JP5982118B2 - マイクロダイヤフラムポンプ、その実装構造およびポンプ実装用基板 - Google Patents
マイクロダイヤフラムポンプ、その実装構造およびポンプ実装用基板 Download PDFInfo
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Description
20 弁座
26 吸入弁
28 吐出弁
32a 流路(吸入口)
32b 流路(吐出口)
34 枠体
34a〜34d 薄板(金属薄板)
36 ダイヤフラム
40 ポンプ室
42 駆動素子(圧電素子、ピエゾ素子、PZT)
44 ガスケット
46、46A、46C〜46G 基板
48、48A 基板側流体供給路
50、50A 基板側流体流出路
60 内部回路
62 電極
80 金属薄板
84 係合爪
88 係合部
92 IC
92A 放熱板
94、96 冷却液の流路
Claims (14)
- 吸入弁および吐出弁の一側に枠体を介して固定したダイヤフラムによって、前記吸入弁および吐出弁に対向するポンプ室を形成し、前記ダイヤフラムに固定した駆動素子によって前記ダイヤフラムを加振して流体を前記吸入弁から前記吐出弁に送出するマイクロダイヤフラムポンプであって、
基板の表面に実装するポンプケースの基板取付面に前記吸入弁の吸入口と前記吐出弁の吐出口とが配設され、前記吸入弁の吸入口と前記吐出弁の吐出口とをこれらにそれぞれ対向して前記基板に設けた基板側流体供給口と基板側流体流出口とに気密に接続可能としたことを特徴とするマイクロダイヤフラムポンプ。 - ポンプケースの基板取付面には吸入弁の吸入口および吐出弁の吐出口をそれぞれ囲むガスケットが保持され、前記吸入弁の吸入口および吐出弁の吐出口と基板側に設けた基板側流体供給口および基板側流体流出口との接続部を前記ガスケットで囲んで接続可能である請求項1のマイクロダイヤフラムポンプ。
- 駆動素子駆動用のポンプ側電極が、吸入弁の吸入口と吐出弁の吐出口が開口するポンプケースの基板取付面に臨むように配設され、前記ポンプ側電極に対向する基板側電気回路パターンが形成された基板に、前記ポンプケースの前記基板取付面が実装可能である請求項1のマイクロダイヤフラムポンプ。
- ポンプ側電極はポンプケース内に形成された内部回路により駆動素子に接続されている請求項1のマイクロダイヤフラムポンプ。
- ポンプの吸入口および吐出口を囲むガスケットは熱硬化されたエラストマーで形成されている請求項2のマイクロダイヤフラムポンプ。
- ポンプケースには、このポンプケースを基板に実装した状態で基板に設けた係合部に係合可能な弾性を有する係合爪が設けられている請求項1のマイクロダイヤフラムポンプ。
- 係合爪は、ポンプケースの取付面と反対の面に積層され固着された金属薄板の突出部が取付面側に向かって折曲されたものである請求項6のマイクロダイヤフラムポンプ。
- 請求項1のマイクロダイヤフラムポンプの実装構造であって、
ポンプ側吸入弁の吸入口と吐出口とが開口するポンプケースの基板取付面が、前記吸入口および吐出口に対向する基板側流体供給口および基板側流体流出口とが形成された基板側の実装表面に実装され、前記ポンプ側の吸入口および吐出口が基板側流体供給口および基板側流体流出口へ接続されていることを特徴とするマイクロダイヤフラムポンプの実装構造。 - マイクロダイヤフラムポンプは、ポンプ側吸入弁の吸入口と吐出口とが開口するポンプケースの基板取付面に駆動素子駆動用のポンプ側電極を備え、前記ポンプ側の基板取付面が、前記ポンプ側電極に対向する電気回路パターンが形成された基板側のポンプ実装表面に実装され、前記ポンプ側の吸入口と吐出口とポンプ側電極とが基板側流体供給口と基板側流体流出口と電気回路パターンとにそれぞれ接続されている請求項8のマイクロダイヤフラムポンプの実装構造。
- ポンプ側電極と電気回路パターンとがハンダ接続されている請求項9のマイクロダイヤフラムポンプの実装構造。
- 請求項1のマイクロダイヤフラムポンプを実装するための基板であって、前記基板は複数層の積層構造とされ、その内層板に流体の供給路と流出路とが画成され、これら供給路と流出路とを請求項1のマイクロダイヤフラムポンプの吸入口と吐出口にそれぞれ接続可能にしたことを特徴とするポンプ実装用基板。
- 基板の異なる内層板に互いに交叉しないように流体の供給路と流出路とが画成されている請求項11のポンプ実装用基板。
- 複数のマイクロダイヤフラムポンプを実装可能とし、各マイクロダイヤフラムポンプの吸入口と吐出口にそれぞれ接続される供給路と流出路とが内層に形成されている請求項11または12のポンプ実装用基板。
- 基板には電子回路が実装可能であり、この基板に実装されたマイクロダイヤフラムポンプは前記基板の内層に形成された冷却液循環通路を介して前記電子回路に冷却液を循環させる請求項11のポンプ実装用基板。
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