側面）から、動的粘弾性を有する材料（ポリイミド樹脂や、ゴム、エラストマーなど）で形成された緩衝部１３０で挟まれた状態で、振動体ケース１２０に収容される。更に、表電極１１６側の緩衝部１３０の上から、金属材料で形成された皿バネ受け部１４０、皿バネ１４２、および押さえ蓋１４４が載せられて、押さえ蓋１４４が止めネジ１４６で振動体ケース１２０に締結される。このため振動部１１０の振動体１１２は、皿バネ１４２の弾性力によって押さえ付けられながらも、樹脂製の緩衝部１３０が剪断変形することによって振動体ケース１２０内で振動体１１２が振動し得る状態で収容される。

Ｂ．圧電モーターの動作原理 ：
図３は、圧電モーター１０の動作原理を示す説明図である。圧電モーター１０は、振動部１１０の表電極１１６に一定周期で電圧を印加したときに、振動部１１０の駆動凸部１１４が楕円運動することによって動作する。振動部１１０の駆動凸部１１４が楕円運動するのは次の理由による。

先ず、周知のように圧電材料は、正電圧を印加すると伸張する性質を有している。従って、図３（ａ）に示すように、４つの表電極１１６の全てに正電圧を印加した後、印加電圧を解除することを繰り返すと、圧電材料で形成された振動体１１２は長手方向（Ｘ方向）に伸縮する動作を繰り返す。このように、振動体１１２が長手方向（Ｘ方向）に伸縮を繰り返す動作を「伸縮振動」と呼ぶ。また、正電圧を印加する周波数を変化させていくと、ある特定の周波数となったときに伸縮量が急に大きくなって、一種の共振現象が発生する。伸縮振動で共振が発生する周波数（共振周波数）は、振動体１１２の物性と、振動体１１２の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）とによって決定される。

また、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示すように、互いに対角線の位置にある２つの表電極１１６を組（表電極１１６ａおよび表電極１１６ｄの組、あるいは表電極１１６ｂおよび表電極１１６ｃの組）として、一定周期で正電圧を印加する。すると振動体１１２は、長手方向（Ｘ方向）の先端部（駆動凸部１１４が取り付けられた部分）が、図面上で右方向あるいは左方向に首を振るような動作を繰り返す。たとえば図３（ｂ）に示したように、表電極１１６ａおよび表電極１１６ｄの組に一定周期で正電圧を印加すると、振動体１１２は、先端部を図面上で右方向に振るような動作を繰り返す。また、図３（ｃ）に示したように、表電極１１６ｂおよび表電極１１６ｃの組に一定周期で正電圧を印加すると、先端部を図面上で左方向に振るような動作を繰り返す。このような振動体１１２の動作を「屈曲振動」と呼ぶ。このような屈曲振動についても、振動体１１２の物性と、振動体１１２の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）とによって決まる共振周波数が存在する。従って、互いに対角線の位置にある２つの表電極１１６に対して、その共振周波数で正電圧を印加すると、振動体１１２は右方向あるいは左方向（Ｙ方向）に大きく首を振って振動する。

ここで、図３（ａ）に示した伸縮振動の共振周波数も、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示した屈曲振動の共振周波数も、振動体１１２の物性や、振動体１１２の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）によって決定される。従って、振動体１１２の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）を適切に選んでやれば共振周波数を一致させることができる。そして、そのような振動体１１２に対して、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示すような屈曲振動の形態の電圧を共振周波数で印加すると、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示す屈曲振動が生じると同時に、共振によって図３（ａ）の伸縮振動も誘起される。その結果、図３（ｂ）に示す態様で電圧を印加した場合には、振動体１１２の先端部分（駆動凸部１１４が取り付けられた部分）が、図面上で時計回りに楕円運動を開始する。また、図３（ｃ）に示す態様で電圧を印加した場合には、振動体１１２の先端部分が図面上で反時計回りに楕円運動を開始する。

圧電モーター１０は、このような楕円運動を利用して対象物を駆動する。すなわち、振動体１１２の駆動凸部１１４を対象物に押しつけた状態で楕円運動を発生させる。すると駆動凸部１１４は、振動体１１２が伸張する際には対象物に押しつけられた状態で左から右に向かって（あるいは右から左に向かって）移動した後、振動体１１２が収縮する際には対象物から離れた状態で元の位置まで復帰する動作を繰り返す。この結果、対象物は、駆動凸部１１４から受ける摩擦力によって一方向に駆動されることになる。また、対象物が受ける駆動力は、駆動凸部１１４との間で生じる摩擦力に等しいから、駆動力の大きさは、駆動凸部１１４と対象物との間の摩擦係数と、駆動凸部１１４が対象物に押しつけられる力とによって決定される。

