JP2013072837A - センサー素子、センサーデバイス、力検出装置およびロボット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】非圧電性および非導電性を有する基板の少なくとも一方の面に圧電性被膜が形成された圧電体と、導電性を有する電極基板と、を有し、前記基板と前記電極基板との間に前記圧電性被膜が配置されるセンサー素子。
【選択図】図1
Description
図1は第1実施形態に係るセンサー素子を示す、(a)は構成要素の配置を示す斜視図、(b)は組立断面図、(c)は基板結晶軸の説明図である。図1(a),(b)に示すセンサー素子10は、基板1と、被膜形成面としての基板1の一方の面1a上に形成された圧電性被膜2と、を有する圧電体3と、電極基板4と、が電極基板4を介して基板1の一方の面1a上に形成された圧電性被膜2を対向させて積層配置されている。基板1は、非圧電性と非導電性とを有する材料より形成され、圧電性被膜2は、例えば酸化亜鉛(ZnO)、窒化アルミ(AlN)、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)などを、基板1の一方の面1a上に成膜される。成膜方法としては、CDV法、スパッタリング法、ゾルゲル法などが好適に用いられる。
図3は、第2実施形態に係るセンサーデバイスを示す概略断面図である。図3に示すように、センサーデバイス100は、センサー素子10が筒状容器30に収納され、基台21,22によって押圧固定され、電極基板4が演算装置40に接続されている。演算装置40には図示しない電極基板4の電荷を変換するQVアンプを備え、接地(グランド:GND)に接続されている。
図4は、第3実施形態に係る力検出装置を模式図的に示し、(a)は断面図、(b)は各センサー素子の機能説明図である。図4(a)に示す力検出装置1000は、第1実施形態に係るセンサー素子10に加えてセンサー素子10の力検出方向と異なる方向の力を検出するセンサー素子10A,10Bを積層して形成される。なお、図4(a)において、センサー素子10A,10B,10が積層される方向(図示上方向)をγ(+)方向とし、γ方向に直交し図示右方向をα(+)方向、図示面に向かう方向をβ(+)方向とする。
図6は、第3実施形態に係る力検出装置1000、もしくは6軸力検出装置2000を用いたロボット3000の構成を示す外観図である。ロボット3000は、本体部3100、アーム部3200およびロボットハンド部3300などから構成されている。本体部3100は、例えば床、壁、天井、移動可能な台車の上、などに固定される。アーム部3200は、本体部3100に対して可動の設けられており、本体部3100にはアーム部3200を回転させるための動力を発生させる図示しないアクチュエーターや、アクチュエーターを制御する制御部などが内蔵されている。
AlN:2.5
ZnO:4.6
PZT:99.5
と、高い感度を有し、特に、PZTにより圧電性被膜2を形成することで高い電荷量を得ることができる。
Claims (6)
- 非圧電性および非導電性を有する基板の少なくとも一方の面に圧電性被膜が形成された圧電体と、
導電性を有する電極基板と、を有し、
前記基板と前記電極基板との間に前記圧電性被膜が配置される、
ことを特徴とするセンサー素子。 - 前記基板は水晶から形成され、前記圧電性被膜が形成される前記基板の被膜形成面が、前記水晶の電気軸(X軸)と機械軸(Y軸)とを含む、
ことを特徴とする請求項1に記載のセンサー素子。 - 前記圧電性被膜がPZTである、ことを特徴とする請求項1または2に記載のセンサー素子。
- 請求項1から3のいずれか一項に記載のセンサー素子と、
前記電極基板に誘起される電荷量を検出し、前記センサー素子に掛かる力を演算する演算手段と、を含む、
ことを特徴とするセンサーデバイス。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載のセンサー素子と、
前記電極基板に誘起される電荷量を検出し、前記センサー素子に掛かる力を演算する演算手段と、を含む、
ことを特徴とする力検出装置。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載のセンサー素子と、
前記電極基板に誘起される電荷量を検出し、前記センサー素子に掛かる力を演算する演算手段と、を含む、
ことを特徴とするロボット。
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JP2011214093A JP2013072837A (ja) | 2011-09-29 | 2011-09-29 | センサー素子、センサーデバイス、力検出装置およびロボット |
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