JP2013098246A - 環状凸部除去装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ウエーハユニットから環状凸部を除去する環状凸部除去装置であって、環状凸部除去機構でウエーハユニットから除去された環状凸部を収容する環状凸部収容部を備えている。環状凸部収容部は底面と側面とを有する環状凸部収容ケースと、環状凸部の内径より小さい面積を有し環状凸部収容ケースの底面から立設した立設部を含んでいる。複数の爪で支持された環状凸部の開口に立設部が挿入された状態で、複数の爪が退避位置に移動すると、切削液で環状凸部が何れかの爪に付着して爪とともに退避位置に移動しようとしても環状凸部が立設部に引っかかり、落下して環状凸部収容ケース内に収容される。
【選択図】図4
Description
11 半導体ウエーハ
12 UV照射ユニット
13 ストリート(分割予定ライン)
15 デバイス
23 円形凹部
25 環状凸部
26 チャックテーブル
27 外テーブル
30 電磁石
32 爪アセンブリ
42 第1爪移動手段
52 第2爪移動手段
55 環状凸部収容部
56 環状フレーム
57 環状凸部収容ケース
58 UV硬化型粘着テープ
59 ウエーハユニット
61 柱
63,63A 立設部
70 切削ブレード
80 環状凸部支持部
82 第2保持面
84 吸引溝
Claims (1)
- 裏面に形成された円形凹部と該円形凹部を囲繞する環状凸部とを有し、該円形凹部と該環状凸部との境界部分に分断溝が形成されたウエーハと、ウエーハの裏面に貼着された粘着テープと、該粘着テープの外周部分に装着された環状フレームとから構成されるウエーハユニットから該環状凸部を除去する環状凸部除去装置であって、
該ウエーハユニットを保持する保持手段と、
待機位置と互いに半径方向に接近した作動位置との間で同時に移動可能な環状に配設された複数の爪と、該複数の爪を鉛直方向に移動させる鉛直移動手段とを含み、該保持手段で保持された該ウエーハユニットから該環状凸部を除去する環状凸部除去手段と、
該環状凸部除去手段で該ウエーハユニットから除去された該環状凸部を収容する環状凸部収容部と、
該環状凸部除去手段を該保持手段と該環状凸部収容部とに位置付け可能な移動手段とを具備し、
該環状凸部収容部は、底面と複数の側面とを有した環状凸部収容ケースと、
該環状凸部の内径より小さい面積を有し該環状凸部収容ケースの該底面から立設した立設部とを含み、
該保持手段に位置付けられた該環状凸部除去手段の該複数の爪が該鉛直移動手段で該ウエーハユニットの該粘着テープと該ウエーハとの界面の高さ位置に位置付けられた後、該作動位置に移動することで該粘着テープと該ウエーハとの界面に侵入し、
該複数の爪が該鉛直移動手段によって上昇することで該ウエーハユニットから該環状凸部を除去するとともに該複数の爪で該環状凸部を支持し、
該環状凸部が該複数の爪で支持された状態で該移動手段が該環状凸部除去手段を該環状凸部収容部の上方に位置付けた後、該鉛直移動手段で該複数の爪を下降させることで該複数の爪で支持した該環状凸部の開口に該立設部を挿入するとともに、該複数の爪が該退避位置に移動することで該環状凸部が落下して該環状凸部収容ケース内に収容されることを特徴とする環状凸部除去装置。
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