以上に説明した圧電モーター１０の動作原理から明らかなように、圧電モーター１０は、駆動凸部１１４を対象物に押しつけた状態で、振動体１１２を伸縮方向（Ｘ方向）および屈曲方向（Ｙ方向）に振動させて使用する。このため振動体１１２は、伸縮方向および屈曲方向の振動を許容した状態で、振動体ケース１２０内に収容しておく必要がある。また、振動体１１２を振動させて対象物を移動させる際には、対象物からの反力が駆動凸部１１４に作用する。この反力によって振動体１１２が振動体ケース１２０内で動くと、対象物に対して十分な駆動力を伝達することができなくなり、駆動凸部１１４の移動量が減少するので対象物の駆動量も小さくなる。更に、本体部１００の逃げ量は常に安定しているとは限らないから、対象物の駆動量が不安定となってしまう。そこで本実施例の圧電モーター１０では、図２に示すように、振動体ケース１２０内で、振動体１１２の屈曲方向に交差する方向（Ｚ方向）から、振動体１１２の両側面を緩衝部１３０で挟持することによって振動体１１２を保持する構造を採用している。この保持構造では、緩衝部１３０が剪断方向に変形することによって振動体１１２の振動を許容し、且つ、緩衝部１３０が剪断方向に変形する時の剛性によって、対象物からの反力で動かないように振動体１１２を保持しておくことができる。

もっとも、この保持構造は、圧電材料で形成されているため製造ばらつきの生じ易い振動体１１２を、ポリイミド樹脂で形成されているため製造ばらつきの生じ易い緩衝部１３０で両側から挟持した構造となっている。このため、振動体１１２および緩衝部１３０での製造ばらつきが累積するので厚さ方向（Ｚ方向）の寸法に大きなばらつきが生じ易い。そして緩衝部１３０は、対象物からの反力を受けても振動体１１２が動かない程度の剛性が必要なので、この寸法のばらつきを緩衝部１３０で吸収することは困難である。そこで、本実施例の圧電モーター１０では、振動体１１２を単に緩衝部１３０で挟持するのではなく、皿バネ受け部１４０や、皿バネ１４２、押さえ蓋１４４によって緩衝部１３０を振動体１１２に押し付けて振動体１１２を挟持する構造を採用している。

Ｃ．振動体の挟持構造 ：
図４は、本実施例の振動部１１０の断面を取ることによって、振動体１１２を挟持する構造を示した説明図である。図示されるように、振動体１１２は、Ｚ方向の両側を緩衝部１３０に挟まれた状態で振動体ケース１２０内に収容されている。そして、振動体ケース１２０に収容された振動体１１２および緩衝部１３０の上からは、皿バネ受け部１４０と皿バネ１４２と押さえ蓋１４４とが載せられて、止めネジ１４６で押さえ蓋１４４が振動体ケース１２０に取り付けられている。尚、緩衝部１３０は接着剤によって振動体１１２に貼り付けられている。このようにすることで、製造ばらつきが発生し易い振動体１１２および緩衝部１３０を重ねた状態で、振動体ケース１２０内に容易に収容することが可能となる。以下、この理由について説明する。

図５は、製造ばらつきが発生し易い振動体１１２および緩衝部１３０を重ねた状態で振動体ケース１２０内に容易に収容可能な理由を示す説明図である。振動体１１２、緩衝部１３０、皿バネ受け部１４０、および皿バネ１４２は、押さえ蓋１４４で振動体ケース１２０内に収容されるが、これらの中で振動体１１２や皿バネ受け部１４０は、Ｚ方向にはほとんど変形しない。従って、振動体１１２や緩衝部１３０の製造ばらつきによる厚さ方向（Ｚ方向）への寸法ばらつきは、残りの部分（緩衝部１３０および皿バネ１４２）での圧縮変形によって吸収しなければならない。また、振動体１１２や皿バネ受け部１４０は振動体１１２が振動する方向（Ｙ方向およびＸ方向）にもほとんど変形しないので、振動体１１２が振動する動きは、残りの部分（緩衝部１３０あるいは皿バネ１４２）での剪断変形によって吸収する必要がある。それでいながら、緩衝部１３あるいは皿バネ１４２は、対象物を駆動した時に振動体１１２が受ける反力を支えなければならない。

図５（ａ）は、押さえ蓋１４４と皿バネ１４２と皿バネ受け部１４０とが重ねられた部分を拡大して表示することによって、振動体１１２や緩衝部１３０の製造ばらつきによる厚さ方向（Ｚ方向）への寸法ばらつきを吸収する様子を示した説明図である。皿バネ１４２は、厚さ方向（Ｚ方向）への圧縮に対してはバネとして働くので、緩衝部１３０よりも剛性が小さい。このため、たとえ振動体１１２および緩衝部１３０の寸法が厚さ方向（Ｚ方向）にばらついたとしても、皿バネ１４２がＺ方向に撓むことによって厚さ方向の寸法のばらつきを吸収することができる。

