JP2013070095A - 調整可能なグレーティングコンプレッサを備えたパルスレーザ光源 - Google Patents
調整可能なグレーティングコンプレッサを備えたパルスレーザ光源 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013070095A JP2013070095A JP2013000030A JP2013000030A JP2013070095A JP 2013070095 A JP2013070095 A JP 2013070095A JP 2013000030 A JP2013000030 A JP 2013000030A JP 2013000030 A JP2013000030 A JP 2013000030A JP 2013070095 A JP2013070095 A JP 2013070095A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- medium
- laser beam
- waveguide
- optical
- nanometers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
- H01S3/0057—Temporal shaping, e.g. pulse compression, frequency chirping
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/062—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam
- B23K26/0622—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam by shaping pulses
- B23K26/0624—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam by shaping pulses using ultrashort pulses, i.e. pulses of 1ns or less
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/13—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/02—Optical fibres with cladding with or without a coating
- G02B6/02057—Optical fibres with cladding with or without a coating comprising gratings
- G02B6/02076—Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings
- G02B6/02123—Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings characterised by the method of manufacture of the grating
- G02B6/02133—Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings characterised by the method of manufacture of the grating using beam interference
- G02B6/02138—Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings characterised by the method of manufacture of the grating using beam interference based on illuminating a phase mask
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/02—Optical fibres with cladding with or without a coating
- G02B6/02057—Optical fibres with cladding with or without a coating comprising gratings
- G02B6/02076—Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings
- G02B6/02123—Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings characterised by the method of manufacture of the grating
- G02B6/02142—Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings characterised by the method of manufacture of the grating based on illuminating or irradiating an amplitude mask, i.e. a mask having a repetitive intensity modulating pattern
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/02—Optical fibres with cladding with or without a coating
- G02B6/02057—Optical fibres with cladding with or without a coating comprising gratings
- G02B6/02076—Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings
- G02B6/02123—Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings characterised by the method of manufacture of the grating
- G02B6/02147—Point by point fabrication, i.e. grating elements induced one step at a time along the fibre, e.g. by scanning a laser beam, arc discharge scanning
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Lasers (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】このレーザ光源は、光パルスを出力するファイバ発振器と、光パルスを受け取るために配置されるパルスストレッチャとを備える。光パルスは光パルス幅を有する。パルスストレッチャは、光パルス幅を拡大し、引き伸ばされた光パルスを生じさせる分散を有する。レーザ光源は、引き伸ばされた光パルスを受け取るように配置されるファイバ増幅器を更に含む。ファイバ光増幅器は、引き伸ばされた光パルスを増幅するための利得を有する。レーザ光源は、光パルス幅を減少させる分散を有する自動的に調整可能なグレーティングコンプレッサを含む。グレーティングコンプレッサは、異なった繰り返し周波数についてこの分散を自動的に調整する。
