JP2013086940A - フィルム剥離装置及びフィルム剥離方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基板等の板状部材に貼着された保護フィルムの端縁部を剥離させる際に生じる微細な破片等を抑制し、基板等の板状部材の破損及び装置の故障を防止することができるフィルム剥離装置及びフィルム剥離方法の提供。
【解決手段】片面又は両面に保護フィルムＢが貼着された基板Ａの保護フィルムの端縁部を基板Ａより剥離させる端部剥離機構と、端部剥離機構の板状部材移送方向下流側に配置され、剥離された保護フィルム端縁部を切掛けとして保護フィルム全体を順次剥離させる本剥離機構とを備え、端部剥離機構は、保護フィルム端縁部の一部を基板Ａより浮き上がらせる部分剥離手段と、基板Ａの板状部材移送方向前縁部に吐出口を向けたノズル２５を有する気体噴射ユニット１７と、気体噴射ユニット１７を板状部材幅方向で移動させる気体噴射ユニット移動手段１８とを備えた。
【選択図】図４

Description

本発明は、プリント配線基板、液晶パネル、半導体ウエハー等の板状部材の製造過程において基板等の板状部材の片面又は両面に貼着された保護フィルムを板状部材より剥離させるためのフィルム剥離装置に関する。

プリント配線基板の製造では、絶縁性の基板本体の片面又は両面に積層させた銅箔等からなる導電層の表面に感光性を有するフォトレジスト層を形成した後、フォトレジスト層の表面に保護フィルムを貼着し、露光前のフォトレジスト層を保護するようにしている。

そして、この保護フィルムは、露光されたフォトレジスト層を現像してエッチング処理用のマスクパターンを形成する際に不要であるため、配線パターン像をフォトレジスト層に所定時間露光した後に剥離されるようになっている。

この保護フィルムを基板より剥離させる作業には、フィルム剥離装置が使用され、このフィルム剥離装置としては、例えば図７に示す如き基板の片面又は両面に貼着された保護フィルムの端縁部を基板より剥離させる端部剥離機構を備え、この端部剥離機構により剥離された保護フィルムの端縁部を切掛けとしてエアナイフ等からなる本剥離機構で順次保護フィルム全体を基板より剥離させるようにしたものが知られている（例えば、特許文献１）。

この端部剥離機構は、回転軸角度の異なる２種類の圧接ローラー２０１を基板幅方向に並べて支持させた一対の支持部材２０２，２０２を有するローラーユニット２０３を備え、両支持部材２０２，２０２を互いに近接する方向に移動させて上下の両圧接ローラー２０１を片面又は両面に保護フィルムが貼着された基板の端縁部の上下両面側より圧接させ、その状態でローラーユニット２０３を基板幅方向に移動させることにより、回転軸角度が異なる二つの圧接ローラー２０１によって保護フィルム端縁部にせん断力を作用させ、それにより基板表面より保護フィルム端縁部を剥離させるようになっている。

このローラーユニット２０３を基板幅方向で移動させる幅方向移動機構は、基板幅方向に向けた支持レール２０４，２０４にガイドさせたローラーユニット２０３をシリンダ機構２０５により移動させる構造となっている。

シリンダ機構２０５には、シリンダ本体部に対し出入自在なシャフトを有するエアシリンダ等を使用し、このエアシリンダ本体部を装置本体のフレームに基板幅方向に向けて固定するとともに、シャフトをローラーユニットに固定することにより、シャフトの出入りに連動してローラーユニット２０３が支持レール２０４，２０４に沿って基板幅方向で移動するようになっている。

また、このシリンダ機構２０５のストローク量は、端部剥離機構により保護フィルム端縁部の剥離が終了し、本剥離機構に移送される際にローラーユニットがその基板の移送を阻害しない位置に回避できるように、ローラーユニットの幅方向移動の開始位置及び終端位置が基板幅より外側に位置するように設定されている。

実開平０６−８７９６０号公報

しかしながら、上述の如き従来の技術では、圧接ローラーを基板表面に圧接させた状態でローラーユニットを基板幅方向で移動させるため、圧接ローラーと基板表面部との間に摩擦が生じ、その摩擦により、保護フィルム、フォトレジスト層及び導電層が削られて微細な破片が生じ、この様な微細な破片が基板の汚れや装置の故障の原因となる虞があった。

また、上述の如き従来の技術では、ローラーユニットの基板幅方向の移動がシリンダ機構のストローク量に依存し、ローラーユニットの幅方向移動の開始位置及び終端位置が基板幅より外側に位置するため、ローターユニットをシリンダ機構により基板幅方向で移動させた際、圧接ローラーが基板側縁より基板上に乗り上げ又は基板上より脱落し、当該乗り上げ又は脱落の際に基板及び装置に衝撃が生じ、この衝撃により上述した微細な破片を飛散させてしまう虞があった。