尚、皿バネ１４２が皿バネ受け部１４０と押さえ蓋１４４との間で圧縮される際に、皿バネ１４２は角の部分が皿バネ受け部１４０および押さえ蓋１４４に押し付けられる。このため、皿バネ受け部１４０の表面には、皿バネ１４２の角が押し付けられる部分が凹んで第１溝１４０ｄが形成される。同様に、押さえ蓋１４４の表面にも、皿バネ１４２の角が押し付けられる部分が凹んで第２溝１４４ｄが形成される。これら第１溝１４０ｄおよび第２溝１４４ｄは、皿バネ１４２が厚さ方向の寸法のばらつきを吸収する働きとは関係はないが、振動体１１２の振動を吸収したり、対象物からの反力を受け止めたりする際には有効に機能する。

図５（ｂ）には、緩衝部１３０および皿バネ１４２が振動体１１２の振動を吸収しつつ、対象物からの反力を支える様子が示されている。皿バネ１４２は、厚さ方向（Ｚ方向）への圧縮に対しては剛性が小さいが、剪断方向（Ｙ方向あるいはＸ方向）への剪断変形に対しては大きな剛性を有している。また、皿バネ１４２の上面側および下面側の角は、それぞれ押さえ蓋１４４の第２溝１４４ｄおよび皿バネ受け部１４０の第１溝１４０ｄに嵌り込んでいるので、皿バネ受け部１４０や押さえ蓋１４４との間で皿バネ１４２が滑ることもない。従って、振動体１１２のＹ方向（あるいはＸ方向）への動きに対しては、皿バネ受け部１４０から押さえ蓋１４４までの部分はほとんど剛体として考えてよい。このため、振動体１１２の振動は、もっぱら緩衝部１３０が剪断変形することによって吸収される。また、対象物から受ける反力も、もっぱら緩衝部１３０が剪断変形することによって支えることになる。

尚、皿バネ受け部１４０の第１溝１４０ｄや、押さえ蓋１４４の第２溝１４４ｄは、皿バネ１４２が滑らないようにする機能を有している。従って、皿バネ１４２が滑ろうとした時の「引っかかり」になれば十分であって、図５に例示したように明確なへこみが形成される必要はない。たとえば、表面にうっすらと傷が付いただけの小さなへこみであっても、皿バネ１４２が滑ろうとしたときの「引っかかり」として機能するので、本実施例の第１溝１４０ｄや第２溝１４４ｄに該当する。

以上の説明から明らかなように、皿バネ受け部１４０と押さえ蓋１４４との間に設けられた皿バネ１４２は、緩衝部１３０を振動体１１２に押し付ける方向（Ｚ方向）に対しては、緩衝部１３０よりも剛性の小さいバネとして機能する。このため、たとえ振動体１１２および振動体ケース１２０の製造ばらつきによって厚さ方向（Ｚ方向）に大きな寸法ばらつきが生じても、皿バネ１４２によって吸収することができる。その結果、振動体１１２および振動体ケース１２０を厚さ方向（Ｚ方向）の寸法によって選別して組み立てるなどの面倒な作業をすることなく、簡単に振動体ケース１２０内に収容することができる。また、振動体１１２が振動する方向（Ｙ方向およびＸ方向）あるいは対象物から反力を受ける方向（主にＹ方向）に対しては、皿バネ受け部１４０から押さえ蓋１４４までの部分はほとんど剛体として働くので、皿バネ１４２が設けられていることは何ら影響を与えない。このため、緩衝部１３０が振動体１１２の振動を吸収し、且つ対象物からの反力を支える機能には、何らの悪影響を与えることがない。その結果、本実施例の振動体１１２の挟持構造によれば、性能面での何ら悪影響を与えることなく、圧電モーター１０を容易に製造することが可能となる。

尚、以上の説明から明らかなように、皿バネ１４２は皿バネ受け部１４０と押さえ蓋１４４との間に設けられていればよい。従って、図６に示されるように、皿バネ１４２の向きは、上下を逆にしても設けても構わない。

Ｄ．変形例 ：
上述した本実施例の圧電モーター１０には、種々の変形例が存在する。以下では、これらの変形例について簡単に説明する。尚、以下の変形例では、上述した本実施例の圧電モーター１０と異なる部分に焦点を当てて説明し、本実施例の圧電モーター１０と同様な構成については、同じ番号を付すこととして説明を省略する。