【選択図】図2
Description
本願は、全体として参照することにより本明細書に組み込まれる「可視フェムト秒パルスを活用する光導波路書き込み(OPTICAL WAVEGUIDE WRITING UTILIZING VISIBLE FETMOSECOND PULSES)と題される2004年12月20日に出願された米国特許出願番号第60/638,072号に対する優先権を主張する。
光学系20は、約1.0未満及びいくつかの実施形態では約1.0と0.4の間の開口数(NA)を有してよい。低NAの収束型対物レンズが、例えばNA>1.0の油浸対物レンズ及び水浸対物レンズを基準にして焦点深度が長いために三次元導波路パターンの製造を容易にする。また、約520mmに近い可視波長は、近赤外(NIR)波長よりも可視顕微鏡使用で使用される標準高倍率対物レンズと互換性がある。このようにして、この対物レンズにより生じる挿入損失及びビーム収差は大幅に削減される。他のタイプの光学系20が使用可能であり、光学系は特定の実施形態で除外されてよい。
Claims (23)
- 媒体中に導波路を製造する方法であって、
約300フェムト秒と700フェムト秒の間のパルス幅と、約490ナノメートルと5
50ナノメートルの間の範囲の波長を備える超高速パルスレーザビームを生成し、
前記媒体中の領域に前記超高速パルスレーザビームの少なくとも一部を照射し、
前記媒体中から前記超高速パルスレーザビームを除く、
ことを含み、前記媒体中の領域に照射された前記超高速パルスレーザビームは、前記媒
体中から前記超高速パルスレーザビームが除かれた後、前記媒体の屈折率を変化させ、こ
れにより、前記媒体中に前記導波路を形成するに十分な強度を有することを特徴とする方
法。 - 前記超高速パルスレーザビームが、約5J/cm2と約50J/cm2の間の、媒体の
領域に対するレーザフルエンスを有することを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記光パルスが、約100kHzから5MHzの間の繰り返し周波数を有することを特
徴とする請求項1に記載の方法。 - 赤外光を生じさせ、該赤外光の周波数を2逓倍して可視光ビームを生じさせることとを
更に含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記媒体が、実質的に透明な結晶、ガラス及びポリマーから成る物質群から選択される
ことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記媒体が、溶融石英を備えることを特徴とする請求項5に記載の方法。
- 前記媒体が、物質イオン化バンドギャップλgを有する物質を備え、前記波長は3.0
λgと5λgの間であることを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 細長い導波路を形成するために前記媒体を移動することを更に含むことを特徴とする請
求項1に記載の方法。 - 細長い導波路を形成するために超高速パルスレーザビームを移動することを更に含むこ
とを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 媒体中に導波路を製造するためのシステムであって、
超高速パルス赤外レーザビームを出力する赤外ファイバレーザと、
前記超高速パルス赤外レーザビームを受け取り、前記媒体の空間領域を照射する超高速
パルス可視レーザビームであって、約490ナノメートルと550ナノメートルの間の範
囲の波長を有し、300フェムト秒と700フェムト秒の間のパルス幅を有する光パルス
を備える超高速パルス可視レーザビームを出力する周波数逓倍器と、
前記媒体中に前記導波路を形成するために前記空間領域を移動する移動システムと、
を備えることを特徴とするシステム。 - 前記赤外ファイバレーザが、Ybドープ・ファイバレーザを備えることを特徴とする請
求項10に記載のシステム。 - 前記赤外ファイバレーザが、1030ナノメートルと1050ナノメートルの間の波長
を出力し、
前記周波数逓倍器が、第二高調波発生により波長が515ナノメートルと525ナノメ
ートルの間の光を生成する非線形光学素子を備える、
ことを特徴とする請求項10に記載のシステム。 - 前記超高速パルス可視レーザビームが、約5J/cm2と50J/cm2の間の、前記
空間領域に対するレーザフルエンスを有することを特徴とする請求項10に記載のシステ
ム。 - 前記光パルスが、約100kHzから5MHzで繰り返し周波数が可変であることを特
徴とする請求項10に記載のシステム。 - 前記超高速可視パルスレーザビームを受け取り、前記超高速可視パルスレーザビームに
より前記空間領域を照射するように配置された光学系を更に備えることを特徴とする請求
項10に記載のシステム。 - 前記光学系が、顕微鏡対物レンズを備えることを特徴とする請求項15に記載のシステ
ム。 - 前記光学系が約1.0未満の開口数を有することを特徴とする請求項15に記載のシス
テム。 - 前記移動システムが、前記媒体を搭載する移動ステージを備えることを特徴とする請求
項10に記載のシステム。 - 前記移動システムが、可動ミラーを備えることを特徴とする請求項10に記載のシステ
ム。 - 導波路を製造するためのシステムであって、
約300フェムト秒と800フェムト秒の間のパルス幅と、約490ナノメートルと5
50ナノメートルの間の波長を有する光パルスを備える超高速パルス可視レーザビームを
生成する超高速パルス可視レーザ光源と、
前記ビームの中に配置される媒体であって、物理的な構造と、該構造が可視光のビーム
によって変化を受け、それによって屈折率が変化する、前記構造に依存する屈折率とを有
する媒体と、
を備えることを特徴とするシステム。 - 前記媒体が、物質イオン化バンドギャップλgを有し、前記波長は3.0λgと5λg
の間であることを特徴とする請求項20に記載のシステム。 - 前記媒体が、実質的に透明な結晶、ガラス及びポリマーから成る物質群から選択される
ことを特徴とする請求項20に記載のシステム。 - 前記媒体が、溶融石英を備えることを特徴とする請求項22に記載のシステム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US63807204P | 2004-12-20 | 2004-12-20 | |
US60/638,072 | 2004-12-20 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007066456A Division JP2008135673A (ja) | 2004-12-20 | 2007-03-15 | 調整可能なグレーティングコンプレッサを備えたパルスレーザ光源 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013070095A true JP2013070095A (ja) | 2013-04-18 |
JP5716757B2 JP5716757B2 (ja) | 2015-05-13 |
Family
ID=37962936
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007541509A Expired - Fee Related JP4825809B2 (ja) | 2004-12-20 | 2005-12-20 | 調整可能なグレーティングコンプレッサを備えたパルスレーザ光源 |
