JP2013084755A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】切削装置1はチャックテーブル10とウェーハWの面取り部8を除去する切削手段とウェーハWの表面Wa,Wcに光を照射して撮像する撮像手段30を備える。チャックテーブル10はウェーハWの裏面Wb全面を吸引保持する保持部12と保持部12の外周を囲繞する外周リング部13を有している。外周リング部13の内径はウェーハWの外径よりも小さく外径はウェーハWの外径よりも大きい。外周リング部13は撮像手段30から照射された光が正反射する光正反射層16と光正反射層16上に積層され撮像手段30から照射された光が透過する石英ガラス層17とからなる。石英ガラス層17の表面17aと保持部12の表面12aは同一面である。
【選択図】図3
Description
8 面取り部
10 チャックテーブル
12 保持部
12a 表面
13 外周リング部
16 光正反射層
17 石英ガラス層
17a 表面
20 加工手段
E 輪郭
W ウェーハ
Wa,Wc 表面
Wb 裏面
Claims (2)
- 外周縁に表面から裏面にかけて円弧状の面取り部が形成された円盤形状のウェーハを表面に保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該ウェーハの該面取り部を周方向に沿って除去する切削手段と、該チャックテーブルに保持された該ウェーハの表面に光を照射し該表面を撮像する撮像手段と、を備える切削装置であって、
該チャックテーブルは、該ウェーハの裏面全面を吸引保持する保持部と、該保持部の外周を囲繞して配設された外周リング部とを有し、
該外周リング部の内径は該ウェーハの外径よりも小さく外径は該ウェーハの外径よりも大きく形成されており、該保持部の中心に該ウェーハの中心を位置づけて保持した際にウェーハの外周縁を囲繞し、
該外周リング部は、該撮像手段から照射された光が正反射して該ウェーハの輪郭とのコントラストを明確にする材質で形成された光正反射層と、該光正反射層の上部に積層され該撮像手段から照射された光が透過する石英ガラス層とからなり、該石英ガラス層の表面と該保持部の表面は同一面に形成されている、
ことを特徴とする切削装置。 - 該チャックテーブルの該光正反射層はアルミナセラミックで形成されている、請求項1に記載の切削装置。
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