Ｄ−１．第１変形例 ：
上述した実施例では、組み付ける前の皿バネ受け部１４０や押さえ蓋１４４には、第１溝１４０ｄや第２溝１４４ｄは形成されていないが、組み付け時に皿バネ１４２に押し付けられて、皿バネ１４２の角が食い込むことによって、皿バネ受け部１４０の第１溝１４０ｄや、押さえ蓋１４４の第２溝１４４ｄが形成されるものとして説明した。

しかし、皿バネ受け部１４０や押さえ蓋１４４の表面に、第１溝１４０ｄや第２溝１４４ｄを予め形成しておいてもよい。こうすれば、皿バネ受け部１４０や押さえ蓋１４４の材料を、皿バネ１４２よりも硬く摩耗に強い材料（たとえば、表面に熱処理を施した材料）などを用いることが可能となる。また、第１溝１４０ｄや第２溝１４４ｄを深めに形成しておくことで、皿バネ受け部１４０や押さえ蓋１４４との間で皿バネ１４２を、よりしっかりと保持することができるので、皿バネ１４２が滑ることをより確実に防止することができる。

Ｄ−２．第２変形例 ：
上述した実施例および変形例では、皿バネ１４２は、皿バネ受け部１４０と押さえ蓋１４４との間で、単に挟まれているものとして説明した。しかし、皿バネ受け部１４０あるいは押さえ蓋１４４の少なくとも一方に凹部を形成して、この凹部に皿バネ１４２が外周部分で嵌り込むようにしてもよい。

図７は、第２変形例の挟持構造を示した断面図である。図７（ａ）に示した例では、押さえ蓋１４４に凹部１４４ｃが形成されており、この凹部１４４ｃに、皿バネ１４２が緩く嵌り込んでいる。また、図７（ｂ）に示した例では、皿バネ受け部１４０に凹部１４０ｃが形成されており、この凹部１４０ｃに皿バネ１４２が緩く嵌り込んでいる。このようにすれば、皿バネ受け部１４０と皿バネ１４２と押さえ蓋１４４とを重ねて振動体ケース１２０に組み付ける際に、皿バネ１４２が大きく動いてしまうことがないので、組み付け作業が容易になる。

尚、皿バネ受け部１４０に形成される凹部１４０ｃや、押さえ蓋１４４に形成される凹部１４４ｃは、皿バネ１４２が外周部分で嵌り込むような形状であればよい。従って、皿バネ１４２を圧縮方向（Ｚ方向）から見た時の外周形状は円形であるが、圧縮方向（Ｚ方向）から見た時の凹部１４０ｃや凹部１４４ｃの形状は、円形に限らず、正方形などの多角形形状としてもよい。

また、以上の説明では、凹部１４０ｃあるいは凹部１４４ｃに対して皿バネ１４２が緩く嵌り込んでいるものとして説明した。従って、皿バネ１４２は、皿バネ受け部１４０と押さえ蓋１４４との間に組み付けられて圧縮力を受けるまでは、凹部１４０ｃあるいは凹部１４４ｃの中で、多少ではあるが動き得る状態となっている。しかし、凹部１４０ｃあるいは凹部１４４ｃの中で皿バネ１４２が動かないように、皿バネ１４２が外周部分で嵌り込むようにしてもよい。こうすれば、皿バネ１４２を容易に組み付けることが可能であると同時に、圧電モーター１０の動作中に、振動体１１２の振動や対象物から受ける反力によって、皿バネ受け部１４０あるいは押さえ蓋１４４との間で皿バネ１４２が滑ってしまうことを確実に防止することが可能となる。

Ｄ−３．第３変形例 ：
また、上述した第２変形例では、皿バネ受け部１４０の凹部１４０ｃあるいは押さえ蓋１４４の凹部１４４ｃに対して、皿バネ１４２が外周部分で嵌り込むものとして説明した。これに対して、皿バネ受け部１４０あるいは押さえ蓋１４４から突設された凸部に対して、皿バネ１４２が内周部分で嵌り込むようにしてもよい。

図８は、第３変形例の挟持構造を示した断面図である。図８（ａ）に示した例では、皿バネ受け部１４０から凸部１４０ｂが突設されており、この凸部１４０ｂに対して皿バネ１４２が、内周部分で緩く嵌り込んでいる。また、図８（ｂ）に示した例では、押さえ蓋１４４から凸部１４４ｂが突設されており、この凸部１４４ｂに対して皿バネ１４２が、内周部分で緩く嵌り込んでいる。このようにしても、皿バネ受け部１４０と皿バネ１４２と押さえ蓋１４４とを重ねて振動体ケース１２０に組み付ける際に、皿バネ１４２が大きく動いてしまうことがないので、組み付け作業が容易になる。