更には、圧接ローラーが基板上に乗り上げられずに、基板側縁部に接触して基板を曲げてしまう虞があり、更にこのような基板の変形が装置の停止や故障の原因となる虞があった。

そこで本発明は、このような従来の問題に鑑み、基板等の板状部材に貼着された保護フィルムの端縁部を剥離させる際に生じる微細な破片等を抑制し、基板等の板状部材の破損及び装置の故障を防止することができるフィルム剥離装置及びフィルム剥離方法の提供を目的としてなされたものである。

上述の如き従来の問題を解決し、所期の目的を達成するための請求項1に記載の発明の特徴は、片面又は両面に保護フィルムが貼着された板状部材の前記保護フィルムの端縁部を前記板状部材より剥離させる端部剥離機構と、該端部剥離機構の板状部材移送方向下流側に配置され、前記剥離された保護フィルム端縁部を切掛けとして前記保護フィルム全体を順次剥離させる本剥離機構とを備えたフィルム剥離装置において、前記端部剥離機構は、前記保護フィルム端縁部の一部を前記板状部材より浮き上がらせる部分剥離手段と、前記板状部材の板状部材移送方向前縁部に吐出口を向けたノズルを有する気体噴射ユニットと、該気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させる気体噴射ユニット移動手段とを備たことにある。

請求項２に記載の発明の特徴は、請求項１の構成に加え、前記部分剥離手段は、回転軸を板状部材移送方向に向けた標準圧接ローラー及び回転軸を板状部材幅方向に傾けた傾斜圧接ローラーを板状部材幅方向に並べた配置に有するローラーユニットと、該ローラーユニットを板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させるローラーユニット移動手段とを備え、前記ローラーユニットは、前記両圧接ローラーを片面側又は両面側より前記板状部材に圧接させる圧接手段を備えたことにある。

請求項３に記載の発明の特徴は、請求項２の構成に加え、前記ローラーユニットは、気体噴射ユニットと一体的に形成され、前記ローラーユニット移動手段には、前記気体噴射ユニット移動手段を使用することにある。

請求項４に記載の発明の特徴は、請求項１、２又は３の構成に加え、前記気体噴射ユニット移動手段は、前記気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動可能に支持する支持レール部材と、該支持レール部材に沿って前記気体噴射ユニットを任意の位置に移動させる動作ユニットと、該動作ユニットを制御する制御ユニットとを備えたことにある。

請求項５に記載の発明の特徴は、請求項４の構成に加え、前記動作ユニットは、板状部材幅方向に向けた軌道部材と、前記制御ユニットにより制御された駆動体と、該駆動体の動作に連動して前記軌道部材上の任意の位置に移動するスライダとを備え、該スライダに前記気体噴射ユニットを固定させたことにある。

請求項６に記載の発明の特徴は、板状部材の片面又は両面に貼着された保護フィルムの端縁部の一部を前記板状部材より浮き上がらせる部分剥離手段と、前記板状部材の板状部材移送方向前縁部に吐出口を向けたノズルを有する気体噴射ユニットと、該気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させる気体噴射ユニット移動手段とを有する端部剥離機構及び該端部剥離機構の板状部材移送方向下流側に配置された本剥離機構を備えてなるフィルム剥離装置を使用し、前記部分剥離手段により前記保護フィルム端縁部の一部を前記板状部材より剥離させて切掛け部を形成した後、前記気体噴射ユニットより前記切掛け部に向けて気体を噴射させ、且つ気体を噴射させた状態で前記気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させて前記切掛け部より前記保護フィルムの端縁部全体を前記板状部材より順次剥離させ、しかる後、剥離させた保護フィルム端縁部を切掛けに前記本?離機構により前記保護フィルム全体を板状部材より順次剥離させることにある。

請求項７に記載の発明の特徴は、請求項６の構成に加え、前記部分剥離手段は、回転軸を板状部材移送方向に向けた標準圧接ローラー及び回転軸を板状部材幅方向に傾けた傾斜圧接ローラーを板状部材幅方向に並べた配置に有するローラーユニットと、該ローラーユニットを板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させるローラーユニット移動手段とを備え、前記ローラーユニットは、前記両圧接ローラーを片面側又は両面側より前記板状部材に圧接させる圧接手段を備え、前記ローラーユニットを板状部材端縁部の任意の位置に移動させ、該任意の位置で前記両圧接ローラーを片面側又は両面側より前記板状部材端縁部表面に圧接させ、その状態で前記ローラーユニットを板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させ、前記保護フィルム端縁部の一部を前記板状部材より剥離させて切掛け部を形成することにある。