JP2007066456A Pending JP2008135673A (ja) | 2004-12-20 | 2007-03-15 | 調整可能なグレーティングコンプレッサを備えたパルスレーザ光源 |
JP2013000030A Expired - Fee Related JP5716757B2 (ja) | 2004-12-20 | 2013-01-04 | 媒体中に導波路を製造する方法およびシステム |
Family Applications Before (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007541509A Expired - Fee Related JP4825809B2 (ja) | 2004-12-20 | 2005-12-20 | 調整可能なグレーティングコンプレッサを備えたパルスレーザ光源 |
JP2007066456A Pending JP2008135673A (ja) | 2004-12-20 | 2007-03-15 | 調整可能なグレーティングコンプレッサを備えたパルスレーザ光源 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US7684450B2 (ja) |
EP (1) | EP1851837B1 (ja) |
JP (3) | JP4825809B2 (ja) |
WO (1) | WO2007046833A2 (ja) |
Families Citing this family (48)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7394591B2 (en) | 2000-05-23 | 2008-07-01 | Imra America, Inc. | Utilization of Yb: and Nd: mode-locked oscillators in solid-state short pulse laser systems |
US9022037B2 (en) | 2003-08-11 | 2015-05-05 | Raydiance, Inc. | Laser ablation method and apparatus having a feedback loop and control unit |
US8921733B2 (en) | 2003-08-11 | 2014-12-30 | Raydiance, Inc. | Methods and systems for trimming circuits |
WO2011123205A1 (en) | 2010-03-30 | 2011-10-06 | Imra America, Inc. | Laser-based material processing apparatus and methods |
US7486705B2 (en) | 2004-03-31 | 2009-02-03 | Imra America, Inc. | Femtosecond laser processing system with process parameters, controls and feedback |
US7885311B2 (en) * | 2007-03-27 | 2011-02-08 | Imra America, Inc. | Beam stabilized fiber laser |
US7508853B2 (en) | 2004-12-07 | 2009-03-24 | Imra, America, Inc. | Yb: and Nd: mode-locked oscillators and fiber systems incorporated in solid-state short pulse laser systems |
EP1851837B1 (en) * | 2004-12-20 | 2015-03-04 | Imra America, Inc. | Pulsed laser source with adjustable grating compressor |
US20060207976A1 (en) * | 2005-01-21 | 2006-09-21 | Bovatsek James M | Laser material micromachining with green femtosecond pulses |
US8232687B2 (en) | 2006-04-26 | 2012-07-31 | Raydiance, Inc. | Intelligent laser interlock system |
US9130344B2 (en) * | 2006-01-23 | 2015-09-08 | Raydiance, Inc. | Automated laser tuning |
JP5467864B2 (ja) * | 2006-05-11 | 2014-04-09 | エスピーアイ レーザーズ ユーケー リミテッド | 光放射を提供する装置 |
CN101815057B (zh) * | 2006-09-30 | 2012-06-27 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 多数据率兼容型超高速自适应全光数据包速率倍增方法 |
WO2008091898A1 (en) | 2007-01-23 | 2008-07-31 | Imra America, Inc. | Ultrashort laser micro-texture printing |
US8154793B2 (en) * | 2007-05-25 | 2012-04-10 | Cornell University | Nonlinear chirped pulse fiber amplifier with pulse compression |
FR2917544A1 (fr) * | 2007-06-15 | 2008-12-19 | Amplitude Systemes Sa | Source d'impulsions lumineuses ultrabreves de forte energie |
CA2695953C (en) * | 2007-08-09 | 2018-05-01 | Nicolas Godbout | Tunable mode-locked laser |
US7903326B2 (en) | 2007-11-30 | 2011-03-08 | Radiance, Inc. | Static phase mask for high-order spectral phase control in a hybrid chirped pulse amplifier system |
JP5826027B2 (ja) * | 2008-03-21 | 2015-12-02 | イムラ アメリカ インコーポレイテッド | レーザベースの材料加工方法及びシステム |
US8498538B2 (en) | 2008-11-14 | 2013-07-30 | Raydiance, Inc. | Compact monolithic dispersion compensator |
JP5637669B2 (ja) * | 2009-09-01 | 2014-12-10 | 浜松ホトニクス株式会社 | パルス幅変換装置および光増幅システム |
WO2011146407A2 (en) * | 2010-05-16 | 2011-11-24 | Fianium, Inc. | Tunable pulse width laser |