尚、皿バネ受け部１４０の凸部１４０ｂや、押さえ蓋１４４の凸部１４４ｂは、皿バネ１４２が内周部分で嵌り込むような形状であればよい。従って、皿バネ１４２を圧縮方向（Ｚ方向）から見た時に、皿バネ１４２の内周形状は円形であるが、圧縮方向（Ｚ方向）から見た時の凸部１４０ｂや凸部１４４ｂの形状は、円形に限らず、正方形などの多角形形状としてもよい。

また、第３変形例においても、凸部１４０ｂあるいは凸部１４４ｂに対して皿バネ１４２が緩く嵌り込んでいるものとして説明した。従って、凸部１４０ｂあるいは凸部１４４ｂに対して皿バネ１４２を嵌め込んだだけでは、多少ではあるが、皿バネ１４２が動き得る。しかし、凸部１４０ｂあるいは凸部１４４ｂに嵌め込まれると動かないように、皿バネ１４２が内周部分で嵌り込むようにしてもよい。このようにしても、皿バネ１４２を容易に組み付けることが可能であると同時に、圧電モーター１０の動作中に、皿バネ受け部１４０あるいは押さえ蓋１４４との間で皿バネ１４２が滑ってしまうことを確実に防止することが可能となる。

Ｅ．適用例 ：
上述した本実施例の圧電モーター１０は、小型で対象物を精度良く駆動することができ、しかも容易に製造することができるので、以下のような装置の駆動装置として好適に組み込むことができる。

図９は、本実施例の圧電モーター１０を組み込んで構成された電子部品検査装置６００を例示した斜視図である。図示した電子部品検査装置６００は、大まかには基台６１０と、基台６１０の側面に立設された支持台６３０とを備えている。基台６１０の上面には、検査対象の電子部品１が載置されて搬送される上流側ステージ６１２ｕと、検査済みの電子部品１が載置されて搬送される下流側ステージ６１２ｄとが設けられている。また、上流側ステージ６１２ｕと下流側ステージ６１２ｄとの間には、電子部品１の姿勢を確認するための撮像装置６１４と、電気的な特性を検査するために電子部品１がセットされる検査台６１６とが設けられている。尚、電子部品１の代表的なものとしては、「半導体」や、「ＣＬＤやＯＬＥＤなどの表示デバイス」、「水晶デバイス」、「各種センサー」、「インクジェットヘッド」、「各種ＭＥＭＳデバイス」などが挙げられる。また、本実施例の検査台６１６は、本発明の「検査ソケット」に対応する。

また、支持台６３０には、基台６１０の上流側ステージ６１２ｕおよび下流側ステージ６１２ｄと平行な方向（Ｙ方向）に移動可能にＹステージ６３２が設けられており、Ｙステージ６３２からは、基台６１０に向かう方向（Ｘ方向）に腕部６３４が延設されている。更に、腕部６３４の側面には、Ｘ方向に移動可能にＸステージ６３６が設けられている。そして、Ｘステージ６３６には、撮像カメラ６３８と、上下方向（Ｚ方向）に移動可能なＺステージを内蔵した把持装置６５０が設けられている。また、把持装置６５０の先端には、電子部品１を把持する把持部６５２が設けられている。更に、基台６１０の前面側には、電子部品検査装置６００の全体の動作を制御する制御装置６１８も設けられている。尚、本実施例では、Ｘステージ６３６、Ｙステージ６３２、および把持装置６５０に内蔵されたＺステージが、本発明の「移動装置」に対応する。

以上のような構成を有する電子部品検査装置６００は、次のようにして電子部品１の検査を行う。先ず、検査対象の電子部品１は、上流側ステージ６１２ｕに載せられて、検査台６１６の近くまで移動する。次に、Ｙステージ６３２およびＸステージ６３６を動かして、上流側ステージ６１２ｕに載置された電子部品１の真上の位置まで把持装置６５０を移動させる。このとき、撮像カメラ６３８を用いて電子部品１の位置を確認することができる。そして、把持装置６５０内に内蔵されたＺステージを用いて把持装置６５０を降下させて、把持部６５２で電子部品１を把持すると、そのまま把持装置６５０を撮像装置６１４の上に移動させて、撮像装置６１４を用いて電子部品１の姿勢を確認する。続いて、把持装置６５０に内蔵されている微調整機構を用いて電子部品１の姿勢を調整する。そして、把持装置６５０を検査台６１６の上まで移動させた後、把持装置６５０に内蔵されたＺステージを動かして電子部品１を検査台６１６の上にセットする。把持装置６５０内の微調整機構を用いて電子部品１の姿勢が調整されているので、検査台６１６の正しい位置に電子部品１をセットすることができる。そして、検査台６１６を用いて電子部品１の電気的な特性の検査が終了したら、再び、今度は検査台６１６から電子部品１を取り上げた後、Ｙステージ６３２およびＸステージ６３６を動かして、下流側ステージ６１２ｄの上まで把持装置６５０を移動させ、下流側ステージ６１２ｄに電子部品１を置く。その後、下流側ステージ６１２ｄを動かして、検査が終了した電子部品１を所定位置まで搬送する。