請求項８に記載の発明の特徴は、請求項７の構成に加え、前記ローラーユニットと一体的に形成された気体噴射ユニットを使用し、前記ローラーユニットを前記板状部材端縁部の任意の位置に移動させ、該任意の位置で前記両圧接ローラーを片面側又は両面側より前記板状部材表面に圧接させ、その状態で前記ローラーユニットを板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させ、前記保護フィルム端縁部の一部を前記板状部材より剥離させて切掛け部を形成した後、前記両圧接ローラーの板状部材に対する圧接状態を解除させ、しかる後、前記気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させることにある。

本発明に係るフィルム剥離装置は、上述したように、片面又は両面に保護フィルムが貼着された板状部材の前記保護フィルムの端縁部を前記板状部材より剥離させる端部剥離機構と、該端部剥離機構の板状部材移送方向下流側に配置され、前記剥離された保護フィルム端縁部を切掛けとして前記保護フィルム全体を順次剥離させる本剥離機構とを備えたフィルム剥離装置において、前記端部剥離機構は、前記保護フィルム端縁部の一部を前記板状部材より浮き上がらせる部分剥離手段と、前記板状部材の板状部材移送方向前縁部に吐出口を向けたノズルを有する気体噴射ユニットと、該気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させる気体噴射ユニット移動手段とを備えたことにより、気体噴射によるエアナイフ効果により保護フィルム端縁部の剥離を行え、導電層、フォトレジスト層及び保護フィルムからの微細な破片等の発生を抑制し、基板等の板状部材の汚れや装置の故障を防止することができる。

また、本発明において、前記部分剥離手段は、回転軸を板状部材移送方向に向けた標準圧接ローラー及び回転軸を板状部材幅方向に傾けた傾斜圧接ローラーを板状部材幅方向に並べた配置に有するローラーユニットと、該ローラーユニットを板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させるローラーユニット移動手段とを備え、前記ローラーユニットは、前記両圧接ローラーを片面側又は両面側より前記板状部材に圧接させる圧接手段を備えたことにより、保護フィルム端縁部の一部を好適に板状部材より剥離させることができる。

更に本発明において、前記ローラーユニットは、気体噴射ユニットと一体的に形成され、前記ローラーユニット移動手段には、前記気体噴射ユニット移動手段を使用することにより、装置を構成する部品点数を抑えることができ、コストの低減化を図ることができる。

更にまた、本発明において、前記気体噴射ユニット移動手段は、前記気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動可能に支持する支持レール部材と、該支持レール部材に沿って前記気体噴射ユニットを任意の位置に移動させる動作ユニットと、該動作ユニットを制御する制御ユニットとを備えたことにより、気体噴射ユニット又はローラーユニットの板状部材幅方向の移動を精密に制御することができる。

また本発明において、前記動作ユニットは、板状部材幅方向に向けた軌道部材と、前記制御ユニットにより制御された駆動体と、該駆動体の動作に連動して前記軌道部材上の任意の位置に移動するスライダとを備え、該スライダに前記気体噴射ユニットを固定させたことにより、気体噴射ユニット又はローラーユニットの板状部材幅方向の移動を精密に制御することができる。

本発明に係るフィルム剥離方法は、上述したように、板状部材の片面又は両面に貼着された保護フィルムの端縁部の一部を前記板状部材より浮き上がらせる部分剥離手段と、前記板状部材の板状部材移送方向前縁部に吐出口を向けたノズルを有する気体噴射ユニットと、該気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させる気体噴射ユニット移動手段とを有する端部剥離機構及び該端部剥離機構の板状部材移送方向下流側に配置された本剥離機構を備えてなるフィルム剥離装置を使用し、前記部分剥離手段により前記保護フィルム端縁部の一部を前記板状部材より剥離させて切掛け部を形成した後、前記気体噴射ユニットより前記切掛け部に向けて気体を噴射させ、且つ気体を噴射させた状態で前記気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させて前記切掛け部より前記保護フィルムの端縁部全体を前記板状部材より順次剥離させ、しかる後、剥離させた保護フィルム端縁部を切掛けに前記本?離機構により前記保護フィルム全体を板状部材より順次剥離させることにより、保護フィルムの端縁部の大部分を気体噴射によるエアナイフ効果を用いて行うため、基板等の板状部材より生じる微細な破片等の塵の発生を抑え、好適に保護フィルムを剥離させることができる。

また、本発明において、前記部分剥離手段は、回転軸を板状部材移送方向に向けた標準圧接ローラー及び回転軸を板状部材幅方向に傾けた傾斜圧接ローラーを板状部材幅方向に並べた配置に有するローラーユニットと、該ローラーユニットを板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させるローラーユニット移動手段とを備え、前記ローラーユニットは、前記両圧接ローラーを片面側又は両面側より前記板状部材に圧接させる圧接手段を備え、前記ローラーユニットを板状部材端縁部の任意の位置に移動させ、該任意の位置で前記両圧接ローラーを片面側又は両面側より前記板状部材端縁部表面に圧接させ、その状態で前記ローラーユニットを板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させ、前記保護フィルム端縁部の一部を前記板状部材より剥離させて切掛け部を形成することにより、好適に保護フィルム端縁部の一部分を剥離させることができる。