WO2012021748A1 (en) | 2010-08-12 | 2012-02-16 | Raydiance, Inc. | Polymer tubing laser micromachining |
WO2012037468A1 (en) | 2010-09-16 | 2012-03-22 | Raydiance, Inc. | Singulation of layered materials using selectively variable laser output |
US8554037B2 (en) | 2010-09-30 | 2013-10-08 | Raydiance, Inc. | Hybrid waveguide device in powerful laser systems |
US9491441B2 (en) | 2011-08-30 | 2016-11-08 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Method to extend laser depth map range |
JP2014530493A (ja) * | 2011-09-14 | 2014-11-17 | イムラ アメリカ インコーポレイテッド | 制御可能多波長ファイバ・レーザ光源 |
US10239160B2 (en) | 2011-09-21 | 2019-03-26 | Coherent, Inc. | Systems and processes that singulate materials |
WO2013106164A1 (en) | 2012-01-13 | 2013-07-18 | Imra America, Inc. | Methods and systems for laser processing of coated substrates |
US8964798B2 (en) | 2012-07-12 | 2015-02-24 | Kla-Tencor Corporation | Reducing the spectral bandwidth of lasers |
US9878399B2 (en) * | 2013-03-15 | 2018-01-30 | Jian Liu | Method and apparatus for welding dissimilar material with a high energy high power ultrafast laser |
US9048632B1 (en) | 2013-03-15 | 2015-06-02 | Board Of Trustees Of Michigan State University | Ultrafast laser apparatus |
US20140276669A1 (en) | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Amo Development Llc. | Short pulse laser with adjustable pulse length |
KR102163606B1 (ko) * | 2013-03-27 | 2020-10-08 | 고쿠리쓰다이가쿠호진 규슈다이가쿠 | 레이저 어닐링 장치 |
JP5524381B2 (ja) * | 2013-03-29 | 2014-06-18 | 浜松ホトニクス株式会社 | パルス幅変換装置および光増幅システム |
JP2016533649A (ja) | 2013-10-21 | 2016-10-27 | ジニア フォトニクス インコーポレイテッドGenia Photonics Inc. | 同期波長可変モードロックレーザ |
WO2015108991A2 (en) | 2014-01-17 | 2015-07-23 | Imra America, Inc. | Laser-based modification of transparent materials |
DE102014201752A1 (de) * | 2014-01-31 | 2015-08-06 | Siemens Aktiengesellschaft | Überspannungsschutz mit einer Funkenstrecke |
KR20160005802A (ko) * | 2014-07-03 | 2016-01-18 | 마이크로 인스펙션 주식회사 | 레이저 가공장치 |
US9385502B1 (en) | 2015-02-05 | 2016-07-05 | Coherent, Inc. | Method and apparatus for adjusting pulse parameters in a solid-state chirped-pulse amplifier system |
CN105305209B (zh) * | 2015-11-04 | 2018-07-10 | 南京大学 | 一种高重复频率的极紫外超快时间分辨光电能谱系统 |
US11123822B2 (en) * | 2016-03-31 | 2021-09-21 | AGC Inc. | Manufacturing method for glass substrate, method for forming hole in glass substrate, and apparatus for forming hole in glass substrate |
DE102016110947A1 (de) | 2016-06-15 | 2017-12-21 | Trumpf Laser Gmbh | Dispersionsanpassungseinheit |
US10535975B2 (en) * | 2017-08-31 | 2020-01-14 | Coherent, Inc. | High power sub-400 femtosecond MOPA with solid-state power amplifier |
RU2684929C1 (ru) * | 2018-03-30 | 2019-04-16 | Автономное учреждение "Технопарк - Мордовия" | Устройство сжатия оптического импульса на дифракционных решетках с возможностью регулировки длительности сжатого импульса |
DE102018109405B3 (de) | 2018-04-19 | 2019-07-11 | Trumpf Laser Gmbh | Pulslängenanpassungseinheit, Lasersystem und Verfahren zur Pulslängenanpassung eines Laserpulses |
CN109449731B (zh) * | 2018-09-20 | 2019-09-20 | 深圳市大德激光技术有限公司 | 一种超快脉冲光纤激光器 |
CN112615241B (zh) * | 2020-12-03 | 2022-10-14 | 天津大学 | 高峰值功率单频窄线宽纳秒三角形短脉冲光纤激光器 |
Family Cites Families (49)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4764930A (en) * | 1988-01-27 | 1988-08-16 | Intelligent Surgical Lasers | Multiwavelength laser source |