図１０は、把持装置６５０に内蔵された微調整機構についての説明図である。図示されるように把持装置６５０内には、把持部６５２に接続された回転軸６５４や、回転軸６５４が回転可能に取り付けられた微調整プレート６５６などが設けられている。また、微調整プレート６５６は、図示しないガイド機構によってガイドされながら、Ｘ方向およびＹ方向に移動可能となっている。

ここで、図１０に斜線を付して示されるように、回転軸６５４の端面に向けて回転方向用の圧電モーター１０θが搭載されており、圧電モーター１０θの駆動凸部（図示は省略）が回転軸６５４の端面に押しつけられている。このため、圧電モーター１０θを動作させることによって、回転軸６５４（および把持部６５２）をθ方向に任意の角度だけ精度良く回転させることが可能となっている。また、微調整プレート６５６に向けてＸ方向用の圧電モーター１０ｘと、Ｙ方向用の圧電モーター１０ｙとが設けられており、それぞれの駆動凸部（図示は省略）が微調整プレート６５６の表面に押しつけられている。このため、圧電モーター１０ｘを動作させることによって、微調整プレート６５６（および把持部６５２）をＸ方向に任意の距離だけ精度良く移動させることができ、同様に、圧電モーター１０ｙを動作させることによって、微調整プレート６５６（および把持部６５２）をＹ方向に任意の距離だけ精度良く移動させることが可能となっている。従って、図９の電子部品検査装置６００は、圧電モーター１０θ、圧電モーター１０ｘ、圧電モーター１０ｙを動作させることにより、把持部６５２で把持した電子部品１の姿勢を微調整することが可能である。尚、本実施例では、圧電モーター１０ｘ、圧電モーター１０ｙがそれぞれ本発明の「第１の圧電モーター」、「第２の圧電モーター」に対応し、圧電モーター１０θが本発明の「第３の圧電モーター」に対応する。また、回転軸６５４や、微調整プレート６５６、圧電モーター１０θ、圧電モーター１０ｘ、圧電モーター１０ｙによって構成される微調整機構が、本発明の「駆動装置」に対応する。

図１１は、本実施例の圧電モーター１０を組み込んだ印刷装置７００を例示した斜視図である。図示した印刷装置７００は、印刷媒体２の表面にインクを噴射して画像を印刷するいわゆるインクジェットプリンターである。印刷装置７００は、略箱形の外観形状をしており、前面のほぼ中央には排紙トレイ７０１や、排出口７０２や、複数の操作ボタン７０５が設けられている。また、背面側には供給トレイ７０３が設けられている。供給トレイ７０３に印刷媒体２をセットして操作ボタン７０５を操作すると、供給トレイ７０３から印刷媒体２が吸い込まれて、印刷装置７００の内部で印刷媒体２の表面に画像が印刷された後、排出口７０２から排出される。

印刷装置７００の内部には、印刷媒体２上で主走査方向に往復動するキャリッジ７２０と、キャリッジ７２０の主走査方向への動きをガイドするガイドレール７１０が設けられている。また、図示したキャリッジ７２０は、印刷媒体２上にインクを噴射する噴射ヘッド７２２や、キャリッジ７２０を主走査方向に駆動するための駆動部７２４などから構成されている。噴射ヘッド７２２の底面側（印刷媒体２に向いた側）には、複数の噴射ノズルが設けられており、噴射ノズルから印刷媒体２に向かってインクを噴射することができる。また、駆動部７２４には、圧電モーター１０ｍ，１０ｓが搭載されている。圧電モーター１０ｍの駆動凸部（図示は省略）はガイドレール７１０に押しつけられている。このため、圧電モーター１０ｍを動作させることで、キャリッジ７２０を主走査方向に移動させることができる。また、圧電モーター１０ｓの駆動凸部１１４は、噴射ヘッド７２２に対して押しつけられている。このため、圧電モーター１０ｓを動作させることで、噴射ヘッド７２２の底面側を印刷媒体２に近付けたり、印刷媒体２から遠ざけたりすることが可能である。また、印刷媒体２として、いわゆるロール紙を用いる印刷装置７００では、画像を印刷したロール紙を切断する機構が必要となる。このような場合には、キャリッジ７２０にカッターを取り付けて主走査方向に移動させれば、ロール紙を切断することも可能である。