更に本発明において、前記ローラーユニットと一体的に形成された気体噴射ユニットを使用し、前記ローラーユニットを前記板状部材端縁部の任意の位置に移動させ、該任意の位置で前記両圧接ローラーを片面側又は両面側より前記板状部材表面に圧接させ、その状態で前記ローラーユニットを板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させ、前記保護フィルム端縁部の一部を前記板状部材より剥離させて切掛け部を形成した後、前記両圧接ローラーの板状部材に対する圧接状態を解除させ、しかる後、前記気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させることにより、圧接ローラーが基板等の板状部材に圧接した状態で移動することにより生じる塵を抑制し、基板等の板状部材の汚れや装置の故障を防止することができる。

本発明に係るフィルム剥離装置の一例の概略示す側面図である。 図１中の端部剥離機構の概略を示す部分拡大側面図である。 同上の端部剥離機構の幅方向移動機構部分を示す正面図である。 図３中の圧接ローラー及び支持部材の取付け状態を示す部分拡大正面図である。 同上の圧接ローラーの取り付け状態を示す部分拡大平面図である。 （ａ）は図 中のエアノズルの一例を示す正面図、（ｂ）は同縦断面図である。 従来のフィルム剥離装置の一例の概略を示す側面図である。

次に、本発明に係るフィルム剥離装置の実施の態様を図１〜図６に示した実施例に基づいて説明する。尚、図中符号Ａは板状部材である基板、符号１はフィルム剥離装置である。

また、ここで板状部材移送方向とは、図1中の右側より左側に向けた作業工程に基づいて板状部材である基板Ａを移送させる方向を言い、板状部材幅方向とは、板状部材移送方向と水平方向で交差する方向を言うものとする。

基板Ａは、絶縁性の基板本体の片面又は両面に積層させた銅箔等からなる導電層の表面に感光性を有するフォトレジスト層が形成され、さらにフォトレジスト層の表面に保護フィルムＢが貼着されている。

フィルム剥離装置１は、基板Ａを移送する板状部材移送機構２を備えるとともに、その板状部材移送方向の上流側に端部剥離機構３を、下流側に本剥離機構４をそれぞれ備え、板状部材移送機構２、端部剥離機構３及び本剥離機構４が図示しない制御ユニットによる命令に基づきシーケンス制御され、同期して動作するようになっている。

板状部材移送機構２は、回転軸を板状部材幅方向に向けた複数の案内ローラー５，５...を板状部材移送方向に間隔を置いた配置に備え、この案内ローラー５，５...を図示しないモータ等からなる駆動手段により回転させるようになっている。

また、板状部材移送機構２は、装置フレーム６にエアシリンダ７を介して上下動可能に支持された支持枠８と、支持枠８に回転自在に支持されたピンチローラー９とを備え、エアシリンダ７を動作させてピンチローラー９を基板Ａ上面に圧接させ、案内ローラー５とピンチローラー９との間に基板Ａを挟むことにより案内ローラー５による動力が基板Ａに伝達され、基板Ａが板状部材移送方向に向けて移送されるようになっている。

このフィルム剥離装置１では、板状部材移送機構２により基板Ａの移送方向前端部が端部剥離機構３に送られ、この端部剥離機構３により基板Ａの片面又は両面に貼着された保護フィルムＢの端縁部を剥離させた後、基板Ａが板状部材移送機構２により本剥離機構４に移送され、剥離させた保護フィルムＢの端縁部を切掛けにエアナイフ等からなる本剥離機構４で保護フィルムＢ全体を順次剥離させるようになっている。

端部剥離機構３は、図２に示すように、基板Ａを所定の位置に固定するための板状部材固定手段１０と、保護フィルムＢの端縁部を基板Ａより剥離させるフィルム端部剥離手段１１とを備え、板状部材移送機構２により送り込まれた基板Ａの端部を板状部材固定手段１０により所定の位置に固定し、その状態で保護フィルム端縁部をフィルム端部剥離手段１１により剥離させるようになっている。

板状部材固定手段１０は、長手方向を板状部材幅方向に向けた上下で互いに平行に配置された一対の挟持部材１２，１２と、両挟持部材１２，１２を互いに近接する位置と離反する位置との間で移動させる上下動ユニット１３，１３とを備え、両挟持部材１２，１２間に基板Ａ端部を挟持することにより基板Ａを所定の位置で固定するようになっている。