JP2664187B2 (ja) * | 1988-03-14 | 1997-10-15 | 日本電信電話株式会社 | 光パレス圧縮装置 |
US5084880A (en) * | 1990-07-02 | 1992-01-28 | The United States Of America As Represented By The Sectretary Of The Navy | Erbium-doped fluorozirconate fiber laser pumped by a diode laser source |
US5329398A (en) * | 1992-11-05 | 1994-07-12 | Novatec Laser Systems, Inc. | Single grating laser pulse stretcher and compressor |
WO1995020178A1 (en) | 1992-11-05 | 1995-07-27 | Novatec Laser Systems, Inc. | Single grating laser pulse stretcher and compressor |
JPH09508217A (ja) * | 1994-01-19 | 1997-08-19 | ノヴァテック レーザー システムズ,インコーポレーテド | 単一回折格子レーザパルスのストレッチャおよびコンプレッサ |
US5499134A (en) | 1994-08-24 | 1996-03-12 | Imra America | Optical pulse amplification using chirped Bragg gratings |
US5867305A (en) * | 1996-01-19 | 1999-02-02 | Sdl, Inc. | Optical amplifier with high energy levels systems providing high peak powers |
US5896484A (en) | 1996-02-15 | 1999-04-20 | Corning Incorporated | Method of making a symmetrical optical waveguide |
JP3649835B2 (ja) | 1996-03-18 | 2005-05-18 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 光導波路の作製方法 |
US5847863A (en) * | 1996-04-25 | 1998-12-08 | Imra America, Inc. | Hybrid short-pulse amplifiers with phase-mismatch compensated pulse stretchers and compressors |
GB2316760A (en) * | 1996-08-23 | 1998-03-04 | Univ Southampton | Fabricating optical waveguide gratings |
EP2648039A3 (en) * | 1997-03-21 | 2014-07-09 | Imra America, Inc. | High energy optical fiber amplifier for picosecond-nanosecond pulses for advanced material processing applications |
JPH10318924A (ja) * | 1997-05-19 | 1998-12-04 | Olympus Optical Co Ltd | パルスレーザを備えた光学装置 |
US5987538A (en) * | 1997-08-15 | 1999-11-16 | Compaq Computer Corporation | Apparatus for initiating generation of an inter-processor interrupt by a peripheral device not directly connected to any of the multi-processor local interrupt controllers |
JPH11167036A (ja) * | 1997-12-04 | 1999-06-22 | Japan Science & Technology Corp | 光導波回路及び非線形光学装置 |
US5982963A (en) | 1997-12-15 | 1999-11-09 | University Of Southern California | Tunable nonlinearly chirped grating |
US6272156B1 (en) | 1998-01-28 | 2001-08-07 | Coherent, Inc. | Apparatus for ultrashort pulse transportation and delivery |
JP2003506731A (ja) * | 1999-07-29 | 2003-02-18 | コーニング インコーポレイテッド | フェムト秒パルスレーザを用いるシリカベースガラスへの光デバイスの直接書込 |
US6977137B2 (en) | 1999-07-29 | 2005-12-20 | Corning Incorporated | Direct writing of optical devices in silica-based glass using femtosecond pulse lasers |
US6573026B1 (en) | 1999-07-29 | 2003-06-03 | Corning Incorporated | Femtosecond laser writing of glass, including borosilicate, sulfide, and lead glasses |
WO2001051972A1 (en) * | 2000-01-07 | 2001-07-19 | University Of Southern California | Tunable optical dispersion-slope compensation based on a nonlinearly-chirped bragg grating |
CA2296924A1 (en) | 2000-01-25 | 2001-07-25 | Peter R. Herman | Burst-ultrafast laser machining method |
US6552301B2 (en) | 2000-01-25 | 2003-04-22 | Peter R. Herman | Burst-ultrafast laser machining method |
JP2001236644A (ja) * | 2000-02-21 | 2001-08-31 | Central Glass Co Ltd | 固体材料の屈折率を変化させる方法 |
JP3531738B2 (ja) * | 2000-02-22 | 2004-05-31 | 日本電気株式会社 | 屈折率の修正方法、屈折率の修正装置、及び光導波路デバイス |
US6885683B1 (en) | 2000-05-23 | 2005-04-26 | Imra America, Inc. | Modular, high energy, widely-tunable ultrafast fiber source |