図１２は、本実施例の圧電モーター１０を組み込んだロボットハンド８００を例示した説明図である。図示したロボットハンド８００は、基台８０２から複数本の指部８０３が立設されており、手首８０４を介してアーム８１０に接続されている。ここで、指部８０３の根元の部分は基台８０２内で移動可能となっており、この指部８０３の根元の部分に駆動凸部１１４を押しつけた状態で圧電モーター１０ｆが搭載されている。このため、圧電モーター１０ｆを動作させることで、指部８０３を移動させて対象物を把持することができる。また、手首８０４の部分にも、手首８０４の端面に駆動凸部１１４を押しつけた状態で圧電モーター１０ｒが搭載されている。このため、圧電モーター１０ｒを動作させることで、基台８０２全体を回転させることが可能である。

図１３は、ロボットハンド８００を備えたロボット８５０を例示した説明図である。図示されるようにロボット８５０は、複数本のアーム８１０と、それらアーム８１０の間を屈曲可能な状態で接続する関節部８２０とを備えている。また、ロボットハンド８００はアーム８１０の先端に接続されている。そして、関節部８２０には、関節部８２０を屈曲させるためのアクチュエーターとして圧電モーター１０ｊが内蔵されている。このため、圧電モーター１０ｊを動作させることにより、それぞれの関節部８２０を任意の角度だけ屈曲させることが可能である。

以上、本発明の圧電モーターや、圧電モーターを搭載した各種装置について説明したが、本発明は上記の実施例や、変形例、適用例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。

１０…圧電モーター、 １００…本体部、 １０２ｒ…前側コロ、
１０４ｒ…押さえコロ、 １０６ｒ…後側コロ、 １１０…振動部、
１１２…振動体、 １１４…駆動凸部、 １１６…表電極、
１２０…振動体ケース、 １３０…緩衝部、 １４０…皿バネ受け部、
１４０ｂ…凸部、 １４０ｃ…凹部、 １４０ｄ…第１溝、
１４２…皿バネ、 １４４…押さえ蓋、 １４４ｂ…凸部、
１４４ｃ…凹部、 １４４ｄ…第２溝、 １４６…止めネジ、
２００…基台部、 ２１０…第１側壁ブロック、 ２１２…前方ハウジング、
２１２ｓ…前方側圧バネ、 ２１４…中央ハウジング、 ２１６…後方ハウジング、
２１６ｓ…後方側圧バネ、 ２２０…第２側壁ブロック、 ２２２ｓ…加圧バネ、
２３０…基板、 ２３２ｓ…押さえバネ、 ２４０…止めネジ、
６００…電子部品検査装置、 ６１０…基台、 ６１２ｄ…下流側ステージ、
６１２ｕ…上流側ステージ、 ６１４…撮像装置、 ６１６…検査台、
６１８…制御装置、 ６３０…支持台、 ６３４…腕部、
６３８…撮像カメラ、 ６５０…把持装置、 ６５２…把持部、
６５４…回転軸、 ６５６…微調整プレート、 ７００…印刷装置、
７０１…排紙トレイ、 ７０２…排出口、 ７０３…供給トレイ、
７０５…操作ボタン、 ７１０…ガイドレール、 ７２０…キャリッジ、
７２２…噴射ヘッド、 ７２４…駆動部、 ８００…ロボットハンド、
８０２…基台、 ８０３…指部、 ８０４…手首、
８１０…アーム、 ８２０…関節部、 ８５０…ロボット

Claims (14)