各挟持部材１２は、長手方向両端部が図示しない上下方向に向けた支持レール部材を介して装置のフレーム６部に移動自在に支持されている。

一方、上下動ユニット１３には、シリンダ本体部に対し出入自在なシャフト１３ａを有するエアシリンダ等を使用し、シャフト１３ａ側を互いに対向させて上下に配置された上下一対のエアシリンダ１３，１３を動作させることによりシャフト先端に連結された両挟持部材１２，１２が互いに近接する位置と離反する位置との間で移動するようになっている。

また、この板状部材固定手段１０は、図示しない位置決め手段を備え、この位置決め手段により所定の位置、即ち、後述する上下に配置された圧接ローラー間に基板Ａの端縁部が差し込まれる位置で基板Ａを停止させ、且つその位置において基板Ａの前端縁部より上流側部を両挟持部材１２により挟持し、基板Ａを固定するようになっている。

フィルム剥離手段１１は、保護フィルム端縁部の一部を基板Ａより浮き上がらせてなる切掛け部を形成する部分剥離手段と、基板の板状部材移送方向前縁部に吐出口を向けたノズル２５を有する気体噴射ユニットと、気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させる気体噴射ユニット移動手段１８とを備え、部分剥離手段により形成された切掛け部を切掛けとして、気体噴射ユニットで保護フィルムの端縁部全体を基板より順次剥離させるようになっている。

部分剥離手段は、圧接ローラー１５，１６を有するローラーユニット１７と、ローラーユニット１７を板状部材幅方向で移動させるローラーユニット移動手段とを備えている。

このローラーユニット１７は、気体噴射ユニットと一体的に形成され、ローラーユニット移動手段には、気体噴射ユニット移動手段１８が使用されている。尚、以下の説明においては、ローラーユニットと気体噴射ユニットに同一符号１７を付して説明する。

ローラーユニット１７は、平板状のベース部材１９と、ベース部材１９の板状部材移送方向手前側面に上下方向で相対移動可能に支持された一対の支持部材２０，２１とを備え、上下両支持部材２０，２１の板状部材移送方向手前側面に回転軸角度の異なる２種類の圧接ローラー１５，１６がそれぞれ回転自在に支持されている。

ベース部材１９は、縦方向に長い長方形状に形成され、その板状部材移送方向手前側面に上下に向けた一対の丸棒状のスライドガイド部材２２，２２が板状部材幅方向に間隔を置いた平行配置に固定されている。

上下の支持部材２０，２１は、このスライドガイド部材２２，２２に上下方向で移動可能にガイドされ、下側支持部材２１が受け部２３を介してベース部材１９に支持されるとともに、上側支持部材２０の上面部にベース部材１９に固定されたエアシリンダ２４のシャフト先端が連結されている。

このエアシリンダ２４は、両圧接ローラー１５，１６を基板Ａの両面側より基板Ａの表面に圧接させる圧接手段を構成し、エアシリンダ２４を動作させることにより両支持部材２０，２１が上下方向で互いに近接する位置と互いに離反する位置との間で相対移動し、両支持部材２０，２１を互いに近接する方向に移動させることにより両圧接ローラー１５，１６を両面側より基板Ａに圧接させ、両支持部材２０，２１を互いに離反する位置に移動させることにより両圧接ローラー１５，１６の基板Ａに対する圧接状態が解除できるようになっている。

尚、ここで基板Ａに対する圧接状態とは、エアシリンダ等の外的加圧手段による積極的に圧力を加えて圧接ローラーを基板Ａに接触させた状態をいうものとする。

尚、受け部２３は、ベース部材１９に固定された受け部本体２３ａと、受け部本体２３ａに上下方向に向けて螺合された高さ調整ボルト２３ｂとを備え、この高さ調整ボルト２３ｂの上端部が下側支持部材２０，２１の下面部に当接され、高さ調整ボルト２３ｂを回転させて受け部本体２３ａに対して上下方向に移動させることによりそれに連動して下側支持部材２１の高さ位置を調整できるようになっている。

上下各支持部材２０，２１は、図５に示すように、直方体状のブロック材をもって形成され、板状部材移送方向手前側面部に回転軸１５ａを板状部材移送方向に向けた標準圧接ローラー１５と、回転軸１６ａが板状部材移送方向手前側を水平方向に傾けた傾斜圧接ローラー１６とが回転自在に支持されている。

両圧接ローラー１５，１６は、傾斜圧接ローラー１６が一対の標準圧接ローラー１５、１５間に位置するように板状部材幅方向に直列配置され、両支持部材２０，２１を互いに近接する位置に移動させることにより、基板Ａを挟んで上下側に配置された圧接ローラー１５，１６、１５，１６間に基板Ａを挟持し、両圧接ローラー１５，１６が基板Ａ表面（保護フィルムＢ表面）に圧接されるようになっている。