JP2002252401A (ja) * | 2001-02-22 | 2002-09-06 | Oyokoden Lab Co Ltd | レーザ装置 |
US6928224B2 (en) | 2001-03-09 | 2005-08-09 | Corning Incorporated | Laser-induced crystallization of transparent glass-ceramics |
JP2002372731A (ja) | 2001-06-15 | 2002-12-26 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 波長変換用、光演算用素子 |
US6768850B2 (en) | 2001-08-16 | 2004-07-27 | Translume, Inc. | Method of index trimming a waveguide and apparatus formed of the same |
WO2003046625A1 (en) | 2001-11-28 | 2003-06-05 | Corning Incorporated | Manipulating the size of waveguides written into substrates using femtosecond laser pulses |
US20030099452A1 (en) | 2001-11-28 | 2003-05-29 | Borrelli Nicholas F. | Manipulating the size of waveguides written into substrates using femtosecond laser pulses |
US6853785B2 (en) | 2001-12-14 | 2005-02-08 | 3M Innovative Properties Co. | Index modulation in glass using a femtosecond laser |
GB2385460B (en) * | 2002-02-18 | 2004-04-14 | Univ Southampton | "Pulsed light sources" |
US6739728B2 (en) * | 2002-04-08 | 2004-05-25 | The Regents Of The University Of California | Short pulse laser stretcher-compressor using a single common reflective grating |
US6760356B2 (en) | 2002-04-08 | 2004-07-06 | The Regents Of The University Of California | Application of Yb:YAG short pulse laser system |
DE10222491A1 (de) | 2002-05-14 | 2003-11-27 | Univ Schiller Jena | Verfahren zur gezielten Erzeugung von Brechzahlmodifikationen im Volumen transparenter Materialien mittels Laserstrahlung und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
US6950591B2 (en) | 2002-05-16 | 2005-09-27 | Corning Incorporated | Laser-written cladding for waveguide formations in glass |
CA2396831A1 (en) | 2002-08-02 | 2004-02-02 | Femtonics Corporation | Microstructuring optical wave guide devices with femtosecond optical pulses |
JP2004295066A (ja) | 2002-08-27 | 2004-10-21 | Fujikura Ltd | 光導波路の製造方法 |
JP3987787B2 (ja) * | 2002-11-25 | 2007-10-10 | 日東電工株式会社 | 三次元ポリイミド光導波路の製造方法 |
US7218443B2 (en) * | 2003-02-25 | 2007-05-15 | Toptica Photonics Ag | Generation of tunable light pulses |
US6979798B2 (en) | 2003-03-07 | 2005-12-27 | Gsi Lumonics Corporation | Laser system and method for material processing with ultra fast lasers |
US7257302B2 (en) * | 2003-06-03 | 2007-08-14 | Imra America, Inc. | In-line, high energy fiber chirped pulse amplification system |
US7414780B2 (en) * | 2003-06-30 | 2008-08-19 | Imra America, Inc. | All-fiber chirped pulse amplification systems |
US7486705B2 (en) * | 2004-03-31 | 2009-02-03 | Imra America, Inc. | Femtosecond laser processing system with process parameters, controls and feedback |
EP1851837B1 (en) | 2004-12-20 | 2015-03-04 | Imra America, Inc. | Pulsed laser source with adjustable grating compressor |
US7424185B2 (en) | 2005-01-24 | 2008-09-09 | University Of Central Florida Research Foundation, Inc. | Stretching and compression of laser pulses by means of high efficiency volume diffractive gratings with variable periods in photo-thermo-refractive glass |
-
2005
- 2005-12-20 EP EP05858657.9A patent/EP1851837B1/en active Active
- 2005-12-20 JP JP2007541509A patent/JP4825809B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-12-20 US US11/314,197 patent/US7684450B2/en active Active
- 2005-12-20 WO PCT/US2005/046537 patent/WO2007046833A2/en active Application Filing
-
2006