1. 圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設された振動体と、
   前記振動体を収容する振動体ケースと、
   前記振動体の前記凸部を対象物に接触させる方向に前記振動体ケースを付勢する付勢手段と、
   を有し、前記振動体に伸縮振動と屈曲振動とを発生させることによって前記対象物を移動させる圧電モーターであって、
   前記振動体ケース内で前記振動体の屈曲方向と交差する方向から前記振動体の両側を挟持し、動的粘弾性を有する材料を含んで形成された緩衝部と、
   前記振動体ケースに取り付けられる押さえ蓋と、
   前記押さえ蓋によって圧縮される皿バネと、
   前記皿バネと前記緩衝部との間に設けられた皿バネ受け部と、
   を備えることを特徴とする圧電モーター。
2. 請求項１に記載の圧電モーターであって、
   前記皿バネ受け部には、前記皿バネ受け部に当接する前記皿バネの角部が嵌る第１溝が形成されており、
   前記押さえ蓋には、前記押さえ蓋に当接する前記皿バネの角部が嵌る第２溝が形成されている
   ことを特徴とする圧電モーター。
3. 請求項１または請求項２に記載の圧電モーターであって、
   前記皿バネ受け部または前記押さえ蓋の一方には、前記皿バネが外周部分で嵌る凹部が形成されている
   ことを特徴とする圧電モーター。
4. 請求項１または請求項２に記載の圧電モーターであって、
   前記皿バネ受け部または前記押さえ蓋の一方には、前記皿バネが内周部分で嵌る凸部が形成されている
   ことを特徴とする圧電モーター。
5. 請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターを備える駆動装置。
6. 請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターを備える印刷装置。
7. 請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターを備えるロボットハンド。
8. 請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーター、または請求項７に記載のロボットハンドを備えるロボット。
9. 把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、
   請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターを用いて、前記検査ソケットに対する前記電子部品の位置合わせを行う
   ことを特徴とする電子部品検査装置。
10. 把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、
    前記検査ソケットに対する前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、
    前記圧電モーターは、
    圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設されて、伸縮振動および屈曲振動を行う振動体と、
    前記振動体を収容する振動体ケースと、
    前記振動体の前記凸部を対象物に接触させる方向に前記振動体ケースを付勢する付勢手段と、
    前記振動体ケース内で前記振動体の屈曲方向と交差する方向から前記振動体の両側を挟持し、動的粘弾性を有する材料を含んで形成された緩衝部と、
    前記振動体ケースに取り付けられる押さえ蓋と、
    前記押さえ蓋によって圧縮される皿バネと、
    前記皿バネと前記緩衝部との間に設けられた皿バネ受け部と、
    ことを特徴とする電子部品検査装置。
11. 電子部品が装着されて、前記電子部品の電気的特性が検査される検査ソケットと、
    前記電子部品を把持する把持装置と、
    前記把装置を互いに直交する第１軸および第２軸と、前記第１軸および第２軸に直交する第３軸との合計三軸方向に移動させる移動装置と、
    前記検査ソケットから見て前記第１軸上または前記第２軸上に設けられて、前記検査ソケットに装着される前記電子部品について、前記第１軸および前記第２軸の方向への位置および前記第３軸まわりの角度を、前記電子部品の姿勢として検出する撮像装置と、
    前記検査ソケットから前記撮像装置を結ぶ前記第１軸または前記第２軸上の所定位置まで、前記電子部品を搬送する上流側ステージと、
    前記検査ソケットから見て前記撮像装置が設けられている側と反対側の所定位置から、前記電子部品を搬送する下流側ステージと、
    前記移動装置の動作を制御する制御装置と、
    を備える電子部品検査装置であって、
    前記制御装置は、
    前記上流側ステージが搬送してきた前記電子部品を把持した前記把持装置を、前記撮像装置の上まで移動させる第１制御部と、
    前記把持装置を移動させることによって、前記撮像装置で姿勢が確認された前記電子部品を前記検査ソケットに装着する第２制御部と、
    前記把持装置を移動させることによって、前記検査ソケットで前記電気的特性が検査された前記電子部品を前記検査ソケットから前記下流側ステージに載置する第３制御部と、
    を備えており、
    前記把持装置は、前記撮像装置で検出された前記電子部品の姿勢に基づいて、前記電子部品を前記第１軸方向に移動させる第１の圧電モーターと、前記第２軸方向に移動させる第２の圧電モーターと、前記第３軸まわりに回転させる第３の圧電モーターとを有しており、
    前記第１ないし第３の圧電モーターは、請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターである
    ことを特徴とする電子部品検査装置。
12. 把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、
    請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターを用いて、前記電子部品の位置合わせを行う
    ことを特徴とする電子部品搬送装置。
13. 把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、
    前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、
    前記圧電モーターは、
    圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設されて、伸縮振動および屈曲振動を行う振動体と、
    前記振動体を収容する振動体ケースと、
    前記振動体の前記凸部を対象物に接触させる方向に前記振動体ケースを付勢する付勢手段と、
    前記振動体ケース内で前記振動体の屈曲方向と交差する方向から前記振動体の両側を挟持し、動的粘弾性を有する材料を含んで形成された緩衝部と、
    前記振動体ケースに取り付けられる押さえ蓋と、
    前記押さえ蓋によって圧縮される皿バネと、
    前記皿バネと前記緩衝部との間に設けられた皿バネ受け部と、
    を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
14. 電子部品を把持する把持装置と、
    互いに直交する第１軸および第２軸と、前記第１軸および第２軸に直交する第３軸との合計三軸方向に前記把装置を移動させる移動装置と、
    前記移動装置の動作を制御する制御装置と
    を備える電子部品搬送装置であって、
    前記把持装置は、前記電子部品を前記第１軸方向に移動させる第１の圧電モーターと、前記第２軸方向に移動させる第２の圧電モーターと、前記第３軸まわりに回転させる第３の圧電モーターとを有しており、
    前記第１ないし第３の圧電モーターは、請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターである
    ことを特徴とする電子部品搬送装置。

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