そして、両圧接ローラー１５，１６を基板Ａ表面（保護フィルムＢ表面）に圧接させた状態でローラーユニット１７を板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させることにより、保護フィルムＢの端縁部表面に方向の異なる力が作用し、それにより保護フィルムＢに歪みを生じさせ、保護フィルム端縁部の一部のみを基板Ａ表面より剥離させて切掛け部を形成するようになっている。

一方、ローラーユニット１７と一体的に形成された気体噴射ユニット１７は、支持部材２０，２１の両圧接ローラー１５，１６間にエアノズル２５を備え、このエアノズル２５より基板Ａの板状部材移送方向前縁部に向けて圧縮空気を噴射するようになっている。

このエアノズル２５は、図６に示すように、金属製筒材を成形加工することにより形成され、円筒状の基部２５ａの先端側に縦長状にプレスされた形状の噴射部２５ｂを連続配置に備えている。

噴射部２５ｂは、内空部の縦方向長さが横方向幅に対して十分大きい縦長形状に形成され、先端開口部が上下方向で互いに先端側中央に向けて傾斜した形状に形成されている。

このエアノズル２５は、噴射部２５ｂ側を斜め下向きに傾けて設置され、噴射口が基板Ａの板状部材移送方向前縁部に向けられている。各エアノズル２５は、上述の如き縦長形状及び先端側中央に向けて傾斜した先端形状を有する噴射部２５ｂを備えたことにより、上下方向で広角に圧縮空気が噴射されるようになっている。

尚、このエアノズル２５には、図示しない空気供給手段より供給ホースを通して圧縮空気が供給されるようになっている。

一方、ベース部材１９の板状部材移送方向奥側面部には、スライド軸受２６が固定され、このスライド軸受２６を介してベース部材１９が気体噴射ユニット移動手段１８を構成する支持レール部材２７，２７に板状部材幅方向に移動自在に支持されている。

気体噴射ユニット移動手段１８は、長手方向を板状部材幅方向に向けた一対の支持レール部材２７，２７と、支持レール部材２７，２７に沿ってベース部材１９を任意の位置に任意の速度で移動させる動作ユニット２８とを備え、制御ユニットによる命令に基づき動作ユニット２８が制御されるようになっている。

支持レール部材２７，２７は、その両端が端部剥離機構３の両側部に設置された支柱２９，２９に固定部材３０を介して固定され、両支柱２９，２９間に上下で互いに平行配置に架設されている。

動作ユニット２８は、板状部材幅方向に向けた軌道部材３１と、軌道部材３１に沿って移動するスライダ３２と、制御手段により制御される駆動体３３とを備え、スライダ３２に気体噴射ユニット１７を構成するベース部材１９が固定されている。

この動作ユニット２８では、スライダ軌道部材３１内にその長さ方向に向けた図示しないボールねじを備え、このボールねじを駆動体３３により回転させることにより、ボールねじを構成するナット部と一体化させたスライダ３２が軌道部材３１に沿った方向で移動するようになっている。

駆動体３３には、例えば、サーボモータやパルスモータ（ステッピングモータ）等のように回転（角度）及び回転速度を制御可能なモータ等を使用し、制御ユニットからの命令に基づき駆動体３３の回転（角度）及び回転速度を制御することにより、この駆動体３３の回転動作に連動してスライダ３２を任意の位置に移動させることができ、また、スライダ３２を任意の移動距離、速度、移動（往復）回数等で移動させることができるようになっている。

また、このように気体噴射ユニット１７は、制御ユニットからの命令に基づきスライダ３２を軌道部材３１上の任意の位置に移動させることができるのでローラーユニット移動手段と兼用することができるようになっている。

尚、気体噴射ユニット１７は、図中実線で示す一方に片寄せた位置、即ち基板Ａ幅より外側に回避した位置を原点位置とし、原点位置においては、気体噴射ユニット１７が基板Ａの端部剥離機構３から本剥離機構４への移送に阻害しないようになっている。

制御ユニットは、動作ユニット２８を制御するためのデータを入力するタッチパネル等の入力手段と、入力手段により入力された複数の制御データを記憶する記憶手段とを備え、入力手段により直接入力されたデータに基づいて動作ユニット２８を制御でき、また、記憶手段に記憶された複数の制御データから製品（製造ロット）に応じて選択された制御データに基づいて制御することもできる。

また、制御ユニットは、プリント配線基板Ａを製造する過程に使用される他の装置、例えば、基板投入機等からのデータを入力する外部入力手段を備え、その外部入力データに基づいてその他の装置と同期させて動作ユニット２８を制御できるようになっている。

次に、上述の如きフィルム剥離装置を使用したフィルム剥離方法について説明する。尚、上述の実施例と同一の部分には、同一符号を付して説明を省略する。

まず、片面又は両面に保護フィルムＢが貼着された板状部材である基板Ａが装置に投入されると、板状部材移送機構２により基板Ａが板状部材移送方向に沿って移送され、基板Ａが所定の位置に到達すると図示しない位置決め手段により停止させる。