- 2006-05-12 US US11/433,072 patent/US20060285561A1/en not_active Abandoned
-
2007
- 2007-03-15 JP JP2007066456A patent/JP2008135673A/ja active Pending
-
2010
- 2010-01-05 US US12/652,168 patent/US8077749B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-01-04 JP JP2013000030A patent/JP5716757B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1851837A2 (en) | 2007-11-07 |
JP2008135673A (ja) | 2008-06-12 |
WO2007046833A2 (en) | 2007-04-26 |
JP4825809B2 (ja) | 2011-11-30 |
US20060285561A1 (en) | 2006-12-21 |
EP1851837A4 (en) | 2009-11-04 |
EP1851837B1 (en) | 2015-03-04 |
JP5716757B2 (ja) | 2015-05-13 |
US20100111120A1 (en) | 2010-05-06 |
JP2008518488A (ja) | 2008-05-29 |
US8077749B2 (en) | 2011-12-13 |
WO2007046833A3 (en) | 2008-10-09 |
US7684450B2 (en) | 2010-03-23 |
US20060159137A1 (en) | 2006-07-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5716757B2 (ja) | 媒体中に導波路を製造する方法およびシステム | |
US20060207976A1 (en) | Laser material micromachining with green femtosecond pulses | |
JP2008135673A5 (ja) | ||
Schellhorn et al. | Mid-infrared ZGP OPO with divergence compensation and high beam quality | |
Mironov et al. | Suppression of small-scale self-focusing of high-intensity femtosecond radiation | |
US8078023B2 (en) | System and method for permanently writing a diffraction grating in a low phonon energy glass medium | |
JP2008518273A (ja) | 光ファイバにおいて回折構造を形成するための超高速レーザ加工システムおよび方法 | |
WO2007045097A1 (en) | Method and devices for generating stable and tunable light pulses | |
Camino et al. | Control of laser filamentation in fused silica by a periodic microlens array | |
JP4649927B2 (ja) | レーザ誘起改質加工装置及び方法 | |
JP2004196585A (ja) | レーザビームにより材料内部に異質相を形成する方法、構造物および光部品 | |
Fedotov et al. | Plastic deformation as nature of femtosecond laser writing in YAG crystal | |
JP2007512693A (ja) | コンパクトな設計の高度繰り返しレーザーシステム | |
Walter et al. | Adaptive spatial control of fiber modes and their excitation for high-harmonic generation | |
Bader et al. | Polymer-based waveguides and optical switching | |
CN105790045A (zh) | 大能量周期量级超高信噪比飞秒种子脉冲产生装置 | |
JP3536058B2 (ja) | 短パルス・レーザー光のパルス幅圧縮方法 | |
JP2014036152A (ja) | ファイバレーザ、このファイバレーザを備えたレーザ装置、露光装置及び検査装置 | |
JP4870457B2 (ja) | 短パルスレーザー光のパルス幅圧縮方法およびその装置ならびに中空導波路 | |
Gu et al. | High harmonic generation in helium-filled slab waveguide | |
JP2013044764A (ja) | レーザ装置、疑似位相整合型の波長変換光学素子のフォトリフラクティブ効果抑制方法、露光装置及び検査装置 | |
KR100878978B1 (ko) | 레이저를 이용한 피피엘엔 도파로 소자의 제조 방법 | |
JP2015087729A (ja) | 波長変換レーザ装置 | |
CN105006734A (zh) | 一种基于体光栅构成半内腔式光学参量振荡器的2μm激光器 | |
CN218976014U (zh) | 波长可调谐的波导倍频激光器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130109 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130109 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140121 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140418 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140423 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140520 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140523 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140623 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150106 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20150204 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150302 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20150302 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5716757 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |