JP2013117211A - マイクロダイヤフラムポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ポンプ室40を囲む枠体34が複数の薄板34a〜dを積層して形成され、各薄板は、ダイヤフラム36のポンプ室40側への変位による曲面形状に近接させて開口径が変化している。
【選択図】図3
Description
20 弁座
32a 流路(吸入口)
32b 流路(吐出口)
34 枠体
34a〜34d 薄板(金属薄板)
36 ダイヤフラム
40 ポンプ室
42 駆動素子(ピエゾ素子、PZT)
Claims (4)
- 吸入弁および吐出弁の一側に枠体を介して固定したダイヤフラムによって、前記吸入弁および吐出弁に対向するポンプ室を形成し、前記ダイヤフラムの振動によって流体を前記吸入弁から前記吐出弁に導くマイクロダイヤフラムポンプであって、
前記ポンプ室を囲む枠体が複数の薄板を積層して形成され、前記薄板は、前記ダイヤフラムのポンプ室側への変位による曲面形状に近接させて開口径が変化していることを特徴とするマイクロダイヤフラムポンプ。 - 枠体を形成する複数の薄板は、複数の金属薄板であり、各金属薄板の開口径は段階的に変化している請求項1のマイクロダイヤフラムポンプ。
- ポンプの外形を平面視で四角形とし、ポンプ室を円形とした請求項1のマイクロダイヤフラムポンプ。
- ダイヤフラムは、このダイヤフラムに固定した圧電素子により振動される請求項1のマイクロダイヤフラムポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011266096A JP5982117B2 (ja) | 2011-12-05 | 2011-12-05 | マイクロダイヤフラムポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011266096A JP5982117B2 (ja) | 2011-12-05 | 2011-12-05 | マイクロダイヤフラムポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2013117211A true JP2013117211A (ja) | 2013-06-13 |
JP5982117B2 JP5982117B2 (ja) | 2016-08-31 |
Family
ID=48711934
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2011266096A Active JP5982117B2 (ja) | 2011-12-05 | 2011-12-05 | マイクロダイヤフラムポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5982117B2 (ja) |
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