次に、その位置において板状部材固定手段１０のエアシリンダ１３，１３を動作させ、基板Ａ端部を両挟持部材１２，１２間に挟持して基板Ａを所定の位置に固定し、この位置でフィルム端部剥離手段１１により保護フィルムの端縁部を基板Ａより剥離する。

保護フィルムＢの端縁部を基板Ａより剥離するには、まず、ローラーユニット１７を基板Ａ幅より外側の原点位置から基板Ａの任意の位置、例えば基板中央部に移動させ、その位置でローラーユニット１７の両支持部材２０，２１を互いに近接方向に移動させ、回転軸角度が異なる２種類の圧接ローラー１５，１６を基板上下両面側より基板Ａ表面に圧接させる。

そして、圧接ローラー１５，１６を基板表面に圧接させた状態でローラーユニット１７を所定幅の範囲で移動させる。

この動作により基板Ａ表面に貼着された保護フィルム端縁部に回転角度の異なる２種類の圧接ローラー１５，１６により方向の異なる力が作用し、それにより基板Ａより保護フィルム端縁部の一部を浮き上がらせた切掛け部が形成される。

この切掛け部に向けてエアノズル２５，２５より圧縮空気を噴射させるとともに、両支持部材２０，２１を互いに離反する方向に移動させて圧接ローラー１５，１６を基板Ａ表面より離脱させて両圧接ローラー１５，１６の基板Ａに対する圧接状態を解除する。

そして、エアノズル２５より圧縮空気を噴射させて切掛け部を基点（始点）にして圧縮空気を保護フィルムＢとフォトレジスト層との間に吹き込みつつ基板幅移動方向に向けて順次気体噴射ユニット１７を移動させることにより、エアナイフ効果により順次保護フィルム端縁部を剥離する。

その際、圧接ローラー１５，１６が基板Ａより離脱した位置にあって基板Ａに対する圧接状態が解除されているので保護フィルムＢ、フォトレジスト層又は導電層を傷つけず、微細な破片の発生も抑制することができる。

そして、気体噴射ユニット１７を板状部材幅方向全域で移動させ、保護フィルム端縁部全体を基板Ａより剥離させた後、気体噴射ユニット１７を原点復帰させるとともに、板状部材固定手段１０のエアシリンダ１３，１３を動作させて基板の固定状態を解除し、基板Ａを板状部材移送機構２により本剥離機構４に送り出す。

そして、本剥離機構４において、端部剥離機構３により剥離された保護フィルムの端縁部を切掛けにして保護フィルムＢ全体を順次剥離する。

尚、上述の実施例では、気体噴射ユニットとローラーユニットとを一体的に備えた構造のものについて説明したが、気体噴射ユニットと部分剥離手段とをそれぞれ独立させた構造であってもよい。

更に、上述の実施例では、ローラーユニット移動手段に気体噴射ユニット移動手段を使用した例について説明したが、ローラーユニット移動手段を別個に備えた構造であってもよい。

また、上述の実施例では、動作ユニット２８がボールねじを備え、このボールねじをサーボモータ等の駆動体３３により回転させることにより、ボールねじを構成するナット部と一体化させたスライダ３２が軌道部材３１に沿った方向で移動するようにしたものについて説明したが、動作ユニット２８は、このような構成に限定されるものではなく、例えば、サーボモータ等の駆動体３３の回転に連動して動作する駆動ベルトを用いた構造であってもよく、また、モータを使用しないものであっても、制御手段の命令に基づいてスライダ３２を軌道部材３１上の任意の位置に任意の速度で移動させることができる構造のものであればよい。

また、上述の実施例では、両圧接ローラー１５，１６を基板Ａより離反させ、それにより圧接ローラーの板状部材に対する圧接状態を解除した例について説明したが、圧接ローラーの板状部材に対する圧接状態の解除は、圧接ローラーが基板等の板状部材に接触していても、エアシリンダ等の圧接手段により積極的に圧力を加えて圧接ローラーを基板Ａに接触させた状態でなければよい。

Ａ 基板
Ｂ 保護フィルム
１ フィルム剥離装置
２ 板状部材移送機構
３ 端部剥離機構
４ 本剥離機構
５ 案内ローラー
６ フレーム
７ エアシリンダ
８ 支持枠
９ ピンチローラー
１０ 板状部材固定手段
１１ フィルム端部剥離手段
１２ 挟持部材
１３ 上下動ユニット（エアシリンダ）
１４ フローティングジョイント
１５ 標準圧接ローラー
１６ 傾斜圧接ローラー
１７ 気体噴射ユニット（ローラーユニット）
１８ 気体噴射ユニット移動手段
１９ ベース部材
２０ 上側支持部材
２１ 下側支持部材
２２ スライドガイド部材
２３ 受け部
２４ エアシリンダ
２５ エアノズル
２６ スライド軸受
２７ 支持レール部材
２８ 動作ユニット
２９ 支柱
３０ 固定部材
３１ 軌道部材
３２ スライダ
３３ 駆動体

Claims (8)

1. 片面又は両面に保護フィルムが貼着された板状部材の前記保護フィルムの端縁部を前記板状部材より剥離させる端部剥離機構と、該端部剥離機構の板状部材移送方向下流側に配置され、前記剥離された保護フィルム端縁部を切掛けとして前記保護フィルム全体を順次剥離させる本剥離機構とを備えたフィルム剥離装置において、
   前記端部剥離機構は、前記保護フィルム端縁部の一部を前記板状部材より浮き上がらせる部分剥離手段と、前記板状部材の板状部材移送方向前縁部に吐出口を向けたノズルを有する気体噴射ユニットと、該気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させる気体噴射ユニット移動手段とを備たことを特徴としてなるフィルム剥離装置。
2. 前記部分剥離手段は、回転軸を板状部材移送方向に向けた標準圧接ローラー及び回転軸を板状部材幅方向に傾けた傾斜圧接ローラーを板状部材幅方向に並べた配置に有するローラーユニットと、該ローラーユニットを板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させるローラーユニット移動手段とを備え、
   前記ローラーユニットは、前記両圧接ローラーを片面側又は両面側より前記板状部材に圧接させる圧接手段を備えてなる請求項１に記載のフィルム剥離装置。
3. 前記ローラーユニットは、気体噴射ユニットと一体的に形成され、前記ローラーユニット移動手段には、前記気体噴射ユニット移動手段を使用する請求項２に記載のフィルム剥離装置。
4. 前記気体噴射ユニット移動手段は、前記気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動可能に支持する支持レール部材と、該支持レール部材に沿って前記気体噴射ユニットを任意の位置に移動させる動作ユニットと、該動作ユニットを制御する制御ユニットとを備えた請求項１、２又は３に記載のフィルム剥離装置。
5. 前記動作ユニットは、板状部材幅方向に向けた軌道部材と、前記制御ユニットにより制御された駆動体と、該駆動体の動作に連動して前記軌道部材上の任意の位置に移動するスライダとを備え、該スライダに前記気体噴射ユニットを固定させた請求項４に記載のフィルム剥離装置。
6. 板状部材の片面又は両面に貼着された保護フィルムの端縁部の一部を前記板状部材より浮き上がらせる部分剥離手段と、前記板状部材の板状部材移送方向前縁部に吐出口を向けたノズルを有する気体噴射ユニットと、該気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させる気体噴射ユニット移動手段とを有する端部剥離機構及び該端部剥離機構の板状部材移送方向下流側に配置された本剥離機構を備えてなるフィルム剥離装置を使用し、
   前記部分剥離手段により前記保護フィルム端縁部の一部を前記板状部材より剥離させて切掛け部を形成した後、前記気体噴射ユニットより前記切掛け部に向けて気体を噴射させ、且つ気体を噴射させた状態で前記気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させて前記切掛け部より前記保護フィルムの端縁部全体を前記板状部材より順次剥離させ、しかる後、剥離させた保護フィルム端縁部を切掛けに前記本?離機構により前記保護フィルム全体を板状部材より順次剥離させることを特徴としてなるフィルム剥離方法。
7. 前記部分剥離手段は、回転軸を板状部材移送方向に向けた標準圧接ローラー及び回転軸を板状部材幅方向に傾けた傾斜圧接ローラーを板状部材幅方向に並べた配置に有するローラーユニットと、該ローラーユニットを板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させるローラーユニット移動手段とを備え、前記ローラーユニットは、前記両圧接ローラーを片面側又は両面側より前記板状部材に圧接させる圧接手段を備え、
   前記ローラーユニットを板状部材端縁部の任意の位置に移動させ、該任意の位置で前記両圧接ローラーを片面側又は両面側より前記板状部材端縁部表面に圧接させ、その状態で前記ローラーユニットを板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させ、前記保護フィルム端縁部の一部を前記板状部材より剥離させて切掛け部を形成する請求項６に記載のフィルム剥離方法。
8. 前記ローラーユニットと一体的に形成された気体噴射ユニットを使用し、
   前記ローラーユニットを前記板状部材端縁部の任意の位置に移動させ、該任意の位置で前記両圧接ローラーを片面側又は両面側より前記板状部材表面に圧接させ、その状態で前記ローラーユニットを板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させ、前記保護フィルム端縁部の一部を前記板状部材より剥離させて切掛け部を形成した後、前記両圧接ローラーの板状部材に対する圧接状態を解除させ、しかる後、前記気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させる請求項７に記載のフィルム剥離装置。

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